單晶棒直徑測量裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及單晶棒測量設備技術領域。
【背景技術】
[0002]在單晶棒的制造過程中，單晶棒的直徑是其主要的外觀指標。操作人員要時刻通過測徑儀來觀察單晶棒的直徑變化，防止直徑過細或者過粗，造成質量事故發(fā)生。目前，在單晶棒制造過程中，用單目鏡測徑儀對單晶棒直行進行測量，需要操作人員觀察單晶棒左右兩次才能將數(shù)據(jù)測量出來，測量精度低并且費時費力。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單、操作方便、測量精度高的單晶棒直徑測量裝置。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是:
[0005]一種單晶棒直徑測量裝置，包括與單晶爐觀察窗外輪廓相配合的支架、觀察目鏡、測量尺和移動定位部件，所述觀察目鏡通過支撐座固定在支架直線段一側，所述測量尺設置在支架直線段另一側，所述移動定位部件為兩個、且設置在觀察目鏡兩側，兩個移動定位部件均可在支架直線段上滑動，所述移動定位部件與觀察目鏡相配合。
[0006]優(yōu)選的，所述移動定位部件包括滑座和定位鏡，所述定位鏡固定在滑座上，所述滑座兩端通過卡槽與支架兩側的導軌配合，可使滑座可在支架導軌上滑動，所述定位鏡包括相互連通的豎直鏡筒和水平鏡筒，所述豎直鏡筒上下貫通，所述水平鏡筒內一側傾斜安裝第一反射鏡、對應第一反射鏡一側為光線出口。
[0007]優(yōu)選的，所述支撐座為一固定在支架上的懸臂梁，所述觀察目鏡固定在懸臂梁的自由端、且在支架中部上方，所述觀察目鏡的兩個目鏡鏡筒下部均設有開口向外的光線導入口，所述光線導入口對應定位鏡的光線出口、且設有與第一反射鏡相配合的第二反射鏡。
[0008]優(yōu)選的，所述支撐座上設有顯示屏，所述滑座的卡槽處設有位移傳感器，所述位移傳感器通過導線與顯示屏相連。
[0009]采用上述技術方案所產(chǎn)生的有益效果在于:通過移動兩個移動定位部件來確定單晶棒的位置，通過觀察目鏡對單晶棒進行觀測，滑動移動定位部件的滑座的同時，在顯示屏上同步顯示單晶棒的直徑數(shù)值，兩個移動定位部件之間的距離就是單晶棒直徑，可一次性在測量尺上觀察單晶棒直徑的宏觀讀數(shù)，在顯示屏上讀出單晶棒的精確數(shù)值，提高了監(jiān)測單晶棒制造過程中的直徑測量精度。本實用新型具有結構簡單、操作方便、測量精度高的優(yōu)點，可減小操作人員的勞動強度，提高工作效率。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0011]圖2是圖1的俯視圖；
[0012]圖3是圖2的右視圖；
[0013]圖4是圖2的主視圖；
[0014]圖5是圖4中K處的局部放大圖；
[0015]圖6是圖4中I處的局部放大圖；
[0016]圖中:1-支架，2-觀察目鏡，3-測量尺，4-移動定位部件，5-支撐座，6-顯示屏，
11-導軌，21-目鏡鏡筒，22-光線導入口，23-第二反射鏡，41-滑座，42-定位鏡，410-卡槽，420-豎直鏡筒，421-水平鏡筒，422-第一反射鏡，423-光線出口。
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0018]如圖1一6所示的一種單晶棒直徑測量裝置，包括與單晶爐觀察窗外輪廓相配合的支架1、觀察目鏡2、測量尺3和移動定位部件4，所述觀察目鏡2通過支撐座5固定在支架I直線段一側，所述測量尺3設置在支架I直線段另一側，所述移動定位部件4為兩個、且設置在觀察目鏡2兩側，兩個移動定位部件4均可在支架I直線段上滑動，所述移動定位部件4與觀察目鏡2相配合。
[0019]作為一種優(yōu)選結構，所述移動定位部件4包括滑座41和定位鏡42，所述定位鏡42固定在滑座41上，所述滑座41兩端通過卡槽410與支架I兩側的導軌11配合，可使滑座41可在支架導軌11上滑動，所述定位鏡42包括相互連通的豎直鏡筒420和水平鏡筒421，所述豎直鏡筒420上下貫通，所述水平鏡筒421內一側傾斜安裝第一反射鏡422、對應第一反射鏡422 —側為光線出口 423。移動滑座41使單晶棒發(fā)出的光線沿著豎直鏡筒420進入，經(jīng)第一反射鏡422折射后可從光線出口 423射出。
[0020]作為一種優(yōu)選結構，所述支撐座5為一固定在支架I上的懸臂梁，所述觀察目鏡2固定在懸臂梁的自由端、且在支架I中部上方，所述觀察目鏡2的兩個目鏡鏡筒21下部均設有開口向外的光線導入口 22，所述光線導入口 22對應定位鏡42的光線出口 423、且設有與第一反射鏡422相配合的第二反射鏡23。從定位鏡42的光線出口 423射出的光線自光線導入口 22進入，經(jīng)第二反射鏡23折射后沿著目鏡鏡筒21向上射出，人員即可觀測到單晶棒的具體位置。
[0021]為了能精確測量感應滑座41的具體位置，所述滑座41的卡槽410處設有位移傳感器，所述支撐座5上設有顯示屏6，所述位移傳感器通過導線與顯示屏6相連。移動滑座41的同時位移傳感器會將信號傳輸至顯示屏，顯示屏6上會顯示出單晶棒的精確數(shù)值，精度比測量尺3上的讀數(shù)更精確。
[0022]通過移動兩個移動定位部件4來確定單晶棒的位置，單晶棒發(fā)出的光線進入定位鏡42，經(jīng)第一反射鏡422折射后進入觀察目鏡2的光線導入口 22，光線經(jīng)第二反射鏡23再次折射進入人眼；為了便于確定觀測位置，在定位鏡42的豎直鏡筒420下方入口處的鏡片上設置一個“十”字形定位線。操作人員通過觀察目鏡2雙眼直接定位單晶棒的直徑，可避免觀測誤差；滑動移動定位部件4滑座41的同時，通過位移傳感器可在顯示屏6上同步顯示單晶棒的直徑數(shù)值，兩個移動定位部件4之間的距離就是單晶棒直徑，可一次性在測量尺3上觀測出單晶棒直徑的宏觀讀數(shù)，在顯示屏6上讀出單晶棒的精確數(shù)值，省時省力。
[0023]綜上所述，本實用新型具有結構簡單、操作方便、測量精度高的優(yōu)點，提高了監(jiān)測單晶棒制造過程中的單晶棒直徑測量精度，可減小操作人員的勞動強度，提高工作效率。
【主權項】
1.一種單晶棒直徑測量裝置，其特征在于:包括與單晶爐觀察窗外輪廓相配合的支架(I)、觀察目鏡(2)、測量尺(3)和移動定位部件(4)，所述觀察目鏡(2)通過支撐座(5)固定在支架(I)直線段一側，所述測量尺(3 )設置在支架(I)直線段另一側，所述移動定位部件(4)為兩個、且設置在觀察目鏡(2)兩側，兩個移動定位部件(4)均可在支架(I)直線段上滑動，所述移動定位部件(4)與觀察目鏡(2)相配合。
2.根據(jù)權利要求1所述的單晶棒直徑測量裝置，其特征在于:所述移動定位部件(4)包括滑座(41)和定位鏡(42 )，所述定位鏡(42 )固定在滑座(41)上，所述滑座(41)兩端通過卡槽(410)與支架(I)兩側的導軌(11)配合，可使滑座(41)可在支架導軌(11)上滑動，所述定位鏡(42 )包括相互連通的豎直鏡筒(420 )和水平鏡筒(421)，所述豎直鏡筒(420 )上下貫通，所述水平鏡筒(421)內一側傾斜安裝第一反射鏡(422)、對應第一反射鏡(422) —側為光線出口(423)。
3.根據(jù)權利要求2所述的單晶棒直徑測量裝置，其特征在于:所述支撐座(5)為一固定在支架(I)上的懸臂梁，所述觀察目鏡(2)固定在懸臂梁的自由端、且在支架(I)中部上方，所述觀察目鏡(2)的兩個目鏡鏡筒(21)下部均設有開口向外的光線導入口(22)，所述光線導入口(22)對應定位鏡(42)的光線出口(423)、且設有與第一反射鏡(422)相配合的第二反射鏡(23)。
4.根據(jù)權利要求2所述的單晶棒直徑測量裝置，其特征在于:所述支撐座(5)上設有顯示屏(6)，所述滑座(41)的卡槽(410)處設有位移傳感器，所述位移傳感器通過導線與顯示屏(6)相連。
【專利摘要】本實用新型公開了一種單晶棒直徑測量裝置，涉及單晶棒測量設備技術領域，包括支架、觀察目鏡、測量尺和移動定位部件，觀察目鏡通過支撐座固定在支架直線段一側，測量尺設置在支架直線段另一側，移動定位部件為兩個、且設置在觀察目鏡兩側，兩個移動定位部件均可在支架上滑動，移動定位部件與觀察目鏡相配合。通過移動兩個移動定位部件來確定單晶棒的位置，通過觀察目鏡對單晶棒進行觀測，兩個移動定位部件之間的距離就是單晶棒直徑，可在測量尺上一次性讀出單晶棒直徑的讀數(shù)。本實用新型具有結構簡單、操作方便、測量精度高的優(yōu)點，可減小操作人員的勞動強度，提高工作效率。
【IPC分類】G01B5-08, G01B11-08
【公開號】CN204286308
【申請?zhí)枴緾N201420840323
【發(fā)明人】張一
【申請人】英利能源（中國）有限公司, 英利集團有限公司, 保定天威英利新能源有限公司, 河北流云新能源科技有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年12月26日