電容器的絕緣電阻測(cè)定裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及電容器的絕緣電阻測(cè)定裝置，特別是涉及為了高速地測(cè)定大量的微小 的電容器(芯片電容器)的絕緣電阻而有效的絕緣電阻測(cè)定裝置。本發(fā)明特別涉及能夠裝入 到自動(dòng)化的芯片電容器檢查揀選裝置中并且為了高精度且高速地測(cè)定大量的芯片電容器 的絕緣電阻而有效地使用的絕緣電阻測(cè)定裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 伴隨著便攜式電話、智能電話、液晶電視、電子游戲機(jī)等小型電器的生產(chǎn)量的增 加，裝入到這樣的電器中的微小的芯片電子部件的生產(chǎn)量顯著地增加。作為代表性的芯片 電子部件，存在芯片電容器(也稱為芯片電容)，該芯片電容器的大部分由由絕緣材料構(gòu)成 的主體部和主體部的相向的兩端面的每一個(gè)所具備的電極形成。
[0003] 近年來，響應(yīng)于裝入有芯片電子部件的電器的進(jìn)一步的小型化和裝入到電器中的 芯片電子部件的個(gè)數(shù)的增加，芯片電子部件變得極其小。例如，關(guān)于芯片電容器，近年來，使 用極小的尺寸(例如，被稱為0402芯片的0. 2mm X0. 2mm X0. 4mm的尺寸)的芯片電容器。這 樣的微小的芯片電容器通過大量生產(chǎn)，以幾萬~幾十萬個(gè)這樣的單位生產(chǎn)一批。
[0004] 關(guān)于裝入到電器中的芯片電子部件，為了降低起因于該芯片電子部件的缺陷的電 器的不合格品率，通常關(guān)于大量制造的芯片電子部件的所需性能預(yù)先進(jìn)行全數(shù)檢查。具體 地，關(guān)于芯片電容器，針對(duì)其全數(shù)，預(yù)先進(jìn)行絕緣電阻、靜電容量等電特性的檢查。
[0005] 大量的芯片電容器等芯片電子部件的電特性的檢查需要高速地進(jìn)行，作為用于自 動(dòng)地進(jìn)行該高速的檢查的裝置，在近年來，通常使用具備形成有許多透孔的輸送圓盤(芯片 電子部件臨時(shí)保持板）的芯片電子部件的電特性的檢查和揀選用的自動(dòng)化裝置（即，芯片電 子部件檢查揀選裝置)。在該輸送圓盤，通常沿著圓周以排列成三列以上的多列的狀態(tài)形成 有臨時(shí)收容保持檢查對(duì)象的芯片電子部件的許多透孔。然后，在該芯片電子部件檢查揀選 裝置的使用時(shí)使芯片電子部件臨時(shí)收容保持于處于間歇的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的輸送圓盤的透孔之 后，使沿著該輸送圓盤的旋轉(zhuǎn)路徑附設(shè)的一對(duì)電極端子(檢查用觸頭）與保持于該輸送圓盤 的透孔的芯片電子部件的各電極接觸來測(cè)定該芯片電子部件的規(guī)定的電特性，接著，基于 其測(cè)定結(jié)果來實(shí)施使芯片電子部件從輸送圓盤的透孔以收容于規(guī)定的容器的方式排出來 進(jìn)行揀選(或分類）的作業(yè)。
[0006] 即，自動(dòng)化的最近的芯片電子部件的檢查揀選裝置能夠稱為包含如下部分的芯片 電子部件檢查揀選裝置：基臺(tái)、被基臺(tái)以能旋轉(zhuǎn)的方式軸支承的芯片電子部件輸送圓盤(其 中，在該芯片電子部件輸送圓盤沿著圓周形成有三列以上的能夠?qū)υ谙嘞虻亩嗣娴拿恳粋€(gè) 具有電極的芯片電子部件進(jìn)行臨時(shí)收容的透孔的列)、以及沿著該輸送圓盤的旋轉(zhuǎn)路徑依 次設(shè)置的使芯片電子部件供給收容于該輸送圓板的透孔的芯片電子部件供給收容部(供給 收容區(qū)域)、進(jìn)行芯片電子部件的電特性的檢查的芯片電子部件電特性檢查部(檢查區(qū)域)、 以及基于檢查結(jié)果對(duì)檢查完畢的芯片電子部件進(jìn)行分類的芯片電子部件分類部(分類區(qū) 域)。
[0007] 作為芯片電子部件檢查揀選裝置的例子，能夠舉出專利文獻(xiàn)1所記載的裝置。即， 在專利文獻(xiàn)1中，記載了包含如下工序的連續(xù)地檢查芯片電子部件的電特性的方法的改良 方法：使用上述的結(jié)構(gòu)的芯片電子部件檢查揀選裝置使檢查對(duì)象的芯片電子部件以彼此接 近配置的狀態(tài)收容保持于輸送圓盤的透孔，接著，經(jīng)由觸頭使檢查器電連接于芯片電子部 件的每一個(gè)，然后，從該檢查器對(duì)每一個(gè)芯片電子部件施加檢查用電壓，通過檢查器檢測(cè)由 于該檢查用電壓的施加而在各芯片電子部件產(chǎn)生的電流值。
[0008] 另一方面，作為電容器的絕緣電阻測(cè)定裝置的例子，已知有專利文獻(xiàn)2所記載的 測(cè)定裝置。即，在專利文獻(xiàn)2中，公開了通過使用包含如下部分的絕緣電阻測(cè)定裝置來測(cè)定 漏電流來測(cè)定電容器（DUT)的絕緣電阻的裝置：電源、連接于該電源的電流限制電路、以及 與連接于該電流限制電路的測(cè)定對(duì)象的電容器（DUT)的一個(gè)電極接觸的測(cè)定端子、以與連 接于該測(cè)定端子的電容器（DUT)的另一個(gè)電極接觸的方式配置的測(cè)定端子、連接于該測(cè)定 端子的電阻Ri、連接于該電阻Ri的包含運(yùn)算放大器和連接于該運(yùn)算放大器的反相輸入端 子與輸出端子之間的電阻的電流電壓變換電路、以及連接于該電流電壓變換電路的輸出側(cè) 的電壓測(cè)定工具。
[0009] 在附圖的圖1中，將專利文獻(xiàn)2所記載的電容器的絕緣電阻測(cè)定裝置（即，通過測(cè) 定電容器的漏電流來測(cè)定檢查電容器的絕緣電阻的裝置）的基本結(jié)構(gòu)與裝入到該裝置中的 漏電流測(cè)定電路一起示出。
[0010] 在圖1中，電容器的絕緣電阻測(cè)定裝置是包含如下部分的裝置：電源(被接地的 V1X連接于該電源的電流限制電路（電阻R1X以及與連接于該電流限制電路的測(cè)定對(duì)象的 電容器（DUT)的一個(gè)電極接觸的測(cè)定端子（1\)、以與連接于該測(cè)定端子的電容器（DUT)的 另一個(gè)電極接觸的方式配置的測(cè)定端子（T 2)、連接于該測(cè)定端子的電阻Ri、連接于該電阻 Ri的包含運(yùn)算放大器11和連接于該運(yùn)算放大器的反相輸入端子與輸出端子之間的電阻12 的電流電壓變換電路（IV amp)、以及連接于該電流電壓變換電路的輸出側(cè)的電壓測(cè)定工具 (V)0
[0011] 即，電容器的絕緣電阻能夠通過使用包含例如附圖的圖1所示的電路的裝置首先 進(jìn)行電容器（DUT)的充電而接著感測(cè)在完成了電容器的充電之后流動(dòng)的電流（電容器的漏 電流）來測(cè)定。再有，為了測(cè)定該電容器的漏電流而需要將漏電流的電流值變換為電壓值， 因此，使用包含用于從該電流值變換為電壓值的電流電壓變換電路的通常被稱為IV放大 器的電路。
[0012] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn) I :W02014/010623A1 ; 專利文獻(xiàn)2 :日本特開平8 - 262076號(hào)公報(bào)。
[0013] 發(fā)明要解決的課題 如圖1所示，IV放大器是包含電流電壓變換電路的放大裝置，所述電流電壓變換電路 包含運(yùn)算放大器和連接于該運(yùn)算放大器的反相輸入端子與輸出端子之間的電阻。再有，IV 放大器也有理解為還包含在其輸入側(cè)配置的電阻Ri的電流電壓變換電路的情況。
[0014] 根據(jù)本發(fā)明的發(fā)明人的討論，判明了：在使用圖1所示的通常的結(jié)構(gòu)的絕緣電阻 測(cè)定裝置來進(jìn)行電容器的絕緣電阻測(cè)定的情況下，存在IV放大器飽和這樣的問題，由于該 IV放大器的飽和而使測(cè)定所需要的時(shí)間變長(zhǎng)。即，將具備恒定電流電路的電源裝置用作為 了進(jìn)行電容器的充電的電源裝置，由此，本來通過恒定電流的充電應(yīng)該進(jìn)行到電容器的滿 充電為止，但是，實(shí)際上，在電容器短路的情況等比設(shè)想大的電流流入到IV放大器中的情 況下，發(fā)生IV放大器的虛短路（imaginary short)崩壞而不能進(jìn)行其以上恒定電流的充電 的現(xiàn)象。由于該虛短路的崩壞，IV放大器飽和，其結(jié)果是，到電容器的滿充電為止的所需時(shí) 間容易變長(zhǎng)。特別是在需要高速地測(cè)定大量的電容器的絕緣電阻的情況即意圖使用先前敘 述的芯片電子部件檢查揀選裝置來進(jìn)行大量的芯片電容器的絕緣電阻的測(cè)定的情況下等， 到該滿充電為止的所需時(shí)間變長(zhǎng)這樣的問題由于與測(cè)定效率(在每單位時(shí)間能夠測(cè)定電特 性的芯片電容器的個(gè)數(shù)）的降低有關(guān)聯(lián)，所以在實(shí)際的芯片電容器的電特性的測(cè)定作業(yè)中 成為重大的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015] 因此，本發(fā)明的主要的課題（目的）在于，提供一種能夠高速且高精度地對(duì)作為電 容器特別是大量的微小尺寸的電容器的芯片電容器的絕緣電阻進(jìn)行測(cè)定的絕緣電阻測(cè)定 裝置。
[0016] 用于解決課題的方案 為了達(dá)成上述的目的，本發(fā)明人首先討論了為了避免在使用圖1所示的結(jié)構(gòu)的絕緣電 阻測(cè)定裝置來進(jìn)行電容器的絕緣電阻測(cè)定的情況下產(chǎn)生的IV放大器飽和現(xiàn)象而防止在滿 充電的跟前的IV放大器的虛短路的發(fā)生的方案。然后，其討論的結(jié)果是，發(fā)現(xiàn)了：將一對(duì) 齊納二極管串聯(lián)且彼此相反方向地排列并連接于裝入到IV放大器中的電流電壓變換電路 (即，包含運(yùn)算放大器和連接于該運(yùn)算放大器的反相輸入端子與輸出端子之間的電阻的電 流