專利名稱：控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，尤其涉及一種控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)及方法。
參考圖1，示出傳統(tǒng)半導(dǎo)體自動(dòng)化工廠(FA)系統(tǒng)中控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的方法的流程圖。如圖所示，傳統(tǒng)半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)包括一個(gè)工藝設(shè)備(EQ)100、一個(gè)工藝設(shè)備(EQ)服務(wù)器(EQS)102、一個(gè)生產(chǎn)單元(cell)管理服務(wù)器(CMS)104、一個(gè)生產(chǎn)段內(nèi)(intrabay)控制服務(wù)器(ICS)106、一個(gè)自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制器(AGVC)108、一個(gè)自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110、一個(gè)堆料機(jī)控制服務(wù)器(SCS)112以及一個(gè)堆料機(jī)114。此外，傳統(tǒng)半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)是用于工作模式的。工作模式包括全自動(dòng)化工作模式、半自動(dòng)化工作模式以及手動(dòng)工作模式。通常，傳統(tǒng)半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)是以全自動(dòng)化工作模式為基礎(chǔ)的。
在步驟S118，當(dāng)工藝設(shè)備(EQ)100，即完成半導(dǎo)體制造工藝即擴(kuò)散工藝的熔爐設(shè)備完成擴(kuò)散過(guò)程后，工藝設(shè)備(EQ)100向工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)102發(fā)送一個(gè)工藝過(guò)程完成信號(hào)。
在步驟S120，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)102根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)向生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)104發(fā)送請(qǐng)求消息，其中的請(qǐng)求消息是請(qǐng)求從工藝設(shè)備(EQ)100向堆料機(jī)輸送一批半導(dǎo)體晶片的消息。一批是指在一個(gè)單位工藝過(guò)程即擴(kuò)散工藝處理的一定數(shù)量的半導(dǎo)體晶片。
在步驟S122，工藝設(shè)備(EQ)100通知工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)102，可以從工藝設(shè)備(EQ)100卸載半導(dǎo)體晶片盒，其中的半導(dǎo)體晶片盒是一種裝載半導(dǎo)體晶片由自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110從工藝設(shè)備(EQ)100輸送到堆料機(jī)114的容器。
在步驟S124，調(diào)度器(scheduler)116接收生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)104發(fā)送的請(qǐng)求消息，以便調(diào)度器116根據(jù)請(qǐng)求消息安排該批半導(dǎo)體晶片的后續(xù)半導(dǎo)體處理。
在步驟S126，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)102根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)向生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)104發(fā)送一個(gè)卸載隊(duì)列。該卸載隊(duì)列包括一個(gè)半導(dǎo)體晶片盒標(biāo)識(shí)符，一個(gè)表示半導(dǎo)體晶片盒的起始地信息的工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符以及一個(gè)表示半導(dǎo)體晶片盒的目的地信息的堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符。
在步驟S128，生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)104向生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)106發(fā)送卸載隊(duì)列。
在步驟S130，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)102向工藝設(shè)備(EQ)100發(fā)送一個(gè)命令以便工藝設(shè)備(EQ)100根據(jù)工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)102發(fā)送的命令將該批半導(dǎo)體晶片裝入半導(dǎo)體晶片盒。
在步驟S132，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)106向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)108發(fā)送卸載隊(duì)列。
在步驟S134，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)108轉(zhuǎn)換卸載隊(duì)列以便自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)108識(shí)別卸載隊(duì)列，由此產(chǎn)生一個(gè)送到自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110的自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令。
在步驟S135，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)108通過(guò)無(wú)線電向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110發(fā)送自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令。此時(shí)，為了從工藝設(shè)備(EQ)100卸載半導(dǎo)體晶片盒，根據(jù)工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110移到工藝設(shè)備(EQ)100。
在步驟S136，如果自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110已根據(jù)工藝設(shè)備(EQ)100標(biāo)識(shí)符移到工藝設(shè)備(EQ)100，則自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)108就向生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)106發(fā)送移動(dòng)完成命令。
在步驟S138，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)106向生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)104發(fā)送移動(dòng)完成消息。
在步驟S140，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)106向工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)102發(fā)送移動(dòng)完成消息。
在步驟S142，根據(jù)從生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)106接收的移動(dòng)完成消息，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)102向生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)106發(fā)送確認(rèn)消息。
在步驟S144，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)106向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)108發(fā)送確認(rèn)消息。
在步驟S146，根據(jù)工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110從工藝設(shè)備(EQ)100卸載半導(dǎo)體晶片盒。
在步驟S148，根據(jù)堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110將半導(dǎo)體晶片盒裝載到堆料機(jī)114。
在步驟S150，如果自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110已經(jīng)根據(jù)堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符將半導(dǎo)體晶片盒裝載到堆料機(jī)114，那么堆料機(jī)114就向堆料機(jī)控制服務(wù)器(SCS)112發(fā)送一個(gè)裝載完成信號(hào)。
在步驟S152，根據(jù)裝載完成信號(hào)，堆料機(jī)控制服務(wù)器(SCS)112向生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)104發(fā)送一個(gè)裝載完成消息。
在步驟S154，生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)104更新關(guān)于半導(dǎo)體晶片盒的位置信息。
在步驟S156，生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)104向工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)102發(fā)送裝載完成消息。
在步驟S158，根據(jù)裝載完成消息，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)102清倉(cāng)(flush)工藝設(shè)備(EQ)控制文件。
完成半導(dǎo)體制造工藝即由相應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)100完成擴(kuò)散工藝后，將半導(dǎo)體晶片盒從工藝設(shè)備(EQ)100輸送到相應(yīng)的堆料機(jī)114，傳統(tǒng)半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)需要的時(shí)間太長(zhǎng)。為了減少將半導(dǎo)體晶片盒從工藝設(shè)備(EQ)100輸送到相應(yīng)的堆料機(jī)114所需的時(shí)間，傳統(tǒng)半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)非常需要操作人員干預(yù)。
如圖1所示，在“A”點(diǎn)，當(dāng)操作人員將工作模式由全自動(dòng)化工作模式轉(zhuǎn)變?yōu)榘胱詣?dòng)化工作模式或手動(dòng)工作模式時(shí)，操作人員可以從相應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)100上直接卸載半導(dǎo)體晶片盒。之后，操作人員可以直接將半導(dǎo)體晶片盒裝載到相應(yīng)的堆料機(jī)114。此時(shí)，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)108通常產(chǎn)生一個(gè)自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令送到自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)以便從相應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)100卸載半導(dǎo)體晶片盒，這樣自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110就移到相應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)100。最好在半自動(dòng)化工作模式和手動(dòng)工作模式關(guān)閉自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110。然而，在半自動(dòng)化工作模式或手動(dòng)工作模式，傳統(tǒng)半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)存在不能關(guān)閉自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)110的問(wèn)題。
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的就是提供一種通過(guò)檢查存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工作模式信息有效控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)和方法，以便在系統(tǒng)操作人員將工作模式由全自動(dòng)化工作模式轉(zhuǎn)變?yōu)榱硪环N工作模式時(shí)關(guān)閉自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)。
因此，本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種存儲(chǔ)程序指令的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，當(dāng)操作人員將工作模式由全自動(dòng)化工作模式轉(zhuǎn)變?yōu)榱硪环N工作模式時(shí)，為了在半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)中關(guān)閉自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)，通過(guò)檢查存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工作模式信息，由設(shè)置在計(jì)算機(jī)中的程序指令實(shí)現(xiàn)有效控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的方法。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，它包括一個(gè)公共通信線路；多個(gè)與所述公共通信線路相連、每個(gè)均在工作模式為全自動(dòng)化工作模式時(shí)完成預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理并在預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理完成后發(fā)送一個(gè)工藝過(guò)程完成信號(hào)的半導(dǎo)體處理裝置，其中的預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理被施加到一批半導(dǎo)體晶片；一個(gè)與所述公共通信線路相連用于接收每個(gè)半導(dǎo)體處理裝置的工作模式信息以及由操作人員改變的工作模式信息的操作人員界面裝置；一個(gè)與所述公共通信線路相連用于存儲(chǔ)由所述操作人員界面裝置改變的工作模式信息的存儲(chǔ)裝置；一個(gè)與所述公共通信線路相連用于根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)產(chǎn)生一個(gè)隊(duì)列的隊(duì)列產(chǎn)生裝置；一個(gè)與所述公共通信線路相連并響應(yīng)隊(duì)列用于檢查存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)裝置中的每個(gè)半導(dǎo)體處理裝置的工作模式信息的控制裝置；以及一個(gè)根據(jù)從所述控制裝置接收的隊(duì)列從每個(gè)半導(dǎo)體處理裝置卸載該批半導(dǎo)體晶片的輸送裝置，其中如果存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)裝置中的每個(gè)半導(dǎo)體處理裝置的工作模式信息不是全自動(dòng)化工作模式，所述的控制裝置通過(guò)中斷向所述輸送裝置傳送隊(duì)列來(lái)關(guān)閉所述輸送裝置。
根據(jù)本方面的另一個(gè)方面，在半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)中，提供了一種自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的控制方法，它包括步驟a)接收由操作人員改變的工藝設(shè)備的工作模式信息；b)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)改變的工藝設(shè)備的工作模式信息；c)在工作模式為全自動(dòng)化工作模式時(shí)，完成預(yù)定的半導(dǎo)體工藝處理并在預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理完成后發(fā)送一個(gè)工藝過(guò)程完成信號(hào)，其中預(yù)定半導(dǎo)體處理施加到一批半導(dǎo)體晶片；d)根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)產(chǎn)生一個(gè)隊(duì)列；e)根據(jù)隊(duì)列檢查存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息；f)如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息不是全自動(dòng)化工作模式，則通過(guò)中斷向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)傳送隊(duì)列來(lái)關(guān)閉自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)；以及g)如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息是全自動(dòng)化工作模式，就激活自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)以根據(jù)隊(duì)列從工藝設(shè)備卸載該批半導(dǎo)體晶片。
根據(jù)本方面再一個(gè)方面，提供了一種存儲(chǔ)程序指令的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，該程序指令設(shè)置在計(jì)算機(jī)中，以便在半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)中執(zhí)行自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的控制方法，它包括步驟a)接收由操作人員改變的工藝設(shè)備的工作模式信息；b)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)被改變的工藝設(shè)備的工作模式信息；c)在工作模式為全自動(dòng)化工作模式下完成預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理并在預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理完成后發(fā)送一個(gè)工藝過(guò)程完成信號(hào)，其中的預(yù)定半導(dǎo)體處理施加到一批半導(dǎo)體晶片；d)根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)產(chǎn)生一個(gè)隊(duì)列；e)根據(jù)隊(duì)列，檢查存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息；f如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息不是全自動(dòng)化工作模式，則利用中斷向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)傳送隊(duì)列來(lái)關(guān)閉自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)；以及g)如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息是全自動(dòng)化工作模式，則激活自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)以便根據(jù)隊(duì)列從工藝設(shè)備上卸載該批半導(dǎo)體晶片。
通過(guò)以下結(jié)合


優(yōu)選方案，本發(fā)明的以上及其它目標(biāo)以及本方面的特征變得顯而易見(jiàn)，其中圖1示出了一個(gè)在傳統(tǒng)半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)中的自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的控制方法的流程圖；圖2示出了一個(gè)根據(jù)本發(fā)明用于控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)的方框圖；圖3示出了一個(gè)如圖2所示的傳送控制部分的方框圖；和圖4示出了一個(gè)在半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)中，根據(jù)本發(fā)明的自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的控制方法的流程圖；參考圖2，示出一個(gè)根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)的方框圖。如圖所示，半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)至少包括一個(gè)生產(chǎn)單元，其具有預(yù)定數(shù)目的半導(dǎo)體生產(chǎn)段，如4個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)段。半導(dǎo)體生產(chǎn)段400包含在生產(chǎn)單元內(nèi)。所提供的半導(dǎo)體生產(chǎn)段400具有工藝設(shè)備(EQ)204、堆料機(jī)216以及一個(gè)自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214。為了獲得半導(dǎo)體器件，工藝設(shè)備(EQ)204加工處理半導(dǎo)體晶片。工藝設(shè)備(EQ)204包括一個(gè)蝕刻設(shè)備、一個(gè)光刻設(shè)備、一個(gè)熔爐設(shè)備等等。堆料機(jī)216臨時(shí)存儲(chǔ)一定數(shù)目的半導(dǎo)體晶片盒。每個(gè)半導(dǎo)體晶片盒具有預(yù)定數(shù)目的半導(dǎo)體晶片，被稱為批。通過(guò)利用自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214，半導(dǎo)體晶片盒被有選擇性地輸送到工藝設(shè)備(EQ)204。裝在堆料機(jī)216中的半導(dǎo)體晶片盒被輸送到另一個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)段400。
工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202連到公共通信線路500，如由施樂(lè)公司(XeroxCorporation)提供的以太網(wǎng)(EthemetTM)。自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制器(AGVC)212控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214。
半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)還包括一個(gè)生產(chǎn)單元管理部分100、一個(gè)與生產(chǎn)單元管理部分100相連的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300、一個(gè)暫存單元310、一個(gè)與暫存單元310相連的歷史數(shù)據(jù)管理部分312以及一個(gè)與歷史數(shù)據(jù)管理部分312相連的歷史數(shù)據(jù)庫(kù)314。生產(chǎn)單元管理部分100、歷史數(shù)據(jù)管理部分312以及歷史數(shù)據(jù)庫(kù)314分別連接到公共通信線路500以便實(shí)現(xiàn)相互間通信。
生產(chǎn)單元管理部分100包括一個(gè)生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206、一個(gè)操作人員界面(interface)服務(wù)器(OIS)201以及一個(gè)數(shù)據(jù)收集服務(wù)器(DGS)207。數(shù)據(jù)收集服務(wù)器(DGS)207在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300存儲(chǔ)與批有關(guān)的過(guò)程數(shù)據(jù)。
參考圖3，示出圖2所示的輸送控制部分的方框圖。如圖所示，輸送控制部分116包括與公共通信線路500相連的生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210和堆料機(jī)控制服務(wù)器(SCS)218。生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210將輸送信息轉(zhuǎn)變?yōu)閺墓餐ㄐ啪€路發(fā)出的輸送命令。堆料機(jī)服務(wù)器(SCS)218產(chǎn)生一個(gè)堆料控制命令以便根據(jù)輸送命令控制堆料機(jī)216。自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212產(chǎn)生一個(gè)自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令以便根據(jù)輸送命令控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214。
參考圖2和圖3，半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)是以全自動(dòng)化工作模式為基礎(chǔ)的。操作人員可以通過(guò)與公共通信線路500相連的操作人員界面服務(wù)器(QIS)201將工藝設(shè)備(EQ)204的工作模式由全自動(dòng)化工作模式變成半自動(dòng)化工作模式或手動(dòng)工作模式。
與公共通信線路500相連的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300存儲(chǔ)有關(guān)工藝設(shè)備(EQ)204改變后的工作模式，即半自動(dòng)化工作模式或手動(dòng)工作模式的信息。
工藝設(shè)備(EQ)204，即與公共通信線路500相連的熔爐設(shè)備執(zhí)行半導(dǎo)體制造工藝處理，即擴(kuò)散工藝。如果工藝設(shè)備(EQ)204已完成擴(kuò)散工藝處理后，工藝設(shè)備(EQ)204就向工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202發(fā)出一個(gè)工藝過(guò)程完成信號(hào)。發(fā)出工藝過(guò)程完成信號(hào)后，工藝設(shè)備(EQ)204就通知生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206半導(dǎo)體晶片盒可以從工藝設(shè)備(EQ)204上卸載。半導(dǎo)體晶片盒是一個(gè)裝載由自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214從工藝設(shè)備(EQ)204輸送到堆料機(jī)216的該批半導(dǎo)體晶片的容器。
根據(jù)工藝設(shè)備(EQ)204發(fā)出的工藝過(guò)程完成信號(hào)，與公共通信線路相連的工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202向生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206發(fā)送一個(gè)請(qǐng)求消息。該請(qǐng)求消息是一個(gè)請(qǐng)求將一批半導(dǎo)體晶片從工藝設(shè)備(EQ)204移到堆料機(jī)216的消息。
工藝設(shè)備(EQ)204通知工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202半導(dǎo)體晶片盒可以從工藝設(shè)備(EQ)204卸載之后，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202產(chǎn)生一個(gè)卸載隊(duì)列并向生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206發(fā)送該卸載隊(duì)列。該卸載隊(duì)列包括一個(gè)半導(dǎo)體晶片盒標(biāo)識(shí)符、一個(gè)表示半導(dǎo)體晶片盒的起始地信息的工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符以及一個(gè)表示半導(dǎo)體晶片盒的目的地信息的堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符。
工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202向工藝設(shè)備(EQ)204發(fā)送一條命令以使工藝設(shè)備(EQ)204根據(jù)工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202發(fā)出的命令將該批半導(dǎo)體晶片放入半導(dǎo)體晶片盒。向工藝設(shè)備(EQ)204發(fā)送命令之后，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202根據(jù)生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210發(fā)出的移動(dòng)完成消息，向生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210發(fā)送確認(rèn)消息。半導(dǎo)體晶片盒裝入堆料機(jī)216后，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202就清倉(cāng)工藝設(shè)備(EQ)控制文件并更新有關(guān)半導(dǎo)體晶片的位置信息。
與公共通信線路500相連的生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206將請(qǐng)求消息從工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202發(fā)送到調(diào)度器208。將工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202發(fā)出的請(qǐng)求消息送到調(diào)度器208之后，生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206將卸載隊(duì)列從工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202發(fā)送到生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210。堆料機(jī)216裝載半導(dǎo)體晶片盒之后，生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206將裝載完成消息從堆料機(jī)216發(fā)送到工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202。
與公共通信線路500相連的調(diào)度器208接收由生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206發(fā)出的請(qǐng)求消息，以便調(diào)度器208根據(jù)生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206發(fā)出的請(qǐng)求消息，安排該批半導(dǎo)體晶片的后續(xù)半導(dǎo)體處理。
與公共通信線路500相連的生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210檢查存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300中的工藝設(shè)備(EQ)204的工作模式信息，以檢查工藝設(shè)備(EQ)204的工作模式信息是否為全自動(dòng)化工作模式。如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300中的工藝設(shè)備(EQ)204的工作模式信息是半自動(dòng)化工作模式或手動(dòng)工作模式，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)21O就中斷從生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212傳送卸載隊(duì)列，從而關(guān)閉自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214。此后，操作人員就根據(jù)從與工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)204發(fā)出的的半導(dǎo)體晶片盒標(biāo)識(shí)符，卸載半導(dǎo)體晶片盒。卸載半導(dǎo)體晶片盒之后，操作人員將半導(dǎo)體晶片盒裝載到與堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的堆料機(jī)216。
反之，如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300中的工藝設(shè)備(EQ)204工作模式信息是全自動(dòng)化工作模式，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210就向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212發(fā)送卸載隊(duì)列。
此外，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210向生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206和工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202發(fā)送移動(dòng)完成消息。生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210將確認(rèn)消息從工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202發(fā)送到自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212。
與公共通信線路500相連的自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212轉(zhuǎn)換卸載隊(duì)列，以便在自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212中辨識(shí)卸載隊(duì)列，從而產(chǎn)生一個(gè)送到自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214的自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令。自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212通過(guò)無(wú)線電向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214發(fā)送自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令，從而激活自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214。之后，根據(jù)自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214移到與工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)204以便從工藝設(shè)備(EQ)卸載半導(dǎo)體晶片盒。如果自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214已經(jīng)移到與工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)204，則自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212就向生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210發(fā)送移動(dòng)完成信號(hào)。
自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214從與工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)204卸載半導(dǎo)體晶片盒。自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214將半導(dǎo)體晶片盒裝載到與堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的堆料機(jī)216。
如果自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214已將半導(dǎo)體晶片盒裝載到與堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的堆料機(jī)216，堆料機(jī)216就向堆料機(jī)服務(wù)器(SCS)218發(fā)送裝載完成消息。
與公共通信線路500相連的堆料機(jī)服務(wù)器(SCS)218將裝載完成消息從堆料機(jī)216發(fā)送到生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206。
參考圖4，所示是在半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)中根據(jù)本發(fā)明的自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的控制方法的流程圖。
在步驟S218，當(dāng)工藝設(shè)備(EQ)204，即用于完成半導(dǎo)體制造工藝即擴(kuò)散工藝的熔爐設(shè)備完成擴(kuò)散工藝后，工藝設(shè)備(EQ)204向工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202發(fā)送一個(gè)工藝過(guò)程完成信號(hào)。
在步驟S220，根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202向生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206發(fā)送一個(gè)請(qǐng)求消息，其中的請(qǐng)求消息是請(qǐng)求將一批半導(dǎo)體晶片從工藝設(shè)備(EQ)204輸送到堆料機(jī)216的消息。
在步驟222，工藝設(shè)備(EQ)204通知工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202半導(dǎo)體晶片盒可以從工藝設(shè)備(EQ)204卸載，其中的半導(dǎo)體晶片盒是一種裝載由AGV214從工藝設(shè)備(EQ)204輸送到堆料機(jī)216的該批半導(dǎo)體晶片的容器。
在步驟S224，調(diào)度器208接收生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206發(fā)送的請(qǐng)求消息，以便調(diào)度器208根據(jù)請(qǐng)求消息安排該批半導(dǎo)體晶片的后續(xù)半導(dǎo)體處理過(guò)程。
在步驟226，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202產(chǎn)生一個(gè)卸載隊(duì)列并將該卸載隊(duì)列送到生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206。該卸載隊(duì)列包括一個(gè)半導(dǎo)體晶片標(biāo)識(shí)符、一個(gè)表示所卸載的半導(dǎo)體晶片盒的起始地的工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符以及一個(gè)表示所卸載的半導(dǎo)體晶片盒的目的地的堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符。
在步驟S228，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202向工藝設(shè)備(EQ)204發(fā)送一條命令，以便工藝設(shè)備(EQ)204根據(jù)工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202發(fā)送的命令將該批半導(dǎo)體晶片裝入半導(dǎo)體晶片盒中。如圖2所示，在點(diǎn)“B”，操作人員通過(guò)操作人員界面服務(wù)器(OIS)201將工藝設(shè)備(EQ)204的工作模式由全自動(dòng)化工作模式改變?yōu)榘胱詣?dòng)化工作模式或手動(dòng)工作模式。之后，如圖2所示的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300存儲(chǔ)所改變的工藝設(shè)備(EQ)204的工作模式，即半自動(dòng)化工作模式或手動(dòng)工作模式。操作人員可以在另一點(diǎn)將工作模式由全自動(dòng)化工作模式改變?yōu)榘胱詣?dòng)化工作模式或手動(dòng)工作模式。
在步驟S230，生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206向生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210發(fā)送卸載隊(duì)列。
在步驟S232，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210檢查存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300中的工藝設(shè)備(EQ)204的工作模式信息以檢查工藝設(shè)備(EQ)204的工作模式是否為全自動(dòng)化工作模式。
如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300中的工藝設(shè)備(EQ)204的工作模式是半自動(dòng)化工作模式或手動(dòng)工作模式，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210就中斷從生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212發(fā)送卸載隊(duì)列，從而關(guān)閉自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214。之后，操作人員就從與工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)204卸載與半導(dǎo)體晶片盒標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體晶片盒。該半導(dǎo)體晶片盒卸載后，操作人員將此半導(dǎo)體晶片盒裝載到與堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的堆料機(jī)216。
在步驟S234，如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300中的工藝設(shè)備(EQ)204的工作模式是全自動(dòng)化工作模式，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210就向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212發(fā)送卸載隊(duì)列。
在步驟S236，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212轉(zhuǎn)換卸載隊(duì)列以便該卸載隊(duì)列能在自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212中辨識(shí)，由此產(chǎn)生一個(gè)自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令送到自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214。
在步驟S237，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212用無(wú)線電向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214發(fā)送自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令，由此激活自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214。之后，根據(jù)自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)移到與工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)204，以便從工藝設(shè)備(EQ)204卸載半導(dǎo)體晶片盒。
在步驟S238，如果自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214已移到與工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)204，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212就向生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210發(fā)送移動(dòng)完成消息。
在步驟S240，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210向生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206發(fā)送移動(dòng)完成消息。
在步驟S242，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210向工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202發(fā)送移動(dòng)完成消息。
在步驟S244，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202根據(jù)從生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210接收的移動(dòng)完成消息，向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212發(fā)送確認(rèn)消息。
在步驟S246，生產(chǎn)段內(nèi)控制服務(wù)器(ICS)210向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212發(fā)送確認(rèn)消息。
在步驟S248，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214從與工藝設(shè)備(EQ)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的工藝設(shè)備(EQ)100卸載半導(dǎo)體晶片盒。
在步驟S250，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214將半導(dǎo)體晶片盒裝載到與堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的堆料機(jī)216。
在步驟S252，如果自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)214已將半導(dǎo)體晶片盒裝載到與堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的堆料機(jī)216，堆料機(jī)216就向堆料機(jī)服務(wù)器(SCS)218發(fā)送一個(gè)裝載完成信號(hào)。
在步驟S254，堆料機(jī)服務(wù)器(SCS)218根據(jù)裝載完成信號(hào)向生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206發(fā)送裝載完成消息。
在步驟S256，生產(chǎn)單元管理服務(wù)器(CMS)206將裝載完成消息送到工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202。
在步驟S258，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202根據(jù)裝載完成消息清倉(cāng)工藝設(shè)備(EQ)控制文件。
在步驟S260，工藝設(shè)備服務(wù)器(EQS)202更新有關(guān)半導(dǎo)體晶片盒的位置信息。
如上所述，如果操作人員將工作模式由全自動(dòng)化工作模式變?yōu)榘胱詣?dòng)化工作模式或手動(dòng)工作模式，可以根據(jù)本發(fā)明的方法，通過(guò)中斷向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)212傳送卸載隊(duì)列而有效控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)。一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)諸如一張光盤(pán)或一個(gè)硬盤(pán)可以存儲(chǔ)設(shè)置在計(jì)算機(jī)中的程序指令，以獲得在工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)中根據(jù)本發(fā)明的自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的控制方法。
盡管為了說(shuō)明本發(fā)明的目標(biāo)披露了本發(fā)明的優(yōu)選方案，本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可能會(huì)提出不同的變化方案、補(bǔ)充方案和替換方案，它們均屬于所附權(quán)利要求披露的本發(fā)明的范圍和實(shí)質(zhì)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，包括一個(gè)公共通信線路；多個(gè)與所述公共通信線路相連的半導(dǎo)體處理裝置，在工作模式是全自動(dòng)化工作模式時(shí)，每個(gè)均用于執(zhí)行預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理并在預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理完成之后發(fā)送一個(gè)工藝過(guò)程完成信號(hào)，其中預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理被施加到一批半導(dǎo)體晶片；一個(gè)與所述公共通信線路相連用于接收每個(gè)半導(dǎo)體處理裝置的工作模式信息和由操作人員改變的工作模式信息的操作人員界面裝置；一個(gè)與所述公共通信線路相連用于存儲(chǔ)由所述操作人員界面裝置改變的工作模式信息的存儲(chǔ)裝置；一個(gè)與所述公共通信線路相連用于根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)產(chǎn)生隊(duì)列的隊(duì)列產(chǎn)生裝置；一個(gè)與所述公共通信線路相連并根據(jù)隊(duì)列用于檢查存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)裝置中的每個(gè)半導(dǎo)體處理裝置的工作模式信息的控制裝置；和一個(gè)用于根據(jù)從所述控制裝置接收的隊(duì)列從每個(gè)半導(dǎo)體處理裝置卸載該批半導(dǎo)體晶片的輸送裝置，其中，如果存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)裝置中的每個(gè)半導(dǎo)體處理裝置的工作模式不是全自動(dòng)化工作模式，則所述控制裝置通過(guò)中斷向所述輸送裝置傳送隊(duì)列來(lái)關(guān)閉所述輸送裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，如果所述控制裝置通過(guò)中斷向所述輸送裝置傳送送隊(duì)列來(lái)關(guān)閉所述輸送裝置，所述操作人員將該批半導(dǎo)體晶片從每個(gè)半導(dǎo)體處理裝置卸載。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，其中所述的多個(gè)半導(dǎo)體處理裝置包括多個(gè)工藝設(shè)備。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，其中所述隊(duì)列產(chǎn)生裝置進(jìn)一步發(fā)送一個(gè)根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)請(qǐng)求輸送該批半導(dǎo)體晶片的請(qǐng)求消息。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，進(jìn)一步包括一個(gè)與所述公共通信線路相連用于根據(jù)請(qǐng)求消息安排該批半導(dǎo)體晶片的后續(xù)半導(dǎo)體處理的調(diào)度裝置；
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，其中工藝設(shè)備之一包括一個(gè)作為裝載一批半導(dǎo)體晶片的容器的半導(dǎo)體晶片盒。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，其中，在向所述隊(duì)列產(chǎn)生裝置發(fā)送工藝過(guò)程完成信號(hào)后，工藝設(shè)備進(jìn)一步通知所述隊(duì)列產(chǎn)生裝置，半導(dǎo)體晶片盒可以從工藝設(shè)備卸載。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，其中的隊(duì)列包括一個(gè)半導(dǎo)體晶片盒標(biāo)識(shí)符、一個(gè)表示半導(dǎo)體晶片盒的起始地信息的工藝設(shè)備標(biāo)識(shí)符以及一個(gè)表示半導(dǎo)體晶片盒的目的地信息的堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，進(jìn)一步包括一個(gè)通過(guò)轉(zhuǎn)換隊(duì)列產(chǎn)生輸送控制命令并將該輸送控制命令送到所述輸送裝置的輸送控制裝置，其中，所述輸送裝置根據(jù)輸送控制命令移到與工藝設(shè)備標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的工藝設(shè)備；和一個(gè)在所述輸送裝置已將半導(dǎo)體晶片盒裝載到與堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的所述堆料機(jī)后，用于裝載半導(dǎo)體晶片盒并產(chǎn)生一個(gè)裝載完成消息的堆料機(jī)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，其中，根據(jù)裝載完成消息，所述隊(duì)列產(chǎn)生裝置進(jìn)一步清倉(cāng)工藝設(shè)備控制文件并更新有關(guān)半導(dǎo)體晶片盒的位置信息。
11.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，其中的工藝設(shè)備包括熔爐設(shè)備。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，其中預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理包括擴(kuò)散工藝處理。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，其中所述的存儲(chǔ)裝置包括實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，其中所述的公共通信線路包括由施樂(lè)公司提供的以太網(wǎng)電纜。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)，其中工作模式包括全自動(dòng)化工作模式、半自動(dòng)化工作模式和手動(dòng)工作模式。
16.一種在半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)中控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的方法，包括步驟a)接收由操作人員改變的工藝設(shè)備的工作模式信息；b)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)已改變的工藝設(shè)備的工作模式信息；c)在工作模式為全自動(dòng)化工作模式時(shí)，執(zhí)行預(yù)定的半導(dǎo)體工藝處理，并在預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理完成后發(fā)送一個(gè)工藝過(guò)程完成信號(hào)，其中預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理施加到一批半導(dǎo)體晶片；d)根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)產(chǎn)生一個(gè)隊(duì)列；e)根據(jù)該隊(duì)列，檢查存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息；f)如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息不是全自動(dòng)化工作模式，則通過(guò)中斷向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)傳送隊(duì)列來(lái)關(guān)閉自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)；和g)如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息是全自動(dòng)化工作模式，則根據(jù)隊(duì)列激活自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)以從工藝設(shè)備卸載該批半導(dǎo)體晶片。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中，如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息不是全自動(dòng)化工作模式，操作人員從工藝設(shè)備卸載在所述步驟c)中的一批半導(dǎo)體晶片。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述步驟d)包括步驟d1)根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)，發(fā)送一個(gè)請(qǐng)求從工藝設(shè)備服務(wù)器向生產(chǎn)單元管理服務(wù)器輸送該批半導(dǎo)體晶片的請(qǐng)求消息；d2)通知工藝設(shè)備服務(wù)器半導(dǎo)體晶片盒可以從工藝設(shè)備卸載；d3)根據(jù)請(qǐng)求消息，安排該批半導(dǎo)體晶片的后續(xù)半導(dǎo)體處理；和d4)根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)產(chǎn)生隊(duì)列。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中包含在步驟a)中的工藝設(shè)備包括一個(gè)作為裝載一批半導(dǎo)體晶片的容器的半導(dǎo)體晶片盒。
20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中包含在步驟d)中的隊(duì)列包括一個(gè)半導(dǎo)體晶片盒標(biāo)識(shí)符、一個(gè)表示半導(dǎo)體晶片盒的起始地信息的工藝設(shè)備標(biāo)識(shí)符以及一個(gè)表示半導(dǎo)體晶片盒的目的地信息的堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中所述的步驟g)包括步驟g1)通過(guò)轉(zhuǎn)換隊(duì)列，產(chǎn)生一個(gè)自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令并將該自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令從自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)控制器(AGVC)送到自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)；g2)根據(jù)自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)控制命令，自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)移到與工藝設(shè)備標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的工藝設(shè)備；和g3)如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息是全自動(dòng)化工作模式，就根據(jù)該隊(duì)列激活自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)以從工藝設(shè)備卸載該批半導(dǎo)體晶片。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中所述步驟g3)進(jìn)一步包括步驟g3-a)將半導(dǎo)體晶片盒裝載到與堆料機(jī)標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的堆料機(jī)；和g3-b)堆料機(jī)產(chǎn)生一個(gè)裝載完成消息。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中所述的步驟g3-b)進(jìn)一步包括步驟g3-b1)根據(jù)裝載完成消息，清倉(cāng)工藝設(shè)備控制文件；g3-b2)更新有關(guān)半導(dǎo)體晶片盒的位置信息。
24.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述步驟a)中的工藝設(shè)備包括熔爐設(shè)備。
25.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述步驟c)中的預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理包括擴(kuò)散工藝處理。
26.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述步驟c)中的工作模式包括全自動(dòng)化工作模式、半自動(dòng)化工作模式和手動(dòng)工作模式。
27.一種存儲(chǔ)程序指令的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，將程序指令設(shè)置在計(jì)算機(jī)上以執(zhí)行一種在半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)中控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的方法，包括步驟a)接收由操作人員改變的工藝設(shè)備的工作模式信息；b)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)已改變的工藝設(shè)備的工作模式信息；c)在工作模式是全自動(dòng)化工作模式下，執(zhí)行預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理，并在預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理完成后發(fā)送一個(gè)工藝過(guò)程完成信號(hào)，其中預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理施加到一批半導(dǎo)體晶片；d)根據(jù)工藝過(guò)程完成信號(hào)產(chǎn)生一個(gè)隊(duì)列；e)根據(jù)隊(duì)列，檢查存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息；f)如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息不是全自動(dòng)化工作模式，就通過(guò)中斷向自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)傳送隊(duì)列來(lái)關(guān)閉自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)；和g)如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息是全自動(dòng)化工作模式，就根據(jù)該隊(duì)列激活自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)從工藝設(shè)備卸載該批半導(dǎo)體晶片。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中，如果存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工藝設(shè)備的工作模式信息不是全自動(dòng)化工作模式，由操作人員從工藝設(shè)備卸載包含在步驟c)中的該批半導(dǎo)體晶片。
全文摘要
在半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化(FA)系統(tǒng)中控制自動(dòng)導(dǎo)向小車(chē)(AGV)的方法,包括:接收并存儲(chǔ)改變的工藝設(shè)備工作模式信息;在全自動(dòng)化工作模式下,執(zhí)行預(yù)定半導(dǎo)體工藝處理并發(fā)送工藝過(guò)程完成信號(hào);產(chǎn)生隊(duì)列;根據(jù)隊(duì)列檢查存儲(chǔ)的工藝設(shè)備的工作模式信息;如存儲(chǔ)的工作模式信息不是全自動(dòng)化工作模式,中斷向AGV傳送隊(duì)列來(lái)關(guān)閉AGV;反之根據(jù)隊(duì)列激活A(yù)GV卸載該批半導(dǎo)體晶片。當(dāng)由全自動(dòng)化工作模式變?yōu)榱硪环N工作模式時(shí),可檢查存儲(chǔ)的工藝設(shè)備的工作模式信息有效控制AGV以在FA系統(tǒng)中關(guān)閉AGV。
文檔編號(hào)G06Q50/04GK1278618SQ0011868
公開(kāi)日2001年1月3日 申請(qǐng)日期2000年6月21日 優(yōu)先權(quán)日1999年6月22日
發(fā)明者高明載, 曹榮洙 申請(qǐng)人:現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社