專利名稱：一種三軸步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及的是一種三軸步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)，用于控制晶圓檢測(cè)用顯微鏡三 軸的位置，實(shí)現(xiàn)晶圓檢測(cè)的自動(dòng)化。
背景技術(shù)：
晶圓檢測(cè)設(shè)備用于檢測(cè)光刻后的晶圓產(chǎn)品。晶圓檢測(cè)設(shè)備經(jīng)過(guò)三軸電控化改 造，再配合專門的晶圓檢測(cè)軟件可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)檢測(cè)等功能?？梢詫⒃?檢測(cè)中的人為因素減到最小，不僅解放了人力，也大大提高了檢測(cè)精度。目前用 于三軸步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)的控制策略多采用微處理器配合國(guó)外專用步進(jìn)電機(jī)控 制芯片的方案。采用專用步進(jìn)電機(jī)控制芯片的方案在簡(jiǎn)化設(shè)計(jì)的同時(shí)也帶來(lái)了一 個(gè)問(wèn)題，就是設(shè)計(jì)的擴(kuò)展空間不大。檢測(cè)設(shè)備的特殊控制要求往往得不到滿足。 本發(fā)明涉及的三軸步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)采用ARM加FPGA的控制方案，在FPGA 內(nèi)部設(shè)置運(yùn)動(dòng)控制寄存器，ARM接收控制命令并根據(jù)命令配置FPGA內(nèi)部不同 軸的運(yùn)動(dòng)控制寄存器，間接控制FPGA完成控制任務(wù)。FPGA設(shè)計(jì)很像ASIC設(shè) 計(jì)， 一旦邏輯設(shè)計(jì)固化后工作就很穩(wěn)定。如果想更改設(shè)計(jì)只要簡(jiǎn)單的重寫程序即 可，所以ARM加FPGA的控制方案給以后的功能擴(kuò)展帶來(lái)了很大的空間。發(fā)明內(nèi)容結(jié)合晶圓檢測(cè)設(shè)備的自動(dòng)化改造項(xiàng)目，同時(shí)針對(duì)采用專用運(yùn)動(dòng)控制芯片設(shè)計(jì) 帶來(lái)的成本高和限制大的缺點(diǎn)，本發(fā)明公開了一種基于ARM和FPGA的三軸步 進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)。本發(fā)明采用ARM接收控制計(jì)算機(jī)的控制指令，指令譯碼后將 相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)控制參數(shù)配置進(jìn)FPGA內(nèi)部預(yù)設(shè)的運(yùn)動(dòng)控制寄存器中，F(xiàn)PGA探測(cè)到 運(yùn)動(dòng)控制寄存器中運(yùn)動(dòng)控制參數(shù)的變化，根據(jù)變化的情況改變運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。整個(gè)設(shè) 計(jì)簡(jiǎn)潔有效，柔性很大，有利于后來(lái)的功能擴(kuò)展。本發(fā)明的技術(shù)方案如下一種三軸步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)，其特征在于包括有ARM處理器、現(xiàn)場(chǎng)可編程邏輯門陣列FPGA、歩進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、手柄控制模塊和用于X、 Y、 Z軸步進(jìn) 電機(jī)位置反饋的光柵尺，現(xiàn)場(chǎng)可編程邏輯門陣列FPGA內(nèi)部建立有X、 Y、 Z軸 運(yùn)動(dòng)參數(shù)寄存器、位置反饋寄存器及其它控制寄存器，ARM處理器外接有外部 擴(kuò)展RAM和外部護(hù)展ROM,控制計(jì)算機(jī)通過(guò)RS232通訊接口與ARM處理器 通訊連接；根據(jù)事先規(guī)定好的通訊協(xié)議，控制計(jì)算機(jī)通過(guò)RS232通訊接口將控 制命令和配置數(shù)據(jù)傳送給ARM處理器，ARM處理器將接收到的數(shù)據(jù)處理后， 通過(guò)與FPGA相連的數(shù)據(jù)線和地址線將處理后的數(shù)據(jù)寫入FPGA內(nèi)的與X、 Y、 Z軸運(yùn)動(dòng)參數(shù)寄存器中；FPGA內(nèi)嵌有細(xì)分控制模塊、扭矩控制模塊和電流控制 模塊三個(gè)控制邏輯，細(xì)分控制模塊用于控制步進(jìn)電機(jī)的細(xì)分參數(shù)、扭矩控制模塊 設(shè)置步進(jìn)電機(jī)的最大扭矩、電流控制模塊用于設(shè)置流過(guò)步進(jìn)電機(jī)相線圈的最大電 流值，并受控于X、 Y、 Z軸運(yùn)動(dòng)參數(shù)寄存器中的值；FPGA通過(guò)細(xì)分控制模塊、 扭矩控制模塊和電流控制模塊三個(gè)控制邏輯控制步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng) 器驅(qū)動(dòng)X、 Y、 Z軸步進(jìn)電機(jī)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)；光柵尺將檢測(cè)到的X、 Y、 Z軸步進(jìn)電 機(jī)的實(shí)際位置參量反饋給FPGA，在FPGA內(nèi)部有邏輯比較X、 Y、 Z軸步進(jìn)電 機(jī)的理論位置值和實(shí)際位置參量之間的偏差并自動(dòng)給予補(bǔ)償；手柄控制模塊通過(guò) 通訊控制總線接入FPGA，以實(shí)現(xiàn)手柄對(duì)X、 Y、 Z軸步進(jìn)電機(jī)的控制。所述的三軸步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)，其特征在于-ARM處理器選擇ARM7或ARM9系列芯片；外部擴(kuò)展RAM選擇SRAM或SDRAM;外部擴(kuò)展ROM可選擇FLASH或ROM;FPGA選擇Altera公司的Cyclone、 CycloneII或CycloneIII系列芯片。在本發(fā)明中首先確定了控制計(jì)算機(jī)和ARM處理器的通訊協(xié)議，然后確定了 ARM和FPGA之間的控制策略。ARM和FPGA的控制策略主要是確定每一個(gè) 軸所需要的運(yùn)動(dòng)控制寄存器的種類、每一種寄存器的比特?cái)?shù)以及用于控制的二級(jí) 寄存器的數(shù)量和數(shù)據(jù)流向。ARM處理器從控制計(jì)算機(jī)接收到控制指令，控制指令在ARM中譯碼。處 理器首先對(duì)控制計(jì)算機(jī)傳輸過(guò)來(lái)的操作數(shù)做數(shù)據(jù)處理，形成FPGA需要的控制數(shù) 據(jù)，包括歩進(jìn)電機(jī)的啟動(dòng)速度、加速度、驅(qū)動(dòng)高速和運(yùn)行距離等等。此時(shí)ARM 并不直接配置FPGA的控制寄存器，而是讀取FPGA內(nèi)部所要操作軸的運(yùn)行狀 態(tài)寄存器，從狀態(tài)寄存器獲取當(dāng)前軸的運(yùn)行狀態(tài)， 一旦軸狀態(tài)可以更改，則將數(shù) 據(jù)通過(guò)ARM的數(shù)據(jù)線和地址線寫入FPGA中。FPGA內(nèi)部的每個(gè)軸的寄存器分成3種命令寄存器、運(yùn)行參數(shù)寄存器和運(yùn) 行狀態(tài)寄存器。命令寄存器用于裝載各種不同的運(yùn)動(dòng)命令字，如正向運(yùn)行命令字、 負(fù)向運(yùn)行命令字、立即停止命令字、減速停止命令字和改變驅(qū)動(dòng)速度命令字等等。 運(yùn)行參數(shù)寄存器用于裝載與每個(gè)軸要完成一個(gè)運(yùn)行所必需的參數(shù)，如驅(qū)動(dòng)速度 值、運(yùn)行距離值、加速度值、中斷源選擇等等；運(yùn)行狀態(tài)寄存器用于保存當(dāng)前軸 的運(yùn)行狀態(tài)，如當(dāng)前軸是否處于加速狀態(tài)、當(dāng)前軸停止的原因、當(dāng)前軸產(chǎn)生中斷 的中斷源等等。當(dāng)ARM改變FPGA內(nèi)部的命令寄存器后，F(xiàn)PGA通過(guò)內(nèi)部的邏輯執(zhí)行命令 寄存器中的指令，給步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器輸出驅(qū)動(dòng)脈沖流、驅(qū)動(dòng)方向信號(hào)和驅(qū)動(dòng)器使 能信號(hào)。FPGA輸出的驅(qū)動(dòng)脈沖流就包括了運(yùn)行參數(shù)寄存器中的信息，如加速或 減速等等。FPGA輸出的驅(qū)動(dòng)脈沖流是弱電信號(hào)，不足以驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)的線圈， 脈沖流經(jīng)過(guò)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的環(huán)形分配、細(xì)分處理和功率放大后輸出給步進(jìn)電機(jī) 的線圈帶動(dòng)步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)。在執(zhí)行定步長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)過(guò)程完成后，F(xiàn)PGA會(huì)比較光柵尺所反饋的實(shí)際 位置和理論位置之間的誤差，在不需要ARM干涉的情況下自動(dòng)補(bǔ)償?shù)街付ㄎ恢谩?同時(shí)，可以通過(guò)在FPGA指定的寄存器中存儲(chǔ)絲杠的回程誤差，開啟控制平臺(tái)的 自動(dòng)回程補(bǔ)償功能，實(shí)現(xiàn)在運(yùn)行中對(duì)絲杠回程誤差的補(bǔ)償。光柵尺的實(shí)際位置反 饋使每一個(gè)軸工作于閉環(huán)狀態(tài)，配合絲杠的回程誤差補(bǔ)償功能，使每個(gè)軸的工作 更精確更穩(wěn)定。在檢測(cè)顯微鏡應(yīng)用中還需要使用手柄控制(control stick), control stick的控制 也需要集成在運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)上，并且control stick控制和控制計(jì)算機(jī)的控制不能相互沖突。本發(fā)明采用FPGA完成此功能，通過(guò)功能按鈕來(lái)切換不同渠道的脈沖 流，脈沖流的驅(qū)動(dòng)源有兩個(gè) 一個(gè)是FPGA內(nèi)部根據(jù)運(yùn)動(dòng)控制寄存器而生成的運(yùn) 動(dòng)控制脈沖流；另一個(gè)就是通過(guò)joystick控制模塊產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)控制脈沖流，功能 按鈕通過(guò)切換這兩個(gè)脈沖流渠道來(lái)切換控制主體。同現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)為1)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，功能完整，定位精度高。 2)新功能開發(fā)拓展方便，滿足新產(chǎn)品的開發(fā)各種需求。3)成本低廉，經(jīng)濟(jì)適用。


圖l本發(fā)明結(jié)構(gòu)原理框圖。圖2本發(fā)明硬件結(jié)構(gòu)圖。圖3本發(fā)明電機(jī)及控制手柄接口4 本發(fā)明FPGA電路圖。圖5本發(fā)明ARM電路圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做詳細(xì)描述。圖1所示為系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)原理框圖，由圖中可見(jiàn)整個(gè)控制平臺(tái)分成5個(gè)部分ARM處理器部分這個(gè)部分還包括外部RAM和外部Flash。外部RAM存 有運(yùn)行時(shí)的臨時(shí)數(shù)據(jù)，外部Flash用于存放ARM的運(yùn)行代碼。ARM通過(guò)RS232 接口同主機(jī)聯(lián)系，接收控制計(jì)算機(jī)的控制命令。ARM通過(guò)另外一路RS232接口 與晶圓檢測(cè)用顯微鏡聯(lián)系，給顯微鏡發(fā)送控制命令，控制顯微鏡的光欄和目鏡的 轉(zhuǎn)換。ARM通過(guò)16根數(shù)據(jù)線和8根地址線與FPGA相連，和FPGA交換數(shù)據(jù)。FPGA部分FPGA內(nèi)部有若干運(yùn)動(dòng)控制寄存器，F(xiàn)PGA接收ARM的配置 數(shù)據(jù)并根據(jù)配置數(shù)據(jù)做相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)控制，如配置位置反饋寄存器、命令寄存器等。 FPGA通過(guò)ARM的地址線和數(shù)據(jù)線與ARM交換數(shù)據(jù)。此外和FPGA連接的部 分有手柄控制模塊、光柵尺反饋和步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器等。手柄控制模塊該部分引入手柄控制，在FPGA的控制下切換手柄控制和邏 輯控制。光柵尺反饋部分該部分FPGA通過(guò)讀取各軸光柵尺獲得實(shí)際位置值，在這 個(gè)實(shí)際位置數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制。步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器這個(gè)部分將步進(jìn)電機(jī)的控制脈沖進(jìn)行環(huán)形分配并做功率放 大以驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)。在本發(fā)明中關(guān)鍵的硬件主要包括兩個(gè)方面FPGA部分和ARM部分，以下對(duì)這兩個(gè)部分的設(shè)計(jì)做詳細(xì)的描述。1) FPGA部分如圖2所示，F(xiàn)PGA采用cyclone的EP1C6T144C8。 FPGA通過(guò)ARM的數(shù) 據(jù)線和地址線與ARM交換數(shù)據(jù)。FPGA的120腳~134腳和139勝卩、140腳與ARM 的D0-D15相連；FPGA的114腳~118腳和119腳與ARM的A1 A7相連，除 此之外，F(xiàn)PGA的105腳、106腳和107腳分別連接ARM的讀控制端、寫控制 端和片選端。在FPGA內(nèi)部建立運(yùn)動(dòng)控制寄存器，并將這些寄存器的地址與ARM 的尋址地址相關(guān)聯(lián)，則ARM處理器可以通過(guò)讀寫運(yùn)動(dòng)控制寄存器控制FPGA的 工作。FPGA輸出脈沖給步進(jìn)電機(jī)控制器，通過(guò)步進(jìn)電機(jī)控制器的功率放大驅(qū)動(dòng)步 進(jìn)電機(jī)。FPGA的1 7腳、10腳、ll腳連接至X軸步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，這些引腳 的功能包括輸出的步進(jìn)電機(jī)控制脈沖流信號(hào)、步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)方向信號(hào)、步進(jìn)電 機(jī)驅(qū)動(dòng)器細(xì)分控制信號(hào)、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器電流控制信號(hào)、X軸原點(diǎn)信號(hào)和X軸 限位信號(hào)；同樣的FPGA的26腳、27腳和31~39腳為Y軸步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的信 號(hào)；FPGA的41腳、42腳、48~53腳、56腳和57腳連接至Z軸步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng) 器。手柄的控制信號(hào)也是連接至FPGA的。手柄控制模塊的脈沖信號(hào)輸出端分別 連接至FPGA的60腳、61腳和70腳，手柄的脈沖信號(hào)輸出是隨同手柄擺動(dòng)幅 度變化而變化的；FPGA的69~71腳連接至手柄控制模塊的軸鎖定按鈕，在軸鎖 定狀態(tài)下，鎖定軸的手柄輸出脈沖被忽略；FPGA的72腳連接至手柄控制模塊 的功能鎖定按鈕上，功能鎖定按鈕的功能是切換手柄和控制計(jì)算機(jī)對(duì)對(duì)應(yīng)軸的控 制權(quán)；FPGA的73~76引腳連接至手柄控制模塊的光欄切換和目鏡切換按鈕， FPGA中的控制邏輯負(fù)責(zé)接收手柄控制模塊的命令并通知ARM處理器通過(guò)串口 控制晶圓檢測(cè)設(shè)備變動(dòng)光欄和轉(zhuǎn)換目鏡。FPGA的99腳、100腳、103腳和104腳為中斷反饋信號(hào)腳，這4個(gè)引腳分 別接至ARM的EINT0 EINT3腳上，在每次運(yùn)行結(jié)束后或發(fā)生異常情況時(shí)這些 引腳會(huì)給出一個(gè)異常電平從而觸發(fā)ARM產(chǎn)生一個(gè)中斷，在ARM的中斷程序中， ARM處理器讀出FPGA內(nèi)各軸運(yùn)動(dòng)狀態(tài)寄存器的值從而判斷出FPGA產(chǎn)生中斷 的原因，并以此為基礎(chǔ)做出相應(yīng)的處理。
為了實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，三軸步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)還留有與光柵尺的接口。光柵尺 產(chǎn)生的信號(hào)多為422電平信號(hào)，MAX3097是專門用于將運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)上光柵尺 一類的位置檢測(cè)器件的422電平信號(hào)變?yōu)門TL電平的集成芯片。FPGA83腳 85 腳和96腳~98腳分別連至X軸和Y軸光柵尺的反饋信號(hào)接口 ， FPGA內(nèi)部邏輯 根據(jù)ARM配置的運(yùn)動(dòng)控制參數(shù)完成一次運(yùn)動(dòng)，在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中和運(yùn)動(dòng)結(jié)束時(shí)， FPGA不斷比較實(shí)際位置值和理論位置值之間的誤差，在不用ARM干涉的情況 下完成誤差的實(shí)時(shí)補(bǔ)償。 2) ARM處理器部分
如圖5所示，ARM處理器采用的是PHILIP公司的LPC2292處理器。在設(shè) 計(jì)中為了保證運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)的穩(wěn)定性，給ARM處理器移植了 uCLinux系統(tǒng)， uCLinux系統(tǒng)是一個(gè)源碼開放的系統(tǒng)，核心小、運(yùn)行平穩(wěn)。為了能讓ARM上的 操作系統(tǒng)和工作程序穩(wěn)定工作，給ARM處理器擴(kuò)展了外部RAM和外部FLASH, 外部RAM和外部FLASH都是字長(zhǎng)為16bit的存儲(chǔ)器。FLASH的型號(hào)為 SST39VF160, RAM的型號(hào)為CY7C1041 。
ARM處理器對(duì)工作電平要求較高，在本發(fā)明中采用專門的系統(tǒng)復(fù)位芯片 MAX803S。該復(fù)位芯片的閾值電平為2.95V,復(fù)位時(shí)間為140ms。和一般的阻容 復(fù)位電路相比較，此種復(fù)位電路更小巧，工作也更穩(wěn)定。
權(quán)利要求
1.一種三軸步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)，其特征在于包括有ARM處理器、現(xiàn)場(chǎng)可編程邏輯門陣列FPGA、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、手柄控制模塊和用于X、Y、Z軸步進(jìn)電機(jī)位置反饋的光柵尺，現(xiàn)場(chǎng)可編程邏輯門陣列FPGA內(nèi)部建立有X、Y、Z軸運(yùn)動(dòng)參數(shù)寄存器、位置反饋寄存器及其它控制寄存器，ARM處理器外接有外部擴(kuò)展RAM和外部護(hù)展ROM，控制計(jì)算機(jī)通過(guò)RS232通訊接口與ARM處理器通訊連接；根據(jù)事先規(guī)定好的通訊協(xié)議，控制計(jì)算機(jī)通過(guò)RS232通訊接口將控制命令和配置數(shù)據(jù)傳送給ARM處理器，ARM處理器將接收到的數(shù)據(jù)處理后，通過(guò)與FPGA相連的數(shù)據(jù)線和地址線將處理后的數(shù)據(jù)寫入FPGA內(nèi)的與X、Y、Z軸運(yùn)動(dòng)參數(shù)寄存器中；FPGA內(nèi)嵌有細(xì)分控制模塊、扭矩控制模塊和電流控制模塊三個(gè)控制邏輯，細(xì)分控制模塊用于控制步進(jìn)電機(jī)的細(xì)分參數(shù)、扭矩控制模塊設(shè)置步進(jìn)電機(jī)的最大扭矩、電流控制模塊用于設(shè)置流過(guò)步進(jìn)電機(jī)相線圈的最大電流值，并受控于X、Y、Z軸運(yùn)動(dòng)參數(shù)寄存器中的值；FPGA通過(guò)細(xì)分控制模塊、扭矩控制模塊和電流控制模塊三個(gè)控制邏輯控制步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)X、Y、Z軸步進(jìn)電機(jī)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)；光柵尺將檢測(cè)到的X、Y、Z軸步進(jìn)電機(jī)的實(shí)際位置參量反饋給FPGA，在FPGA內(nèi)部有邏輯比較X、Y、Z軸步進(jìn)電機(jī)的理論位置值和實(shí)際位置參量之間的偏差并自動(dòng)給予補(bǔ)償；手柄控制模塊通過(guò)通訊控制總線接入FPGA，以實(shí)現(xiàn)手柄對(duì)X、Y、Z軸步進(jìn)電機(jī)的控制。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的三軸步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)，其特征在于 ARM處理器選擇ARM7或ARM9系列芯片；外部擴(kuò)展RAM選擇SRAM或SDRAM; 外部擴(kuò)展ROM可選擇FLASH或ROM;FPGA選擇Altera公司的Cyclone、 CycloneII或CycloneIII系列芯片。
全文摘要
本發(fā)明公布的三軸步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)，用于晶圓檢測(cè)顯微鏡三軸的位置控制。包括有ARM處理器、現(xiàn)場(chǎng)可編程邏輯門陣列FPGA、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、手柄控制模塊和用于X、Y、Z軸步進(jìn)電機(jī)位置反饋的光柵尺等，現(xiàn)場(chǎng)可編程邏輯門陣列FPGA內(nèi)部建立有X、Y、Z軸運(yùn)動(dòng)參數(shù)寄存器、位置反饋寄存器及其它控制寄存器。ARM處理器通過(guò)通訊線路從控制計(jì)算機(jī)獲取控制命令，將控制命令譯碼成為FPGA所需要的控制參數(shù)配置到FPGA中相應(yīng)的控制寄存器中，F(xiàn)PGA檢測(cè)控制寄存器中值的變化，并根據(jù)給定的值驅(qū)動(dòng)各軸步進(jìn)電機(jī)的運(yùn)行。該步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)運(yùn)用ARM和FPGA的聯(lián)合控制策略，克服了采用專用步進(jìn)電機(jī)控制芯片的桎梏，給用戶的二次開發(fā)帶來(lái)了很大的擴(kuò)展空間，同時(shí)也增強(qiáng)了控制的穩(wěn)定性。
文檔編號(hào)G05B19/414GK101246366SQ200810018680
公開日2008年8月20日 申請(qǐng)日期2008年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月10日
發(fā)明者茍成全, 黃福光 申請(qǐng)人:芯碩半導(dǎo)體(中國(guó))有限公司