專利名稱：：計算機系統(tǒng)與處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明關(guān)于一種計算機系統(tǒng)，特別是關(guān)于一種適用于自動化制造環(huán)境的計算機整合制造系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
：計算機集成制造(ComputerIntegratedManufacturing，CIM)廣泛地使用于半導體裝置的制造，用以控制物料以及信息流程。制造自動化可有效且精確地控制物料移動(materialmovement)和重要的相關(guān)數(shù)據(jù)，因而降低生產(chǎn)周期、降低浪費以及改善產(chǎn)量。即使在一些使用自動物料搬運系統(tǒng)(AutomatedMaterialHandlingSystem，AMHS)的自動化制造環(huán)境中，仍不可避免手動搬運一些物料。當手動搬運物料時，可能會造成物料實體位置與計算機系統(tǒng)中數(shù)據(jù)不一致的風險。換言之，通過計算機數(shù)據(jù)追蹤物料的位置并執(zhí)行處理變得越來越不精確，并且會引起后續(xù)的處理步驟發(fā)生錯誤。這種物料不一致所產(chǎn)生的錯誤可能會造成生產(chǎn)周期的延遲、增加返工(rework)與廢料(scrap)并且減少產(chǎn)量。
發(fā)明內(nèi)容為解決所述問題，本發(fā)明的目的是提供一種計算機系統(tǒng)，包括剖析器、比較器以及自動校正模塊。剖析器用以接收具有詳細處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的記錄文件，并且產(chǎn)生具有部分以已知格式所設(shè)置的詳細處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的操作記錄。比較器用以接收自動化物料追蹤數(shù)據(jù)，并且與操作記錄數(shù)據(jù)進行比較。自動校正模塊用以當自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)不一致時，自動地校正自動化物料追蹤數(shù)據(jù)。根據(jù)所述的計算機系統(tǒng)，其中所述比較器還在檢測到所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)之間的不一致時產(chǎn)生一警告電子郵件。根據(jù)所述的計算機系統(tǒng)，其中所述比較器還在檢測到所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)之間的不一致時產(chǎn)生一不一致報告。根據(jù)所述的計算機系統(tǒng)，其中所述操作記錄包括設(shè)置于所述處理工具的多個物料載具的多個獨特的辨識器、由每個所述載具所運送的大量物料以及時間戳記。根據(jù)所述的計算機系統(tǒng)，其中所述記錄文件包括一預定時間周期的詳細處理工具數(shù)據(jù)。根據(jù)所述的計算機系統(tǒng)，其中所述記錄文件包括實時的詳細處理工具數(shù)據(jù)。此外，本發(fā)明還提供一種處理方法，包括接收具有詳細處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的記錄文件，并且產(chǎn)生具有部分以已知格式所設(shè)置的詳細處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的操作記錄；接收自動化物料追蹤數(shù)據(jù)，并且將自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)進行比較；當檢測到自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)不一致時，自動地校正自動化物料追蹤數(shù)據(jù)。根據(jù)所述的處理方法，還包括當檢測到所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時產(chǎn)生一警告電子郵件。根據(jù)所述的處理方法，還包括當檢測到所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時產(chǎn)生一不一致報告。根據(jù)所述的處理方法，其中產(chǎn)生所述操作記錄包括提供設(shè)置于所述處理工具的多個物料載具的多個獨特的辨識器、由每個所述載具所運送的大量物料以及時間戳記。根據(jù)所述的處理方法，其中接收所述記錄文件包括接收具有一預定時間周期的詳細處理工具數(shù)據(jù)的所述記錄文件。根據(jù)所述的處理方法，其中接收所述記錄文件包括接收具有實時的詳細處理工具數(shù)據(jù)的所述記錄文件。通過本發(fā)明的計算機系統(tǒng)和處理方法對數(shù)據(jù)執(zhí)行校正與更新，從而導致產(chǎn)量的增加、較少的廢料并且降低生產(chǎn)周期。圖1顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的制造環(huán)境的簡化方框圖。圖2顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的在自動化制造環(huán)境中，用以校正物料與數(shù)據(jù)不一致的系統(tǒng)與方法的簡化數(shù)據(jù)流程圖。圖3顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的晶片分類機記錄文件的部分內(nèi)容。圖4顯示應用本發(fā)明實施例所述的審核算法的流程圖。圖5顯示應用本發(fā)明實施例所述在自動化制造環(huán)境中，用以校正物料與數(shù)據(jù)不一致的方法流程圖。其中，附圖標記說明如下10制造環(huán)境12、13、14、15、16處理工具20、21、22自動物料搬運機24手動物料傳送30自動化制造環(huán)境32處理工具記錄文件34剖析器36處理工具操作記錄38比較器40MES數(shù)據(jù)42審核算法44比較結(jié)果46結(jié)束48校正程序50不一致報告52產(chǎn)生并傳送警告電子郵件具體實施方式為讓本發(fā)明的所述和其它目的、特征、和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉出優(yōu)選實施例，并結(jié)合附圖，作詳細說明如下實施例圖1顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的制造環(huán)境10的簡化方框圖。制造環(huán)境10可以為半導體裝置廠或是任何自動化或半自動化制造環(huán)境，在制造環(huán)境10中物料流程的控制以及關(guān)于物料流程的數(shù)據(jù)的精確度極為重要。在這樣的環(huán)境中，通過不精確的數(shù)據(jù)來辨識物料的處理與位置可導致產(chǎn)量明顯的減少、物料的交錯污染(cross-contamination)、增加生產(chǎn)周期以及產(chǎn)生較多浪費的物料(higherproductionofwastedmaterials)。制造環(huán)境10包括多個處理工具以及設(shè)備12-16。在半導體制造設(shè)備中，處理工具12-16可以為獨立的設(shè)備或是群組設(shè)備(clustersofequipment)。這些處理工具包括執(zhí)行例如化學機械研磨、蝕刻、薄膜制造、光刻、清洗、測試等步驟的設(shè)備，以在晶片基板上形成半導體裝置。這些處理工具通常會全自動的將晶片覆蓋于例如前開式晶片盒(frontopeningunifiedpods，F(xiàn)OUPs)、前開式運輸盒(frontopeningshippingboxes，F(xiàn)OSBs)以及卡式磁帶等介質(zhì)中，并根據(jù)指定的方法執(zhí)行預定步驟。半導體廠中的物料或晶片通過自動物料搬運系統(tǒng)(AutomatedMaterialHandlingSystem，AMHS)的自動物料搬運機20-22的操作是從處理工具獲取晶片并且將晶片傳送至下一個處理工具執(zhí)行其它處理。這些自動物料搬運機可包括傳送帶(conveyor)、軌道(rail)、高架軌道(overheadtrack)、回轉(zhuǎn)臺(turntable)、機器人以及自動倉儲系統(tǒng)(stocker)等。制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturingexecutionsystem，MES)用以追蹤工作進展(work-in-progess)以及物料與數(shù)據(jù)流。雖然許多先進的制造環(huán)境已經(jīng)自動化，但是大部分的制造環(huán)境仍使用某些形式的手動物料搬運。例如，介于處理工具14與16之間的物料24傳送為手動執(zhí)行。例如，在半導體廠中，手動搬運與輸送晶片仍然常用于工具監(jiān)視或是步驟驗證。當手動搬運物料時，除非操作員小心的更新制造執(zhí)行系統(tǒng)，否則將會造成制造執(zhí)行系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)記錄與物料的實體位置不一致。圖2顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的系統(tǒng)的簡化數(shù)據(jù)流程圖，以及校正自動化制造環(huán)境30中物料與數(shù)據(jù)不一致的方法。系統(tǒng)30用以實時或于預定時間周期(例如每天、每四小時或是每八小時等)存取處理工具記錄文件32。處理工具記錄文件32中包括物料搬運的詳細執(zhí)行記錄或是執(zhí)行搬運的處理工具。記錄文件為自動產(chǎn)生的晶片搬運設(shè)備的物料內(nèi)容的詳細說明。圖3顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的處理工具記錄文件32。處理工具記錄文件32記錄搬運是由晶片分類機所執(zhí)行。處理工具記錄文件32作為剖析器(parser)34的輸入，剖析器用以讀取記錄文件的內(nèi)容，且記錄文件通常為私有(proprietary)的數(shù)據(jù)格式。接下來，剖析器選取數(shù)據(jù)并且對所選取的數(shù)據(jù)進行語法分析而產(chǎn)生具有以已知的數(shù)據(jù)格式而設(shè)置的分析數(shù)據(jù)的操作記錄(operationjournal)36。操作記錄36可指出設(shè)置于處理工具的晶片載具、載具中的晶片數(shù)量、相關(guān)的時間戳記(日期或時間)以及其它數(shù)據(jù)。例如，操作記錄36可包括下列數(shù)據(jù)星期一5月10日19:39:012005PFB00013910晶片PFF0005013晶片在所述例子中，操作記錄的內(nèi)容指出在2005年5月10日星期一時，晶片載具PFB000139包括十個晶片，且晶片載具PFF000501包括三個晶片。接下來，提供處理工具的處理工具操作記錄至比較器38，與儲存于MES中由制造執(zhí)行系統(tǒng)自動產(chǎn)生的數(shù)據(jù)40進行比較。比較器38根據(jù)審核算法(checkeralgorithm)42來判斷操作記錄數(shù)據(jù)36與MES數(shù)據(jù)40之間是否為不一致，并且產(chǎn)生比較結(jié)果44。關(guān)于更詳細的審核算法在圖4中討論。當操作記錄數(shù)據(jù)36與MES數(shù)據(jù)40一致時，代表工具實際執(zhí)行，且MES數(shù)據(jù)代表自動物料搬運系統(tǒng)發(fā)生于工具，接下來程序結(jié)束于方框46，直到預定間隔處的下一個執(zhí)行疊代(executioniteration)。如上所述，可實時或周期性的(例如每四個小時、每次變動或是每天)進行比較。當比較結(jié)果顯示MES數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)不一致時，MES數(shù)據(jù)可通過校正程序48執(zhí)行自動更新，如此一來便可使操作記錄數(shù)據(jù)與MES數(shù)據(jù)一致。因此，MES數(shù)據(jù)反應現(xiàn)實并且提供晶片設(shè)置的精確圖片。另外可結(jié)合自動校正而產(chǎn)生不一致報告50，并且將不一致報告50傳送至使用者或操作員。不一致報告可通過產(chǎn)生警告電子郵件信息52或其它裝置傳送給操作員。不一致警告電子郵件52可能包括下列數(shù)據(jù)對于PFB000139沒有發(fā)現(xiàn)不匹配的晶片數(shù)@星期一5月10日19:39:012005FOUP中的晶片10pcsMES中的晶片8pcs此警告電子郵件中根據(jù)設(shè)備記錄文件/操作記錄指出在特定的日期及時間，標記為PFC000139的載具包括十個晶片，但是MES數(shù)據(jù)僅顯示包括八個晶片。因此，必須注意MES數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)之間的不一致。當沒有執(zhí)行自動校正時，操作員可手動的更新MES數(shù)據(jù)使其符合操作記錄數(shù)據(jù)。圖2所示的元件或函式34、38、44、48、50以及52可以為在計算機平臺上所執(zhí)行的個別的應用程序或是用以執(zhí)行橫跨設(shè)置于分布式架構(gòu)中多個計算機平臺的多個模塊。系統(tǒng)可監(jiān)視并且挑出可能發(fā)生于半導體制造廠中所操作的個別處理工具、部分處理工具或是所有處理工具的錯誤。通過這樣的操作方法來檢查MES數(shù)據(jù)或其它用以追蹤物料處理與物料流程的數(shù)據(jù)對照由處理設(shè)備或工具所產(chǎn)生的數(shù)據(jù)的正確性，當發(fā)現(xiàn)不一致時即可對MES數(shù)據(jù)執(zhí)行校正與更新。MES數(shù)據(jù)的正確性將導致產(chǎn)量的增加、較少的廢料并且降低生產(chǎn)周期。圖4顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的審核算法42的流程圖。當在前開式晶片盒中的晶片編號被操作記錄36的記錄數(shù)據(jù)辨識時，開始步驟54。在步驟56中，前開式晶片盒中的晶片編號被MES數(shù)據(jù)40辨識。在步驟58中，審核算法42判斷來自記錄數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號是否與來自MES數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號一致。在步驟60中，當來自記錄數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號與MES數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號一致時，將一致的信息告知比較器，因此終止了處理步驟。在步驟62中，當來自記錄數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號與MES數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號不一致時，將不一致的信息告知比較器，并且執(zhí)行自動校正。因此終止處理步驟。圖5顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的在自動化制造環(huán)境30中用以校正物料與數(shù)據(jù)不一致的方法流程圖。當從處理工具獲取到記錄文件時，開始步驟66。在步驟68中，剖析器34分析記錄文件而產(chǎn)生操作記錄。在步驟70中，比較器38根據(jù)審核算法42對MES數(shù)據(jù)40與操作記錄36的數(shù)據(jù)進行比較。在步驟72中，審核算法42判斷MES數(shù)據(jù)40與操作記錄36的數(shù)據(jù)是否一致。在步驟74中，當MES數(shù)據(jù)40與操作記錄36的數(shù)據(jù)一致時，將一致的數(shù)據(jù)儲存至數(shù)據(jù)庫中，并且因而終止處理步驟。然而，在步驟76中，當MES數(shù)據(jù)40與操作記錄36的數(shù)據(jù)不一致時，將不一致的數(shù)據(jù)儲存至數(shù)據(jù)庫中。在步驟78中使用不一致的數(shù)據(jù)而對MES數(shù)據(jù)40執(zhí)行自動校正。在步驟80中自動產(chǎn)生并且傳送警告郵件，用以通知操作員不一致的信息，并因此終止處理步驟。本發(fā)明雖以優(yōu)選實施例揭示如上，然而其并非用以限定本發(fā)明的范圍，所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可做些許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍應當視后附的權(quán)利要求所界定的范圍為準。權(quán)利要求1.一種計算機系統(tǒng)，包括一剖析器，用以接收具有一詳細處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的一記錄文件，并且產(chǎn)生具有部分以一已知格式所設(shè)置的所述詳細處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的一操作記錄；一比較器，用以接收一自動化物料追蹤數(shù)據(jù)，并且與所述操作記錄數(shù)據(jù)進行比較；以及一自動校正模塊，用以當所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時，自動地校正所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)。2.如權(quán)利要求1所述的計算機系統(tǒng)，其中所述比較器還在檢測到所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)之間的不一致時產(chǎn)生一警告電子郵件。3.如權(quán)利要求1所述的計算機系統(tǒng)，其中所述比較器還在檢測到所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)之間的不一致時產(chǎn)生一不一致報告。4.如權(quán)利要求1所述的計算機系統(tǒng)，其中所述操作記錄包括設(shè)置于所述處理工具的多個物料載具的多個獨特的辨識器、由每個所述載具所運送的大量物料以及時間戳記。5.如權(quán)利要求1所述的計算機系統(tǒng)，其中所述記錄文件包括一預定時間周期的詳細處理工具數(shù)據(jù)。6.如權(quán)利要求1所述的計算機系統(tǒng)，其中所述記錄文件包括實時的詳細處理工具數(shù)據(jù)。7.一種處理方法，適用于具有編碼的計算機可讀取介質(zhì)，包括如下步驟接收具有一詳細處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的一記錄文件，并且產(chǎn)生具有部分以一已知格式所設(shè)置的所述詳細處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的一操作記錄；接收一自動化物料追蹤數(shù)據(jù)，并且將所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)進行比較；當檢測到所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時，自動地校正所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)。8.如權(quán)利要求7所述的處理方法，還包括當檢測到所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時產(chǎn)生一警告電子郵件。9.如權(quán)利要求7所述的處理方法，還包括當檢測到所述自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時產(chǎn)生一不一致報告。10.如權(quán)利要求7所述的處理方法，其中產(chǎn)生所述操作記錄包括提供設(shè)置于所述處理工具的多個物料載具的多個獨特的辨識器、由每個所述載具所運送的大量物料以及時間戳記。11.如權(quán)利要求7所述的處理方法，其中接收所述記錄文件包括接收具有一預定時間周期的詳細處理工具數(shù)據(jù)的所述記錄文件。12.如權(quán)利要求7所述的處理方法，其中接收所述記錄文件包括接收具有實時的詳細處理工具數(shù)據(jù)的所述記錄文件。全文摘要一種計算機系統(tǒng)與處理方法，該計算機系統(tǒng)包括剖析器、比較器以及自動校正模塊。剖析器用以接收具有詳細處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的記錄文件，并且產(chǎn)生具有部分以已知格式所設(shè)置的詳細處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的操作記錄。比較器用以接收自動化物料追蹤數(shù)據(jù)，并且與操作記錄數(shù)據(jù)進行比較。自動校正模塊用以當自動化物料追蹤數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)不一致時，自動地校正自動化物料追蹤數(shù)據(jù)。通過本發(fā)明的計算機系統(tǒng)和處理方法對數(shù)據(jù)執(zhí)行校正與更新，從而導致產(chǎn)量的增加、較少的廢料并且降低生產(chǎn)周期。文檔編號G05B19/418GK101034289SQ20071000517公開日2007年9月12日申請日期2007年2月15日優(yōu)先權(quán)日2006年3月8日發(fā)明者張永政,傅學士申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司