時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法及其裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠檢驗(yàn)由傳感器測(cè)量的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案的裝置及方法。本發(fā)明的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法包括以下步驟：獲得適用于可疑傳感器的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案信息；訪問在檢驗(yàn)對(duì)象期間由所述可疑傳感器生成的各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)；按各產(chǎn)品計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)之間的相似度；基于所述相似度計(jì)算所述不良圖案的錯(cuò)誤率。
【專利說明】時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法及其裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種時(shí)間序列形式的傳感（sensing)數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法及其 裝置。更詳細(xì)地，通過計(jì)算出能夠適用于由規(guī)定設(shè)備中具備的規(guī)定傳感器所測(cè)量及生成的 時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案的錯(cuò)誤率來檢驗(yàn)所述不良圖案的方法及其裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 在制品生產(chǎn)中，制品的品質(zhì)維持和實(shí)現(xiàn)成品率（yield)非常重要。因此，為了提高 優(yōu)質(zhì)制品的生產(chǎn)成品率，需要早期發(fā)現(xiàn)并診斷工序進(jìn)行或設(shè)備的異常情況。為此，介紹以下 方法：監(jiān)測(cè)工序的狀態(tài)來發(fā)現(xiàn)有可能產(chǎn)生的異常并區(qū)分異常類型的FDC(故障檢測(cè)與分類， Fault Detection&Classification) 〇
[0003] 專利文獻(xiàn)：美國(guó)公開專利第2010-00268501號(hào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠檢驗(yàn)時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)不良 圖案的裝置及方法。
[0005] 本發(fā)明所要解決的另一技術(shù)問題是提供一種將規(guī)定的不良圖案和在各產(chǎn)品的生 產(chǎn)中以時(shí)間序列形式產(chǎn)生的傳感數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，并通過計(jì)算所述不良圖案的錯(cuò)誤率來檢驗(yàn) 所述不良圖案的可靠度的方法及裝置。
[0006] 本發(fā)明所要解決的又一技術(shù)問題是提供一種對(duì)制品生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生的以時(shí)間 序列形式測(cè)量的傳感數(shù)據(jù)適用與專業(yè)化的不良圖案的相似度計(jì)算方法的不良圖案檢驗(yàn)方 法及其裝置。
[0007] 本發(fā)明所要解決的又一技術(shù)問題是提供一種以產(chǎn)品的不良判斷比率為基礎(chǔ)計(jì)算 所述不良圖案的錯(cuò)誤率的不良圖案檢驗(yàn)方法及其裝置，其中，該產(chǎn)品具有被判斷成與不良 圖案相似的以時(shí)間序列形式測(cè)量的傳感數(shù)據(jù)。
[0008] 本發(fā)明所要解決的又一技術(shù)問題是提供一種用于判斷是否產(chǎn)生異常的設(shè)備及其 是否產(chǎn)生異常的判斷方法，該設(shè)備及方法將規(guī)定的不良圖案和由內(nèi)部具備的傳感器測(cè)量的 時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的相似度進(jìn)行比較，從而判斷是否產(chǎn)生異常。
[0009] 本發(fā)明所要解決的又一技術(shù)問題是提供一種在具備一個(gè)以上的傳感器的生產(chǎn)設(shè) 備中，實(shí)時(shí)判斷從所述傳感器生成的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)與已指定的不良圖案之間的 相似與否，并且根據(jù)所述判斷結(jié)果生成警告信號(hào)的生產(chǎn)設(shè)備。
[0010] 本發(fā)明所要解決的又一技術(shù)問題是提供一種在具備一個(gè)以上的傳感器的生產(chǎn)設(shè) 備中，實(shí)時(shí)判斷從所述傳感器以時(shí)間序列形式測(cè)量的傳感數(shù)據(jù)與已指定的不良圖案之間的 相似與否，并且根據(jù)所述判斷結(jié)果生成警告信號(hào)的生產(chǎn)設(shè)備及生產(chǎn)設(shè)備的傳感器測(cè)量值監(jiān) 測(cè)方法。
[0011] 本發(fā)明所要解決的又一技術(shù)問題是提供一種獲得從具備一個(gè)以上的傳感器的生 產(chǎn)設(shè)備測(cè)量的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí)判斷所述接收的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)與 已指定的不良圖案之間的相似與否，并且根據(jù)所述判斷結(jié)果生成警告信號(hào)的不良圖案探測(cè) 裝置及其方法。
[0012] 本發(fā)明的技術(shù)問題并不限定于上述所涉及的技術(shù)問題，本領(lǐng)域技術(shù)人員從下述的 記載能明確理解本發(fā)明沒有提及到的其他技術(shù)問題。
[0013] 為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)問題，本發(fā)明的一實(shí)施方式（aspect)的傳感器測(cè)量值時(shí)間序 列數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法包括以下步驟：獲得適用于由可疑傳感器測(cè)量的時(shí)間序列形式 的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案信息；訪問（access)在檢驗(yàn)對(duì)象期間由所述可疑傳感器生成的各 產(chǎn)品的制造時(shí)所測(cè)量的時(shí)間序列性的傳感數(shù)據(jù)；按各產(chǎn)品計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息的不 良圖案與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)之間的相似度；以及基于所述相似度計(jì)算所述不良 圖案的錯(cuò)誤率。
[0014] 根據(jù)一實(shí)施例，按各產(chǎn)品計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述時(shí)間序列 形式的傳感數(shù)據(jù)之間的相似度的步驟可包括：將所述各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的 時(shí)間軸分割成規(guī)定個(gè)數(shù)W的區(qū)間，按已分割的各區(qū)間計(jì)算傳感數(shù)據(jù)代表值，并且存儲(chǔ)計(jì)算 出的傳感數(shù)據(jù)代表值；利用已存儲(chǔ)的傳感數(shù)據(jù)代表值的均值及方差對(duì)所述已存儲(chǔ)的傳感數(shù) 據(jù)代表值進(jìn)行歸一化；對(duì)各個(gè)經(jīng)歸一化的傳感數(shù)據(jù)代表值賦予按區(qū)間分配的符號(hào)，將所述 各產(chǎn)品的測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù)變換成符號(hào)數(shù)組（symbol array);以及按各產(chǎn)品計(jì)算所述不 良圖案信息的符號(hào)數(shù)組與所述各產(chǎn)品的符號(hào)數(shù)組之間的相似度。
[0015] 根據(jù)一實(shí)施例，按各產(chǎn)品計(jì)算所述不良圖案信息的符號(hào)數(shù)組與所述各產(chǎn)品的符號(hào) 數(shù)組的相似度的步驟可包括：相對(duì)于所述不良圖案信息的所述符號(hào)數(shù)組和所述各產(chǎn)品的符 號(hào)數(shù)組計(jì)算表示從之前區(qū)間的符號(hào)值是否增加/減少的符號(hào)增減索引數(shù)組；以及按各產(chǎn)品 計(jì)算所述不良圖案信息的所述符號(hào)增減索引數(shù)組與所述各產(chǎn)品的符號(hào)增減索引數(shù)組的相 似度。
[0016] 根據(jù)一實(shí)施例，按各產(chǎn)品計(jì)算所述不良圖案信息的符號(hào)數(shù)組與所述各產(chǎn)品的符號(hào) 數(shù)組的相似度的步驟進(jìn)一步可包括：按各產(chǎn)品進(jìn)一步計(jì)算所述不良圖案信息的符號(hào)數(shù)組與 所述各產(chǎn)品的符號(hào)數(shù)組的歐式距離相似度；以及按各產(chǎn)品進(jìn)一步計(jì)算所述不良圖案信息的 符號(hào)數(shù)組與所述各產(chǎn)品的符號(hào)數(shù)組的相關(guān)系數(shù)。
[0017] 根據(jù)一實(shí)施例，計(jì)算所述不良圖案的錯(cuò)誤率的步驟可包括：查詢所述各產(chǎn)品的不 良判斷信息；以及將所述各產(chǎn)品的不良判斷信息和計(jì)算出的相似度進(jìn)行比較來計(jì)算所述不 良圖案的錯(cuò)誤率。此時(shí)，按各產(chǎn)品計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述傳感數(shù)據(jù) 之間的相似度的步驟進(jìn)一步可包括：按各產(chǎn)品計(jì)算第一相似度和第二相似度，所述第一相 似度依據(jù)根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù)之間的第一基準(zhǔn)， 并且所述第二相似度依據(jù)根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù) 之間的第二基準(zhǔn)。此時(shí)，所述第一相似度和所述第二相似度具有意味著非相似的0至意味 著相同的1之間的值。此外，將所述各產(chǎn)品的不良判斷信息和所述計(jì)算出的相似度進(jìn)行比 較來計(jì)算所述不良圖案的錯(cuò)誤率的步驟可包括：在特定產(chǎn)品的所述第一相似度和所述第二 相似度中一個(gè)以上為1，并且所述不良判斷信息表示所述特定產(chǎn)品被賦予優(yōu)良品判斷的情 況下，將所述特定產(chǎn)品選擇為所述不良圖案信息的錯(cuò)誤情況；以及以所述錯(cuò)誤情況的件數(shù) 為基礎(chǔ)計(jì)算所述錯(cuò)誤率。
[0018] 根據(jù)一實(shí)施例，訪問所述各產(chǎn)品的測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù)的步驟可包括：訪問在規(guī) 定期間由所述可疑傳感器生成的FDC (故障檢測(cè)與分類，F(xiàn)ault Detection& Classification) 數(shù)據(jù)即各產(chǎn)品的測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù)。即，根據(jù)本實(shí)施例，具有能夠利用作為檢測(cè)并分類缺 陷的用途使用的數(shù)據(jù)來檢驗(yàn)不良圖案的效果。
[0019] 為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)問題，本發(fā)明的另一實(shí)施方式的不良圖案檢驗(yàn)裝置可包括：檢 驗(yàn)參數(shù)接收部，接收包括適用于可疑傳感器的測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù)的不良圖案信息及檢驗(yàn) 方法信息的檢驗(yàn)參數(shù)；時(shí)間序列數(shù)據(jù)提取部，訪問在根據(jù)所述檢驗(yàn)方法信息的檢驗(yàn)對(duì)象期 間由所述可疑傳感器生成的、各產(chǎn)品的測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù)；相似度計(jì)算部，按各產(chǎn)品計(jì)算 根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù)之間的相似度；以及不良圖 案檢驗(yàn)部，基于所述相似度計(jì)算所述不良圖案的錯(cuò)誤率。
[0020] 根據(jù)一實(shí)施例，所述不良圖案檢驗(yàn)裝置進(jìn)一步可包括：前處理部，從所述時(shí)間序列 數(shù)據(jù)提取部獲得所述各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)，并且在對(duì)所述各產(chǎn)品的時(shí)間序列 性的傳感數(shù)據(jù)適用前處理工序之后向所述相似度計(jì)算部提供。此時(shí)，所述前處理部可包括： 傳感數(shù)據(jù)分割壓縮模塊，將所述各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的時(shí)間軸分割成規(guī)定 個(gè)數(shù)W的區(qū)間，按已分割的各區(qū)間計(jì)算傳感數(shù)據(jù)代表值，并且存儲(chǔ)計(jì)算出的傳感數(shù)據(jù)代表 值；歸一化模塊，利用已存儲(chǔ)的傳感數(shù)據(jù)代表值的均值及方差來對(duì)所述已存儲(chǔ)的傳感數(shù)據(jù) 代表值進(jìn)行歸一化；和SAX變換模塊，對(duì)經(jīng)歸一化的各個(gè)傳感數(shù)據(jù)代表值賦予按傳感數(shù)據(jù) 區(qū)間分配的符號(hào)，將所述各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)SAX(符號(hào)聚集近似，Symbolic AggregateApproximation)變換成符號(hào)數(shù)組（symbol array)并向所述相似度計(jì)算部提供。
[0021] 為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)問題，本發(fā)明的又一實(shí)施方式的生產(chǎn)設(shè)備的傳感數(shù)據(jù)圖案監(jiān)測(cè) 方法可包括以下步驟：獲得適用于由監(jiān)測(cè)對(duì)象傳感器測(cè)量的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的不良圖案信 息；獲得從所述監(jiān)測(cè)對(duì)象傳感器測(cè)量的時(shí)間序列數(shù)據(jù)；計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息的不良 圖案與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)之間的歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度，所 述歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度具有意味著非相似的〇至意味著相同的1之間 的值；和在所述歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度中的至少一個(gè)值被計(jì)算為1的情 況下生成警告信號(hào)。此時(shí)，所述趨勢(shì)相似度為測(cè)量值的隨時(shí)間推移的增減圖案的相似度。
[0022] 為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)問題，本發(fā)明的又一實(shí)施方式的生產(chǎn)設(shè)備包括：一個(gè)以上的傳 感器,生成時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)；時(shí)間序列數(shù)據(jù)流接收部,從所述一個(gè)以上的傳感器獲 得測(cè)量的時(shí)間序列數(shù)據(jù)流；不良圖案信息接收部，獲得適用于從各傳感器生成的時(shí)間序列 形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案信息；相似度計(jì)算部，對(duì)各傳感器計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息 的不良圖案與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)之間的歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似 度，并且所述歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度具有意味著非相似的至意味著相 同的"1"之間的值；和警告信號(hào)輸出部，在由所述相似度計(jì)算部計(jì)算出的所述歐式距離相 似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度中的至少一個(gè)值被計(jì)算為1的情況下生成警告信號(hào)。
[0023] 為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)問題，本發(fā)明的又一實(shí)施方式的基準(zhǔn)圖案探測(cè)裝置包括：時(shí)間 序列數(shù)據(jù)流接收部，獲得由一個(gè)以上的傳感器測(cè)量的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)；基準(zhǔn)圖案 信息接收部，獲得適用于各傳感器的測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)圖案信息；相似度計(jì)算部， 對(duì)各傳感器計(jì)算根據(jù)所述基準(zhǔn)圖案信息的基準(zhǔn)圖案與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)之間 的歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度，所述歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度 具有意味著非相似的〇至意味著相同的1之間的值。
[0024] 所述基準(zhǔn)圖案探測(cè)裝置進(jìn)一步可包括：警告信號(hào)輸出部，在由所述相似度計(jì)算部 計(jì)算出的所述歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度中的至少一個(gè)值被計(jì)算為1的情況 下生成警告信號(hào)。
[0025] 所述基準(zhǔn)圖案探測(cè)裝置與建筑能量管理系統(tǒng)（Building Energy Management System)聯(lián)動(dòng)地使用，或可以作為建筑能量管理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)要素來使用。此時(shí)，所述一個(gè)以 上的傳感器可包括測(cè)量建筑物的能源消耗量的第一傳感器。
[0026] 根據(jù)一實(shí)施例，所述一個(gè)以上的傳感器可包括測(cè)量建筑物的能源消耗量的第一傳 感器和測(cè)量建筑物內(nèi)部環(huán)境的第二傳感器。此時(shí)，所述基準(zhǔn)圖案信息接收部獲得適用于所 述第一傳感器的第一基準(zhǔn)圖案信息和適用于所述第二傳感器的第二基準(zhǔn)圖案信息，所述相 似度計(jì)算部計(jì)算并輸出根據(jù)所述第一基準(zhǔn)圖案信息的第一基準(zhǔn)圖案與所述第一傳感器的 傳感數(shù)據(jù)之間的歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度，并且計(jì)算并輸出根據(jù)所述第二 基準(zhǔn)圖案信息的第二基準(zhǔn)圖案與所述第二傳感器的傳感數(shù)據(jù)之間的歐式距離相似度、相關(guān) 系數(shù)及趨勢(shì)相似度，所述警告信號(hào)輸出部在所述第一傳感器的歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù) 及趨勢(shì)相似度中的至少一個(gè)值被計(jì)算為1，并且所述第二傳感器的歐式距離相似度、相關(guān)系 數(shù)及趨勢(shì)相似度中的至少一個(gè)值被計(jì)算為1的情況下能夠生成并輸出警告信號(hào)。
[0027] 根據(jù)如上所述的本發(fā)明，通過利用實(shí)際生產(chǎn)結(jié)果檢驗(yàn)已確定的不良圖案的可靠 度，具有能夠確保具備高可靠度的不良圖案的效果。
[0028] 此外，由于通過分析從一個(gè)以上的傳感器分別生成的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)來 判斷是否與已指定的不良圖案一致，并且在一致的情況下生成警告，從而不僅能夠判斷從 傳感器測(cè)量的傳感數(shù)據(jù)的值是否在規(guī)定范圍內(nèi)，而且具有還能夠監(jiān)測(cè)是否表示規(guī)定的不良 圖案的效果。
[0029] 此外，具有在對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的監(jiān)測(cè)過程中檢測(cè)到與所述不良圖案相似的時(shí)間序列形 式的傳感數(shù)據(jù)的產(chǎn)生的情況下能夠采取適當(dāng)?shù)拇胧┑男Ч?br>
【專利附圖】

【附圖說明】
[0030] 圖1是本發(fā)明的一實(shí)施例的由傳感器測(cè)量的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖 案檢驗(yàn)方法的流程圖。
[0031] 圖2a至圖2i是時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案示例。
[0032] 圖3是用于例示在圖1所示的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法中檢 驗(yàn)不良圖案所使用的各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的概念圖。
[0033] 圖4是用于說明在圖1所示的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法中計(jì) 算不良圖案的錯(cuò)誤率的方法的概念圖。
[0034] 圖5是用于說明對(duì)在圖1所示的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法中 檢驗(yàn)不良圖案所使用的各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)進(jìn)行前處理的方法的流程圖。
[0035] 圖6是用于說明圖5所示的前處理方法中的分割壓縮方法的概念圖。
[0036] 圖7是用于說明圖5所示的前處理方法中的歸一化方法的概念圖。
[0037] 圖8a至圖8b是用于說明圖5所示的前處理方法中的符號(hào)化方法的概念圖。
[0038] 圖9是根據(jù)圖1所示的傳感器時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法的檢 驗(yàn)結(jié)果示意圖。
[0039] 圖10是本發(fā)明的另一實(shí)施例的不良圖案檢驗(yàn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
[0040] 圖11是本發(fā)明的又一實(shí)施例的不良圖案檢驗(yàn)裝置的方框圖。
[0041] 圖12是與圖11的所述不良圖案檢驗(yàn)裝置不同的另一結(jié)構(gòu)圖。
[0042] 圖13a至圖13b是用于說明本發(fā)明的又一實(shí)施例的生產(chǎn)設(shè)備的傳感數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)方法 的監(jiān)測(cè)結(jié)果的圖。
[0043] 圖14是由本發(fā)明的又一實(shí)施例的生產(chǎn)設(shè)備的傳感器產(chǎn)生的傳感數(shù)據(jù)的監(jiān)測(cè)方法 的流程圖。
[0044] 圖15是本發(fā)明的又一實(shí)施例的生產(chǎn)設(shè)備的方框結(jié)構(gòu)圖。
[0045] 圖16是本發(fā)明的又一實(shí)施例的基準(zhǔn)圖案檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
[0046] 圖17是本發(fā)明的又一實(shí)施例的基準(zhǔn)圖案檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
[0047] 圖18是本發(fā)明的又一實(shí)施例的基準(zhǔn)圖案探測(cè)裝置的第一方框結(jié)構(gòu)圖。
[0048] 圖19是本發(fā)明的又一實(shí)施例的基準(zhǔn)圖案探測(cè)裝置的第二方框結(jié)構(gòu)圖。
[0049] 附圖標(biāo)記說明
[0050] 210 :生產(chǎn)設(shè)備
[0051] 220 :傳感器測(cè)量值存儲(chǔ)裝置
[0052] 230 :可疑不良圖案選擇裝置
[0053] 240 :不良圖案檢驗(yàn)裝置
[0054] 270 :制品檢查數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置

【具體實(shí)施方式】
[0055] 下面，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。參照附圖的同時(shí)參照詳 細(xì)地后述的實(shí)施例，將會(huì)明確本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及特征，以及實(shí)現(xiàn)這些的方法。但是，本發(fā)明并 不限定于以下所公開的實(shí)施例，而是能夠以彼此不同的多種方式實(shí)現(xiàn)，本實(shí)施例僅僅使本 發(fā)明的公開全面，并且是為了給本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員告知本發(fā)明的范圍而提供 的，本發(fā)明僅由權(quán)利要求的范圍定義。在說明書全文中相同附圖標(biāo)記指相同的結(jié)構(gòu)要素。
[0056] 如果沒有其他定義，則在本說明書中所使用的所有用語(yǔ)（包括技術(shù)用語(yǔ)及科技用 語(yǔ)）能夠以本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員共同理解的含義使用。另外，一般來講，在所使 用的詞典中定義的用語(yǔ)只要沒有被明確地特別定義，就不異常地或過度地解釋。
[0057] 在本說明書中"生產(chǎn)設(shè)備（production equipment) "可以指特定工序內(nèi)的特定設(shè) 備。例如，當(dāng)經(jīng)光刻（PHOTO)工藝、干式（DRY)工藝和沉積（DEPOSITION)工藝生產(chǎn)某產(chǎn)品 時(shí)，能夠使各個(gè)產(chǎn)品指定通過工序內(nèi)的多個(gè)設(shè)備之一，或指定通過多個(gè)設(shè)備被依次配置的 工序內(nèi)的多個(gè)生產(chǎn)線之一。所述生產(chǎn)設(shè)備是指構(gòu)成各工序的多個(gè)設(shè)備之一。
[0058] 此外，在本說明書中"時(shí)間序列數(shù)據(jù)（time series)"表示例如由所述生產(chǎn)設(shè)備內(nèi) 具備的傳感器生成的測(cè)量值隨著時(shí)間的推移而被連續(xù)地記錄的數(shù)據(jù)。
[0059] 圖1是本發(fā)明的一實(shí)施例的傳感器測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法的 流程圖。
[0060] 首先，從用戶終端等接收檢驗(yàn)參數(shù)（parameter for verification) (S100)。所述檢 驗(yàn)參數(shù)包括檢驗(yàn)所需的信息。例如，所述檢驗(yàn)參數(shù)可包括關(guān)于不良圖案的數(shù)據(jù)、表示所述不 良圖案所適用的可疑設(shè)備及可疑傳感器的信息、提取對(duì)用于檢驗(yàn)所述不良圖案的時(shí)間序列 形式的傳感數(shù)據(jù)的檢驗(yàn)期間的信息以及對(duì)用于檢驗(yàn)所述不良圖案的時(shí)間序列形式的傳感 數(shù)據(jù)進(jìn)行前處理時(shí)所使用的信息中的至少之一。所述"可疑"設(shè)備或"可疑"傳感器在被懷 疑引起不良的方面被稱為"可疑"設(shè)備或"可疑"傳感器。
[0061] 關(guān)于所述不良圖案的數(shù)據(jù)可以是不良圖案的時(shí)間序列數(shù)據(jù)自身，或可訪問不良圖 案的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的地址信息，或?qū)Σ涣紙D案的時(shí)間序列數(shù)據(jù)進(jìn)行前處理后的數(shù)據(jù)。
[0062] 暫且參照?qǐng)D2a至圖2i，對(duì)本說明書的"不良圖案"進(jìn)行說明。在生產(chǎn)設(shè)備中所產(chǎn)生 的暫時(shí)的或長(zhǎng)期的異?；蛘咴谔囟l件下產(chǎn)生的異?？梢苑从车剿錾a(chǎn)設(shè)備所具備的 傳感器的測(cè)量值中，并且所述測(cè)量值的時(shí)間序列數(shù)據(jù)可以通過一定圖案表示所述異常。圖 2a表示特定設(shè)備所具備的特定傳感器的正常的時(shí)間序列數(shù)據(jù)圖案，圖2b至圖2i表示產(chǎn)生 彼此不同種類的異常時(shí)的"不良圖案"。圖2b表示由快速進(jìn)行引起的工序的早期結(jié)束。圖 2c表示由慢速進(jìn)行引起的工序的延遲結(jié)束。圖2c表示工序的慢速開始和快速結(jié)束。圖2d 表示工序的慢速開始和慢速進(jìn)行/結(jié)束（shift)。圖2f表示總體工序延遲的情況。圖2g 表示雖然工序時(shí)間正常，但傳感器測(cè)量值總體向上/向下漂移（drift)的情況。圖2h表示 在工序內(nèi)特定時(shí)刻傳感器測(cè)量值短期脫離正常范圍的情況。圖2i表示在工序內(nèi)特定時(shí)刻 傳感器測(cè)量值長(zhǎng)期脫離正常范圍的情況。
[0063] 本說明書的"不良圖案"表示指生產(chǎn)設(shè)備中所產(chǎn)生的暫時(shí)的異?；蜷L(zhǎng)期的異常或 者在特定條件下產(chǎn)生的異常且由生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)傳感器測(cè)量的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)圖案。 例如，所述"不良圖案"可具有由圖2b至圖2i所示的不良圖案中的一個(gè)或兩個(gè)以上不良圖 案所合成的形式。
[0064] 再次返回到圖1進(jìn)行說明，則在接收所述檢驗(yàn)參數(shù)之后，提取關(guān)于可疑設(shè)備的可 疑傳感器的時(shí)間序列數(shù)據(jù)（SllO)。在所述檢驗(yàn)參數(shù)中只指定特定可疑設(shè)備而沒有指定特 定可疑傳感器的情況下，提取關(guān)于所述特定可疑設(shè)備內(nèi)所具備的所有傳感器的時(shí)間序列數(shù) 據(jù)。暫且參照?qǐng)D3,對(duì)要提取的時(shí)間序列數(shù)據(jù)進(jìn)行說明。例如，可從FDC(故障檢測(cè)與分類， Fault Detection&Classification)數(shù)據(jù)中提取所述時(shí)間序列數(shù)據(jù)。
[0065] 圖3是用于例示在圖1所示的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法中檢 驗(yàn)不良圖案所使用的各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的概念圖。如圖3所示，一個(gè)產(chǎn)品 可經(jīng)過進(jìn)廠（Fab-in)至出廠（Fab-out)的多個(gè)工序而被生產(chǎn)。其中，在負(fù)責(zé)特定工序的設(shè) 備被指定為可疑設(shè)備的情況下，可在規(guī)定期間匯集由所述可疑設(shè)備生成的時(shí)間序列形式的 傳感數(shù)據(jù)而以不良圖案檢驗(yàn)用途使用。圖3例示了匯集從現(xiàn)在起一個(gè)月前至一個(gè)月后的由 0405號(hào)工序的可疑設(shè)備所具備的傳感器生成的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的過程。在所匯集 的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)中可包括每當(dāng)進(jìn)行各產(chǎn)品通過所述可疑設(shè)備的工序時(shí)所測(cè)量 的時(shí)間序列數(shù)據(jù)。所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的提取基準(zhǔn)起點(diǎn)可依據(jù)關(guān)于提取所述檢驗(yàn) 參數(shù)中所包括的用于檢驗(yàn)所述不良圖案的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的檢驗(yàn)期間的信息。 [0066] 再次返回到圖1進(jìn)行說明。如果完成時(shí)間序列數(shù)據(jù)的提?。⊿llO)，則可執(zhí)行用于 計(jì)算已提取的時(shí)間序列數(shù)據(jù)與不良圖案的相似度的前處理（pre-processing) (S120)。不良 圖案及已提取的時(shí)間序列數(shù)據(jù)應(yīng)經(jīng)過相同方式的前處理。因此，所述檢驗(yàn)參數(shù)中所包括的 不良圖案的信息并不表示已完成前處理的不良圖案的情況下，對(duì)所述不良圖案也執(zhí)行與所 述已提取的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的前處理相同的前處理。稍后參照?qǐng)D5,進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明的 前處理方法。
[0067] 在前處理（S120)之后，計(jì)算不良圖案與前處理后的已提取的時(shí)間序列形式的傳 感數(shù)據(jù)之間的相似度（S130)。例如，提取特定可疑設(shè)備的最近一個(gè)月期間的FDC數(shù)據(jù)，在最 近一個(gè)月期間通過所述可疑設(shè)備的產(chǎn)品為1000個(gè)的情況下，有可能存在關(guān)于1000個(gè)產(chǎn)品 的每一個(gè)的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)，并且對(duì)1000個(gè)時(shí)間序列數(shù)據(jù)的每一個(gè)計(jì)算與所述 不良圖案的相似度。可以所述相似度為基準(zhǔn)排列1000個(gè)時(shí)間序列數(shù)據(jù)的每一個(gè)。
[0068] 在完成相似度計(jì)算之后（S130)，訪問與每個(gè)時(shí)間序列數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品的不良判 斷信息，能夠按各時(shí)間序列數(shù)據(jù)比較各時(shí)間序列數(shù)據(jù)與不良圖案的相似度和優(yōu)良/不良 (Good/Bad)判斷（S140)。即，能夠檢查存在多少盡管是被判斷為優(yōu)良品的產(chǎn)品但關(guān)于所述 產(chǎn)品的時(shí)間序列數(shù)據(jù)被計(jì)算為與所述不良圖案相似的情況。
[0069] 反映各產(chǎn)品的每個(gè)時(shí)間序列數(shù)據(jù)的相似度與不良判斷之間的比較（S140)結(jié)果而 計(jì)算不良圖案的錯(cuò)誤率（S150)。所述錯(cuò)誤率可被計(jì)算為將盡管被判斷為與所述不良圖案相 似但獲得優(yōu)良品判斷的產(chǎn)品的個(gè)數(shù)除以具有被判斷為與所述不良圖案相似的時(shí)間序列形 式的傳感數(shù)據(jù)的產(chǎn)品的個(gè)數(shù)的值。
[0070] 圖4是用于說明在圖1所示的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法中計(jì) 算不良圖案的錯(cuò)誤率的方法的概念圖。如圖4所示，提取關(guān)于總計(jì)9個(gè)產(chǎn)品的時(shí)間序列形 式的傳感數(shù)據(jù)，其中存在5個(gè)（2號(hào)、5號(hào)、6號(hào)、8號(hào)和9號(hào)時(shí)間序列數(shù)據(jù)）與不良圖案相似 的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的情況下，由于存在一個(gè)獲得優(yōu)良品判斷的產(chǎn)品（5號(hào)時(shí)間序 列數(shù)據(jù)），因此能夠以1/5 = 20%計(jì)算所述錯(cuò)誤率。
[0071] 即，根據(jù)本實(shí)施例，通過計(jì)算盡管產(chǎn)生與被懷疑為引起不良的圖案的所述不良圖 案相似的圖案但獲得優(yōu)良品判斷的產(chǎn)品的比率即所述錯(cuò)誤率，具有能夠?qū)?shí)際生產(chǎn)時(shí)所產(chǎn) 生的傳感器測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù)作為檢驗(yàn)數(shù)據(jù)使用并對(duì)所述不良圖案的可靠度進(jìn)行數(shù)值 化而計(jì)算的效果。
[0072] 為了正確計(jì)算所述錯(cuò)誤率，重點(diǎn)在于正確計(jì)算所述不良圖案與各產(chǎn)品的時(shí)間序列 形式的傳感數(shù)據(jù)的相似度。此外，為了正確計(jì)算所述不良圖案與各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的 傳感數(shù)據(jù)的相似度，應(yīng)伴隨適當(dāng)?shù)那疤幚恚╬re-processing)。以下，參照?qǐng)D5至圖8b，對(duì)本 實(shí)施例的前處理方法進(jìn)行說明。
[0073] 圖5是用于說明對(duì)在圖1所示的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法中 檢驗(yàn)不良圖案所使用的各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)進(jìn)行前處理的方法的流程圖。如 圖5所示，可經(jīng)過分割壓縮（S122)、歸一化（S124)及符號(hào)化（S126)過程對(duì)所述時(shí)間序列形 式的傳感數(shù)據(jù)進(jìn)行前處理。
[0074] 首先，雖然在圖5中沒有圖示，但可在執(zhí)行分割壓縮（S122)以前執(zhí)行缺測(cè)值修 正。由于在測(cè)量值時(shí)間序列數(shù)據(jù)的中間具有不存在測(cè)量值的部分，因此可利用插值法 (interpolation)由另一測(cè)量值補(bǔ)償。
[0075] 分割壓縮時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)（S122)表示例如將由如秒單位那樣短的時(shí)間 單位構(gòu)成的測(cè)量值數(shù)據(jù)分割成指定個(gè)數(shù)W的區(qū)間，并且在各區(qū)間僅存儲(chǔ)一個(gè)代表值。例如， 在將包括10個(gè)測(cè)量值數(shù)據(jù)的時(shí)間區(qū)間壓縮成一個(gè)區(qū)間的情況下，所述測(cè)量值時(shí)間序列數(shù) 據(jù)可被壓縮成十分之一大小的數(shù)據(jù)尺寸。
[0076] 各區(qū)間的代表值可以是區(qū)間內(nèi)測(cè)量值的平均值。
[0077] 區(qū)間個(gè)數(shù)W可以是所述檢驗(yàn)參數(shù)中所包括的值。
[0078] 如果已分割的區(qū)間為Q、C2、…、Cw，并且D1、…、D n為傳感器（Sensor)的時(shí)間序 列數(shù)據(jù)（值）（time series data(value))，貝U可以如以下數(shù)學(xué)式1定義分割區(qū)間。
[0079] [數(shù)學(xué)式1]
[0080]

【權(quán)利要求】
1. 一種時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法，包括以下步驟： 獲得適用于由可疑傳感器測(cè)量的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案信息； 訪問在檢驗(yàn)對(duì)象期間由所述可疑傳感器生成的各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)； 按各產(chǎn)品計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)之 間的相似度；以及 基于所述相似度計(jì)算所述不良圖案的錯(cuò)誤率。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法，其中， 按各產(chǎn)品計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)之 間的相似度的步驟包括： 將所述各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的時(shí)間軸分割成規(guī)定個(gè)數(shù)的區(qū)間，按已分割 的各區(qū)間計(jì)算測(cè)量值代表值，并且存儲(chǔ)計(jì)算出的測(cè)量值代表值； 利用已存儲(chǔ)的傳感數(shù)據(jù)代表值的均值及方差對(duì)所述已存儲(chǔ)的傳感數(shù)據(jù)代表值進(jìn)行歸 一化； 對(duì)各個(gè)經(jīng)歸一化的傳感數(shù)據(jù)代表值賦予按測(cè)量值區(qū)間分配的符號(hào)，將所述各產(chǎn)品的時(shí) 間序列形式的傳感數(shù)據(jù)變換成符號(hào)數(shù)組；以及 按各產(chǎn)品計(jì)算所述不良圖案信息的所述符號(hào)數(shù)組與所述各產(chǎn)品的符號(hào)數(shù)組之間的相 似度。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法，其中， 按各產(chǎn)品計(jì)算所述不良圖案信息的符號(hào)數(shù)組與所述各產(chǎn)品的符號(hào)數(shù)組的相似度的步 驟包括： 相對(duì)于所述不良圖案信息的符號(hào)數(shù)組和所述各產(chǎn)品的符號(hào)數(shù)組計(jì)算表示從之前區(qū)間 的符號(hào)值是否增加/減少的符號(hào)增減索引數(shù)組；以及 按各產(chǎn)品計(jì)算所述不良圖案信息的所述符號(hào)增減索引數(shù)組與所述各產(chǎn)品的符號(hào)增減 索引數(shù)組的相似度。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法，其中， 按各產(chǎn)品計(jì)算所述不良圖案信息的符號(hào)數(shù)組與所述各產(chǎn)品的符號(hào)數(shù)組的相似度的步 驟進(jìn)一步包括： 按各產(chǎn)品進(jìn)一步計(jì)算所述不良圖案信息的符號(hào)數(shù)組與所述各產(chǎn)品的符號(hào)數(shù)組的歐式 距離相似度；以及 按各產(chǎn)品進(jìn)一步計(jì)算所述不良圖案信息的符號(hào)數(shù)組與所述各產(chǎn)品的符號(hào)數(shù)組的相關(guān) 系數(shù)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法，其中， 計(jì)算所述不良圖案的錯(cuò)誤率的步驟包括： 查詢所述各產(chǎn)品的不良判斷信息；以及 將所述各產(chǎn)品的不良判斷信息和計(jì)算出的相似度進(jìn)行比較來計(jì)算所述不良圖案的錯(cuò) 誤率。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法，其中， 按各產(chǎn)品計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)之 間的相似度的步驟包括： 按各產(chǎn)品計(jì)算第一相似度和第二相似度，所述第一相似度依據(jù)根據(jù)所述不良圖案信息 的不良圖案與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)之間的第一基準(zhǔn)，并且所述第二相似度依據(jù)根 據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)之間的第二基準(zhǔn)，并且所 述第一相似度和所述第二相似度具有意味著非相似的0至意味著相同的1之間的值， 將所述各產(chǎn)品的不良判斷信息和所述計(jì)算出的相似度進(jìn)行比較來計(jì)算所述不良圖案 的錯(cuò)誤率的步驟包括： 在特定產(chǎn)品的所述第一相似度和所述第二相似度中一個(gè)以上為1，并且所述不良判斷 信息表示所述特定產(chǎn)品被賦予優(yōu)良品判斷的情況下，將所述特定產(chǎn)品選擇為所述不良圖案 信息的錯(cuò)誤情況；以及 以所述錯(cuò)誤情況的件數(shù)為基礎(chǔ)計(jì)算所述錯(cuò)誤率。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案檢驗(yàn)方法，其中， 訪問所述各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的步驟包括： 訪問在規(guī)定期間由所述可疑傳感器生成的故障檢測(cè)與分類數(shù)據(jù)即各產(chǎn)品的時(shí)間序列 形式的傳感數(shù)據(jù)。
8. -種不良圖案檢驗(yàn)裝直，包括： 檢驗(yàn)參數(shù)接收部，接收包括適用于可疑傳感器的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案 /[目息及檢驗(yàn)方法?目息的檢驗(yàn)參數(shù)； 時(shí)間序列數(shù)據(jù)提取部，訪問在根據(jù)所述檢驗(yàn)方法信息的檢驗(yàn)對(duì)象期間由所述可疑傳感 器生成的、各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)； 相似度計(jì)算部，按各產(chǎn)品計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述時(shí)間序列形式 的傳感數(shù)據(jù)之間的相似度；以及 不良圖案檢驗(yàn)部，基于所述相似度計(jì)算所述不良圖案的錯(cuò)誤率。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的不良圖案檢驗(yàn)裝置，其中，進(jìn)一步包括： 前處理部，從所述時(shí)間序列數(shù)據(jù)提取部獲得所述各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)， 并且在對(duì)所述各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)適用前處理工序之后向所述相似度計(jì)算 部提供， 所述前處理部包括： 傳感數(shù)據(jù)分割壓縮模塊，將所述各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的時(shí)間軸分割成規(guī) 定個(gè)數(shù)的區(qū)間，按已分割的各區(qū)間計(jì)算傳感數(shù)據(jù)代表值，并且存儲(chǔ)計(jì)算出的傳感數(shù)據(jù)代表 值； 歸一化模塊，利用已存儲(chǔ)的傳感數(shù)據(jù)代表值的均值及方差來對(duì)所述已存儲(chǔ)的傳感數(shù)據(jù) 代表值進(jìn)行歸一化；以及 符號(hào)聚集近似變換模塊，對(duì)經(jīng)歸一化的各個(gè)傳感數(shù)據(jù)代表值賦予按傳感數(shù)據(jù)區(qū)間分配 的符號(hào)，將所述各產(chǎn)品的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)符號(hào)聚集近似變換成符號(hào)數(shù)組并向所述 相似度計(jì)算部提供。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的不良圖案檢驗(yàn)裝置，其中， 所述前處理部將根據(jù)所述不良圖案信息的時(shí)間序列數(shù)據(jù)符號(hào)聚集近似變換成符號(hào)數(shù) 組， 所述相似度計(jì)算部按各產(chǎn)品計(jì)算所述不良圖案的符號(hào)數(shù)組與所述時(shí)間序列形式的傳 感數(shù)據(jù)的符號(hào)數(shù)組之間的第一相似度、第二相似度和第三相似度， 所述第一相似度至第三相似度具有意味著非相似的0至意味著相同的1之間的值， 所述第一相似度為所述不良圖案的符號(hào)數(shù)組與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的符號(hào) 數(shù)組之間的歐式距離相似度， 所述第二相似度為所述不良圖案的符號(hào)數(shù)組與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的符號(hào) 數(shù)組之間的相關(guān)系數(shù)， 所述第三相似度為所述不良圖案的符號(hào)數(shù)組與所述時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的符號(hào) 數(shù)組之間的趨勢(shì)相似度， 所述趨勢(shì)相似度為表示從符號(hào)數(shù)組的時(shí)間軸上的之前區(qū)間的符號(hào)值是否增加/減少 的符號(hào)增減索引數(shù)組之間的相似度。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的不良圖案檢驗(yàn)裝置，其中，進(jìn)一步包括： 判斷信息接收部，查詢所述各產(chǎn)品的不良判斷信息， 所述相似度計(jì)算部從所述判斷信息接收部獲得所述不良判斷信息，計(jì)算在所述第一相 似度至第三相似度中的至少一個(gè)值為1的產(chǎn)品中獲得優(yōu)良品判斷的產(chǎn)品的個(gè)數(shù)，并且利用 獲得所述優(yōu)良品判斷的產(chǎn)品的個(gè)數(shù)來計(jì)算所述錯(cuò)誤率。
12. -種生產(chǎn)設(shè)備的傳感數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)方法，包括以下步驟： 獲得適用于由監(jiān)測(cè)對(duì)象傳感器測(cè)量的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良圖案信息； 獲得由所述監(jiān)測(cè)對(duì)象傳感器產(chǎn)生的時(shí)間序列數(shù)據(jù)； 計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述時(shí)間序列數(shù)據(jù)之間的歐式距離相似度、 相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度，所述歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度具有意味著非相似 的0至意味著相同的1之間的值；以及 在所述歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度中的至少一個(gè)值被計(jì)算為1的情況下 生成警告信號(hào)， 所述趨勢(shì)相似度為測(cè)量值的隨時(shí)間流動(dòng)的增減圖案的相似度。
13. -種生產(chǎn)設(shè)備，包括： 一個(gè)以上的傳感器，生成時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)； 時(shí)間序列數(shù)據(jù)流接收部，從所述一個(gè)以上的傳感器獲得測(cè)量的時(shí)間序列數(shù)據(jù)流； 不良圖案信息接收部，獲得適用于由各傳感器測(cè)量的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的不良 圖案信息； 相似度計(jì)算部，對(duì)各傳感器計(jì)算根據(jù)所述不良圖案信息的不良圖案與所述時(shí)間序列形 式的傳感數(shù)據(jù)之間的歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度，所述歐式距離相似度、相關(guān) 系數(shù)及趨勢(shì)相似度具有意味著非相似的〇至意味著相同的1之間的值； 以及 警告信號(hào)輸出部，在由所述相似度計(jì)算部計(jì)算出的所述歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及 趨勢(shì)相似度中的至少一個(gè)值被計(jì)算為1的情況下生成警告信號(hào)。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的生產(chǎn)設(shè)備，其中，進(jìn)一步包括： 停止控制部，從所述警告信號(hào)輸出部獲得所述警告信號(hào)來生成中斷生產(chǎn)動(dòng)作的控制信 號(hào)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的生產(chǎn)設(shè)備，其中， 根據(jù)所述不良圖案信息的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的圖案為測(cè)量值包括在已指定的測(cè)量值上限 值及下限值的范圍內(nèi)的圖案。
16. -種基準(zhǔn)圖案探測(cè)裝置，包括： 時(shí)間序列數(shù)據(jù)流接收部，獲得由一個(gè)以上的傳感器測(cè)量的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)； 基準(zhǔn)圖案信息接收部，獲得適用于由各傳感器產(chǎn)生的時(shí)間序列形式的傳感數(shù)據(jù)的基準(zhǔn) 圖案信息；以及 相似度計(jì)算部，對(duì)各傳感器計(jì)算并輸出根據(jù)所述基準(zhǔn)圖案信息的基準(zhǔn)圖案與所述時(shí)間 序列形式的傳感數(shù)據(jù)之間的歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度，所述歐式距離相似 度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度具有意味著非相似的〇至意味著相同的1之間的值。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的基準(zhǔn)圖案探測(cè)裝置，其中，包括： 警告信號(hào)輸出部，在由所述相似度計(jì)算部計(jì)算出的所述歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及 趨勢(shì)相似度中的至少一個(gè)值被計(jì)算為1的情況下生成并輸出警告信號(hào)。
18. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的基準(zhǔn)圖案探測(cè)裝置，其中， 所述一個(gè)以上的傳感器包括測(cè)量建筑物的能源消耗量的第一傳感器。
19. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的基準(zhǔn)圖案探測(cè)裝置，其中， 所述一個(gè)以上的傳感器包括測(cè)量建筑物的能源消耗量的第一傳感器和測(cè)量建筑物內(nèi) 部環(huán)境的第二傳感器， 所述基準(zhǔn)圖案信息接收部獲得適用于所述第一傳感器的第一基準(zhǔn)圖案信息和適用于 所述第二傳感器的第二基準(zhǔn)圖案信息， 所述相似度計(jì)算部計(jì)算并輸出根據(jù)所述第一基準(zhǔn)圖案信息的第一基準(zhǔn)圖案與所述第 一傳感器的傳感數(shù)據(jù)之間的歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度，并且計(jì)算并輸出根 據(jù)所述第二基準(zhǔn)圖案信息的第二基準(zhǔn)圖案與所述第二傳感器的傳感數(shù)據(jù)之間的歐式距離 相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度， 所述警告信號(hào)輸出部在所述第一傳感器的歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度中 的至少一個(gè)值被計(jì)算為1，并且所述第二傳感器的歐式距離相似度、相關(guān)系數(shù)及趨勢(shì)相似度 中的至少一個(gè)值被計(jì)算為1的情況下生成并輸出警告信號(hào)。
【文檔編號(hào)】G05B23/02GK104238543SQ201410261840
【公開日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2014年6月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月18日
【發(fā)明者】申啟榮, 安大中, 徐大弘, 鄭宇永 申請(qǐng)人:三星Sds株式會(huì)社