用于檢測二氧化氮的納米材料及氣敏傳感器元件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了兩種可以對(duì)二氧化氮進(jìn)行檢測的有機(jī)半導(dǎo)體納米材料以及有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料，制備方法為：將N?正己基?N′?(氨基?1?乙醇)?1,6,7,12?四氯?3,4:9,10?苝二酰亞胺的氯仿溶液滴加到玻璃瓶中，然后注入甲醇或飽和ZnSO4的甲醇溶液，靜置48小時(shí)，或：靜置48小時(shí)，轉(zhuǎn)移到裝有甲醇的錐形瓶中，通硫化氫氣體8小時(shí)。本發(fā)明還提供了與兩種材料相對(duì)應(yīng)的二氧化氮產(chǎn)生響應(yīng)的氣敏傳感器。本發(fā)明的兩種納米材料，在室溫下對(duì)100～1000ppm范圍內(nèi)二氧化氮具有良好的響應(yīng)，且二氧化氮濃度與靈敏度具有良好的線性規(guī)律，具有響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間快速，穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】
用于檢測二氧化氮的納米材料及氣敏傳感器元件
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及用于檢測二氧化氮的納米材料及氣敏傳感器元件，屬于有機(jī)半導(dǎo)體納米材料以及有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]環(huán)境保護(hù)是人類面臨的共同問題，運(yùn)用氣敏傳感器制作而成的氣體檢測與監(jiān)控警報(bào)系統(tǒng)為環(huán)境保護(hù)提供了一種有效的監(jiān)控手段。室外大氣NO2主要來源于煤炭燃燒和汽車尾氣排放，室內(nèi)NO2主要來源于燃煤灶、燃?xì)庠钍褂煤统闊煹龋S多職業(yè)場所包括用乙炔吹管焊接、電鍍、金屬清洗、采礦、染料制造、油漆以及公共場所如車庫、渡輪和滑雪場中也可接觸到高濃度NO2 AO2由口鼻進(jìn)入體內(nèi)時(shí)可通過腐蝕和刺激作用損害呼吸道深部細(xì)支氣管及肺泡，故而人們對(duì)NO2污染誘導(dǎo)呼吸系統(tǒng)損傷進(jìn)而誘發(fā)相關(guān)疾病的效應(yīng)給予了大量的關(guān)注。近年來，關(guān)于NO2誘導(dǎo)各類疾病病死率上升的流行病學(xué)數(shù)據(jù)大量涌現(xiàn)，特別是有學(xué)者指出，NO2會(huì)影響心腦血管系統(tǒng)和神經(jīng)功能，并提示肺和支氣管不是NO2毒性作用的唯一靶器官。因此，NO2所引發(fā)的健康問題成為了國際共同關(guān)注的焦點(diǎn)話題。因此，能夠準(zhǔn)確、快速對(duì)NO2進(jìn)行檢測顯得非常重要。目前檢測有害的有機(jī)蒸汽最有效的方式之一是氣敏傳感器。
[0003]二氧化氮的氣敏傳感器所用的材料一般分為金屬氧化物半導(dǎo)體材料和有機(jī)半導(dǎo)體材料?，F(xiàn)在常用于測試有機(jī)蒸汽的材料大多是無機(jī)物，而且大量研究表明，金屬氧化物半導(dǎo)體材料傳感器不足之處在于工作溫度高，溫度一般在300?600 °C，消耗功率大，成本較高，大大限制了其實(shí)際應(yīng)用；而常用的有機(jī)半導(dǎo)體材料主要有酞菁類、撲啉類、茈酰亞胺類等，這些化合物由于具有大的共軛體系，其分子內(nèi)部及大環(huán)之間具有強(qiáng)烈的J1-Ji相互作用，具有良好的熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性以及獨(dú)特的光電性質(zhì)，使其在電、磁、光等性質(zhì)備受研究者的青睞，并且有機(jī)半導(dǎo)體材料傳感器具有較快的響應(yīng)恢復(fù)速度、可在常溫或接近常溫下工作、成本低廉且易于工業(yè)化等優(yōu)點(diǎn)，大大提高了其可實(shí)用性，使其在氣體傳感器領(lǐng)域中占有非常重要的地位。有機(jī)無機(jī)半導(dǎo)體摻雜材料由于其獨(dú)特的異質(zhì)結(jié)效應(yīng)，更有利于電荷之間的轉(zhuǎn)移，氣體的自由擴(kuò)散，增強(qiáng)氣體的吸附和解吸。因此，制備有機(jī)半導(dǎo)體納米材料以及有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料對(duì)于研究其氣敏性能具有重要的實(shí)用價(jià)值意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供了可以在室溫下對(duì)有害的二氧化氮進(jìn)行檢測且響應(yīng)性極好的有機(jī)半導(dǎo)體納米材料以及有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料，還提供了相應(yīng)的對(duì)二氧化氮產(chǎn)生響應(yīng)的氣敏傳感器。
[0005]本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0006]一種用于檢測二氧化氮的有機(jī)半導(dǎo)體納米材料PDI，是通過以下方法制備得到的:將I?1mL的濃度為Img.mL—1的N-正己基-N'-(氨基-1-乙醇)_1，6，7，12-四氯-3，4:9，10-茈二酰亞胺的氯仿溶液緩緩滴加到玻璃瓶(事先清洗干凈，干燥)中，然后沿瓶壁緩緩注入3?30mL的甲醇，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，即得到機(jī)半導(dǎo)體納米材料TOI。
[0007]所述有機(jī)半導(dǎo)體納米材料roi在制備二氧化氮?dú)饷魝鞲衅髦械膽?yīng)用。
[0008]一種用于檢測二氧化氮的有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/ZnS，是通過以下方法制備得到的:將！?1mL的濃度為Img.ιΛ—1的N-正己基1-(氨基-1-乙醇)-1，6，7，12_四氯-3，4:9,10-茈二酰亞胺的氯仿溶液緩緩滴加到玻璃瓶(事先清洗干凈，干燥)中，然后沿瓶壁緩緩注入3?30mL的飽和ZnSOj^甲醇溶液，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/Ζη2+;將有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/Zn2+轉(zhuǎn)移到裝有甲醇(純凈的甲醇)的錐形瓶中，向其中通硫化氫氣體8小時(shí)，即得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料ΗΠ/ZnS。
[0009]所述有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/ZnS在制備二氧化氮?dú)饷魝鞲衅髦械膽?yīng)用。
[0010]一種用于檢測二氧化氮的氣敏傳感器元件，包括ITO導(dǎo)電玻璃基底，ITO導(dǎo)電玻璃基底刻蝕為ITO叉指電極，ITO叉指電極上具有有機(jī)半導(dǎo)體納米材料PDI或有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/ZnS;
[0011 ]所述有機(jī)半導(dǎo)體納米材料PDI是通過以下方法制備得到的:將I?1mL的濃度為Img.mL—1的N-正己基-N:(氨基-1-乙醇)-1，6，7，12_四氯-3，4:9，10-茈二酰亞胺的氯仿溶液緩緩滴加到玻璃瓶(事先清洗干凈，干燥)中，然后沿瓶壁緩緩注入3?30mL的甲醇，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，即得到機(jī)半導(dǎo)體納米材料roi;
[00?2]所述有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/ZnS是通過以下方法制備得到的:將I?1mL的濃度為Img.mL—1的N-正己基1-(氨基-卜乙醇)-1，6，7，12_四氯-3，4:9，10-茈二酰亞胺的氯仿溶液緩緩滴加到玻璃瓶(事先清洗干凈，干燥)中，然后沿瓶壁緩緩注入3?30mL的飽和ZnSOJ^甲醇溶液，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/Zn2+;將有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/Zn2+轉(zhuǎn)移到裝有甲醇(純凈的甲醇)的錐形瓶中，向其中通硫化氫氣體8小時(shí)，即得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料ΗΠ/ZnS。
[0013]所述用于檢測二氧化氮的氣敏傳感器元件的制備方法為:
[0014](I)ITO導(dǎo)電玻璃叉指電極的制備:取ITO導(dǎo)電玻璃，清洗，干燥，然后將ITO導(dǎo)電玻璃基底刻蝕為ITO叉指電極(為現(xiàn)有技術(shù))；
[0015]所述ITO導(dǎo)電玻璃清洗，干燥的具體方式為:將ITO導(dǎo)電玻璃放入燒杯中，在超聲波清洗器中依次用不同極性的溶劑甲苯、丙酮、無水乙醇、二次水超聲清洗，每種溶劑清洗三次(每種溶劑清洗三次是指連著清洗)，每次十分鐘，然后真空干燥，備用；
[0016](2)將有機(jī)半導(dǎo)體納米材料roi或有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/ZnS，用滴管滴到ITO叉指電極上(滴加量為:每平方厘米滴加0.2ml)，待溶劑(溶劑是指甲醇)揮發(fā)后，真空干燥，即得到氣敏傳感器元件。
[0017]本發(fā)明制備的用于測定二氧化氮的氣敏傳感器元件，所用的納米材料的組分為由N-正己基-Y _(氨基-1-乙醇)_1，6，7，12-四氯-3，4:9，10-茈二酰亞胺PDI和硫化鋅所構(gòu)筑成的兩種有機(jī)半導(dǎo)體納米材料和有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料，其中，有機(jī)半導(dǎo)體納米材料roi，在室溫下對(duì)100?100ppm范圍內(nèi)二氧化氮具有良好的響應(yīng)，且二氧化氮濃度與靈敏度具有良好的線性規(guī)律;有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/ZnS，在室溫下對(duì)100?100ppm范圍內(nèi)二氧化氮具有更高的響應(yīng)，且二氧化氮濃度與靈敏度具有更好的線性規(guī)律，這樣的有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料組合使得氣敏性質(zhì)變得更好。
[0018]本發(fā)明的用于測定二氧化氮的氣敏傳感器元件，具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0019](I)能夠在室溫下測定二氧化氮，無安全隱患。
[0020](2)對(duì)有害氣體二氧化氮的響應(yīng)濃度低至lOOppm，響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間快速，穩(wěn)定性好。
[0021](3)結(jié)構(gòu)及制備工藝簡單，成本低廉，便于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化。
【附圖說明】
[0022]圖1:化合物roi分子結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2: 二氧化氮?dú)饷魝鞲衅髦袣饷舨牧系腟EM圖，其中，A:PDI;B:PDI/ZnS。
[0024]圖3:二氧化氮?dú)饷魝鞲衅髟慕Y(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖4:二氧化氮?dú)饷魝鞲衅鞯碾娏?電壓的曲線(室溫條件)。
[0026]圖5: 二氧化氮?dú)饷魝鞲衅鲗?duì)二氧化氮的響應(yīng)恢復(fù)曲線(室溫條件)。
[0027]圖6:二氧化氮?dú)饷魝鞲衅鲗?duì)二氧化氮的響應(yīng)與二氧化氮濃度關(guān)系曲線。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。
[0029]下述實(shí)施例中所涉及的儀器、試劑、材料等，若無特別說明，均為現(xiàn)有技術(shù)中已有的常規(guī)儀器、試劑、材料等，可通過正規(guī)商業(yè)途徑獲得。下述實(shí)施例中所涉及的實(shí)驗(yàn)方法，檢測方法等，若無特別說明，均為現(xiàn)有技術(shù)中已有的常規(guī)實(shí)驗(yàn)方法，檢測方法等。
[0030]實(shí)施例1有機(jī)半導(dǎo)體納米材料roi以及有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/ZnS的制備[0031 ] 步驟如下:
[0032](D首先，稱取化合物N-正己基-N'-(氨基_丨-乙醇)-16,7,12-四氯_3，4:9，10-茈二酰亞胺(結(jié)構(gòu)式如圖1所示)10mg，加入1mL容量瓶中，加入氯仿至刻度，配成濃度為Img/mL的溶液，待用；
[0033](2)將體積為1cm3的玻璃瓶用二次水清洗干凈，干燥，然后將ImL的步驟(I)的溶液緩緩滴加到玻璃瓶中，然后再沿瓶壁緩緩注入3mL的甲醇，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，即得到有機(jī)半導(dǎo)體納米材料ΗΠ;進(jìn)行掃描電子顯微鏡SEM形貌的測試，如圖2A所示；
[0034](3)將體積為1cm3的玻璃瓶用二次水清洗干凈，干燥，然后將ImL的步驟(I)的溶液緩緩滴加到玻璃瓶中，然后再沿瓶壁緩緩注入3mL的飽和ZnSOJ^甲醇溶液，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/Zn2+;將有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/Zn2+轉(zhuǎn)移到裝有純凈的1mL甲醇的錐形瓶中，向其中通硫化氫氣體8小時(shí)，即得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料ΗΠ/ZnS;進(jìn)行掃描電子顯微鏡SEM形貌的測試，如圖2B所示。
[0035]實(shí)施例2二氧化氮?dú)饷魝鞲衅髟闹苽?br>[0036]步驟如下:
[0037](I)ITO導(dǎo)電玻璃叉指電極的制備:取ITO導(dǎo)電玻璃，清洗，干燥，然后將ITO導(dǎo)電玻璃基底刻蝕為ITO叉指電極；
[0038]所述ITO導(dǎo)電玻璃清洗，干燥的具體方式為:將ITO導(dǎo)電玻璃放入燒杯中，在超聲波清洗器中依次用不同極性的溶劑甲苯、丙酮、無水乙醇、二次水超聲清洗，每種溶劑清洗三次，每次十分鐘，然后真空干燥，備用；
[0039](2)將有機(jī)半導(dǎo)體納米材料PDI，用滴管滴到ITO叉指電極上(滴加量為:每平方厘米滴加0.2ml)，待溶劑揮發(fā)后，真空干燥，即得到氣敏傳感器元件(如圖3所示)，進(jìn)行1-V性能測試，如圖4所示；
[0040]將有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/ZnS，用滴管滴到ITO叉指電極上(滴加量為:每平方厘米滴加0.2ml)，待溶劑揮發(fā)后，真空干燥，即得到氣敏傳感器元件(如圖3所示)，進(jìn)行1-V性能測試，如圖4所示。
[0041 ]實(shí)施例3 二氧化氮?dú)饷魝鞲衅鞯男阅軠y定(有機(jī)半導(dǎo)體納米材料F1DI)
[0042]氣敏測試裝置是由實(shí)驗(yàn)室構(gòu)建的，氣敏測試過程是在一個(gè)比較溫和的環(huán)境(室溫、外界大氣壓及干燥空氣下)和兩個(gè)電極間固定偏壓5V下，對(duì)有機(jī)半導(dǎo)體納米材料roi單組分的氣敏元件進(jìn)行氣敏性能檢測。使用測試儀器:安捷倫B290a精密源/測量單元。
[0043]氣敏傳感器的靈敏度(S)是氣敏元件對(duì)被測氣體敏感程度的指標(biāo)。
[0044]S=(Al/lbaseline)X100%
[0045]其中ΔI = Ig-1base3line3,18是當(dāng)二氧化氮與敏感層發(fā)生交換時(shí)測得的電流值，Iba-是敏感層在未接觸氣體時(shí)的電流值。
[0046]結(jié)果如圖5、圖6所示，結(jié)果顯示，在室溫下，本發(fā)明的有機(jī)半導(dǎo)體納米材料PDI的氣體傳感器對(duì)不同濃度的二氧化氮具有較好的響應(yīng)，檢測限可以達(dá)到lOOppm，響應(yīng)時(shí)間及其恢復(fù)時(shí)間快，在10ppm?100ppm濃度范圍內(nèi)二氧化氮濃度與響應(yīng)靈敏度具有良好的線性關(guān)系。
[0047]實(shí)施例4二氧化氮?dú)饷魝鞲衅鞯男阅軠y定(有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/ZnS)
[0048]氣敏測試裝置是由實(shí)驗(yàn)室構(gòu)建的，氣敏測試過程是在一個(gè)比較溫和的環(huán)境(室溫、外界大氣壓及干燥空氣下)和兩個(gè)電極間固定偏壓5V下，對(duì)有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料ΗΠ/ZnS的氣敏元件進(jìn)行氣敏性能檢測。使用測試儀器:安捷倫B290a精密源/測量單元。
[0049]氣敏傳感器的靈敏度(S)是氣敏元件對(duì)被測氣體敏感程度的指標(biāo)。
[0050]S=(Al/lbaseline)X100%
[0051]其中ΔI = Ig-1base3line3,18是當(dāng)二氧化氮與敏感層發(fā)生交換時(shí)測得的電流值，Iba-是敏感層在未接觸氣體時(shí)的電流值。
[0052]結(jié)果如圖5、圖6所示，結(jié)果顯示，在室溫下，本發(fā)明的有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/ZnS的氣體傳感器對(duì)不同濃度的二氧化氮具有更優(yōu)秀的響應(yīng)，檢測限可以達(dá)到lOOppm，響應(yīng)時(shí)間及其恢復(fù)時(shí)間快，在10ppm?100ppm濃度范圍內(nèi)二氧化氮濃度與響應(yīng)靈敏度具有良好的線性關(guān)系。即有機(jī)半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)的氣敏傳感器在室溫下對(duì)二氧化氮具有靈敏性高、響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間快等優(yōu)點(diǎn)，適合用作二氧化氮?dú)饷粼?，這使得這種方法在實(shí)際的生活和工業(yè)生產(chǎn)中具有潛在的應(yīng)用前景。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于檢測二氧化氮的有機(jī)半導(dǎo)體納米材料roi，其特征在于:是通過以下方法制備得到的:將I?1mL的濃度為Img.mL—1的N-正己基-Y _(氨基-1-乙醇)_1，6，7，12-四氯-3,4:9,10-茈二酰亞胺的氯仿溶液滴加到玻璃瓶中，然后沿瓶壁緩注入3?30mL的甲醇，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，即得到機(jī)半導(dǎo)體納米材料TOI。2.權(quán)利要求1所述的有機(jī)半導(dǎo)體納米材料ΗΠ的制備方法，其特征在于:將I?1mL的濃度為Img.mL—1的N-正己基1-(氨基-卜乙醇)-1，6，7，12_四氯-3，4:9，10-茈二酰亞胺的氯仿溶液滴加到玻璃瓶中，然后沿瓶壁緩注入3?30mL的甲醇，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，即得到機(jī)半導(dǎo)體納米材料roi。3.權(quán)利要求1所述的有機(jī)半導(dǎo)體納米材料PDI在制備二氧化氮?dú)饷魝鞲衅髦械膽?yīng)用。4.一種用于檢測二氧化氮的有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料ΗΠ/ZnS，其特征在于:是通過以下方法制備得到的:將I?1mL的濃度為Img.mL—1的N-正己基-Y _(氨基-1_乙醇)-1，6，7，12-四氯-3，4:9，10-茈二酰亞胺的氯仿溶液滴加到玻璃瓶中，然后沿瓶壁注入3?30mL的飽和ZnSOJ^甲醇溶液，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/Zn2+;將有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/Zn2+轉(zhuǎn)移到裝有甲醇的錐形瓶中，向其中通硫化氫氣體8小時(shí)，即得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料ΗΠ/ZnS。5.權(quán)利要求4所述的有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/ZnS的制備方法，其特征在于:將I?1mL的濃度為Img.mL—1的N-正己基-N'-(氨基-1-乙醇)-1，6，7，12-四氯-3，4:9，10-茈二酰亞胺的氯仿溶液滴加到玻璃瓶中，然后沿瓶壁注入3?30mL的飽和ZnSOj^甲醇溶液，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/Ζη2+;將有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/Ζη2+轉(zhuǎn)移到裝有甲醇的錐形瓶中，向其中通硫化氫氣體8小時(shí)，即得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料ΗΠ/ZnS。6.權(quán)利要求4所述的有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/ZnS在制備二氧化氮?dú)饷魝鞲衅髦械膽?yīng)用。7.—種用于檢測二氧化氮的氣敏傳感器元件，其特征在于:包括ITO導(dǎo)電玻璃基底，ITO導(dǎo)電玻璃基底刻蝕為ITO叉指電極，ITO叉指電極上具有有機(jī)半導(dǎo)體納米材料roi或有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/ZnS ； 所述有機(jī)半導(dǎo)體納米材料PDI是通過以下方法制備得到的:將I?1mL的濃度為Img.mL—1的N-正己基-Y-(氨基-1-乙醇)-1，6，7，12-四氯-3，4:9，10-茈二酰亞胺的氯仿溶液滴加到玻璃瓶中，然后沿瓶壁注入3?30mL的甲醇，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，即得到機(jī)半導(dǎo)體納米材料roi; 所述有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料F1DI / ZnS是通過以下方法制備得到的:將I?I OmL的濃度為Img.mL—1的N-正己基-N:(氨基-1-乙醇)-1，6，7，12_四氯-3，4:9，10-茈二酰亞胺的氯仿溶液滴加到玻璃瓶中，然后沿瓶壁注入3?30mL的飽和ZnSOj^甲醇溶液，用瓶蓋蓋住玻璃瓶，靜置48小時(shí)，得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/Ζη2+;將有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/Ζη2+轉(zhuǎn)移到裝有甲醇的錐形瓶中，向其中通硫化氫氣體8小時(shí)，即得到有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料PDI/ZnS08.權(quán)利要求7所述的用于檢測二氧化氮的氣敏傳感器元件的制備方法，其特征在于:步驟如下: (I)ITO導(dǎo)電玻璃叉指電極的制備:取ITO導(dǎo)電玻璃，清洗，干燥，然后將ITO導(dǎo)電玻璃基底刻蝕為ITO叉指電極； (2)將有機(jī)半導(dǎo)體納米材料roi或有機(jī)無機(jī)摻雜納米材料roi/ZnS，用滴管滴到ITO叉指電極上(滴加量為:每平方厘米滴加0.2ml)，待溶劑揮發(fā)后，真空干燥，S卩得到氣敏傳感器元件。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其特征在于:所述ITO導(dǎo)電玻璃清洗，干燥的具體方式為:將ITO導(dǎo)電玻璃放入燒杯中，在超聲波清洗器中依次用不同極性的溶劑甲苯、丙酮、無水乙醇、二次水超聲清洗，每種溶劑清洗三次，每次十分鐘，然后真空干燥，備用。
【文檔編號(hào)】B82Y30/00GK105842287SQ201610150623
【公開日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2016年3月16日
【發(fā)明人】馬盼, 呂亮
【申請(qǐng)人】濟(jì)南市農(nóng)業(yè)科學(xué)研究院