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      可嵌入式條狀全柔性多維力傳感器的制作方法

      文檔序號(hào):11228260閱讀:836來源:國知局
      可嵌入式條狀全柔性多維力傳感器的制造方法與工藝

      本發(fā)明涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種柔性多維力傳感器。



      背景技術(shù):

      軟體機(jī)器人在某些方面有著傳統(tǒng)剛性機(jī)器人不可比擬的一些優(yōu)勢,已成為目前機(jī)器人技術(shù)之中熱門的研究方向之一。力位傳感器技術(shù)被廣泛的應(yīng)用在機(jī)器人的檢測之中,用于檢測機(jī)器人的受力及運(yùn)動(dòng)情況,反饋需要的信息,進(jìn)行監(jiān)控或進(jìn)行控制。然而傳統(tǒng)的傳感器往往采用剛性結(jié)構(gòu),在應(yīng)用時(shí)會(huì)限制軟體機(jī)器人的主要性能,因此,軟體機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展也同樣需要柔性傳感器技術(shù)的跟進(jìn)和發(fā)展。

      在柔性傳感器的研究上,通常采用大柔性金屬材料,或者硅基基底材料,或者柔性布料材料等利用光、電、磁等物理現(xiàn)象進(jìn)行研發(fā),但其大多柔性不夠或只能檢測單維力,另外還存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、工藝繁瑣、標(biāo)定困難等問題。在多維力傳感器的研究方面,主要集中于平面類構(gòu)型的設(shè)計(jì),延展性有限,且均存在一定的解耦問題。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明旨在提供一種可嵌入軟體機(jī)器人內(nèi)部進(jìn)行隨動(dòng)的全柔性傳感器,以改善柔性多維力傳感器延展性不足、解耦性差等問題。

      本發(fā)明目的通過下述技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):一種可嵌入式全柔性多維力傳感器,包括傳感器柔性基體,在傳感器柔性基體內(nèi)部設(shè)有呈條形布置的上層微通道和下層微通道,上、下兩層微通道結(jié)構(gòu)相同且呈z字型分別首尾連接成一根通道,微通道內(nèi)注入液態(tài)金屬鎵銦錫合金導(dǎo)體作為傳感器的敏感元件,其中下層微通道頭部和尾部分別引出接引線a和接引線b,上層微通道頭部和尾部分別引出接引線c、接引線d和中間接引線e,接出的各接引線用于連接外部采集系統(tǒng),以檢測微通道中電阻的變化;使用時(shí),所述傳感器可嵌入任何待測力環(huán)節(jié)中,其形狀和柔度可根據(jù)環(huán)境要求而設(shè)定,當(dāng)施加拉彎載荷時(shí),傳感器柔性基體內(nèi)部微通道電阻和兩端電壓發(fā)生變化,可根據(jù)四線制測電阻方法計(jì)算得出施加的三維力的各個(gè)分量,也可以通過受力和變形的關(guān)系求出傳感器變形。

      本發(fā)明可以測得的三維力包括一個(gè)正應(yīng)力及兩個(gè)彎矩,特點(diǎn)是可在發(fā)生大變形時(shí),不損害傳感器的結(jié)構(gòu)及性能,同時(shí)也對(duì)待測體起到了一定的保護(hù)作用。此外,本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,制作工藝簡便,易于后續(xù)數(shù)據(jù)處理工作。

      本發(fā)明可安裝于傳統(tǒng)機(jī)器人關(guān)節(jié)、軟體機(jī)器人和人機(jī)交互設(shè)備及其它需要檢測多維力的場合,其全柔性結(jié)構(gòu)對(duì)環(huán)境有著更強(qiáng)的適應(yīng)性,能夠用于惡劣環(huán)境的測量。

      與現(xiàn)有傳感器相比,本發(fā)明專利具有如下優(yōu)點(diǎn):

      采用的主體材料為柔性硅膠,形狀、尺寸和柔度可根據(jù)環(huán)境要求改變,并可以將其嵌入至某些軟體內(nèi)部進(jìn)行力的測量;因硅膠抗酸堿,故其可用于各類酸堿、潮濕等特殊環(huán)境,能夠在惡劣環(huán)境中長期穩(wěn)定的工作;內(nèi)部微通道大小、長度可根據(jù)實(shí)際要求設(shè)計(jì),方便其量程及靈敏度的調(diào)整;因硅膠質(zhì)地柔軟,內(nèi)部微通道內(nèi)注入液態(tài)金屬溶液,故該傳感器允許大尺度扭曲而不損傷檢測元件,恢復(fù)形狀后不影響使用性能,同時(shí)對(duì)待測體也起到緩沖減震的作用;傳感器內(nèi)部微通道分上下兩層,上層微通道又被等分為兩部分,通過檢測各部分電阻或兩端電壓即可得到各維力,具有高度的可解耦性,可準(zhǔn)確的測量多個(gè)方向的力。

      附圖說明

      圖1為可嵌入式全柔性多維力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。

      圖2為圖1所示傳感器中平行于xz平面的傳感器中間截面示意圖。

      圖中:1-傳感器柔性基體、2-上層微通道、3-下層微通道、4-接引線c、5-接引線a、6-接引線b、7-接引線d、8-接引線e。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明:

      如圖1和圖2所示,本發(fā)明實(shí)施例的可嵌入式條狀全柔性多維力傳感器,包括由柔性硅膠組成的傳感器柔性基體1,在傳感器柔性基體內(nèi)部設(shè)有呈條狀布置的上層微通道2和下層微通道3,上、下兩層微通道結(jié)構(gòu)相同且呈z字型分別首尾連接成一根通道,微通道內(nèi)注入液態(tài)金屬鎵銦錫合金導(dǎo)體作為傳感器敏感元件,其中下層微通道頭部和尾部分別引出接引線a5和接引線b6,上層微通道頭部和尾部分別引出接引線c4、接引線d7和中間接引線e8。在傳感器上表面建立坐標(biāo)系,垂直上表面向上為z軸,在上表面上垂直z軸向左為x軸,垂直xz平面向前為y軸。

      該傳感器通過四線制測電阻方法在接引線a5和接引線b6、接引線c4和接引線d7兩端通入恒流電源,并接入數(shù)據(jù)采集板卡可測得各電阻所對(duì)應(yīng)的電壓值,記初始狀態(tài)接引線a5和接引線b6、接引線c4和接引線d7兩端電壓為u0,施加載荷后接引線a5和接引線b6兩端電壓為uab,接引線c4和接引線d7兩端電壓為ucd,接引線c4和接引線e8兩端電壓為uce,接引線d7和接引線e8兩端電壓為ude。

      當(dāng)傳感器只受到沿y軸拉伸載荷fy時(shí),上下兩層微通道電阻變化相同即uab=ucd,可得fy=k1(uab-u0)。當(dāng)傳感器只受到繞x軸彎矩mx時(shí),上下微通道電阻會(huì)有電阻差,相應(yīng)會(huì)有電壓差,可得mx=k2(ucd-uab),由于ucd=uce+ude,所以mx=k2(uce+ude-uab)。當(dāng)傳感器只受到繞z軸的彎矩時(shí),上下兩層微通道電阻變化相同即uab=ucd,但uce≠ude,可得mz=k3(uce-ude)。經(jīng)分析可得,獨(dú)立的輸入變量共三個(gè),分別為uab、uce和ude,整理計(jì)算可得:

      寫成輸入和輸出的關(guān)系式可得:

      其中k1、k2、k3為電壓協(xié)調(diào)系數(shù),k1、k2、k3和u0可通過實(shí)驗(yàn)標(biāo)定獲取。



      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開一種可嵌入式條狀全柔性多維力傳感器,包括傳感器柔性基體,在傳感器柔性基體內(nèi)部設(shè)有呈條狀布置的上層微通道和下層微通道,上下兩層微通道結(jié)構(gòu)相同且呈Z字型分別首尾連接成一根通道,微通道內(nèi)注入液態(tài)金屬鎵銦錫合金導(dǎo)體作為傳感器敏感零件,其中下層微通道頭部和尾部分別引出1條接引線,上層微通道頭部、尾部及中間位置分別引出1條接引線,引出的接引線用于連接外部采集系統(tǒng),通過檢測微通道中電阻的變化,經(jīng)計(jì)算獲得傳感器的受力情況。本發(fā)明可嵌入至軟體機(jī)器人內(nèi)部,與其隨動(dòng)測量,能夠檢測到三個(gè)方向上的力。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,制作工藝簡便,易于后續(xù)數(shù)據(jù)處理工作,其全柔性結(jié)構(gòu)對(duì)環(huán)境的適應(yīng)性更強(qiáng),能夠用于惡劣環(huán)境下的測量。

      技術(shù)研發(fā)人員:姚建濤;張弘;陳俊濤;勾栓栓;許允斗;趙永生
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:燕山大學(xué)
      技術(shù)研發(fā)日:2017.06.09
      技術(shù)公布日:2017.09.08
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