根據(jù)多個(gè)待測(cè)點(diǎn)的水平位置調(diào)整探針的位移距離的方法
【專利摘要】本發(fā)明是一種根據(jù)多個(gè)待測(cè)點(diǎn)的水平位置調(diào)整探針的位移距離的方法，該方法是應(yīng)用至一點(diǎn)測(cè)裝置，使該點(diǎn)測(cè)裝置執(zhí)行一等壓調(diào)校程序，令驅(qū)動(dòng)裝置能移動(dòng)多支探針，進(jìn)而使該等探針的針尖分別觸壓多個(gè)待測(cè)點(diǎn)，且使該點(diǎn)測(cè)裝置分別接收探針施加至待測(cè)點(diǎn)的一點(diǎn)測(cè)壓力，然后，判斷該等點(diǎn)測(cè)壓力間的一差值，是否位于內(nèi)建的一門坎值范圍內(nèi)，若是，即完成該等壓調(diào)校程序；否則，驅(qū)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)裝置，進(jìn)一步調(diào)校各該探針的針尖與對(duì)應(yīng)的各該待測(cè)點(diǎn)間的距離。如此，即可有效避免因點(diǎn)測(cè)壓力過大或過小，而造成待測(cè)物損壞或影響點(diǎn)測(cè)的精準(zhǔn)度。
【專利說明】
根據(jù)多個(gè)待測(cè)點(diǎn)的水平位置調(diào)整探針的位移距離的方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明是一種能根據(jù)待測(cè)物上的多個(gè)待測(cè)點(diǎn)的水平位置，調(diào)整其對(duì)應(yīng)的各個(gè)探針的針壓，以使各個(gè)待測(cè)點(diǎn)所承受的針壓位于預(yù)定的范圍內(nèi)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有發(fā)光二極管(Light-Emitting D1de，簡(jiǎn)稱LED)是一種在通電后能產(chǎn)生光亮的半導(dǎo)體電子組件，其主要的發(fā)光組件為晶粒(crystal grain)，由于晶粒的發(fā)光亮度、波長(zhǎng)、色溫及操作電壓等特性會(huì)因制程條件上的些微差異而有所不同，因此，本領(lǐng)域技術(shù)人員通常會(huì)透過一點(diǎn)測(cè)裝置執(zhí)行“點(diǎn)測(cè)程序”，以能將電流準(zhǔn)確地傳送至晶粒，并通過測(cè)量該晶粒所發(fā)出的光線特性(如:波長(zhǎng)、發(fā)光強(qiáng)度、顏色等)，判斷出晶粒的制造質(zhì)量，進(jìn)而控管晶粒的出廠良率。
[0003]請(qǐng)參閱圖1及2所示，為
【申請(qǐng)人】先前所設(shè)計(jì)的一點(diǎn)測(cè)裝置I的示意圖，該點(diǎn)測(cè)裝置I包括一承載臺(tái)11及多個(gè)針座12(在圖1中僅繪示出一個(gè)針座12)，其中，該承載臺(tái)11的頂面能供放置至少一待測(cè)物(如:LED晶粒、集成電路等)，其底面則設(shè)有一第一驅(qū)動(dòng)裝置13，該第一驅(qū)動(dòng)裝置13能帶動(dòng)該承載臺(tái)11沿水平向或垂直向位移，在該實(shí)施例中，該第一驅(qū)動(dòng)裝置13包括一第一縱向運(yùn)動(dòng)部131及一第一橫向運(yùn)動(dòng)部133，其中，該第一縱向運(yùn)動(dòng)部131能帶動(dòng)該承載臺(tái)11沿該點(diǎn)測(cè)裝置I的縱向位移，該第一橫向運(yùn)動(dòng)部133能帶動(dòng)該承載臺(tái)11沿該點(diǎn)測(cè)裝置I的橫向位移，如此，本領(lǐng)域技術(shù)人員便能夠透過該第一驅(qū)動(dòng)裝置13而控制該承載臺(tái)11的位置。
[0004]請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D1及2所示，各該針座12是位于該承載臺(tái)11的上方，其一端分別設(shè)有一探針121，其中，該探針121的一端是連接至針座12的一端，其另一端(S卩，針尖)則朝該承載臺(tái)11的頂面方向延伸，另外，各該針座12分別與一第二驅(qū)動(dòng)裝置14相連接，該第二驅(qū)動(dòng)裝置14能帶動(dòng)該針座12沿水平向或垂直向位移，在該實(shí)施例中，該第二驅(qū)動(dòng)裝置14包括一第二縱向運(yùn)動(dòng)部141及一第二橫向運(yùn)動(dòng)部143，其中，該第二縱向運(yùn)動(dòng)部141能帶動(dòng)該針座12沿該點(diǎn)測(cè)裝置I的縱向位移，該第二橫向運(yùn)動(dòng)部143能帶動(dòng)該針座12沿該點(diǎn)測(cè)裝置I的橫向位移，如此，本領(lǐng)域技術(shù)人員便能夠通過該第二驅(qū)動(dòng)裝置14而調(diào)整該針座12的位置。
[0005 ] 一般言，LED晶粒的尺寸約為1000?150微米(μπι )，其上的待測(cè)點(diǎn)(pad)的尺寸大小通常為50?70微米(μπι)，因此，工作人員無(wú)法利用肉眼的方式觀看各個(gè)待測(cè)點(diǎn)的水平位置，且工作人員也無(wú)法手動(dòng)地微調(diào)多個(gè)探針121的針尖位置，因此，工作人員通常會(huì)將LED晶粒的待測(cè)點(diǎn)視為同一個(gè)水平位置，而采用同一個(gè)點(diǎn)測(cè)壓力，因此，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D1及2所示，現(xiàn)有的“點(diǎn)測(cè)程序”中，當(dāng)工作人員要檢測(cè)LED晶粒的質(zhì)量時(shí)，能夠使第一驅(qū)動(dòng)裝置13及第二驅(qū)動(dòng)裝置14分別動(dòng)作，以使該承載臺(tái)11及該等針座12分別位于一點(diǎn)測(cè)位置，同時(shí)，該等針座12的探針121的另一端(S卩，針尖)會(huì)保持在同一水平位置，然后，該等第二驅(qū)動(dòng)裝置14會(huì)同時(shí)帶動(dòng)該等針座12朝該承載臺(tái)11的方向位移，直至該等探針121的另一端同時(shí)觸碰到承載臺(tái)11上的LED晶粒后，將電流傳送至LED晶粒，以測(cè)量該LED晶粒所發(fā)出的光線特性。只是一般而言，LED晶粒上的多個(gè)待測(cè)點(diǎn)，彼此間的水平高度并不相同，因此，當(dāng)該等探針121同時(shí)下移并抵壓至對(duì)應(yīng)的待測(cè)點(diǎn)后，倘若該等探針121的點(diǎn)測(cè)壓力(S卩，探針121所施加至待測(cè)點(diǎn)的壓力)是適合位于水平位置較低的待測(cè)點(diǎn)，則勢(shì)必會(huì)造成位于水平位置較高的待測(cè)點(diǎn)，承受較大的點(diǎn)測(cè)壓力，如此，在長(zhǎng)時(shí)間使用下，不僅會(huì)加速探針121的磨損率，且過大的點(diǎn)測(cè)壓力也容易造成LED晶粒損壞；另外，若該等探針121的點(diǎn)測(cè)壓力是適合位于水平位置較高的待測(cè)點(diǎn)，則會(huì)導(dǎo)致位于水平位置較低的待測(cè)點(diǎn)與探針121彼此間無(wú)法緊密貼合，進(jìn)而影響到點(diǎn)測(cè)的精準(zhǔn)度。
[0006]綜上所述可知，現(xiàn)有的“點(diǎn)測(cè)程序”在執(zhí)行上，是存有各個(gè)待測(cè)點(diǎn)的點(diǎn)測(cè)壓力過大或過小等問題，如此一來，不僅會(huì)降低本領(lǐng)域技術(shù)人員的點(diǎn)測(cè)良率，且會(huì)造成LED晶粒損壞的情況，因此，如何提供一種更為優(yōu)異的“點(diǎn)測(cè)程序”的方法，且不需大幅度更改原有的點(diǎn)測(cè)裝置，即成為本領(lǐng)域技術(shù)人員的重要課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]有鑒于現(xiàn)有的點(diǎn)測(cè)程序中，多支探針分別施加至對(duì)應(yīng)的待測(cè)點(diǎn)的點(diǎn)測(cè)壓力，會(huì)存有點(diǎn)測(cè)壓力過大或過小等問題，造成晶粒損壞或影響點(diǎn)測(cè)的精準(zhǔn)度等問題，因此，發(fā)明人憑借著多年來的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)過多次研究與測(cè)試后，終于設(shè)計(jì)出本發(fā)明的一種根據(jù)多個(gè)待測(cè)點(diǎn)的水平位置調(diào)整探針的位移距離的方法，期能提供本領(lǐng)域一更為易用、精準(zhǔn)的嶄新點(diǎn)測(cè)程序。
[0008]本發(fā)明的一目的，是提供一種根據(jù)多個(gè)待測(cè)點(diǎn)的水平位置調(diào)整探針的位移距離的方法，以使各該探針的針尖能與對(duì)應(yīng)的各該待測(cè)點(diǎn)保持在不同的距離，令各該待測(cè)點(diǎn)能承受適合的點(diǎn)測(cè)壓力，該方法應(yīng)用至一點(diǎn)測(cè)裝置上，該點(diǎn)測(cè)裝置包括一承載臺(tái)、多個(gè)針座、一控制單元、一第一驅(qū)動(dòng)裝置、多個(gè)第二驅(qū)動(dòng)裝置及一壓力感測(cè)單元，其中，該承載臺(tái)能被該第一驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)，而沿水平向或垂直向位移，其頂部平置有至少一待測(cè)物，該待測(cè)物上至少有多個(gè)待測(cè)點(diǎn)，該等待測(cè)點(diǎn)不一定具有相同的水平位置，各該針座是設(shè)于該承載臺(tái)上方，且能分別被一第二驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)，而沿垂直向或水平向位移，各該針座上分別設(shè)有一探針，該探針能隨著該承載臺(tái)或針座的位移，而抵靠至對(duì)應(yīng)的待測(cè)點(diǎn)，該控制單元能使該第一驅(qū)動(dòng)裝置及該等第二驅(qū)動(dòng)裝置分別驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的該承載臺(tái)與該等針座的位移位置，該方法是使該控制單元執(zhí)行執(zhí)行一等壓調(diào)校程序，以驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置或該第一驅(qū)動(dòng)裝置，使該等探針的針尖分別觸壓對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)，且分別接收該壓力感測(cè)單元所感測(cè)到的該探針施加至對(duì)應(yīng)的該待測(cè)點(diǎn)的一點(diǎn)測(cè)壓力，然后，該控制單元會(huì)計(jì)算且判斷該等點(diǎn)測(cè)壓力間的一差值是否位于內(nèi)建的一門坎值范圍內(nèi)，或是判斷各該點(diǎn)測(cè)壓力是否分別位于內(nèi)建的一點(diǎn)測(cè)門坎值范圍內(nèi)，若是，即完成該等壓調(diào)校程序;否則，驅(qū)動(dòng)各該第二驅(qū)動(dòng)裝置，以進(jìn)一步調(diào)校各該探針的針尖與對(duì)應(yīng)的各該待測(cè)點(diǎn)間的距離，直到該差值落在該門坎值的范圍內(nèi)，或是各該點(diǎn)測(cè)壓力分別位于該點(diǎn)測(cè)門坎值范圍內(nèi)，完成該等壓調(diào)校程序。
[0009]本發(fā)明的另一目的，是該控制單元執(zhí)行該等壓調(diào)校程序之前，尚會(huì)先執(zhí)行一等高調(diào)校程序，其中，該等高調(diào)校程序是該控制單元會(huì)根據(jù)一攝像單元所提取到的該等探針的針尖位置，或該等探針的針尖與對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)間的距離，產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的一調(diào)校數(shù)據(jù)，再根據(jù)該調(diào)校數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置，以沿水平向或垂直向調(diào)校該等探針的針尖的相對(duì)位置，令該等探針的針尖高度能保持在同一高，或該等探針的針尖與對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)間的距離能保持在同一距離，如此，本領(lǐng)域技術(shù)人員即能使該等探針抵靠至對(duì)應(yīng)的待測(cè)點(diǎn)時(shí)，不會(huì)產(chǎn)生過大的點(diǎn)測(cè)壓力，以避免待測(cè)物損壞。
【附圖說明】
[0010]圖1是現(xiàn)有技術(shù)點(diǎn)測(cè)裝置的示意圖；
[0011]圖2是現(xiàn)有技術(shù)點(diǎn)測(cè)裝置的局部示意圖；
[0012]圖3是本發(fā)明的點(diǎn)測(cè)裝置的示意圖；
[0013I圖4是待測(cè)物的示意圖；
[0014]圖5是本發(fā)明的方法流程圖。
[0015]【符號(hào)說明】
[0016]【現(xiàn)有技術(shù)】
[0017]點(diǎn)測(cè)裝置…… I
[0018]承載臺(tái)…… 11
[0019]針座…… 12
[0020]探針…… 121
[0021]第一驅(qū)動(dòng)裝置 …… 13
[0022]第一縱向運(yùn)動(dòng)部 …… 131
[0023]第一橫向運(yùn)動(dòng)部…… 133
[0024]第二驅(qū)動(dòng)裝置 …… 14
[0025]第二縱向運(yùn)動(dòng)部 …… 141
[0026]第二橫向運(yùn)動(dòng)部…… 143
[0027]【本發(fā)明】
[0028]點(diǎn)測(cè)裝置…… 2
[0029]承載臺(tái)…… 21
[0030]針座…… 22
[0031]探針…… 221
[0032]控制單元…… 23
[0033]第一驅(qū)動(dòng)裝置 …… 24
[0034]第二驅(qū)動(dòng)裝置…… 25
[0035]攝像單元…… 26
[0036]壓力感測(cè)單元 …… 27
[0037]待測(cè)物…… 3
[0038]待測(cè)點(diǎn)…… 31、31A、31B
[0039]等高調(diào)校程序 …… 4A
[0040]等壓調(diào)校程序 …… 4B
【具體實(shí)施方式】
[0041]本發(fā)明是一種根據(jù)多個(gè)待測(cè)點(diǎn)的水平位置調(diào)整探針的位移距離的方法，該方法應(yīng)用至一點(diǎn)測(cè)裝置2上，在一實(shí)施例中，請(qǐng)參閱3圖所示，該點(diǎn)測(cè)裝置2包括一承載臺(tái)21、多個(gè)針座22、一控制單元23、一第一驅(qū)動(dòng)裝置24、多個(gè)第二驅(qū)動(dòng)裝置25、一攝像單元26及至少一壓力感測(cè)單元27，其中，該承載臺(tái)21是與該第一驅(qū)動(dòng)裝置24相連接，以能被該第一驅(qū)動(dòng)裝置24帶動(dòng)，在該實(shí)施例中，該第一驅(qū)動(dòng)裝置24能夠使該承載臺(tái)21沿水平向或垂直向位移，且能使該承載臺(tái)21以自身軸為中心，進(jìn)行軸向旋轉(zhuǎn)，只是由于前述第一驅(qū)動(dòng)裝置24的結(jié)構(gòu)及帶動(dòng)承載臺(tái)21方式并非本發(fā)明的重點(diǎn)，且
【申請(qǐng)人】也早就申請(qǐng)相關(guān)專利，故不予贅述。
[0042]請(qǐng)參閱圖3及4所示，該承載臺(tái)21的頂部平置有至少一待測(cè)物3(如:晶粒)，該待測(cè)物3上至少有多個(gè)待測(cè)點(diǎn)31(如:晶粒上的電極接點(diǎn))，在該實(shí)施例中，待測(cè)物3設(shè)有兩個(gè)待測(cè)點(diǎn)3IA、3IB，且待測(cè)點(diǎn)3IA的水平位置高于待測(cè)點(diǎn)3IB，只是在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，該等待測(cè)點(diǎn)31能具有相同的水平位置，或者，該待測(cè)物3能夠具有三個(gè)以上的待測(cè)點(diǎn)31，且該等待測(cè)點(diǎn)31不一定具有相同的水平位置。
[0043]請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3所示，該等針座22是設(shè)于該承載臺(tái)21上方，其上分別設(shè)有一探針221，該探針221的針尖是向下延伸，另外，各該針座22分別與各該第二驅(qū)動(dòng)裝置25相連接，以能分別被各該第二驅(qū)動(dòng)裝置25帶動(dòng)，而沿垂直向或水平向位移，以調(diào)整各該探針221的針尖對(duì)應(yīng)該承載臺(tái)21的位置，另外，當(dāng)各該探針221的針尖位于對(duì)應(yīng)于各該待測(cè)點(diǎn)31(如圖4所示)的位置時(shí)，該第一驅(qū)動(dòng)裝置24能夠驅(qū)動(dòng)該承載臺(tái)21向上位移，而使各該探針221的針尖抵靠至對(duì)應(yīng)的待測(cè)點(diǎn)31，或者，各該第二驅(qū)動(dòng)裝置25能夠驅(qū)動(dòng)各該針座22向下位移，而使各該探針221的針尖抵靠至對(duì)應(yīng)的待測(cè)點(diǎn)31，以進(jìn)行后續(xù)的點(diǎn)測(cè)作業(yè)(如:供應(yīng)電流)。
[0044]請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3所示，在該實(shí)施例中，該控制單元23分別與該第一驅(qū)動(dòng)裝置24及該等第二驅(qū)動(dòng)裝置25相電氣連接，以使該第一驅(qū)動(dòng)裝置24能驅(qū)動(dòng)該承載臺(tái)21位移位置，及使該等第二驅(qū)動(dòng)裝置25能分別驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的該等針座22的位移位置外，另，該攝像單元26是位于該承載臺(tái)21及該等針座22的側(cè)方(如:斜側(cè)上方或斜側(cè)下方)，以能同時(shí)提取該承載臺(tái)21(或待測(cè)物3)與探針221的影像，以供該控制單元23能據(jù)以判斷出待測(cè)物3與該等探針221的位置，只是在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，該攝像單元26能夠在該承載臺(tái)21的正上方，而不是一定需同時(shí)提取該承載臺(tái)21(或待測(cè)物3)與探針221的影像，或者，為能更加精準(zhǔn)地判斷出待測(cè)物3與該等探針221的位置，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠設(shè)有多個(gè)攝像單元26，其中一個(gè)攝像單元26能位于該承載臺(tái)21的上方，另一攝像單元26位于該等針座22的下方，且鄰近該承載臺(tái)21側(cè)緣的位置，以能精確地提取到針尖影像，如此，該控制單元23便能夠根據(jù)該等攝像單元26的截取影像，而準(zhǔn)確地計(jì)算出該等探針221的針尖位置，及該等探針221與待測(cè)物3間的距離。
[0045]請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3及4所示，該壓力感測(cè)單元27(如:應(yīng)變規(guī)、光學(xué)應(yīng)變計(jì)等)是與該控制單元23相電氣連接，在該實(shí)施例中，二個(gè)壓力感測(cè)單元27分別設(shè)在該等針座22上，以能感測(cè)出探針221施加至待測(cè)點(diǎn)31上的點(diǎn)測(cè)壓力，只是在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，該壓力感測(cè)單元27也可設(shè)在承載臺(tái)21或其它組件上，或者該壓力感測(cè)單元27能為一非接觸式影像測(cè)量?jī)x，其能拍攝針座22或探針221的變形量，并根據(jù)前述變形量計(jì)算出探針221施加至待測(cè)點(diǎn)31上的點(diǎn)測(cè)壓力，所以，只要該壓力感測(cè)單元27能夠取得探針221施加至待測(cè)點(diǎn)31上的點(diǎn)測(cè)壓力，并能將前述點(diǎn)測(cè)壓力傳送至控制單元23，即為本發(fā)明所述的壓力感測(cè)單元27。
[0046]請(qǐng)參閱圖3及5所示，在該實(shí)施例中，當(dāng)工作人員進(jìn)行點(diǎn)測(cè)程序時(shí)，該控制單元23會(huì)執(zhí)行一等高調(diào)校程序4A，其中，當(dāng)該控制單元23接收到該攝像單元26所傳來的影像數(shù)據(jù)后，其會(huì)根據(jù)前述影像數(shù)據(jù)而判斷出該等探針221的針尖位置(或針尖高度)，并產(chǎn)生的一調(diào)校數(shù)據(jù)，之后，該控制單元23會(huì)根據(jù)該調(diào)校數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置25，使得該等第二驅(qū)動(dòng)裝置25能帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的針座22，以沿水平向或垂直向調(diào)校該等探針221的針尖的相對(duì)位置，令該等探針221的針尖位置能保持在同一高度。
[0047]只是除了前述的等高調(diào)校程序以外，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3及4所示，在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，該等高調(diào)校程序也可采用下列其它方式進(jìn)行，例如:該控制單元23接收到該攝像單元26所傳來的影像數(shù)據(jù)后，會(huì)根據(jù)該等探針221的針尖與對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)31間的距離，產(chǎn)生該調(diào)校數(shù)據(jù)，并根據(jù)該調(diào)校數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置25，以沿水平向或垂直向調(diào)校該等探針221的針尖的相對(duì)位置，使得該等探針221的針尖與對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)31間的距離能保持在同一距離，如此，本領(lǐng)域技術(shù)人員即能使該等探針221抵靠至對(duì)應(yīng)的待測(cè)點(diǎn)31時(shí)，不會(huì)產(chǎn)生過大的點(diǎn)測(cè)壓力，以避免待測(cè)物3損壞，另外，在此特別一提的是，盡管該等探針221的針尖與對(duì)應(yīng)待測(cè)點(diǎn)31保持在同一距離，但受到針尖精度、長(zhǎng)短、彈性或其它影響，并非能確保該等待測(cè)點(diǎn)31所受到的點(diǎn)測(cè)壓力均相同。再者，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠在該承載臺(tái)21上沒有待測(cè)物3時(shí)，使該等探針221的針尖先行抵壓該承載臺(tái)21，或是在該承載臺(tái)21上另行放置一平臺(tái)，且使該等探針221的針尖先行抵壓該平臺(tái)，然后，當(dāng)使得控制單元23接收到壓力感測(cè)單元27的感測(cè)數(shù)值，即代表該等探針221的針尖已抵壓至承載臺(tái)21(或平臺(tái))，該控制單元23便會(huì)驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置25，使得該等第二驅(qū)動(dòng)裝置25能帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的針座22位移，令該等探針221的針尖位置能保持在同一高度，另外，前述的壓力感測(cè)單元27的感測(cè)數(shù)值僅是代表該等探針221的針尖抵壓至承載臺(tái)21(或平臺(tái))，但并非指該等探針221的針尖的下壓力量均相同。
[0048]請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3及5所示，在該實(shí)施例中，當(dāng)前述等高調(diào)校程序4A完成后，該控制單元23會(huì)執(zhí)行一等壓調(diào)校程序4B，其中，該控制單元23會(huì)驅(qū)動(dòng)該第一驅(qū)動(dòng)裝置24，該第一驅(qū)動(dòng)裝置24帶動(dòng)該承載臺(tái)21位移，使得該等探針221的針尖能分別觸壓對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)31，只是在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，當(dāng)該控制單元23執(zhí)行該等壓調(diào)校程序4B時(shí)，其能先驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置25，令該等第二驅(qū)動(dòng)裝置25帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的針座22，使得該等探針221的針尖能分別觸壓對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)31。然后，該控制單元23能接收該壓力感測(cè)單元27所感測(cè)到的該探針221施加至對(duì)應(yīng)的該待測(cè)點(diǎn)31的一點(diǎn)測(cè)壓力，之后，該控制單元23會(huì)計(jì)算出該等點(diǎn)測(cè)壓力間的一差值，且判斷該差值是否位于內(nèi)建的一門坎值范圍內(nèi)，舉例而言，該控制單元23內(nèi)建的門坎值范圍為0.8?1.2公克，且該等探針221的針尖分別觸壓對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)31時(shí)，理想上會(huì)對(duì)待測(cè)點(diǎn)31產(chǎn)生5公克的點(diǎn)測(cè)壓力，因此，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3及4所示，當(dāng)待測(cè)點(diǎn)31A的點(diǎn)測(cè)壓力為5公克，待測(cè)點(diǎn)31B的點(diǎn)測(cè)壓力為4公克時(shí)，由于該差值(3公克減2公克)位于該門坎值范圍內(nèi)時(shí)，即表示各該待測(cè)點(diǎn)31所承受的點(diǎn)測(cè)壓力符合本領(lǐng)域技術(shù)人員的預(yù)期點(diǎn)測(cè)壓力，該控制單元23完成該等壓調(diào)校程序4B;另外，當(dāng)該差值不位于該門坎值范圍內(nèi)時(shí)(如:待測(cè)點(diǎn)31A的點(diǎn)測(cè)壓力為5公克，待測(cè)點(diǎn)31B的點(diǎn)測(cè)壓力為3公克)，則表示其中一個(gè)待測(cè)點(diǎn)31承受過大或過小的點(diǎn)測(cè)壓力，此時(shí)，該控制單元23會(huì)驅(qū)動(dòng)各該第二驅(qū)動(dòng)裝置25，各該第二驅(qū)動(dòng)裝置25即會(huì)帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的針座22，以進(jìn)一步調(diào)校各該等探針221的針尖與對(duì)應(yīng)的各該待測(cè)點(diǎn)31間的距離，直到該差值落在該門坎值的范圍內(nèi)，則該控制單元23即完成該等壓調(diào)校程序4B。
[0049]只是本發(fā)明并非僅限制于前述的判斷差值方式，在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，該控制單元23在接收到該等點(diǎn)測(cè)壓力后，也可將該等點(diǎn)測(cè)壓力分別與一點(diǎn)測(cè)門坎值范圍相比較，以判斷該等點(diǎn)測(cè)壓力是否位于該點(diǎn)測(cè)門坎值范圍內(nèi)，舉例而言，該控制單元23內(nèi)建的點(diǎn)測(cè)門坎值范圍為4?5公克，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3及4所示，當(dāng)待測(cè)點(diǎn)31A的點(diǎn)測(cè)壓力為5公克，待測(cè)點(diǎn)3IB的點(diǎn)測(cè)壓力為4公克時(shí)，由于該等待測(cè)點(diǎn)3IA、31B的點(diǎn)測(cè)壓力均位于該點(diǎn)測(cè)門坎值范圍，即完成該等壓調(diào)校程序4B;當(dāng)待測(cè)點(diǎn)31A的點(diǎn)測(cè)壓力為5公克，待測(cè)點(diǎn)31B的點(diǎn)測(cè)壓力為3公克時(shí)，由于待測(cè)點(diǎn)31B的點(diǎn)測(cè)壓力并非位于該點(diǎn)測(cè)門坎值范圍，該控制單元23便會(huì)驅(qū)動(dòng)該第二驅(qū)動(dòng)裝置25，以調(diào)校探針221的針尖與對(duì)應(yīng)待測(cè)點(diǎn)31B間的距離，直到點(diǎn)測(cè)壓力落在該點(diǎn)測(cè)門坎值范圍內(nèi)，則該控制單元23即完成該等壓調(diào)校程序4B。
[0050]在此特別聲明的是，在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，本領(lǐng)域技術(shù)人員也可省略等高調(diào)校程序4A，而僅使用等壓調(diào)校程序4B，以提高點(diǎn)測(cè)效率。綜上所述可知，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3?5所示，無(wú)論待測(cè)物(如:LED晶粒)上的多個(gè)待測(cè)點(diǎn)31的水平位置是否相同，或無(wú)論該等探針221的精度、長(zhǎng)短或彈性是否相同，該點(diǎn)測(cè)裝置2均能根據(jù)該等壓調(diào)校程序4B中，各該探針221的點(diǎn)測(cè)壓力的大小，適當(dāng)?shù)卣{(diào)整各該探針221的水平向或垂直向的位置，以使各該探針221與對(duì)應(yīng)的各該待測(cè)點(diǎn)31間的距離能分別保持在一最佳的初始距離，令在后續(xù)點(diǎn)測(cè)過程中，該等探針221分別施加至對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)31的點(diǎn)測(cè)壓力數(shù)值能保持在完全相同或近乎相同的程度，以有效避免因點(diǎn)測(cè)壓力過大或過小，而造成待測(cè)物損壞或影響點(diǎn)測(cè)的精準(zhǔn)度。
[0051]以上所述，僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，只是本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍，并不局限于此，凡是本領(lǐng)域技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明所公開的技術(shù)內(nèi)容，可輕易思及的等效變化，均應(yīng)屬不脫離本發(fā)明的保護(hù)范疇。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種根據(jù)多個(gè)待測(cè)點(diǎn)的水平位置調(diào)整探針的位移距離的方法，其特征在于，該方法應(yīng)用至一點(diǎn)測(cè)裝置上，該點(diǎn)測(cè)裝置包括一承載臺(tái)、多個(gè)針座及一控制單元，其中，該承載臺(tái)的頂部平置有至少一待測(cè)物，該承載臺(tái)能被一第一驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)位移，該待測(cè)物上至少有多個(gè)待測(cè)點(diǎn)，各該針座設(shè)于該承載臺(tái)上方，能分別被一第二驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)位移，各該針座上分別設(shè)有一探針，該探針能隨著該承載臺(tái)或該針座的位移，而抵靠至對(duì)應(yīng)的待測(cè)點(diǎn)，該控制單元分別與該第一驅(qū)動(dòng)裝置及該等第二驅(qū)動(dòng)裝置相電氣連接，以使該第一驅(qū)動(dòng)裝置及該等第二驅(qū)動(dòng)裝置能分別驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的該承載臺(tái)與該等針座的位移位置，該方法使該控制單元執(zhí)行下列步驟: 執(zhí)行一等壓調(diào)校程序，驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置或該第一驅(qū)動(dòng)裝置，使該等探針的針尖分別觸壓對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)，且分別接收一壓力感測(cè)單元所感測(cè)到的該探針施加至對(duì)應(yīng)的該待測(cè)點(diǎn)的一點(diǎn)測(cè)壓力;及 計(jì)算出該等點(diǎn)測(cè)壓力間的一差值，且判斷該差值是否位于內(nèi)建的一門坎值范圍內(nèi)，若是，即完成該等壓調(diào)校程序;否則，驅(qū)動(dòng)各該第二驅(qū)動(dòng)裝置，以調(diào)校各該探針的針尖與對(duì)應(yīng)的各該待測(cè)點(diǎn)間的距離，直到該差值落在該門坎值范圍內(nèi)，完成該等壓調(diào)校程序。2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，其中，在該控制單元執(zhí)行該等壓調(diào)校程序之前，先執(zhí)行一等高調(diào)校程序，該等高調(diào)校程序是該控制單元根據(jù)至少一攝像單元所提取到的該等探針的針尖位置，產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的一調(diào)校數(shù)據(jù)，再根據(jù)該調(diào)校數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置，以沿水平向或垂直向調(diào)校該等探針的針尖的相對(duì)位置，令該等探針的針尖位置保持在同一高度。3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，其中，在該控制單元執(zhí)行該等壓調(diào)校程序之前，先執(zhí)行一等高調(diào)校程序，該等高調(diào)校程序是該控制單元根據(jù)至少一攝像單元所提取到的該等探針的針尖與對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)間的距離，產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的一調(diào)校數(shù)據(jù)，再根據(jù)該調(diào)校數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置，以沿水平向或垂直向調(diào)校該等探針的針尖的相對(duì)位置，令該等探針的針尖與對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)間的距離能保持在同一距離。4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，其中，在該承載臺(tái)上未放置待測(cè)物，且該控制單兀執(zhí)彳丁該等壓調(diào)fe程序之如，先執(zhí)彳丁一等尚調(diào)fe程序，該等尚調(diào)fe程序是該控制單兀接收到該壓力感測(cè)單元產(chǎn)生的感測(cè)數(shù)值后，即代表該等探針的針尖已抵壓至該承載臺(tái)或一平臺(tái)，再驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置，以沿水平向或垂直向調(diào)校該等探針的針尖的相對(duì)位置，令該等探針的針尖位置保持在同一高度。5.如權(quán)利要求1、2、3或4所述的方法，其特征在于，其中，該等待測(cè)點(diǎn)具有至少一個(gè)不相同的水平位置。6.一種根據(jù)多個(gè)待測(cè)點(diǎn)的水平位置調(diào)整探針的位移距離的方法，其特征在于，該方法應(yīng)用至一點(diǎn)測(cè)裝置上，該點(diǎn)測(cè)裝置包括一承載臺(tái)、多個(gè)針座及一控制單元，其中，該承載臺(tái)的頂部平置有至少一待測(cè)物，該承載臺(tái)能被一第一驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)位移，該待測(cè)物上至少有多個(gè)待測(cè)點(diǎn)，各該針座是設(shè)于該承載臺(tái)上方，能分別被一第二驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)位移，各該針座上分別設(shè)有一探針，該探針能隨著該承載臺(tái)或該針座的位移，而抵靠至對(duì)應(yīng)的待測(cè)點(diǎn)，該控制單元分別與該第一驅(qū)動(dòng)裝置及該等第二驅(qū)動(dòng)裝置相電氣連接，以使該第一驅(qū)動(dòng)裝置及該等第二驅(qū)動(dòng)裝置能分別驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的該承載臺(tái)與該等針座的位移位置，該方法是使該控制單元執(zhí)行下列步驟: 執(zhí)行一等壓調(diào)校程序，驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置或該第一驅(qū)動(dòng)裝置，使該等探針的針尖分別觸壓對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)，且分別接收一壓力感測(cè)單元所感測(cè)到的該探針施加至對(duì)應(yīng)的該待測(cè)點(diǎn)的一點(diǎn)測(cè)壓力;及 判斷各該點(diǎn)測(cè)壓力是否分別位于內(nèi)建的一點(diǎn)測(cè)門坎值范圍內(nèi)，若是，即完成該等壓調(diào)校程序;否則，驅(qū)動(dòng)各該第二驅(qū)動(dòng)裝置，以調(diào)校各該探針的針尖與對(duì)應(yīng)的各該待測(cè)點(diǎn)間的距離，直到各該點(diǎn)測(cè)壓力分別落在該點(diǎn)測(cè)門坎值范圍內(nèi)，完成該等壓調(diào)校程序。7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，其中，在該控制單元執(zhí)行該等壓調(diào)校程序之前，先執(zhí)行一等高調(diào)校程序，該等高調(diào)校程序根據(jù)一攝像單元所提取到的該等探針的針尖位置，產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的一調(diào)校數(shù)據(jù)，再根據(jù)該調(diào)校數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置，以沿水平向或垂直向調(diào)校該等探針的針尖的相對(duì)位置，令該等探針的針尖位置保持在同一高度。8.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，其中，在該控制單元執(zhí)行該等壓調(diào)校程序之前，先執(zhí)行一等高調(diào)校程序，該等高調(diào)校程序根據(jù)一攝像單元所提取到的該等探針的針尖與對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)間的距離，產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的一調(diào)校數(shù)據(jù)，再根據(jù)該調(diào)校數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置，以沿水平向或垂直向調(diào)校該等探針的針尖的相對(duì)位置，令該等探針的針尖與對(duì)應(yīng)的該等待測(cè)點(diǎn)間的距離能保持在同一距離。9.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，其中，在該承載臺(tái)上未放置待測(cè)物，且該控制單兀執(zhí)彳丁該等壓調(diào)fe程序之如，先執(zhí)彳丁一等尚調(diào)fe程序，該等尚調(diào)fe程序是該控制單兀接收到該壓力感測(cè)單元產(chǎn)生的感測(cè)數(shù)值后，即代表該等探針的針尖已抵壓至該承載臺(tái)或一平臺(tái)，再驅(qū)動(dòng)該等第二驅(qū)動(dòng)裝置，以沿水平向或垂直向調(diào)校該等探針的針尖的相對(duì)位置，令該等探針的針尖位置保持在同一高度。10.如權(quán)利要求6、7、8或9所述的方法，其特征在于，其中，該等待測(cè)點(diǎn)具有至少一個(gè)不相同的水平位置。
【文檔編號(hào)】G01R31/26GK106093741SQ201610053850
【公開日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年1月27日 公開號(hào)201610053850.7, CN 106093741 A, CN 106093741A, CN 201610053850, CN-A-106093741, CN106093741 A, CN106093741A, CN201610053850, CN201610053850.7
【發(fā)明人】王克倫, 陳正泰, 陳瑞明, 陳志偉, 江孟龍, 周博翰
【申請(qǐng)人】豪勉科技股份有限公司