熒光x射線分析方法及熒光x射線分析裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及向試樣照射激發(fā)X射線，測(cè)量與之對(duì)應(yīng)地從試樣釋放的熒光X射線并進(jìn)行試樣成分定量的熒光X射線分析方法及裝置，特別涉及使用基本參數(shù)法(以下，稱為“FP法”。)進(jìn)行試樣成分定量的熒光X射線分析方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]為了確定樹脂產(chǎn)品、食品等中含有的金屬元素等微量成分的種類、或定量這些微量成分等，需要使用熒光X射線分析。根據(jù)檢測(cè)出的熒光X射線的能量進(jìn)行微量成分的確定，另外根據(jù)熒光X射線的強(qiáng)度進(jìn)行這些微量成分的定量。
[0003]進(jìn)行試樣成分定量的方法之一為FP法(例如專利文獻(xiàn)1、2)。在FP法中，由于不需要像標(biāo)準(zhǔn)曲線法那樣，準(zhǔn)備許多由與測(cè)試試樣類似的成分構(gòu)成的、不同濃度的標(biāo)準(zhǔn)試樣，測(cè)試這些標(biāo)準(zhǔn)試樣預(yù)先做出標(biāo)準(zhǔn)曲線，因此適合含有成分種類不明的試樣的分析。
[0004]在FP法中，使用計(jì)算熒光X射線強(qiáng)度的理論公式，根據(jù)熒光X射線強(qiáng)度的實(shí)測(cè)值確定各成分的含有量。由于不能夠檢測(cè)到來(lái)自有機(jī)物的熒光X射線，因此像樹脂產(chǎn)品等主要成分為有機(jī)物的情況下，主要成分的定量值通過(guò)從全體中減去事先確定的主要成分以外的各成分的定量值來(lái)確定。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開平8-334481號(hào)公報(bào)
[0008]專利文獻(xiàn)2:日本特開2010-223908號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0010]在FP法中，進(jìn)行以被照射至試樣室的X射線照射窗的X射線全部入射到試樣為前提的理論計(jì)算。因此，以覆蓋X射線照射窗的整個(gè)表面的方式將試樣成形并對(duì)其進(jìn)行分析。但是，在像被加工成線狀的樹脂產(chǎn)品等不能成形的試樣的情況，僅有照射的X射線的一部分入射到試樣。因此，存在著以下問(wèn)題，從試樣發(fā)出的熒光X射線的強(qiáng)度與從覆蓋X射線照射窗整個(gè)表面的形狀的試樣發(fā)出的熒光X射線的強(qiáng)度相比變小，基于和測(cè)量出的強(qiáng)度值的比較而進(jìn)行理論計(jì)算的試樣成分的量與實(shí)際成分的量相比也變少。
[0011]本發(fā)明要解決的問(wèn)題是，提供一種能夠不受試樣形狀的影響、高精度地對(duì)試樣中含有的成分定量的熒光X射線分析方法及裝置。
[0012]解決問(wèn)題的技術(shù)手段
[0013]為了解決上述問(wèn)題而完成的本發(fā)明為一種熒光X射線分析方法，其向以分子式已知的有機(jī)物作為主要成分的試樣照射X射線，利用測(cè)量從該試樣釋放的X射線所得到的結(jié)果，對(duì)該試樣中含有的所述主要成分以外的含有成分進(jìn)行定量，所述熒光X射線分析方法的特征在于，
[0014]a)根據(jù)測(cè)定出的熒光X射線的能量，確定所述含有成分的種類；
[0015]b)根據(jù)來(lái)自所述試樣的熒光X射線強(qiáng)度的測(cè)定值，設(shè)定所述含有成分的定量值；
[0016]c)根據(jù)來(lái)自所述試樣的散射X射線強(qiáng)度的測(cè)定值，以及假設(shè)試樣由所述主要成分構(gòu)成且照射的X射線全部入射到試樣而計(jì)算出的散射X射線強(qiáng)度的理論值，計(jì)算表示對(duì)于所述試樣的X射線的照射率的面積占有率；
[0017]d)根據(jù)使用所述含有成分的定量值以及所述面積占有率而計(jì)算出的熒光X射線強(qiáng)度的理論值與所述熒光X射線強(qiáng)度的測(cè)定值的比較結(jié)果，再計(jì)算所述含有成分的定量值；
[0018]e)根據(jù)使用所述再計(jì)算后的含有成分的定量值以及所述面積占有率而計(jì)算出的散射X射線強(qiáng)度的理論值與所述散射X射線強(qiáng)度的測(cè)定值的比較結(jié)果，再計(jì)算所述面積占有率；
[0019]f)反復(fù)進(jìn)行所述含有成分的定量值的再計(jì)算以及所述面積占有率的再計(jì)算，將該再計(jì)算后的定量值和/或所述面積占有率滿足預(yù)先設(shè)定的收斂條件時(shí)的定量值作為所述含有成分的確定定量值。
[0020]作為上述散射X射線，一般使用X射線管靶的康普頓散射X射線、瑞利散射X射線，但是，只要是反映對(duì)于試樣的X射線的照射區(qū)域的大小發(fā)生強(qiáng)度變化的散射X射線即可，也可以使用事先設(shè)定能量的連續(xù)X射線。
[0021]使用本發(fā)明涉及的熒光X射線分析方法，原則上定量厚度已知的試樣的含有成分，但是，假如在試樣厚度不明的情況下，也可以通過(guò)基于能量不同的散射射線強(qiáng)度之比的理論計(jì)算，在估算試樣厚度的基礎(chǔ)上，對(duì)該試樣的含有成分進(jìn)行定量。可以使用例如以銠作為靶材發(fā)射出的X射線的散射射線，即RhKa射線和RhLa射線，作為能量不同的散射射線。
[0022]使用本發(fā)明涉及的熒光X射線分析方法，將散射X射線強(qiáng)度的測(cè)定值和假設(shè)全部X射線對(duì)試樣進(jìn)行了有效照射而計(jì)算出的散射X射線的全強(qiáng)度的理論值進(jìn)行比較，計(jì)算面積占有率，通過(guò)將該面積占有率用于熒光X射線強(qiáng)度的理論值的計(jì)算，修正根據(jù)試樣形狀而不同的熒光X射線強(qiáng)度。然后，為了散射X射線強(qiáng)度以及熒光X射線強(qiáng)度的理論值分別與各自的測(cè)定值相匹配，使面積占有率以及含有成分的定量值收斂，確定該定量值。因此，能夠不受試樣形狀的影響，高精度地對(duì)試樣中所含有的成分定量。
[0023]為了解決上述問(wèn)題而完成的本發(fā)明的另一種形態(tài)為一種熒光X射線分析裝置，其向以分子式已知的有機(jī)物作為主要成分的試樣照射X射線，利用測(cè)量從該試樣釋放的X射線所得到的結(jié)果，對(duì)該試樣中含有的所述主要成分以外的含有成分進(jìn)行定量，所述熒光X射線分析裝置的特征在于，其包括，
[0024]a)含有成分確定部，其根據(jù)測(cè)定出的熒光X射線的能量，確定所述含有成分的種類；
[0025]b)定量值設(shè)定部，其根據(jù)來(lái)自所述試樣的熒光X射線強(qiáng)度的測(cè)定值，設(shè)定所述含有成分的定量值；
[0026]c)面積占有率計(jì)算部，其根據(jù)來(lái)自所述試樣的散射X射線強(qiáng)度的測(cè)定值，以及假設(shè)試樣由所述主要成分構(gòu)成且照射的X射線全部入射到試樣而計(jì)算出的散射X射線強(qiáng)度的理論值，計(jì)算表示對(duì)于所述試樣的X射線的照射率的面積占有率；
[0027]d)定量值再計(jì)算部，其根據(jù)使用所述含有成分的定量值以及所述面積占有率而計(jì)算出的熒光X射線強(qiáng)度的理論值與所述熒光X射線強(qiáng)度的測(cè)定值的比較結(jié)果，再計(jì)算所述含有成分的定量值；
[0028]e)面積占有率再計(jì)算部，其根據(jù)使用所述再計(jì)算后的含有成分的定量值以及所述面積占有率而計(jì)算出的散射X射線強(qiáng)度的理論值與所述散射X射線強(qiáng)度的測(cè)定值的比較結(jié)果，再計(jì)算所述面積占有率;以及，
[0029]f)定量值確定部，其反復(fù)執(zhí)行所述定量值再計(jì)算部的計(jì)算以及所述面積占有率再計(jì)算部的計(jì)算，將該再計(jì)算后的定量值和/或所述面積占有率滿足預(yù)先設(shè)定的收斂條件時(shí)的定量值確定為所述含有成分的確定定量值。
[0030]發(fā)明的效果
[0031]本發(fā)明涉及的熒光X射線分析方法及裝置，使用用于進(jìn)行根據(jù)試樣形狀而不同的熒光X射線強(qiáng)度的修正的面積占有率，為了散射X射線強(qiáng)度以及熒光X射線強(qiáng)度的理論值分別與各自的測(cè)定值相吻合，使面積占有率以及含有成分的定量值收斂，確定該定量值。因此，能夠不受試樣形狀的影響，高精度地對(duì)試樣中所含有的成分進(jìn)行定量。
【附圖說(shuō)明】
[0032]圖1為用于本發(fā)明涉及的熒光X射線分析方法的熒光X射線分析裝置的一個(gè)實(shí)例的主要部分結(jié)構(gòu)圖。
[0033]圖2為說(shuō)明本發(fā)明涉及的熒光X射線分析方法的一個(gè)實(shí)施例的分析順序的流程圖。
[0034]圖3為表示能夠?qū)⒈景l(fā)明涉及的熒光X射線分析方法恰當(dāng)?shù)剡\(yùn)用的試樣的實(shí)例的圖
[0035]圖4為表示