本實(shí)用新型涉及一種掃描電鏡EBSD樣品臺(tái),屬于多功能掃描電鏡測(cè)量領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

近年來(lái)，裝配在掃描電子顯微鏡（SEM）上的電子背散射衍射花樣（Electron Back-scattering Patterns，簡(jiǎn)稱EBSP）晶體微區(qū)取向和晶體結(jié)構(gòu)的分析技術(shù)取得了較大發(fā)展，該技術(shù)也被稱為電子背散射衍射（Electron Backscatter Diffraction，簡(jiǎn)稱EBSD）或取向成像顯微技術(shù)（Orientation Imaging Microscopy，簡(jiǎn)稱OIM）等等，成為研究材料形變、回復(fù)和再結(jié)晶過(guò)程的有效手段。

EBSD技術(shù)是目前材料微觀組織研究領(lǐng)域常用的表征手段，測(cè)試表征時(shí)需要樣表征面與水平面的夾角為70°。目前商用的EBSD樣品臺(tái)功能單一，一般一次只能裝載一個(gè)樣品進(jìn)行測(cè)試，樣品的高度無(wú)法調(diào)節(jié)，對(duì)樣品的厚度有限制，且測(cè)試效率低，極大的限制了材料微觀表征的效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)以上不足之處，提供了一種掃描電鏡EBSD樣品臺(tái)。

本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的方案是，一種掃描電鏡EBSD樣品臺(tái)，包括樣品臺(tái)主體，所述樣品臺(tái)主體前側(cè)面設(shè)置有若干個(gè)相互獨(dú)立的放置空腔，所述放置空腔內(nèi)設(shè)置有載物臺(tái)，所述樣品臺(tái)主體后側(cè)設(shè)置有螺絲，每個(gè)放置空腔底面中部設(shè)置有貫穿樣品臺(tái)主體的螺孔，螺絲前端貫穿螺孔后伸入放置空腔內(nèi)并抵靠載物臺(tái)后側(cè)面，螺絲與螺孔螺紋配合，所述樣品臺(tái)主體下方設(shè)置有折桿，所述折桿包括豎直桿，豎直桿下部設(shè)置有插接柱，豎直桿上部設(shè)置有斜桿，斜桿與豎直面的夾角為70度，樣品臺(tái)主體安裝在斜桿與上，樣品臺(tái)主體下側(cè)面與斜桿平行，樣品臺(tái)主體前側(cè)面、載物臺(tái)前側(cè)面與斜桿垂直。

進(jìn)一步的，所述樣品臺(tái)主體為長(zhǎng)方體。

進(jìn)一步的，所述載物臺(tái)呈臺(tái)階狀，載物臺(tái)后部周側(cè)向外突出由凸部。

進(jìn)一步的，所述放置空腔前部設(shè)置有用以擋住凸部的限位部。

進(jìn)一步的，所述載物臺(tái)與放置空腔側(cè)壁之間的間隙不超過(guò)1mm。

進(jìn)一步的，所述螺絲前端與載物臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

進(jìn)一步的，所述載物臺(tái)后側(cè)面中部設(shè)置有圓孔，螺釘前端伸入圓孔內(nèi)。

進(jìn)一步的，所述載物臺(tái)前側(cè)面涂覆有導(dǎo)電膠。

進(jìn)一步的，所述樣品臺(tái)主體、載物臺(tái)、折桿均與鋁合金材質(zhì)。

進(jìn)一步的，所述放置空腔不少于3個(gè)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，操作方便，適用性廣、針對(duì)性強(qiáng)、不易損壞，可實(shí)現(xiàn)多個(gè)厚度不均樣品同時(shí)裝載并能靈活調(diào)整每個(gè)樣品高度的功能，適用于不同厚度的樣品調(diào)整高度對(duì)齊。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型專利進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1為該實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2為該實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖3為載物臺(tái)與放置空腔的配合結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：

1-樣品臺(tái)主體；2-放置空腔；201-限位部；3-載物臺(tái)；301-凸部；4-螺絲；5-折桿；501-斜桿；502-豎直桿；503-插接柱。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。

如圖1-3所示，一種掃描電鏡EBSD樣品臺(tái)，包括樣品臺(tái)主體1，所述樣品臺(tái)主體1前側(cè)面設(shè)置有若干個(gè)相互獨(dú)立的放置空腔2，所述放置空腔2內(nèi)設(shè)置有載物臺(tái)3，所述樣品臺(tái)主體1后側(cè)設(shè)置有螺絲4，每個(gè)放置空腔底面中部設(shè)置有貫穿樣品臺(tái)主體1的螺孔，螺絲4前端貫穿螺孔后伸入放置空腔2內(nèi)并抵靠載物臺(tái)3后側(cè)面，螺絲4與螺孔螺紋配合，所述樣品臺(tái)主體1下方設(shè)置有折桿5，所述折桿5包括豎直桿502，豎直桿502下部設(shè)置有插接柱503，豎直桿502上部設(shè)置有斜桿501，斜桿501與豎直面的夾角為70度，樣品臺(tái)主體1安裝在斜桿501與上，樣品臺(tái)主體1下側(cè)面與斜桿501平行，樣品臺(tái)主體1前側(cè)面、載物臺(tái)3前側(cè)面與斜桿501垂直。

在本實(shí)施例中，所述樣品臺(tái)主體1為長(zhǎng)方體。

在本實(shí)施例中，所述載物臺(tái)3呈臺(tái)階狀，載物臺(tái)3后部周側(cè)向外突出由凸部301。

在本實(shí)施例中，所述放置空腔2前部設(shè)置有用以擋住凸部301的限位部201。

在本實(shí)施例中，所述載物臺(tái)3與放置空腔2側(cè)壁之間的間隙不超過(guò)1mm。

在本實(shí)施例中，所述螺絲4前端與載物臺(tái)3轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

在本實(shí)施例中，所述載物臺(tái)3后側(cè)面中部設(shè)置有圓孔，螺釘前端伸入圓孔內(nèi)。

在本實(shí)施例中，所述載物臺(tái)3前側(cè)面涂覆有導(dǎo)電膠。

在本實(shí)施例中，所述樣品臺(tái)主體1、載物臺(tái)3、折桿5均與鋁合金材質(zhì)，極大地減輕了本身的質(zhì)量，輕巧便利，且鋁合金耐磨，延長(zhǎng)了使用壽命。

在本實(shí)施例中，所述放置空腔2不少于3個(gè)。

本實(shí)用新型可適用于多數(shù)不同厚度樣品，以常見(jiàn)的AZ31鎂合金為例：

進(jìn)行掃描電鏡觀察時(shí)，需將各樣品面進(jìn)行機(jī)械打磨得到一個(gè)與觀察面平行的打磨面，接著將幾個(gè)打磨后的AZ31樣品用導(dǎo)電膠分別膠黏在不同載物臺(tái)3上，根據(jù)各樣品的厚度，再旋轉(zhuǎn)下方的螺絲4進(jìn)行升降載物臺(tái)3的操作，使各樣品的觀察面齊平，因?yàn)檩d物臺(tái)3與放置空腔2間隙很小，幾乎相重合，所以上下底面總能保持平行，同時(shí)，由于載物臺(tái)3上設(shè)有凸部301，放置空腔2前部設(shè)置有用以擋住凸部301的限位部201，限定了螺絲4對(duì)臺(tái)面的提升極限高度，使得內(nèi)載物臺(tái)3不會(huì)由于翻轉(zhuǎn)、傾斜而掉落造成損壞、丟失，樣品安置完成后，將該樣品臺(tái)下方用于定向70°的折桿5底部的插接柱503插入多功能電鏡內(nèi)的底座孔位，關(guān)上艙門(mén)，調(diào)整參數(shù)，即可進(jìn)行測(cè)量。

上列較佳實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。