基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器，振動控制抑制器設(shè)置在數(shù)控系統(tǒng)與伺服系統(tǒng)之間，控制器的輸入信號為數(shù)控系統(tǒng)產(chǎn)生的代表設(shè)定速度指令的±10V的模擬量信號或數(shù)字量信號和位置測量系統(tǒng)實測的工作臺的位置信號，輸出信號為代表修正速度指令的±10V的模擬量信號或者數(shù)字量信號。本實用新型利用位置測量系統(tǒng)測得工作臺實際位置信號和近似插補(bǔ)指令信號計算器得到的近似插補(bǔ)指令信號，通過振動抑制信號產(chǎn)生器的處理得到振動抑制信號，并反饋回調(diào)節(jié)回路達(dá)到抑制振動的目的。此外，利用近似插補(bǔ)指令信號計算器得到的近似插補(bǔ)指令信號，通過速度前饋控制器得到速度前饋信號，并反饋回調(diào)節(jié)回路，從而達(dá)到減小穩(wěn)態(tài)誤差的目的。
【專利說明】基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及機(jī)械控制領(lǐng)域，具體涉及一種基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)今社會，精密和超精密加工技術(shù)已經(jīng)成為現(xiàn)代機(jī)械制造的重要組成部分。數(shù)控機(jī)床作為機(jī)械制造中的重要工具，它的精度指標(biāo)是影響工件加工精度的重要因素。而進(jìn)給系統(tǒng)作為數(shù)控機(jī)床主要的組成部分，其跟隨性能和抗干擾能力嚴(yán)重影響了數(shù)控機(jī)床的加工精度。
[0003]現(xiàn)有機(jī)床進(jìn)給系統(tǒng)控制應(yīng)用的主要是級聯(lián)控制:電流環(huán)PI控制，速度環(huán)PI控制以及位置環(huán)P控制。速度環(huán)通過電機(jī)側(cè)的角度編碼器實現(xiàn)速度的反饋，位置環(huán)通過角度編碼器實現(xiàn)半閉環(huán)的位置控制或者通過工作臺處的直線光柵尺實現(xiàn)全閉環(huán)的位置控制。
[0004]現(xiàn)在大多數(shù)進(jìn)給系統(tǒng)采用的是電機(jī)+聯(lián)軸器+絲杠螺母+工作臺的傳動方式。聯(lián)軸器、絲杠螺母和支撐軸承的有限剛度導(dǎo)致了進(jìn)給系統(tǒng)具有較低的第一階共振頻率，限制了進(jìn)給系統(tǒng)帶寬的增加以及控制性能的提高。當(dāng)控制器的參數(shù)設(shè)置不當(dāng)或者工作臺受到外部干擾時，進(jìn)給系統(tǒng)會產(chǎn)生不期望的振動，從而影響工件的加工質(zhì)量。此外，隨著對生產(chǎn)效率要求的提高，高速數(shù)控機(jī)床得到了廣泛的應(yīng)用，但是高速數(shù)控機(jī)床大幅值、高頻寬的驅(qū)動力、慣性力、切削力會激勵起機(jī)械系統(tǒng)顯著的振動。
[0005]利用控制論中極點配置的理論，分析可知，在理想電流環(huán)的情況下，伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)速和名義速度指令之間的傳遞函數(shù)是四階的，而僅僅通過速度環(huán)的比例增益Kv和積分時間常數(shù)Ti不能實現(xiàn)傳遞函數(shù)極點的任意布置，從而影響了控制器的跟隨性能和抗干擾能力。為了提高進(jìn)給系統(tǒng)的控制能力，就必須要反饋回另外的機(jī)械狀態(tài)變量，如絲杠的扭矩、工作臺的移動速度等，從而實現(xiàn)傳遞函數(shù)極點的任意布置。但是由于狀態(tài)變量的反饋可能需要另外的測量設(shè)備，增加了系統(tǒng)的成本，而且狀態(tài)變量反饋增益的調(diào)整比較困難，因此市場上鮮有帶有另外狀態(tài)反饋的控制器出現(xiàn)。
[0006]約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司設(shè)計了一種用于抑制低頻振動的調(diào)節(jié)器結(jié)構(gòu)，中國專利(申請)CN 103246232 A，具有位置調(diào)節(jié)器、速度調(diào)節(jié)器和電流調(diào)節(jié)器。此外，在調(diào)整回路中形成了振動抑制信號，該振動抑制信號反作用與不期望的低頻振動。但是由于數(shù)控系統(tǒng)和伺服系統(tǒng)的封閉性，此專利所采用的振動抑制方式僅僅只能在伺服系統(tǒng)的設(shè)計階段考慮，不能在使用階段考慮，限制了其使用范圍。
實用新型內(nèi)容
[0007]本實用新型目的在于提供一種基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器，該控制器安裝于數(shù)控系統(tǒng)與伺服系統(tǒng)之間，可以大大增強(qiáng)整個進(jìn)給系統(tǒng)的抗干擾能力，進(jìn)而提高加工工件的表面質(zhì)量
[0008]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的這些問題，本實用新型提供的技術(shù)方案是:[0009]一種基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器，進(jìn)給系統(tǒng)包括數(shù)控系統(tǒng)與伺服系統(tǒng)，振動控制抑制器設(shè)置在數(shù)控系統(tǒng)與伺服系統(tǒng)之間，控制器的輸入信號為數(shù)控系統(tǒng)產(chǎn)生的代表設(shè)定速度指令的±10V的模擬量信號或數(shù)字量信號和位置測量系統(tǒng)實測的工作臺的位置信號，輸出信號為代表修正速度指令的±10V的模擬量信號或者數(shù)字量信號，所述振動抑制控制器包括輸入接口電路、反饋接口電路、振動抑制器、輸出接口電路，其中，
[0010]控制器的輸入接口電路對輸入的代表設(shè)定速度指令的±10V的模擬量信號或數(shù)字量信號進(jìn)行采樣保持或者插補(bǔ)，得到數(shù)字量設(shè)定速度指令信號，其采樣或者插補(bǔ)的周期為速度環(huán)的采樣周期；
[0011]控制器的反饋接口電路對輸入的代表工作臺實際位置的模擬量或者數(shù)字量信號進(jìn)行采樣保持或者插補(bǔ)，得到數(shù)字量實際位置反饋信號，其采樣或者插補(bǔ)的周期為速度環(huán)的采樣周期；
[0012]控制器的振動抑制器對上述的數(shù)字量速度指令信號和位置反饋信號進(jìn)行處理得到振動抑制信號，并反饋回調(diào)節(jié)回路，得到修正速度指令信號；
[0013]控制器的輸出接口電路按照伺服系統(tǒng)可接受速度指令信號類型的不同，把上述修正速度指令信號通過D/A轉(zhuǎn)化為模擬量信號或者直接輸出數(shù)字量信號。
[0014]對于上述技術(shù)方案，實用新型人還有進(jìn)一步的優(yōu)化實施方案。
[0015]作為優(yōu)化，所述的振動抑制器輸入信號為數(shù)字量速度指令信號和位置反饋信號，其結(jié)構(gòu)包括近似插補(bǔ)指令信號計算器、速度前饋控制器、振動抑制信號產(chǎn)生器。
[0016]進(jìn)一步，所述的近似插補(bǔ)信號計算器(3.1)對設(shè)定速度指令的數(shù)字量信號和工作臺實際位置的數(shù)字量信號進(jìn)行重新采樣和保持，其采樣周期為位置環(huán)的采樣周期，工作臺實際位置的數(shù)字量信號經(jīng)過具有參數(shù)化放大系數(shù)的比例環(huán)節(jié)，并與重新采樣后的設(shè)定速度指令的數(shù)字量信號相加，得到近似的插補(bǔ)指令信號。
[0017]進(jìn)一步，所述的速度前饋控制器對上面所述的近似插補(bǔ)指令信號經(jīng)過微分處理，并經(jīng)過具有參數(shù)化放大系數(shù)的比例環(huán)節(jié)和低通濾波器得到速度前饋補(bǔ)償信號。
[0018]作為優(yōu)化，所述的振動抑制信號產(chǎn)生器利用工作臺實際位置的數(shù)字量信號，經(jīng)過具有參數(shù)化放大系數(shù)的比例環(huán)節(jié)，并與上面所述的近似插補(bǔ)指令信號相減得到誤差信號E，再經(jīng)過具有參數(shù)化的放大系數(shù)的比例環(huán)節(jié)得到振動抑制信號。
[0019]另外，所述位置測量系統(tǒng)為直線光柵尺、磁柵、干涉儀同步變壓器等任意可以測量位置信號的系統(tǒng)。
[0020]相對于現(xiàn)有技術(shù)中的方案，本實用新型的優(yōu)點是:
[0021]本實用新型所描述的基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器，利用位置測量系統(tǒng)測得工作臺實際位置信號和近似插補(bǔ)指令信號計算器得到的近似插補(bǔ)指令信號，通過振動抑制信號產(chǎn)生器的處理得到振動抑制信號，并反饋回調(diào)節(jié)回路，從而達(dá)到抑制振動的目的。此外，利用近似插補(bǔ)指令信號計算器得到的近似插補(bǔ)指令信號，通過速度前饋控制器得到速度前饋信號，并反饋回調(diào)節(jié)回路，從而達(dá)到減小穩(wěn)態(tài)誤差的目的。
[0022]本實用新型提出的控制器結(jié)構(gòu)僅需要唯一的傳感器信號一位置測量系統(tǒng)反饋的工作臺實際位信號，此信號包括待抑制的振動信號，因此此控制器不具有測量反饋狀態(tài)變量困難的問題。而且相對較容易實現(xiàn)用于抑制設(shè)備的參數(shù)化，因為單個的參數(shù)僅極小程度的影響彼此。此外，通過分析可知，此振動抑制控制器對進(jìn)給系統(tǒng)機(jī)械部分高頻建模不準(zhǔn)確、機(jī)械參數(shù)的時變和使用環(huán)境變化具有較好的魯棒性。
[0023]利用本實用新型提出的振動抑制控制器可以有效的抑制驅(qū)動裝置和工作臺之間的扭轉(zhuǎn)振動，以及減小進(jìn)給系統(tǒng)的穩(wěn)態(tài)跟隨誤差，大大提高數(shù)控機(jī)床的工件加工質(zhì)量。因此，此振動抑制控制器具有比較廣泛的應(yīng)用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進(jìn)一步描述:
[0025]圖1為本實用新型實施例所描述的振動控制抑制器的整體結(jié)構(gòu)圖；
[0026]圖2a為本實用新型實施例中輸入量為模擬量時輸入接口電路的結(jié)構(gòu)原理圖；
[0027]圖2b為本實用新型實施例中輸入量為數(shù)字量時輸入接口電路的結(jié)構(gòu)原理圖；
[0028]圖3為本實用新型實施例中反饋接口電路的結(jié)構(gòu)原理圖；
[0029]圖4為本實用新型實施例中第一種振動抑制控制器的控制結(jié)構(gòu)圖(其中，以光柵尺測得的工作臺實際位置信號，通過微分、比例和濾波得到抑制振動信號V_mr)；
[0030]圖5為本實用新型實施例中第二種振動抑制控制器的控制結(jié)構(gòu)圖(其中，以光柵尺測得的工作臺實際位置信號與近似插補(bǔ)指令信號相減得到的誤差信號，通過微分、比例和濾波得到抑制振動信號V_mr)；
[0031]圖6a為本實用新型實施例中輸出量為模擬量時輸出接口電路的結(jié)構(gòu)原理圖；
[0032]圖6b為本實用新型實施例中輸出量為數(shù)字量時輸出接口電路的結(jié)構(gòu)原理圖；
[0033]圖7為本實用新型實施例中進(jìn)行實例仿真所采用軌跡的位移圖與速度圖；
[0034]圖8為本實用新型實施例中進(jìn)行實例仿真后得到的利用振動抑制控制器和不使用控制器兩種情況下的工作臺實際位置與理想位置之間的誤差圖。
【具體實施方式】
[0035]以下結(jié)合具體實施例對上述方案做進(jìn)一步說明。應(yīng)理解，這些實施例是用于說明本實用新型而不限于限制本實用新型的范圍。實施例中采用的實施條件可以根據(jù)具體廠家的條件做進(jìn)一步調(diào)整，未注明的實施條件通常為常規(guī)實驗中的條件。
[0036]實施例:
[0037]本實施例描述了一種基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器，進(jìn)給系統(tǒng)包括數(shù)控系統(tǒng)與伺服系統(tǒng)，如圖1所示，振動控制抑制器設(shè)置在數(shù)控系統(tǒng)與伺服系統(tǒng)之間，控制器的輸入信號為數(shù)控系統(tǒng)產(chǎn)生的代表設(shè)定速度指令的±10V的模擬量信號或數(shù)字量信號(包括各種不同通信協(xié)議的數(shù)字量信號)和位置測量系統(tǒng)(直線光柵尺、磁柵、干涉儀同步變壓器等任意可以測量位置信號的系統(tǒng))實測的工作臺的位置信號(模擬量或者數(shù)字量)，輸出信號為代表修正速度指令的±10V的模擬量信號或者數(shù)字量信號。
[0038]所述振動抑制控制器包括輸入接口電路(I)、反饋接口電路(2)、振動抑制器(3)、輸出接口電路(4)，，其中，
[0039]控制器的輸入接口電路(I)對輸入的代表設(shè)定速度指令的±10V的模擬量信號或數(shù)字量信號進(jìn)行采樣保持(A/D轉(zhuǎn)換)或者插補(bǔ)，得到數(shù)字量設(shè)定速度指令信號(V_set)，其采樣或者插補(bǔ)的周期為速度環(huán)的采樣周期(Tspeed)；
[0040]控制器的反饋接口電路(2)對輸入的代表工作臺實際位置的模擬量或者數(shù)字量信號進(jìn)行采樣保持或者插補(bǔ)，得到數(shù)字量實際位置反饋信號(x_list)，其采樣或者插補(bǔ)的周期為速度環(huán)的采樣周期(Tspeed)；
[0041]控制器的振動抑制器(3)對上述的數(shù)字量速度指令信號(V_set)和位置反饋信號(X_list)進(jìn)行處理得到振動抑制信號(P_mr，V_mr)，并反饋回調(diào)節(jié)回路，得到修正速度指令信號(V_nom)；
[0042]控制器的輸出接口電路(4)按照伺服系統(tǒng)可接受速度指令信號類型的不同，把上述修正速度指令信號(V_nom)通過D/A轉(zhuǎn)化為模擬量信號或者直接輸出數(shù)字量信號。
[0043]振動抑制控制器的輸入信號包括兩種:
[0044]其一種輸入信號為輸入量信號，為數(shù)控系統(tǒng)產(chǎn)生的代表設(shè)定速度指令的±10V的模擬量信號或數(shù)字量信號(包括各種不同通信協(xié)議的數(shù)字量信號)。如果是模擬量信號，而模擬量信號是連續(xù)信號，具有無限可分的特點，通過輸入結(jié)構(gòu)電路(圖2a)中的A/D轉(zhuǎn)換器對其進(jìn)行采樣保持，可以獲得代表設(shè)定速度指令的數(shù)字量信號，其采樣周期為速度環(huán)的采樣時間。而如果是數(shù)字量信號，就不需要進(jìn)行二次采樣，但是需要利用輸入結(jié)構(gòu)電路(圖2b)中的插補(bǔ)器對其進(jìn)行插補(bǔ)，獲得插補(bǔ)周期為速度環(huán)采樣周期的數(shù)字量設(shè)定速度指令信號，此外圖2b還包括信號采集器，其結(jié)構(gòu)因數(shù)字量信號傳輸協(xié)議的不同而不同；
[0045]另一種輸入信號為位置測量系統(tǒng)測得的工作臺的實際位置信號，通過反饋接口電路可以獲得代表工作臺實際位置的數(shù)字量信號，其采樣周期也為速度環(huán)的采樣時間。反饋接口電路的結(jié)構(gòu)也因反饋位置信號類型的不同而不同，但都包括一個信號處理計算單元和采樣保持單元，如圖3所示。
[0046]振動抑制器中的近似插補(bǔ)信號計算器對設(shè)定速度指令的數(shù)字量信號V_set和工作臺實際位置的數(shù)字量信號x_list進(jìn)行重新采樣和保持，其采樣周期為位置環(huán)的采樣周期Tpos，工作臺實際位置的數(shù)字量信號X_list經(jīng)過具有參數(shù)化放大系數(shù)Kp的比例環(huán)節(jié)
3.1.2，并與重新采樣后的設(shè)定速度指令的數(shù)字量信號相加，得到插補(bǔ)指令信號X_ref。由于存在反饋和計算延時，所得到的插補(bǔ)指令信號只能是近似的。但是由于延時比較小，近似插補(bǔ)指令信號與原信號之間的誤差比較小。
[0047]振動抑制器中的振動抑制信號產(chǎn)生器利用工作臺實際位置的數(shù)字量信號X_list，經(jīng)過具有參數(shù)化放大系數(shù)Kp的比例環(huán)節(jié)3.3.1，并與近似插補(bǔ)指令信號X_ref相減得到誤差信號E，再經(jīng)過具有參數(shù)化的放大系數(shù)Kl的比例環(huán)節(jié)3.3.2得到振動抑制信號P_mr。此夕卜，工作臺實際位置的數(shù)字量信號X_list經(jīng)過具有參數(shù)化放大系數(shù)Kp的比例環(huán)節(jié)3.3.1、微分環(huán)節(jié)3.3.3、具有參數(shù)化放大系數(shù)K2的比例環(huán)節(jié)3.3.4和低通濾波器3.3.5，得到振動抑制信號V_mr。
[0048]由于振動抑制控制器、數(shù)控系統(tǒng)和伺服系統(tǒng)組成的控制系統(tǒng)具有一定的跟隨時間滯后，會導(dǎo)致很大的穩(wěn)態(tài)誤差。而通過補(bǔ)償速度前饋指令的方法，可以大大減小或者消除穩(wěn)態(tài)誤差?？刂破髦械乃俣惹梆伩刂破鲗ι厦嫠龅慕撇逖a(bǔ)指令信號X_ref經(jīng)過微分處理
3.2.3，并經(jīng)過具有參數(shù)化放大系數(shù)K3的比例環(huán)節(jié)3.2.2和低通濾波器3.2.1得到速度前饋補(bǔ)償信號V_FF。
[0049]控制器產(chǎn)生的速度前饋補(bǔ)償信號V_FF正反饋回速度指令信號的調(diào)節(jié)回路，而振動抑制信號P_mr和V_mr負(fù)反饋回速度指令信號的調(diào)節(jié)回路。通過以上信號的反饋，得到修正的具有抑制干擾能力的速度指令信號V_nom，并經(jīng)過輸出接口電路得到代表修正速度指令的± IOV的模擬量信號或者數(shù)字量信號。如果要得到代表修正速度指令的± IOV的模擬量信號，則輸出接口電路中就必須包括D/A轉(zhuǎn)換器(如圖6a)。如果要產(chǎn)生不同通信協(xié)議的修正速度指令信號，就必須要包括一個通信協(xié)議模塊(如圖6b)。
[0050]圖5是第二種振動抑制控制器的控制結(jié)構(gòu)圖，與圖4的控制結(jié)構(gòu)基本相同，唯一的不同點為振動抑制信號V_mr的產(chǎn)生。圖5是中的振動抑制信號產(chǎn)生器是利用光柵尺測得的工作臺實際位置信號比例放大，并與近似插補(bǔ)指令信號相減得到的誤差信號，通過微分、比例和濾波得到抑制信號V_mr，而圖2中的抑制信號V_mr，是直接利用比例放大的光柵尺測得的工作臺實際位置信號，通過微分、比例和濾波得到的。
[0051]以下給出本專利一種實例的仿真結(jié)果:
[0052]仿真控制的對象為三軸數(shù)控銑床Y軸進(jìn)給系統(tǒng)，采用安川交流伺服電機(jī)。進(jìn)給系統(tǒng)的主要參數(shù)為:
[0053]
【權(quán)利要求】
1.一種基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器，進(jìn)給系統(tǒng)包括數(shù)控系統(tǒng)與伺服系統(tǒng)，其特征在于，振動控制抑制器設(shè)置在數(shù)控系統(tǒng)與伺服系統(tǒng)之間，控制器的輸入信號為數(shù)控系統(tǒng)產(chǎn)生的代表設(shè)定速度指令的±ιον的模擬量信號或數(shù)字量信號和位置測量系統(tǒng)實測的工作臺的位置信號，輸出信號為代表修正速度指令的±ιον的模擬量信號或者數(shù)字量信號，所述振動抑制控制器包括輸入接口電路(I)、反饋接口電路(2)、振動抑制器(3)、輸出接口電路(4)，其中， 控制器的輸入接口電路(I)對輸入的代表設(shè)定速度指令的±10V的模擬量信號或數(shù)字量信號進(jìn)行采樣保持或者插補(bǔ)，得到數(shù)字量設(shè)定速度指令信號，其采樣或者插補(bǔ)的周期為速度環(huán)的采樣周期； 控制器的反饋接口電路(2)對輸入的代表工作臺實際位置的模擬量或者數(shù)字量信號進(jìn)行采樣保持或者插補(bǔ)，得到數(shù)字量實際位置反饋信號，其采樣或者插補(bǔ)的周期為速度環(huán)的采樣周期； 控制器的振動抑制器(3)對上述的數(shù)字量速度指令信號和位置反饋信號進(jìn)行處理得到振動抑制信號，并反饋回調(diào)節(jié)回路，得到修正速度指令信號； 控制器的輸出接口電路(4)按照伺服系統(tǒng)可接受速度指令信號類型的不同，把上述修正速度指令信號通過D/A轉(zhuǎn)化為模擬量信號或者直接輸出數(shù)字量信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器，其特征在于，所述的振動抑制器(3)輸入信號為數(shù)字量速度指令信號和位置反饋信號，其結(jié)構(gòu)包括近似插補(bǔ)指令信號計算器(3.1)、速度前饋控制器(3.2)、振動抑制信號產(chǎn)生器(3.3)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器，其特征在于，所述的近似插補(bǔ)信號計算器(3.1)對設(shè)定速度指令的數(shù)字量信號和工作臺實際位置的數(shù)字量信號進(jìn)行重新采樣和保持，其采樣周期為位置環(huán)的采樣周期，工作臺實際位置的數(shù)字量信號經(jīng)過具有參數(shù)化放大系數(shù)的比例環(huán)節(jié)(3.1.2)，并與重新采樣后的設(shè)定速度指令的數(shù)字量信號相加，得到近似的插補(bǔ)指令信號。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器，其特征在于，所述的速度前饋控制器(3.2)對上面所述的近似插補(bǔ)指令信號經(jīng)過微分處理(3.2.3)，并經(jīng)過具有參數(shù)化放大系數(shù)的比例環(huán)節(jié)(3.2.2)和低通濾波器(3.2.1)得到速度前饋補(bǔ)償信號。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器，其特征在于，所述的振動抑制信號產(chǎn)生器(3.3)利用工作臺實際位置的數(shù)字量信號，經(jīng)過具有參數(shù)化放大系數(shù)的比例環(huán)節(jié)(3.3.1)，并與上面所述的近似插補(bǔ)指令信號相減得到誤差信號E，再經(jīng)過具有參數(shù)化的放大系數(shù)的比例環(huán)節(jié)(3.3.2)得到振動抑制信號。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于進(jìn)給系統(tǒng)位置反饋信號的振動抑制控制器，其特征在于，所述位置測量系統(tǒng)為直線光柵尺、磁柵、干涉儀同步變壓器等任意可以測量位置信號的系統(tǒng)。
【文檔編號】G05B19/41GK203720602SQ201420050558
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年1月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月26日
【發(fā)明者】陳耀龍, 張成勇 申請人:西安交通大學(xué)蘇州研究院, 西安交通大學(xué)