專利名稱：配給工作氣體的裝置及裝有此裝置以供給工作氣體的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于配給一種工作氣體的裝置和一用于供給這樣的氣體的整套設(shè)備，這樣的氣體特別用于微電子工業(yè)中的制造電路。
微電子電路的制造需要使用各種所謂的“工作”氣體，比如Cl2,NH3,HCl,HBr,NF3或WF6等，其中的大部分由于具有毒性和/或可燃性，對人類是有害的。
這就是為什么這些氣體均被儲存在加壓氣罐中，而這樣的加壓氣罐又成對地布置在也稱為“氣體柜”的氣體供給設(shè)備中。這樣的設(shè)備包括一帶有控制排出的安全柜和一用于配給位于該氣體柜內(nèi)的工作氣體的裝置。
上述配給裝置包括一系列用于供給氣體、沖洗和排出氣體的、與兩個加壓氣罐相連的管路，布置在管路上、用于調(diào)節(jié)工作氣體的流動的閥門，和用于測量管路中的壓力以便監(jiān)視設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)的氣體泄漏檢測器及傳感器。
調(diào)節(jié)閥門，從泄漏檢測器和壓力傳感器產(chǎn)生的各種信號由一操作控制單元采集到并利用它們。
該操作控制單元包括，例如，一程序控制器和與其相連的一顯示器及控制面板。
在該控制面板上有該設(shè)備的方框圖。在該控制面板上還設(shè)置有多個發(fā)光的指示器，每一個均與一特定的警報相聯(lián)，用于向負(fù)責(zé)監(jiān)視該設(shè)備的操作者發(fā)出警報。另外，在該控制面板上還安裝有用于控制閥門的開關(guān)，使該設(shè)備能夠在手動操作的狀態(tài)下運(yùn)行。而且，固定在面板上并由操作者控制的各種顯示器示出了由傳感器接收到的各測量值。
由于有多種的指示器、開關(guān)和顯示，使顯示器和控制面板初看起來很復(fù)雜，而且不太好用，這意味著對于一個將要負(fù)責(zé)監(jiān)視該設(shè)備的操作者來說，必需經(jīng)歷一相當(dāng)長的培訓(xùn)過程才能勝任這項工作。
本發(fā)明的目的在于通過提供一種配給裝置來減少以上缺點(diǎn)，該配給裝置裝備有一更好用的顯示和控制界面。
為達(dá)到以上目的，本發(fā)明提供了一種用于配給一種工作氣體的裝置，該裝置包括一系列管路，該管路系列與至少一工作氣體源相連，還與至少一用于將該工作氣體向一用戶工作站輸送的出口管相連，還包括功能部件，特別是布置在管路中、用于調(diào)節(jié)工作氣體通過這些管路的流動的閥門，和氣體泄漏檢測器及一操作控制單元，該單元包括用于與所述功能部件相交流的裝置，用于控制與所述功能部件相關(guān)的各項任務(wù)的裝置，和用于操作該控制裝置的裝置，它可以由該配給裝置的操作者來操縱，該裝置的特征為所述操縱裝置包括一觸摸傳感屏，該傳感屏具有與相應(yīng)的各項任務(wù)的控制相關(guān)的主控制區(qū)，該主控制區(qū)由與所述的各任務(wù)相關(guān)的圖形所限定并永久地顯示在所述觸摸傳感屏上。
根據(jù)本發(fā)明此配給裝置還具有一個或多個下述特征-觸摸傳感屏包括，用于至少一主控制區(qū)的至少一第二控制區(qū)，該第二控制區(qū)與所述至少一主控制區(qū)相關(guān)聯(lián)并涉及用于控制與所述至少一主控制區(qū)相應(yīng)的任務(wù)的一指令，只要所述相應(yīng)的主控制區(qū)由一操作者所操縱，所述至少一第二控制區(qū)由一與所述指令相關(guān)聯(lián)的圖形所限定并顯示在所述觸摸傳感屏上，-觸摸傳感屏包括一第一區(qū)，該區(qū)僅用于所述主控制區(qū)，還包括一第二區(qū)，該第二區(qū)與所述第一區(qū)不同，用于所述第二控制區(qū)，-觸摸傳感屏還包括一與所述第一區(qū)和第二區(qū)不同的第三區(qū)，該區(qū)用于顯示與一由一操作者激發(fā)的主控制區(qū)相關(guān)的信息，-操縱裝置還包括用于在觸摸傳感屏上指定一已經(jīng)由一操作者操縱的控制區(qū)的裝置，-由控制裝置控制的一項任務(wù)涉及處理而且特別是涉及在觸摸傳感屏上顯示由功能部件檢測出的警報，觸摸傳感屏的主控制區(qū)中的一個是一用于激發(fā)所接收到的警報的顯示的區(qū)域，
-當(dāng)該裝置裝備有特別用于測量管路中壓力的測量傳感器時，由控制裝置控制的一任務(wù)涉及整理由所述測量傳感器采集到的測量值并將這些值顯示在觸摸傳感屏上，并且所述主控制區(qū)的一個是一用于激發(fā)所采集到的測量值在觸摸傳感屏上顯示的區(qū)域，-當(dāng)該裝置裝備有特別用于測量管路中壓力的測量傳感器時，操縱裝置包括用于記憶儲存一方框圖的裝置，該方框圖特別表示用于配給工作氣體的裝置的管路系列和設(shè)置在這些管路中的閥門，由控制裝置控制的一任務(wù)涉及整理由所述傳感器采集到的測量值和在觸摸傳感屏上顯示配給裝置的方框圖，并將該方框圖與由傳感器采集到的所述測量值一起記錄在所述記憶存儲裝置內(nèi)，所述主控制區(qū)中的一個是一用于激發(fā)方框圖與采集到的測量值一起在觸摸傳感屏上的顯示區(qū)域。
另外，本發(fā)明的目的是提供一用于配給一種工作氣體的整套設(shè)備，其特征為它包括如上文中所限定的用于配給工作氣體的一第一和第二裝置，該裝置串聯(lián)布置且其操作控制單元彼此相通，就第一裝置來說，第二裝置是一功能部件，第一裝置的控制裝置的一任務(wù)涉及監(jiān)視第二裝置的運(yùn)行狀態(tài)，該裝置被認(rèn)為是一功能部件，并且第一裝置的觸摸傳感屏的主控制區(qū)中的一個是一用于激發(fā)有關(guān)第二裝置的運(yùn)行狀態(tài)的信息在第一裝置的觸摸傳感屏上顯示的區(qū)域。
用于配給工作氣體的整套設(shè)備還具有以下特征-當(dāng)?shù)诙浣o裝置裝備有特別用于測量其管路中的壓力的測量傳感器時，第一配給裝置的操縱裝置包括用于記憶儲存一方框圖的裝置，該方框圖具體代表的是用于配給工作氣體的第二裝置的一系列管路和布置在這些管路中的閥門，由第一配給裝置的控制裝置控制的一項任務(wù)涉及整理由第二配給裝置的傳感器采集到的測量值并在第一配給裝置的觸摸傳感屏上顯示第二配給裝置的方框圖和由第二配給裝置的傳感器采集到的所述測量值，所述第一裝置的觸摸傳感屏的主控制區(qū)中的一個是一用于激發(fā)在第一配給裝置的觸摸傳感屏上顯示第二配給裝置的方框圖及由第二裝置的所述測量傳感器采集到的測量值的區(qū)域。
另外，本發(fā)明的目的在于提供了一用于供給一種工作氣體的整套設(shè)備，該設(shè)備包括至少一具有一定壓力的一種工作氣體源，該氣體源被設(shè)置在一隔離柜內(nèi)，其特征為該設(shè)備包括一如上文中所限定的配給裝置，該裝置與所述的至少一源相連，并布置在所述隔離柜內(nèi)，并且該配給裝置的觸摸傳感屏設(shè)置在所述柜的外部壁面上。
用于供給工作氣體的設(shè)備還可以具有一個或多個下述特征-當(dāng)所述源是一氣罐時，由所述配給裝置的控制裝置控制的一任務(wù)涉及在每一次以一充滿的氣罐更換一空氣罐的操作之前和之后發(fā)出徹底沖洗管路的循環(huán)的指令，所述觸摸傳感屏的主控制區(qū)的一個是一用于激發(fā)控制閥門的指令以便啟動沖洗循環(huán)的區(qū)域，-當(dāng)所述設(shè)備包括一第一和一第二工作氣體源時，其中這些源與配給裝置相連并用于交替地向所述配給裝置提供工作氣體，由所述配給裝置的控制裝置控制的一任務(wù)是發(fā)出指令以從由第一源供給的配給裝置切換到由第二源供給的配給裝置，所述觸摸傳感屏的主控制區(qū)的一個是一用于激發(fā)用于控制閥門的指令以便實現(xiàn)所述切換的區(qū)域。
從下面的參照附圖對一非限定的實施例的描述中將看出本發(fā)明的其它特性和優(yōu)點(diǎn)，附圖包括

圖1是一提供工作氣體的整套設(shè)備的立體圖，該套設(shè)備配備有一本發(fā)明的用于配給該氣體的裝置；圖2是安裝在圖1所示的設(shè)備中的工作氣體配給裝置的管路圖；圖3是本發(fā)明的配給裝置的操作控制單元的一方框圖；圖4是本發(fā)明裝置的觸摸傳感屏的示意圖；圖5是觸摸傳感屏上的顯示的一第一例；圖6是觸摸傳感屏上的顯示的一第二例；圖7是觸摸傳感屏上的顯示的一第三例；圖8是觸摸傳感屏上的顯示的一第四例；圖9是觸摸傳感屏上的顯示的一第五例。
圖1中以立體圖的形式示出了用于提供一種工作氣體的整套設(shè)備1其下部被剖開，所提供的氣體特別是，比如，Cl2,NH3,HCl,HBr,NF3或WF6，等，將其提供到使用這些氣體的一個或多個工作站，更具體地說是提供到用于制造微電子電路的生產(chǎn)廠。
設(shè)備1包括一隔離柜3，從圖中剖開的部分可以看出，在該柜內(nèi)，一方面，安裝有兩個裝有加壓的工作氣體的氣罐5和7，另一方面，安裝有配給該工作氣體的裝置9，在該圖中還可以看出裝置9的管路11和13分別與氣罐5和7相連。
設(shè)備1的出口管10與一用于配給工作氣體的第二裝置9A相連，該第二裝置9A可以通過其出口管10A同時向數(shù)個用戶工作站10B提供工作氣體。
從圖2中可以看出，設(shè)備1的用于配給工作氣體的裝置9包括有一系列的管路，這些管路尤其包括對于每一個氣罐5、7通過一公共管17與出口管10相連的一主管15，用于將工作氣體輸送到用戶工作站10B、沖洗管21和借助一真空發(fā)生器24在柜3內(nèi)建立部分真空的抽氣管23。
為了能夠控制各管中的氣體的流動，并監(jiān)視配給裝置9的運(yùn)行狀態(tài)，裝置9包括功能部件25，比如布置在各管15、17、21和23中的關(guān)閉閥27和調(diào)節(jié)閥29，用于測量特別是在主管15內(nèi)的壓力的傳感器31，用于稱重氣罐5和7以確定氣罐的充滿程度的平衡器33，當(dāng)這些氣罐均被一種液化氣體充滿時，在設(shè)備的柜3內(nèi)甚至還要設(shè)置氣體泄漏檢測器34。
如圖3中的框圖中所示，這些功能部件25均連接到一操作控制單元35上。
用于操作控制功能部件25的單元35包括與這些功能部件25相連通的裝置37，裝置39與這些裝置37相連，用于控制與功能部件25相關(guān)的各項任務(wù)，這些任務(wù)被儲存在一任務(wù)存儲器41內(nèi)。
這樣的任務(wù)包括，例如，將傳感器31和/或平衡器33測量到的值與記錄在一閾存儲器43內(nèi)的預(yù)定的閾值相比較，如果其中的一個測量值超過了相應(yīng)的閾值，則發(fā)出一報警信號，并且根據(jù)預(yù)定的報警次序水平，部分地或完全地關(guān)閉設(shè)備1。在此情形下，裝置39通過傳輸裝置37操縱設(shè)備的某些閥門的關(guān)閉。
另一類任務(wù)包括，例如，在向裝置9提供氣體的氣罐5實際上已空時需要將向配給裝置9的提供切換到氣罐7或相反的情況下，控制閥門27和29。
還有一類任務(wù)是使用檢測器34檢測氣體泄漏，如果檢測出氣體泄漏，則發(fā)出一報警信號，并部分地或完全關(guān)閉設(shè)備1。
此外，由第二配給裝置9A形成一執(zhí)行一特殊工作的特定功能部件25，圖3中僅示出了操作控制單元35A和連接到該單元35A上的功能部件25A。
所給出的裝置9A的結(jié)構(gòu)與裝置9的結(jié)構(gòu)相類似，因此它也包括一系列的管路和功能部件25A，如布置在這些管路中的用于調(diào)節(jié)工作氣體流動的閥門27A和29A，用于測量管路中所承受的壓力的傳感器31A和氣體泄漏檢測器34A，管路和閥門的具體布置將不再贅述。
然而，應(yīng)該指出的是裝置9A的操作控制單元35A與配給裝置9的操作控制單元35是相同的。
如圖3所示，操作控制單元35A與單元35的傳輸裝置37相連。
經(jīng)裝置37由裝置39控制的一特定任務(wù)是監(jiān)視裝置9A的運(yùn)行狀態(tài)。
特別是，由傳感器31A測量到的壓力值和由檢測器34A檢測到的氣體泄漏被傳輸?shù)娇刂蒲b置39。
各項任務(wù)可以容易地僅由控制裝置39來控制，同時它們還能夠或也可以僅根據(jù)一項檢測結(jié)果例如一報警的檢測來控制。
另外，操作控制單元35包括操縱控制裝置39的裝置45，使一操作者能夠完成一任務(wù)，或選擇和限定用于控制一任務(wù)所需要的某些參數(shù)。
為此，操縱裝置45包括一觸摸傳感屏47和用于存儲圖形和圖表以在觸摸傳感屏47上顯示出的裝置48。
如圖1所示，觸摸傳感屏47被設(shè)置在設(shè)備1的柜3上部的外部壁面上，以便可以清楚地看到它，而且負(fù)責(zé)監(jiān)視該設(shè)備的操作者可以操作它。
圖4以放大的形式示出了觸摸傳感屏。參照圖4，觸摸傳感屏47在其底部包括一第一區(qū)49，在該區(qū)內(nèi)，圖形50、51、52、53、54、55、56、57和58永久地顯示。圖形50至58中的每一個在觸摸傳感屏47上限定了一個相應(yīng)的主控制區(qū)，其相應(yīng)的參考數(shù)字標(biāo)號分別為60至68，也就是說，負(fù)責(zé)監(jiān)視設(shè)備1的操作者通過用其手指接觸觸摸傳感屏47上的各區(qū)，就可以將一預(yù)定工作的操作指令輸入操縱裝置45。
第一區(qū)49被嚴(yán)格地用于這些主控制區(qū)60至68，永久地顯示相關(guān)的圖形50和58。這些主控制區(qū)60至68能夠永久地接受來自操作者的指令。這一點(diǎn)在裝置39同時控制多種任務(wù)時特別具有優(yōu)勢，因為操作者要進(jìn)行一項操作，只要激發(fā)與該項任務(wù)相關(guān)的主控制區(qū)就可以了。
對于某些特定的任務(wù)，一旦相應(yīng)的主控制區(qū)已經(jīng)被激發(fā)，必須給操作者以選擇或進(jìn)入與此特定任務(wù)相關(guān)的一參數(shù)或一指令的機(jī)會。
為此目的，觸摸傳感屏47還包括一第二區(qū)80，如圖4中的右手邊所示，該第二區(qū)80與第一區(qū)49不同，它根據(jù)所激活的任務(wù)顯示圖形81、82、83和84，在此圖中，顯示的僅是邏輯框。這些圖形81至84限定了參考數(shù)字分別為91至94的第二控制區(qū)。這些第二控制區(qū)使操作者能夠執(zhí)行與所激活的特定任務(wù)相關(guān)的各種操作。
當(dāng)然，圖形81至84及操作者能夠進(jìn)入操縱裝置45的操作根據(jù)主控制區(qū)和所激活的任務(wù)的改變而改變。
此外，如圖3中所示，操縱裝置還包括在觸摸傳感屏47上選定一已經(jīng)被一操作者激活的主控制區(qū)或第二控制區(qū)的裝置70。如圖4中所示，一旦一控制區(qū)已經(jīng)被激活，例如一旦區(qū)60已經(jīng)被激活，選定裝置70使其顯示在觸摸傳感屏47上，例如一帶顏色的方框72圍繞被激活的主控制區(qū)60。以此方式，可以一直告知操作者顯示在屏幕上的被激活的任務(wù)。
還有，觸摸傳感屏47在其頂部具有一第三區(qū)100，該區(qū)與第一區(qū)49和第二區(qū)80不同，它用來顯示與一被操作者激活的主控制區(qū)相關(guān)的信息。
在此區(qū)100的右邊，在區(qū)80上方，限定了一區(qū)102，用于顯示當(dāng)前的時間。
由區(qū)100、80和49所包圍的觸摸傳感屏47的其它部分區(qū)104主要用來顯示與一任務(wù)的控制有關(guān)的信息，當(dāng)與該任務(wù)相關(guān)的一主控制區(qū)已經(jīng)由操作者激活時，該任務(wù)由裝置39來控制。
當(dāng)沒有與一由一主控制區(qū)激活的一特定任務(wù)相關(guān)的第二控制區(qū)時，區(qū)104被放大并且還包括區(qū)80，這一點(diǎn)是很有利的。
下面將描述使用觸摸傳感屏47的裝置9的操作的幾個例子。
例如，在圖4中，圖形50示出了一鐘形物，下面寫著“警報”，并確定了與一處理和顯示警報的任務(wù)相關(guān)的主控制區(qū)60，該任務(wù)由裝置39來控制，如上所述。如果一操作者激活區(qū)60，則所接受到的警報在觸摸傳感屏47的區(qū)104內(nèi)顯示出，如圖5中所示。
另外，圖形81至84確定了與顯示在屏幕上的警報的處理和顯示相關(guān)的第二控制區(qū)91至94。例如，激活由圖形82確定的第二區(qū)92使警報的過程被顯示出來。
圖4中的圖表51示出了帶有數(shù)值的顯示，其下面寫著“壓力”。該圖表51確定了與一任務(wù)的激活相關(guān)聯(lián)的主控制區(qū)61，該項任務(wù)是采集由傳感器31和平衡器33測量的壓力和重量值，并將這些值顯示在觸摸傳感屏47上，如圖6中所示。
圖4中的圖形52示出了管路和與其相連的氣罐，下面寫著“圖形”。該圖形52確定了與一任務(wù)的激活相關(guān)聯(lián)的主控制區(qū)62，該項任務(wù)是采集由傳感器31和平衡器33測量的測量值，并在觸摸傳感屏上顯示該裝置的方框圖，該方框圖與采集到的測量值一起被儲存在記憶存儲裝置48內(nèi)，如圖7中所示。
圖4中的圖形53示出了一帶有氣罐的氣體供給設(shè)備(一氣體柜)，箭頭表示氣罐的更換，圖形53下面寫著“氣罐”。該圖形53確定了與兩項任務(wù)的激活相關(guān)聯(lián)的主控制區(qū)63。這兩項任務(wù)之一是控制這些閥門以便進(jìn)行在每一次以一充滿的氣罐代替一空的氣罐之前和之后都必須進(jìn)行的沖洗循環(huán)和泄漏檢查。另一項任務(wù)是控制管路中的這些閥門以便從由氣罐5或7中的一個供給配給裝置9切換到由另一氣罐7或5供給配給裝置9。圖8中示出了區(qū)63被激活時屏幕顯示的一個例子。在該圖中，左手邊示出了受氣罐的變化影響的設(shè)備1的一部分的方框圖，右手邊示出了可以由操作者激活的各沖洗和泄漏檢查循環(huán)，例如利用由寫明代碼F1至F5的邏輯框限定的第二控制區(qū)。該供給可以由激活寫著“左邊”和“右邊”的控制區(qū)來實現(xiàn)換向。
圖4中的圖形55示出了配給裝置的管路，下面寫著“DD”(用于配給裝置)。該圖形55確定了與一任務(wù)的激活相關(guān)聯(lián)的主控制區(qū)65，該任務(wù)涉及對由與設(shè)備1的裝置9串聯(lián)布置的配給裝置9A中的傳感器31A采集到的測量值進(jìn)行整理，并在觸摸傳感屏上顯示裝置9A的一方框圖，該方框圖與由傳感器31A采集到的測量值一起被記錄在記憶存儲裝置48內(nèi)，如圖9中所示。
從以上描述的例子中可以看出，在用于配給一種工作氣體的裝置中和裝備有這些裝置、用于提供這樣的一種氣體的設(shè)備中使用觸摸傳感屏47可以大大地簡化負(fù)責(zé)監(jiān)視這些裝置和設(shè)備的操作者的工作，而不需要對他們進(jìn)行長期和高費(fèi)用的培訓(xùn)。
權(quán)利要求
1．用于配給一種工作氣體的裝置，包括一系列管路(15,21,23)，該管路系列與至少一工作氣體源(5,7)相連，還與至少一用于將該工作氣體向一用戶工作站(10B)輸送的出口管(10,10A)相連，還包括功能部件(25,25A)，特別是布置在管路(15,21,23)中、用于調(diào)節(jié)通過這些管路的工作氣體流動的閥門(27,29,27A,29A)，和氣體泄漏檢測器(34,34A)及一操作控制單元(35,35A)，該單元包括用于與所述功能部件(35,35A)相交流的裝置(37)，用于控制與所述功能部件(25,25A)相關(guān)的各項任務(wù)的裝置(39)，和用于操縱該控制裝置(39)的裝置(45)，它可以由該配給裝置(9,9A)的操作者來操縱，該裝置的特征在于所述操縱裝置(45)包括一觸摸傳感屏(47)，該傳感屏具有與相應(yīng)的各項任務(wù)的控制相關(guān)聯(lián)的主控制區(qū)(60,61,62,63,64,65,66,67,68)，該主控制區(qū)(60,61,62,63,64,65,66,67,68)由與所述的各任務(wù)相關(guān)聯(lián)的圖形(50,51,52,53,54,55,56,57,58)所限定并永久地顯示在所述觸摸傳感屏(47)上。
2．如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于所述觸摸傳感屏(47)包括用于至少一主控制區(qū)(60,61,62,63,64,65,66,67,68)的至少一第二控制區(qū)(91,92,93,94)，該第二控制區(qū)與所述至少一主控制區(qū)(60,61,62,63,64,65,66,67,68)相關(guān)聯(lián)并涉及用于控制相應(yīng)于所述至少一主控制區(qū)(60,61,62,63,64,65,66,67,68)的任務(wù)的一指令，只要所述相應(yīng)的主控制區(qū)(60,61,62,63,64,65,66,67,68)由一操作者所激活，所述至少一第二控制區(qū)(91,92,93,94)由一與所述指令相關(guān)聯(lián)的圖形(81,82,83,84)所限定并顯示在所述觸摸傳感屏(47)上。
3．如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于所述觸摸傳感屏(47)包括一第一區(qū)(49)，該區(qū)僅用于所述主控制區(qū)(60,61,62,63,64,65,66,67,68)，還包括一第二區(qū)(80)，該第二區(qū)與所述第一區(qū)(49)不同，用于所述第二控制區(qū)(91,92,93,94)。
4．如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于所述觸摸傳感屏(47)還包括一與所述第一區(qū)(49)和第二區(qū)(80)不同的第三區(qū)(100)，該區(qū)用于顯示與一由一操作者激活的主控制區(qū)(60,61,62,63,64,65,66,67,68)相關(guān)的信息。
5．如權(quán)利要求1至4中的任一項所述的裝置，其特征在于所述操縱裝置(45)還包括用于在所述觸摸傳感屏(47)上指定一已經(jīng)由一操作者激活的控制區(qū)(60,61,62,63,64,65,66,67,68)的裝置(70)。
6．如權(quán)利要求1至5中的任一項所述的裝置，其特征在于由所述控制裝置(39)控制的一項任務(wù)涉及處理而且特別是涉及在所述觸摸傳感屏(47)上顯示由所述功能部件(25,25A)檢測出的警報，所述觸摸傳感屏的主控制區(qū)中的一個(60)是一用于激活所接收到的警報顯示的區(qū)域。
7．如權(quán)利要求1至6中的任一項所述的裝置，該裝置裝備有測量傳感器(31)，特別用于測量管路(15)中的壓力，其特征在于由所述控制裝置(39)控制的一任務(wù)涉及整理由所述測量傳感器(31)采集到的測量值并將這些值顯示在所述觸摸傳感屏(47)上，并且所述主控制區(qū)的一個(60)是一用于激活所采集到的測量值在觸摸傳感屏上顯示的區(qū)域。
8．如權(quán)利要求1至7中的任一項所述的裝置，該裝置裝備有測量傳感器(31)，特別用于測量管路中的壓力，其特征在于所述操縱裝置(45)包括用于記憶儲存一方框圖的裝置(48)，該方框圖表示，特別是用于配給所述工作氣體的裝置(9)的管路系列(15,21,23)和設(shè)置在這些管路中的閥門(27,29)，由所述控制裝置(39)控制的一任務(wù)涉及整理由所述傳感器(31)采集到的測量值和在所述觸摸傳感屏(47)上顯示所述配給裝置(9)的方框圖，并將該方框圖與由所述傳感器(31)采集到的所述測量值一起記錄在所述記憶存儲裝置(48)內(nèi)，所述主控制區(qū)中的一個(62)是一用于激活所述方框圖與采集到的所述測量值一起在所述觸摸傳感屏(47)上顯示的區(qū)域。
9．用于配給一種工作氣體的整套設(shè)備，其特征在于它包括如權(quán)利要求1至8中的任一項所述的用于配給工作氣體的一第一裝置(9)和第二裝置(9A)，該裝置串聯(lián)布置且其操作控制單元(35,35A)彼此相通，其中就第一裝置(9)來說，第二裝置(9A)是一功能部件(25)，所述第一裝置(9)的控制裝置(39)的一任務(wù)涉及監(jiān)視第二裝置(9A)的運(yùn)行狀態(tài)，該裝置被認(rèn)為是一功能部件(25)，并且所述第一裝置(9)的觸摸傳感屏的主控制區(qū)中的一個(65)是一用于激活有關(guān)第二裝置(9A)的運(yùn)行狀態(tài)的信息在所述第一裝置(9)的觸摸傳感屏(47)上顯示的區(qū)域。
10．如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其中所述第二配給裝置(9A)裝備有測量傳感器(31A)，特別用于測量其管路中的壓力，其特征在于所述第一配給裝置(9)的操縱裝置(39)包括用于記憶儲存一方框圖的裝置(48)，該方框圖具體代表的是用于配給工作氣體的第二裝置(9A)的一系列管路和布置在這些管路中的閥門，由所述第一配給裝置(9)的控制裝置(39)控制的一項任務(wù)涉及整理由所述第二配給裝置(9A)的傳感器(31A)采集到的測量值并在第一配給裝置(9)的觸摸傳感屏(47)上顯示所述第二配給裝置(9A)的方框圖和由第二配給裝置(9A)的傳感器(31A)采集到的所述測量值，所述第一裝置的觸摸傳感屏(47)的主控制區(qū)中的一個(65)是一用于在第一配給裝置(9)的觸摸傳感屏(47)上顯示第二配給裝置(9A)的方框圖及由所述第二裝置(9A)的測量傳感器(31A)采集到的測量值的區(qū)域。
11．用于供給一種工作氣體的整套設(shè)備，包括至少一個具有一定壓力的工作氣體源(5,7)，該氣體源被設(shè)置在一隔離柜(3)內(nèi)，其特征在于該設(shè)備包括一如權(quán)利要求1至8中的任一項所述的配給裝置(9)，該裝置與所述的至少一源(5,7)相連，并布置在所述隔離柜(3)內(nèi)，并且該配給裝置(9)的觸摸傳感屏(47)被設(shè)置在所述柜(3)的外部壁面上。
12．如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中所述源是一氣罐，其特征在于由所述配給裝置(9)的控制裝置(39)控制的一任務(wù)涉及在每一次以一充滿的氣罐更換一空氣罐的操作之前和之后發(fā)出沖洗管路的循環(huán)的指令，所述觸摸傳感屏(47)的主控制區(qū)的一個(63)是一用于激活控制閥門的指令以便啟動沖洗循環(huán)的區(qū)域。
13．如權(quán)利要求11或12所述的設(shè)備，包括一第一(5)和一第二(7)工作氣體源，其中這些源與所述配給裝置(9)相連并用于交替地向所述配給裝置(9)提供工作氣體，其特征在于由所述配給裝置(9)的控制裝置(39)控制的一任務(wù)是發(fā)出指令以從由第一源(5)供給配給裝置(9)切換到由第二源(7)供給配給裝置(9)，所述觸摸傳感屏(47)的主控制區(qū)的一個(63)是一用于激活控制閥門的指令以便實現(xiàn)所述切換的區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于配給一工作氣體的裝置,包括與至少一工作氣體源相連及與至少一用于將該工作氣體向一用戶工作站輸送的出口管相連的一系列管路,還包括功能部件25、25A,及一操作控制單元35、35A,該單元包括用于與所述功能部件35、35A相交流的裝置37、用于控制與所述功能部件25、25A相關(guān)的各項任務(wù)的裝置39和用于操縱該控制裝置39的裝置45,它可以由該配給裝置的操作者來操縱。操縱裝置45包括一觸摸傳感屏47,該傳感屏具有與相應(yīng)的各項任務(wù)的控制相關(guān)的主控制區(qū),該主控制區(qū)由與所述的各任務(wù)相關(guān)的圖形所限定并永久地顯示在觸摸傳感屏47上。
文檔編號G01N27/04GK1221090SQ9812603
公開日1999年6月30日 申請日期1998年12月24日 優(yōu)先權(quán)日1997年12月24日
發(fā)明者安德列·沙旺, 馬克·布爾茹瓦, 諾貝爾·方雅 申請人:液體空氣喬治洛德方法利用和研究有限公司, 阿爾卑斯自動化系統(tǒng)公司, 拉貝耶企業(yè)公司