本實(shí)用新型涉及一種多角度掃描電鏡樣品臺(tái)。針對(duì)樣品形狀和大小差不多的樣品，設(shè)計(jì)一種載物臺(tái)，可滿足多個(gè)樣品同時(shí)裝載在載物臺(tái)上，并實(shí)現(xiàn)多角度的傾轉(zhuǎn)，滿足普通的掃描電鏡形貌分析和EBSD表征分析。

背景技術(shù)：

掃描電子顯微鏡簡稱掃描電鏡，是一種利用電子束轟擊樣品，收集樣品表面信號(hào)從而成像的電子光學(xué)儀器。由于其具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高、景深大等特點(diǎn)，現(xiàn)已經(jīng)被廣泛地應(yīng)用于材料、化學(xué)、生物、微電子等多領(lǐng)域的研究和工業(yè)生產(chǎn)。

近年來，裝配在掃描電子顯微鏡（SEM）上的電子背散射衍射花樣（Electron Back-scattering Patterns，簡稱EBSP）晶體微區(qū)取向和晶體結(jié)構(gòu)的分析技術(shù)取得了較大發(fā)展，該技術(shù)也被稱為電子背散射衍射（Electron Backscatter Diffraction，簡稱EBSD）或取向成像顯微技術(shù)（Orientation Imaging Microscopy，簡稱OIM）等等，成為研究材料形變、恢復(fù)和再結(jié)晶過程的有效手段。在掃描電鏡測試過程中，在形貌分析時(shí)，要求電子束與觀察的表面垂直，而在EBSD表征時(shí)，則要求電子束與觀察面法線的夾角為70°，不同的測試內(nèi)容要求相應(yīng)的樣品臺(tái)來裝載樣品。目前常見的樣品臺(tái)功能單一，一般只能滿足其中一種測試功能，同一樣品進(jìn)行形貌分析時(shí)需要一種樣品臺(tái)，進(jìn)行EBSD分析時(shí)則需要換另一種樣品臺(tái)，此外，目前的EBSD樣品臺(tái)每次只能裝載一個(gè)樣品，在有多個(gè)樣品測試時(shí)，要頻繁的重復(fù)放真空—裝樣—抽真空等操作，既費(fèi)時(shí)又費(fèi)力，給電鏡測試帶來極大的不便。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題做出改進(jìn)，即本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種多功能掃描電鏡樣品臺(tái)，它能改變樣品臺(tái)的角度，在同一個(gè)臺(tái)子上滿足形貌分析和EBSD分析，同時(shí)該樣品臺(tái)也能一次裝載多個(gè)EBSD樣品，實(shí)現(xiàn)一次多個(gè)樣品裝樣同時(shí)進(jìn)行EBSD表征的功能，從而提高測試效率。

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種多角度掃描電鏡樣品臺(tái)包括裝載樣品的三棱柱、兩塊長方體擋板、固定板、底座和固定螺釘，三棱柱為直三棱柱，其三角形面為直角三角形，且直角三角形的銳角內(nèi)角為70°和20°，三棱柱的三個(gè)矩形面上均設(shè)置多條等距離的平行線，并在平行線前端標(biāo)明序號(hào)，一塊擋板設(shè)置在三棱柱的一個(gè)三角形面?zhèn)龋硪粔K擋板設(shè)置在三棱柱的另一個(gè)三角形面?zhèn)?，通過固定螺釘將擋板和三棱柱相連接，固定板為矩形薄板，一塊擋板固定設(shè)置在固定板的矩形面的一個(gè)寬邊上，另一塊擋板固定設(shè)置在固定板的該矩形面的另一寬邊上，固定板底面中央部位固定連接底座，底座由兩個(gè)直徑不同的圓柱體沿豎直方向疊加組成，直徑大的圓柱體設(shè)置在上方，其頂面固定連接在固定板底面。

進(jìn)一步地，擋板與固定板的固定連接方式、固定板與底座的固定連接方式均采用螺釘連接。

進(jìn)一步地，裝載樣品的固定方式為導(dǎo)電膠。

優(yōu)選地，樣品臺(tái)選用鋁合金。

優(yōu)選地，三棱柱的棱長為30mm，擋板的尺寸為長20mm、寬5mm、高6mm，固定板的尺寸為長40mm、寬20mm、高2mm，在固定板中心設(shè)一個(gè)直徑為2mm的螺紋孔，固定底座，在固定板兩側(cè)均設(shè)一個(gè)直徑為2mm的螺紋孔，固定擋板，底座由一個(gè)直徑為10mm高15mm的圓柱體和另一個(gè)直徑為3mm、高8mm的圓柱體組成，直徑大的圓柱體上方中心有直徑為2mm，深3mm的螺紋孔，固定螺釘為直徑2mm、長12mm的螺釘。

首先，將樣品臺(tái)調(diào)整至如下狀態(tài)，即三棱柱的直角三角形斜邊所在的矩形面貼合固定板的頂面，用固定螺釘和擋連接起來，樣品一裝載在三棱柱的直角三角形長直角邊所在的矩形面，樣品二裝載在三棱柱的直角三角形短直角邊所在的矩形面，樣品一的觀察面法線與掃描電鏡的垂直電子束的夾角為70°；樣品二的觀察面法線與垂直電子束的夾角為20°，因此，樣品臺(tái)在此狀態(tài)下可以測量20°和70°的樣品，可進(jìn)行相應(yīng)樣品平面的EBSD表征。

測量完成后，旋出固定螺釘改變?nèi)庵鶚悠放_(tái)的方向，使樣品臺(tái)保持如下狀態(tài)，即三棱柱1的直角三角形較長直角邊所在的矩形面處于水平，樣品裝載在該矩形面上，樣品的觀察面與掃描電鏡的垂直電子束的夾角為90°，可進(jìn)行普通的形貌表征。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：三棱柱起安放樣品和改變樣品角度的作用，三棱柱樣品臺(tái)上存在若干條等距離的平行線，并在平行線前端標(biāo)明序號(hào)，使用時(shí)將樣品的一側(cè)靠近平行線，保證樣品在同一側(cè)保持水平，本裝置能改變樣品臺(tái)的角度，在同一個(gè)臺(tái)子上滿足形貌分析和EBSD分析，同時(shí)該樣品臺(tái)也能一次裝載多個(gè)EBSD樣品，實(shí)現(xiàn)一次多個(gè)樣品裝樣同時(shí)進(jìn)行EBSD表征的功能，從而提高測試效率，此外，樣品臺(tái)具有造價(jià)低廉、制作方便、操作簡單、適用性廣且易于測量多個(gè)樣品并能夠改變樣品臺(tái)的角度的優(yōu)點(diǎn)。

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型樣品臺(tái)測量20°和70°樣品的裝置結(jié)構(gòu)圖；

圖2為本實(shí)用新型圖1裝載樣品后的裝置結(jié)構(gòu)圖；

圖3為本實(shí)用新型樣品臺(tái)形貌分析的裝置結(jié)構(gòu)圖。

圖中：1-三棱柱；2-擋板；3-固定板；4-底座；5-固定螺釘；6-樣品一；7-樣品二。

具體實(shí)施方式

如圖1-3所示，在本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例中，該裝置包括裝載樣品的三棱柱1、兩塊長方體擋板2、固定板3、底座4和固定螺釘5，三棱柱1為直三棱柱，其三角形面為直角三角形，且直角三角形的銳角內(nèi)角為70°和20°，三棱柱1的三個(gè)矩形面上均設(shè)置多條等距離的平行線，并在平行線前端標(biāo)明序號(hào)，一塊擋板2設(shè)置在三棱柱1的一個(gè)三角形面?zhèn)龋硪粔K擋板2設(shè)置在三棱柱1的另一個(gè)三角形面?zhèn)?，通過固定螺釘5將擋板2和三棱柱1相連接，固定板3為矩形薄板，一塊擋板2固定設(shè)置在固定板3的矩形面的一個(gè)寬邊上，另一塊擋板2固定設(shè)置在固定板3的該矩形面的另一寬邊上，固定板3底面中央部位固定連接底座4，底座4由兩個(gè)直徑不同的圓柱體沿豎直方向疊加組成，直徑大的圓柱體設(shè)置在上方，其頂面固定連接在固定板3底面。

擋板2與固定板3的固定連接方式、固定板3與底座4的固定連接方式均采用螺釘連接。

為了降低材料及加工成本，本樣品臺(tái)采用鋁合金為材料，極大地減輕了樣品臺(tái)本身的質(zhì)量，導(dǎo)電性良好，可以直接使用導(dǎo)電膠把樣品固定裝載在樣品臺(tái)上。

優(yōu)選地，三棱柱1的棱長為30mm，擋板2的尺寸為長20mm、寬5mm、高6mm，固定板2的尺寸為長40mm、寬20mm、高2mm，在固定板2中心設(shè)一個(gè)直徑為2mm的螺紋孔，固定底座4，在固定板2兩側(cè)均設(shè)一個(gè)直徑為2mm的螺紋孔，固定擋板2，底座4由一個(gè)直徑為10mm高15mm的圓柱體和另一個(gè)直徑為3mm、高8mm的圓柱體組成，直徑大的圓柱體上方中心有直徑為2mm，深3mm的螺紋孔，固定螺釘5為直徑2mm、長12mm的螺釘。

首先，將三棱柱的樣品臺(tái)調(diào)整至如圖1的狀態(tài)，三棱柱1的直角三角形斜邊所在的矩形面貼合固定板3的頂面，用固定螺釘5和擋2連接起來，將樣品如圖2用導(dǎo)電膠固定在樣品臺(tái)上，樣品一6裝載在三棱柱1的直角三角形長直角邊所在的矩形面，樣品二7裝載在三棱柱1的直角三角形短直角邊所在的矩形面，樣品一6的觀察面法線與掃描電鏡的垂直電子束的夾角為70°；樣品二7的觀察面法線與垂直電子束的夾角為20°，因此，樣品臺(tái)在此狀態(tài)下可以測量20°和70°的樣品，可進(jìn)行相應(yīng)樣品平面的EBSD表征。

測量完成后，旋出固定螺釘5改變?nèi)庵鶚悠放_(tái)的方向，使樣品臺(tái)保持如圖3的狀態(tài)，三棱柱1的直角三角形較長直角邊所在的矩形面處于水平，樣品裝載在該矩形面上，樣品的觀察面與掃描電鏡的垂直電子束的夾角為90°，可進(jìn)行普通的形貌表征。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，凡依本實(shí)用新型申請專利范圍所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本實(shí)用新型的涵蓋范圍。