基于質(zhì)譜反饋的準(zhǔn)靜態(tài)配氣儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種配氣儀，尤其涉及一種基于質(zhì)譜反饋的準(zhǔn)靜態(tài)配氣儀。
【背景技術(shù)】
[0002]氣體中不同物質(zhì)成分濃度測(cè)量的動(dòng)態(tài)范圍是衡量質(zhì)譜儀器的重要性能之一。由于質(zhì)譜動(dòng)態(tài)范圍的限制，大多數(shù)質(zhì)譜儀器，很難同時(shí)兼顧超痕量物質(zhì)、痕量物質(zhì)和微量物質(zhì)的測(cè)量。
[0003]常見(jiàn)的做法是對(duì)于痕量和微量物質(zhì)采用配氣儀，一路是待測(cè)樣品，一路是混合氣體然后通過(guò)不過(guò)同的比例進(jìn)行混合使氣體的濃度進(jìn)入到可測(cè)量的范圍。然而通過(guò)配氣儀器的方法，由于質(zhì)譜儀器所需要?dú)怏w量較低，利用閥門(mén)進(jìn)行配氣的方法穩(wěn)定度和精度都相對(duì)較低。同時(shí)因?yàn)闆](méi)有反饋機(jī)制，測(cè)量過(guò)程中無(wú)法準(zhǔn)確的調(diào)整到氣體的濃度在恰當(dāng)?shù)奈恢?。測(cè)量時(shí)兼顧了 Olppm)物質(zhì)時(shí)，就會(huì)損失部分痕量和超痕量物質(zhì)的信息。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種基于質(zhì)譜反饋的準(zhǔn)靜態(tài)配氣儀，其主要解決沒(méi)有反饋機(jī)制，測(cè)量過(guò)程中無(wú)法準(zhǔn)確的調(diào)整到氣體的濃度在恰當(dāng)?shù)奈恢玫募夹g(shù)問(wèn)題。
[0005]本實(shí)用新型的解決方案是:一種基于質(zhì)譜反饋的準(zhǔn)靜態(tài)配氣儀，其包括氣缸
(18)、配合在氣缸(18)內(nèi)的活塞(16)、以及驅(qū)動(dòng)活塞(16)移位的電機(jī)(19)，活塞(16)與氣缸(18)的底部圍成主腔體(13)，主腔體(13)與一個(gè)質(zhì)譜儀(15)連通，主腔體(13)通過(guò)閥門(mén)一(7)輸入待測(cè)氣體(I)，還通過(guò)閥門(mén)二(8)輸入緩沖氣體(2)。
[0006]作為上述方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述配氣儀還包括緩沖池一(4)、緩沖池二(5);待測(cè)氣體⑴通過(guò)緩沖池一⑷再經(jīng)由閥門(mén)一(7)輸入主腔體(13)內(nèi)；緩沖氣體(2)通過(guò)緩沖池二(5)再經(jīng)由閥門(mén)二(8)輸入主腔體(13)內(nèi)。
[0007]作為上述方案的進(jìn)一步改進(jìn)，主腔體(13)通過(guò)閥門(mén)三(9)輸入標(biāo)定氣體(3)。
[0008]進(jìn)一步地，所述配氣儀還包括緩沖池三(6);標(biāo)定氣體(3)通過(guò)緩沖池三(6)再經(jīng)由閥門(mén)三(9)輸入主腔體(13)內(nèi)。
[0009]作為上述方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述配氣儀還包括測(cè)量主腔體(13)內(nèi)溫度的溫度傳感器。
[0010]進(jìn)一步地，所述配氣儀還包括設(shè)置在氣缸(18)外表面的保溫加熱帶(17)。
[0011]優(yōu)選地，所述配氣儀還包括溫控裝置(12)，溫控裝置(12)與所述溫度傳感器、保溫加熱帶(17)均電性連接。
[0012]作為上述方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述配氣儀還包括測(cè)量主腔體(13)內(nèi)壓力的壓力傳感器。
[0013]作為上述方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述配氣儀還包括測(cè)量位移量的編碼器，所述編碼器安裝在電機(jī)(19)上，通過(guò)電機(jī)(19)的移動(dòng)而獲得活塞(16)的位移量。
[0014]作為上述方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述配氣儀還包括安裝氣缸(18)和電機(jī)(19)的固定架。
[0015]本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置氣缸(18)、活塞(16)圍成的主腔體(13)，配合電機(jī)(19)驅(qū)動(dòng)活塞(16)實(shí)現(xiàn)主腔體(13)內(nèi)氣體的反饋機(jī)制，在質(zhì)譜儀(15)的測(cè)量過(guò)程中能準(zhǔn)確的調(diào)整到氣體的濃度在恰當(dāng)?shù)奈恢?。本?shí)用新型的有益效果:針對(duì)質(zhì)譜儀，可擴(kuò)充質(zhì)譜檢測(cè)濃度范圍，提高質(zhì)譜檢測(cè)的靈敏度，不損失小信號(hào)；進(jìn)一步提高氣體進(jìn)樣的穩(wěn)定度。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基于質(zhì)譜反饋的準(zhǔn)靜態(tài)配氣儀的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]主要符號(hào)說(shuō)曰月
[0018]待測(cè)氣體I緩沖氣體2
[0019]標(biāo)定氣體3緩沖池一 4
[0020]緩沖池二 5緩沖池三6
[0021]閥門(mén)一 7閥門(mén)二 8
[0022]閥門(mén)三9壓力傳感器11
[0023]溫控裝置12主腔體13
[0024]電動(dòng)三通14質(zhì)譜儀15
[0025]活塞16保溫加熱帶17
[0026]氣缸18電機(jī)19
[0027]溫度傳感器111
【具體實(shí)施方式】
[0028]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0029]請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基于質(zhì)譜反饋的準(zhǔn)靜態(tài)配氣儀，其聯(lián)合質(zhì)譜儀15使用。
[0030]配氣儀包括氣缸18、活塞16、閥門(mén)一 7、閥門(mén)二 8、閥門(mén)三9、緩沖池一 4、緩沖池二
5、緩沖池三6、電機(jī)19、固定架(圖未示)、編碼器(圖未示)、壓力傳感器11、保溫加熱帶17、溫度傳感器111、溫控裝置12。
[0031]氣缸18和電機(jī)19均可安裝在固定架上，活塞16配合在氣缸18內(nèi)，活塞16與氣缸18的底部圍成主腔體13。氣缸18外表面可設(shè)置保溫加熱帶17，保持主腔體13內(nèi)恒溫。通過(guò)移動(dòng)活塞16可調(diào)節(jié)主腔體13的大小，也可以通過(guò)注入主腔體13內(nèi)的氣體容積調(diào)節(jié)主腔體13的大小。電機(jī)19驅(qū)動(dòng)活塞16移位，編碼器測(cè)量活塞16的位移，電機(jī)19可為步進(jìn)電機(jī)。
[0032]編碼器可選用一般測(cè)量角位移量的編碼器即可，所述編碼器安裝在電機(jī)19上，通過(guò)電機(jī)19的角位移而獲得活塞16的位移量。壓力傳感器11測(cè)量主腔體13內(nèi)的壓力，壓力傳感器11可選用比較直觀顯示的類(lèi)型，便于使用者查看。溫度傳感器111測(cè)量主腔體13內(nèi)的溫度，溫度傳感器111也可選用比較直觀顯示的類(lèi)型，便于使用者查看。溫控裝置12與所述溫度傳感器111、保溫加熱帶17均電性連接，實(shí)現(xiàn)主腔體13內(nèi)和管道內(nèi)溫度的調(diào)節(jié)，溫控裝置12可選用易于操作的呆瓜式溫控器。保溫加熱帶17設(shè)置在氣缸18的外表面，也可以采用其他的加熱方式，如加熱片，加熱管，PTC等等。
[0033]主腔體13與一個(gè)質(zhì)譜儀15連通，質(zhì)譜儀15對(duì)主腔體13內(nèi)的氣體采樣檢測(cè)。主腔體13通過(guò)閥門(mén)一 7輸入待測(cè)氣體1，還通過(guò)閥門(mén)二 8輸入緩沖氣體2，還可通過(guò)閥門(mén)三9輸入標(biāo)定氣體3。待測(cè)氣體1、緩沖氣體2、標(biāo)定氣體3可分別通過(guò)緩沖池一 4、緩沖池二 5、緩沖池三6到達(dá)主腔體13內(nèi)，待測(cè)氣體1、緩沖氣體2、標(biāo)定氣體3可事先存儲(chǔ)于罐體中。
[0034]本實(shí)用新型先后將待測(cè)氣體1、緩沖氣體2輸入在氣缸18內(nèi)的主