元件20來加強(qiáng)可能發(fā)生彈簧腿10接觸的部位。這優(yōu)選在這些區(qū)域上進(jìn)行，相對(duì)置地可運(yùn)動(dòng)的質(zhì)量結(jié)構(gòu)處于所述區(qū)域中，所述質(zhì)量結(jié)構(gòu)對(duì)彈簧裝置100的彈簧質(zhì)量系統(tǒng)的剛性不作出貢獻(xiàn)。
[0037]優(yōu)選，止擋元件20的幾何形狀尺寸與彈簧腿10的幾何形狀尺寸相匹配，所述彈簧腿的幾何形狀尺寸由微機(jī)械彈簧裝置100的常規(guī)制造過程(溝槽蝕刻步驟和氣相蝕刻步驟)產(chǎn)生。在這里，彈簧腿10的長度可為數(shù)百微米的數(shù)量級(jí)，并且彈簧腿10的厚度可為數(shù)微米的數(shù)量級(jí)。優(yōu)選止擋元件20的厚度與彈簧裝置100的頭部尺寸d相匹配。
[0038]圖2a示出根據(jù)本發(fā)明的、具有所提到的止擋元件20的彈簧裝置100的實(shí)施方式，該止擋元件布置在固定連接裝置30的一側(cè)上。在此，止擋元件20的材料優(yōu)選為與其余的彈簧裝置100相同的材料、尤其為與彈簧裝置100的支座40和彈簧腿10相同的材料。優(yōu)選，止擋元件20由多晶體娃構(gòu)成。替代地，也可以考慮其它的材料，如例如單晶體娃、錯(cuò)等等。可看到，止擋元件20布置在固定連接裝置30的這樣的區(qū)域中，該區(qū)域處于彈簧腿10與固定連接裝置或者說振動(dòng)質(zhì)量40的連接區(qū)域之外。
[0039I替代地，止擋元件20也可以在振動(dòng)質(zhì)量40的區(qū)域中布置在相應(yīng)的位置中(未示出)。優(yōu)選，止擋元件20盡可能大面積地構(gòu)造，以便由此使作用到止擋元件20的單個(gè)平面段上的壓力保持得盡可能小。例如，在一種變型中可以設(shè)置，止擋元件20遮蓋固定連接裝置30和振動(dòng)質(zhì)量40之間的整個(gè)潛在接觸區(qū)域。
[0040]以此方式，在彈簧腿10的區(qū)域中不發(fā)生機(jī)械接觸，如在圖2b中原理性地表明的這樣。這意味著，即使在止擋情況下，彈簧腿10不再接觸，從而在彈簧腿10的區(qū)域中不會(huì)發(fā)生材料損耗。
[0041]圖2c示出在多次止擋事件之后的微機(jī)械彈簧裝置100?？煽吹?，盡管經(jīng)常止擋，彈簧腿10不受損壞并且僅僅在可運(yùn)動(dòng)的質(zhì)量40的區(qū)域中發(fā)生呈凹槽或者說凹陷21形式的材料損耗，但是，該材料損耗對(duì)于彈簧裝置100來說是可接受的損壞。
[0042]因此，有利地，彈簧裝置100可以補(bǔ)償受限定的數(shù)量的錯(cuò)誤事件，例如它們也可以用于壽命非常短的裝置，比如用于短壽命的消費(fèi)品的傳感器。
[0043]圖3以流程圖示出根據(jù)本發(fā)明的方法的原理性過程，在該方法中同時(shí)實(shí)施步驟200至220。由此允許所述同時(shí)性，因?yàn)樵谖C(jī)械制造過程中實(shí)施所述步驟，在所述制造過程中使用外延、曝光和蝕刻技術(shù)。
[0044]在步驟200中構(gòu)造兩個(gè)相互平行布置的彈簧腿10。
[0045]在步驟210中構(gòu)造止擋元件20。
[0046]在步驟220中，這樣布置止擋元件20，使得可以由此阻止彈簧腿10的相互止擋。
[0047]概括地，通過本發(fā)明提出了一種微機(jī)械彈簧裝置和一種用于制造這類彈簧裝置的方法，借助于所述彈簧裝置和所述方法實(shí)現(xiàn)，在這樣的部位上發(fā)生材料損耗，所述部位在微機(jī)械彈簧裝置的彈簧剛性方面是中性的。即有意地容忍彈簧裝置的損壞，然而所述損壞僅僅有利地在以下部位出現(xiàn)，在所述部位中，所述損壞對(duì)于配備有微機(jī)械彈簧裝置的傳感器來說不具有重要意義。
[0048]以此方式可以有利地提供錯(cuò)誤操作保護(hù)或者說阻止外部壓入的機(jī)械過載的保護(hù)，借助于所述保護(hù)可以截住所定義的數(shù)量的錯(cuò)誤操作。
[0049]有利地，止擋元件20的幾何形狀延伸是這樣的，使得該止擋元件面式地遮蓋固定連接裝置30的區(qū)域。以此方式，材料損耗可以面式地分配，這促使止擋事件的數(shù)量提高。
[0050]有利地，例如微機(jī)械彈簧裝置可以使用于汽車領(lǐng)域中的慣性傳感器。
[0051]盡管在前面參照具體的實(shí)施方式說明了本發(fā)明，本發(fā)明不局限于這些實(shí)施方式。本領(lǐng)域技術(shù)人員可看到，多種變型是可能的，而不偏離本發(fā)明的核心。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.微機(jī)械彈簧裝置(100)，具有: -兩個(gè)基本上相互平行地布置的彈簧腿(10);和 -至少一個(gè)止擋元件(10 )，所述止擋元件布置用于阻止所述兩個(gè)彈簧腿(10)相互止擋。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械彈簧裝置(100)，其特征在于，所述止擋元件(10)的寬度處于所述彈簧裝置(100)頭部尺寸(d)的數(shù)量級(jí)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)械彈簧裝置(100)，其特征在于，所述止擋元件(10)與所述彈簧裝置(100)整體地構(gòu)成。4.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的微機(jī)械彈簧裝置(100)，其特征在于，所述止擋元件(1)布置在所述彈簧腿(1)的區(qū)域之外。5.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的微機(jī)械彈簧裝置(100)，其特征在于，所述止擋元件(10)布置在用于所述彈簧腿(10)的保持裝置(30，40)上。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機(jī)械彈簧裝置(100)，其特征在于，所述止擋元件(10)盡可能大面積地構(gòu)成。7.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的微機(jī)械彈簧裝置(100)，其特征在于，所述止擋元件(20)的材料為與其余彈簧裝置(100)的材料相同的材料。8.用于制造微機(jī)械彈簧裝置(100)的方法，具有以下同時(shí)實(shí)施的步驟: -構(gòu)造兩個(gè)相互平行地布置的彈簧腿(10); -構(gòu)造止擋元件(20);和 -將所述止擋元件(20)布置為使得由此可以阻止所述彈簧腿(1)相互止擋。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，所述止擋元件(20)布置在所述彈簧腿(10)之外的區(qū)域中。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中，所述止擋元件(20)布置在所述彈簧腿(10)的保持裝置(30，40)上。11.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的微機(jī)械彈簧裝置(100)在慣性傳感器中的使用。
【專利摘要】微機(jī)械彈簧裝置(100)，具有：-兩個(gè)基本上相互平行地布置的彈簧腿(10)；和-至少一個(gè)止擋元件(10)，所述止擋元件布置用于阻止所述兩個(gè)彈簧腿(10)相互止擋。
【IPC分類】G01D11/18
【公開號(hào)】CN105606143
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510789373
【發(fā)明人】O-A·普呂茨, H·施佩希特, A·皮格勒尼耶
【申請(qǐng)人】羅伯特·博世有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請(qǐng)日】2015年11月17日
【公告號(hào)】DE102014223351A1, US20160138667