專利名稱：產(chǎn)業(yè)工藝評價裝置以及產(chǎn)業(yè)工藝評價方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對產(chǎn)業(yè)用裝置執(zhí)行的產(chǎn)業(yè)工藝進行評價的產(chǎn)業(yè)工藝評價裝 置以及產(chǎn)業(yè)工藝評價方法。
背景技術(shù)：
一直以來，都是通過將與在半導(dǎo)體制造裝置發(fā)生的異常相關(guān)的信息顯示 在顯示器等上來通知操作人員。例如，在專利文件1中公開了顯示在半導(dǎo)體 制造裝置中發(fā)生的異常的原因和處理方法的技術(shù)。專利文件I: JP特開平10-21079號公報但是，在現(xiàn)有技術(shù)中，存在的問題是很難妥當(dāng)?shù)貙υ诎雽?dǎo)體制造裝置中 發(fā)生的異常進行處理。艮口，在半導(dǎo)體制造裝置發(fā)生異常時，該半導(dǎo)體制造裝置的用戶必須確定 在異常發(fā)生時所執(zhí)行的制造工藝，并分析該異常給通過執(zhí)行該制造工藝所制 造的目標(biāo)物帶來的影響，換而言之，需要分析是否將該目標(biāo)物送交到下個工 序也沒有問題。這種分析工作需要耗費很多勞動，還不得不跟半導(dǎo)體裝置的 銷售商合作。此外，在半導(dǎo)體制造裝置中發(fā)生異常時，該半導(dǎo)體制造裝置的用戶雖然 需要謀求防止異常再次發(fā)生，但是，對此，還需要以過去的經(jīng)驗和來自半導(dǎo) 體制造裝置的銷售商的信息為基礎(chǔ)，耗費大量的勞動來應(yīng)付。這些情況，對于半導(dǎo)體制造裝置以外的制造裝置，更普通的用于事業(yè)的 產(chǎn)業(yè)用裝置中， 一般是相同的。發(fā)明內(nèi)容為了解決上述問題，本發(fā)明目的在于妥當(dāng)?shù)貞?yīng)付在半導(dǎo)體制造裝置發(fā)生 的異常。為了解決上述問題，本發(fā)明的第一技術(shù)方案是一種產(chǎn)業(yè)工藝評價裝置，
對產(chǎn)業(yè)用裝置執(zhí)行的產(chǎn)業(yè)工藝進行評價，該產(chǎn)業(yè)工藝評價裝置具有檢測裝 置，其檢測在執(zhí)行上述產(chǎn)業(yè)工藝的過程中發(fā)生的異常；第一判斷裝置，其判 斷上述異常給通過所述產(chǎn)業(yè)用裝置執(zhí)行所述產(chǎn)業(yè)工藝而處理的目標(biāo)物帶來 的影響；輸出裝置，其輸出上述第一判斷裝置的判斷結(jié)果。本發(fā)明的第二技術(shù)方案，如第一技術(shù)方案所述的產(chǎn)業(yè)工藝評價裝置，還 具有第一更新裝置，所述第一更新裝置對作為所述第一判斷裝置的判斷基礎(chǔ) 的數(shù)據(jù)進行更新。本發(fā)明的第三技術(shù)方案，如第一或者第二方面所述的產(chǎn)業(yè)工藝評價裝 置，還具有第二判斷裝置，該第二判斷裝置對與所述防止異常再次發(fā)生相關(guān) 的建議進行判斷，所述輸出裝置在輸出所述第一判斷裝置的判斷結(jié)果的同 時，輸出上述第二判斷裝置的判斷結(jié)果。本發(fā)明的第四技術(shù)方案，如第三技術(shù)方案所述的產(chǎn)業(yè)工藝評價裝置，還 具有第二更新裝置，所述第二更新裝置對作為上述第二判斷裝置的判斷基礎(chǔ) 的數(shù)據(jù)進行更新。本發(fā)明的第五技術(shù)方案，如第一至第四技術(shù)方案的任意一項所述的產(chǎn)業(yè) 工藝評價裝置，還具有接收裝置，該接收裝置接收來自所述輸出裝置的有效 性的輸入。本發(fā)明的第六技術(shù)方案是一種產(chǎn)業(yè)工藝評價方法，對產(chǎn)業(yè)用裝置執(zhí)行的 產(chǎn)業(yè)工藝進行評價，具有檢測工序，其檢測在執(zhí)行上述產(chǎn)業(yè)工藝的過程中 發(fā)生的異常；判斷工序，其判斷所述異常給通過所述產(chǎn)業(yè)用裝置執(zhí)行所述產(chǎn) 業(yè)工藝而處理的目標(biāo)物帶來的影響；輸出工序，其輸出上述判斷工序的判斷 結(jié)果。根據(jù)本發(fā)明，因為能夠知道在執(zhí)行產(chǎn)業(yè)工藝的過程中發(fā)生的異常給目標(biāo) 物帶來的影響，所以可以對異常妥當(dāng)?shù)剡M行處理。根據(jù)本發(fā)明的第二技術(shù)方案，因為可以將成為第一判斷裝置的判斷基礎(chǔ) 的數(shù)據(jù)變?yōu)檫m當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)，所以可以是將第一判斷裝置的判斷結(jié)果變?yōu)橥桩?dāng) 的。根據(jù)本發(fā)明的第三技術(shù)方案，因為可以知道與在執(zhí)行產(chǎn)業(yè)工藝的過程中 發(fā)生的異常再次發(fā)生相關(guān)的建議，所以可以更妥當(dāng)?shù)貙Ξ惓＿M行處理。根據(jù)本發(fā)明的第四技術(shù)方案，因為可以將成為第二判斷裝置的判斷基礎(chǔ)
的數(shù)據(jù)變?yōu)檫m當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)，所以可以是將第二判斷裝置的判斷結(jié)果變?yōu)橥桩?dāng) 的。根據(jù)本發(fā)明的第五技術(shù)方案，可以獲得用于將輸出裝置的輸出變?yōu)橥桩?dāng) 的內(nèi)容的信息。


圖1是表示本發(fā)明優(yōu)選的實施方式的制造工藝評價系統(tǒng)PS的整體結(jié)構(gòu)的圖。圖2是表示制造裝置1的基本結(jié)構(gòu)的框圖。 圖3是表示制造工藝評價管理裝置3的基本結(jié)構(gòu)的框圖。 圖4是表示制造裝置1為半導(dǎo)體制造用清洗裝置時的警報影響度表1055 的具體例子的圖。圖5是表示制造裝置1為半導(dǎo)體制造用清洗裝置時的防止警報再次發(fā)生 建議表1057的具體例子的圖。圖6是表示在閱覽工藝評價信息INF1時顯示在輸出設(shè)備57上的處理工 藝結(jié)果一覽畫面SC1的具體例子的圖。圖7表示與處理工藝結(jié)果一覽畫面SC1中的詳細(xì)信息閱覽按鈕B11的按 下操作相應(yīng)對并顯示在輸出設(shè)備57上的處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3的具體 例子的圖。圖8是表示與處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3中的評價按鈕BT31的按下操 作相應(yīng)對并顯示在輸出設(shè)備57上的評價畫面SC5的具體例子的圖。圖9是表示向制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9存儲工藝評價信息INF1時的制造 工藝評價系統(tǒng)PS的動作的流程圖。圖10是表示閱覽存儲在制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中的工藝評價信息INF1 時的制造工藝評價系統(tǒng)PS的動作的流程圖。圖11是表示向制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9存儲工藝評價成績反饋信息INF5 時的制造工藝評價系統(tǒng)PS的動作的流程圖。圖12是表示制造裝置1的銷售商提取存儲在制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中 的工藝評價成績反饋信息INF5時的制造工藝評價系統(tǒng)PS的動作的流程圖。圖13是表示更新警報影響度表1055以及防止警報再次發(fā)生建議表1057
時的制造工藝評價系統(tǒng)PS的動作的流程圖。
具體實施方式
下面，說明對在產(chǎn)業(yè)用裝置中發(fā)生的異常給該產(chǎn)業(yè)用裝置作為處理對象 的目標(biāo)物帶來的影響進行評價，并輸出評價結(jié)果的技術(shù)。在此，所謂"產(chǎn)業(yè)用裝置"是指在事業(yè)中使用的裝置，特別是如下面說 明的那樣的，在產(chǎn)品的制造中所使用的制造裝置。1制造工藝管理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖1是表示本發(fā)明優(yōu)選的實施方式涉及的制造工藝評價系統(tǒng)PS的整體基本結(jié)構(gòu)的圖。如圖1所示，制造工藝評價系統(tǒng)PS包括執(zhí)行制造工藝的制造裝置l; 制造工藝評價管理裝置3，其管理制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9，該制造工藝評價 數(shù)據(jù)庫9存儲與制造工藝的評價相關(guān)的信息(以下，稱為"工藝評價信息") INF1的；工藝評價用終端5，其用于閱覽工藝評價信息INF1;管理用終端7， 其用于管理制造工藝評價系統(tǒng)PS。在圖1中，用實線箭頭表示工藝評價信息 INF1的走向，用點劃線箭頭表示與成為工藝評價信息INF1的判斷基礎(chǔ)的判 斷用數(shù)據(jù)的更新內(nèi)容相關(guān)的信息(以下，稱為"工藝評價更新信息")INF3 的走向，用虛線箭頭表示與工藝評價信息INF1的有效性相關(guān)的信息(以下， 稱為"工藝評價成績反饋信息")INF5的走向。另外，圖1表示的是制造工 藝評價系統(tǒng)PS包括的制造裝置1、工藝評價用終端5以及管理用終端7的數(shù) 量為一個的情況，但是制造工藝評價系統(tǒng)PS包括的制造裝置1、工藝評價用 終端5以及管理用終端7的數(shù)量也可以是兩個以上。在制造工藝評價系統(tǒng)PS中作為服務(wù)器的制造工藝評價管理裝置3，經(jīng)由 網(wǎng)絡(luò)8而與作為客戶端的制造裝置1、工藝評價用終端5以及管理用終端7 可通信地連接在一起。用于該通信的協(xié)議并沒有特別的限定，既可以是單獨 的協(xié)議，也可以是HTTP或者FTP等通用協(xié)議。在制造裝置1中還安裝有為了執(zhí)行實現(xiàn)下述動作的程序PRG1，而至少 具有CPU11和存儲器13的計算機。制造裝置1每當(dāng)執(zhí)行制造工藝時，將工 藝評價信息INF1向制造工藝評價管理裝置3發(fā)送。并且，制造裝置1在制 造工藝的執(zhí)行過程中發(fā)生異常時，將與異常的內(nèi)容相關(guān)的信息附加到工藝評價信息INFl中來向制造工藝評價管理裝置3發(fā)送。此外，制造裝置l，當(dāng)從制造工藝評價管理裝置3接收工藝評價更新信 息INF3時，根據(jù)所接收的工藝評價更新信息INF3來更新判斷用數(shù)據(jù)。制造工藝評價管理裝置3，是為了執(zhí)行實現(xiàn)下述動作的程序PRG3，而 至少具有CPU31和存儲器33的計算機。制造工藝評價管理裝置3當(dāng)從制造 裝置1接收工藝評價信息INF1時，將所接收的工藝評價信息INF1登錄到制 造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中，在從工藝評價用終端5接收工藝評價成績反饋信息 INF5時，將所接收的工藝評價成績反饋信息INF5登錄到制造工藝評價數(shù)據(jù) 庫9中。此外，制造工藝評價管理裝置3當(dāng)從管理用終端7接收工藝評價更新信 息INF3時，將所接收的工藝評價管理信息INF3向制造裝置1發(fā)送。并且，制造工藝評價管理裝置3當(dāng)從工藝評價用終端5接收工藝評價信 息INF1的要求指令時，從制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9取得所要求的工藝評價信 息INF1，并將所取得的工藝評價信息INF1向工藝評價用終端5發(fā)送。此外，制造工藝評價管理裝置3當(dāng)從管理用終端7接收工藝評價成績反 饋信息INF5的提取指令時，從制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9取得與提取指令相應(yīng) 的工藝評價成績反饋信息INF5，將所接收的工藝評價成績反饋信息INF5向 管理用終端7發(fā)送。工藝評價用終端5是至少具備CPU51和存儲器53的計算機，作為用戶 接口，具備鍵盤和鼠標(biāo)等輸入設(shè)備55，以及顯示器和打印機等輸出設(shè)備57。 在工藝評價用終端5中，通過使計算機執(zhí)行在存儲器53中的程序PRG5，能 夠?qū)崿F(xiàn)以下說明的各種功能和動作。工藝評價用終端5將與對輸入設(shè)備55進行的操作相對應(yīng)的工藝評價信 息INF1的要求指令向制造工藝評價管理裝置3發(fā)送，并將從制造工藝評價 管理裝置3接收的工藝評價信息INF1向輸出設(shè)備57發(fā)送。管理用終端7也是至少具備CPU71和存儲器73的計算機，而作為用戶 接口，具備鍵盤和鼠標(biāo)等輸入設(shè)備75，以及顯示器和打印機等輸出設(shè)備77。 在管理用終端7，通過使計算機執(zhí)行在存儲器73中的程序PRG7，也能夠?qū)?現(xiàn)以下說明的各種功能和動作。管理用終端7將與對輸入設(shè)備75進行的操作相對應(yīng)的工藝評價成績反
饋信息INF5的提取指令向制造工藝評價管理裝置3發(fā)送，并將從制造工藝評價管理裝置3接收的工藝評價成績反饋信息INF5向輸出設(shè)備77發(fā)送。 [制造裝置]制造裝置l通過執(zhí)行制造工藝來處理目標(biāo)物。在此，所謂"制造工藝" 是指對目標(biāo)物進行的一系列操作。制造裝置1當(dāng)然包括對目標(biāo)物進行加工的裝置，但是還包括即使不對目 標(biāo)物進行加工，也有可能因產(chǎn)品制造所必需的裝置給目標(biāo)物帶來某些影響的 裝置，例如檢査裝置、搬運裝置、環(huán)境管理裝置等。在制造裝置1中包含例 如半導(dǎo)體制造用的清洗裝置、熱處理裝置、雜質(zhì)導(dǎo)入裝置、薄膜形成裝置、 平版印刷裝置、平坦化裝置等。但是，這些裝置只不過是制造裝置1的示例， 并不是對本發(fā)明應(yīng)用范圍進行限定。制造裝置l承擔(dān)產(chǎn)品制造中的一部分或者全部工序。在此，所謂"一部 分或者全部工序"是指制造裝置1不需要承擔(dān)產(chǎn)品制造中的全部工序，可以 僅承擔(dān)產(chǎn)品制造中的一部分工序。例如，制造裝置1可以僅承擔(dān)反復(fù)進行清 洗工序、熱處理工序、雜質(zhì)導(dǎo)入工序、薄膜形成工序、平版印刷工序、平坦 化工序等的半導(dǎo)體制造中的一個清洗工序。接下來，參照表示制造裝置1的基本結(jié)構(gòu)的圖2的框圖，來說明制造裝 置l。圖2所示的工藝執(zhí)行部101、警報檢測部103、工藝評價部105 (包含 警報影響度判斷部1051、防止警報再次發(fā)生建議判斷部1053)、通信控制 部107以及工藝評價信息更新部109，示意地表示通過使計算機執(zhí)行存儲器 13中的程序PRG1而實現(xiàn)的功能。此外，在圖2中，用實線箭頭表示工藝評 價信息INF1，用點劃線箭頭表示工藝評價更新信息INF3的走向。工藝執(zhí)行部101通過統(tǒng)一控制制造裝置1的各結(jié)構(gòu)來執(zhí)行制造工藝。此外，工藝執(zhí)行部101當(dāng)完成了制造工藝的執(zhí)行時，將與制造工藝相關(guān) 的信息(以下稱為"制造工藝信息")INF7向工藝評價部105發(fā)送。帝隨工 藝信息INF7包含"裝置名"、"工藝執(zhí)行時間"、"執(zhí)行工藝名稱"、"執(zhí) 行訣竅名稱"以及"工藝執(zhí)行結(jié)果"。作為"工藝執(zhí)行結(jié)果"，在制造工藝 正常結(jié)束的情況下，傳送"正常結(jié)束"，而在制造工藝的執(zhí)行中發(fā)生了異常 的情況下，與異常程度相對應(yīng)地傳送"警報發(fā)生"、"警告發(fā)生"、"注意 發(fā)生"其中的某一個。
警報檢測部103監(jiān)視制造裝置1的各結(jié)構(gòu)，并檢測在制造工藝的執(zhí)行中發(fā)生的異常。此外，警報檢測部103在檢測出異常時將警報信息INF9向工 藝執(zhí)行部101傳送。在此，所謂"異常"是指制造裝置1的動作或狀態(tài)等超 出了預(yù)先確定的容許范圍。工藝評價部105根據(jù)從工藝執(zhí)行部101傳送的警報信息INF9的有無來 判斷在制造工藝的執(zhí)行中是否發(fā)生了異常，在判斷出發(fā)生了異常時，對制造 工藝進行評價。更具體地來說，工藝評價部105，在判斷出發(fā)生了異常時，通過警報影 響度判斷部1051來判斷該異常給目標(biāo)物(制品、半成品、在制品)帶來的 影響(以下稱為"警報影響度")，并通過防止警報再次發(fā)生建議判斷部1053 來判斷與防止異常再次發(fā)生相關(guān)的建議(以下稱為"防止警報再次發(fā)生建 議")。此時，工藝評價部105在將警報影響度以及防止警報再次發(fā)生建議 添加到警報信息INF9中的基礎(chǔ)上，將包含制造工藝信息INF7以及警報信息 INF9的工藝評價信息INF1向通信控制部107傳送。另一方面，工藝評價部105，在判斷沒有發(fā)生異常時，不進行警報影響 度以及防止警報再次發(fā)生建議的判斷。此時，工藝評價部105將制造工藝信 息INF7作為工藝評價信息INF1而向通信控制部107傳送。通信控制部107確立與制造工藝評價管理裝置3的通信控制部311之間 的通信，將從工藝評價部105傳送來的制造工藝評價信息INF1向制造工藝 評價管理裝置3輸出，同時將從制造工藝評價管理裝置3輸入的工藝評價更 新信息INF3向工藝評價信息更新部109傳送。為了制造裝置1與制造工藝 評價管理裝置3之間的通信，可以使用作為普遍的信息交接裝置的COM (Component Object Model:組件對象模型)、CORBA (Common Object R叫uest Broker Architecture:通用對象請求代理體系結(jié)構(gòu))以及SOAP(Simple Object Access Protocol:簡單對象訪問協(xié)議)等。另外，制造裝置1將警報影響度表1055以及防止警報再次發(fā)生建議表 1057，作為成為警報影響度以及防止警報再次發(fā)生建議的判斷基礎(chǔ)的判斷用 數(shù)據(jù)而保持在存儲器33中。另外，也可以將警報影響度表1055以及防止警 報再次發(fā)生建議表1057保持在硬盤驅(qū)動器等輔助存儲裝置中。警報影響度判斷部1051以及防止警報再次發(fā)生建議判斷部1053分別參
照警報影響度表1055以及防止警報再次發(fā)生建議表1057來判斷警報影響度 以及防止警報再次發(fā)生建議。當(dāng)從通信控制部107傳送工藝評價更新信息 INF3時，工藝評價信息更新部109根據(jù)傳送來的工藝評價更新信息INF3來 更新警報影響度表1055以及防止警報再次發(fā)生建議表1057。 [制造工藝評價裝置]圖3是表示制造工藝評價管理裝置3的基本結(jié)構(gòu)的框圖。如圖3所示的 工藝評價信息登錄部301、工藝評價成績反饋信息取得部303、工藝評價成 績反饋信息登錄部305、工藝評價信息取得部307、工藝評價信息更新部309、 通信控制部311， 313， 315，示意地表示通過計算機執(zhí)行存儲器33中的程序 PRG3而實現(xiàn)的功能。此外，在圖3中，用實線箭頭表示工藝評價信息INF1 的走向，用點劃線箭頭表示工藝評價更新信息INF3的走向，用虛線箭頭表 示工藝評價成績反饋信息INF5的走向。通信控制部311確立與制造裝置1的通信控制部107之間的通信，將從 制造裝置1輸入的工藝評價信息INF1向工藝評價信息登錄部301傳送，并 將從工藝評價信息更新部309傳送來的工藝評價更新信息INF3向制造裝置1 輸出。工藝評價信息登錄部301將從通信控制部311傳送來的工藝評價信息 INF1登錄到制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中。為了向制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9登錄工 藝評價信息INF1，可以使用作為通常的信息交接裝置的ODBC (Open Database Connectivity:開放數(shù)據(jù)庫連接)以及ADO (ActiveX Data Objects: ActiveX數(shù)據(jù)對象)等。通信控制部315確立與工藝評價用終端5之間的通信，將從工藝評價用 終端5輸入的工藝評價成績反饋信息INF5向工藝評價成績反饋信息登錄部 305傳送，并將從工藝評價信息取得部307傳送來的工藝評價信息INF1向工 藝評價用終端5輸出。為了制造工藝評價管理裝置3和工藝評價用終端5之 間的通信，可以使用作為通常的信息交接裝置的COM、 CORBA、 SOAP、 HTTP等。工藝評價信息取得部307從制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9取得所要求的工藝評 價信息INF1，并將其向通信控制部315傳送。為了從制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9 獲得工藝評價信息INF1，可以使用作為通常的信息交接裝置的ODBC以及
ADO等。工藝評價成績反饋信息登錄部305將從通信控制部315傳送來的工藝評 價成績反饋信息INF5登錄到制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中。為了向制造工藝評 價數(shù)據(jù)庫9登錄工藝評價成績反饋信息INF5，可以使用作為通常的信息交接 裝置的ODBC以及ADO等。通信控制部313確立與管理用終端7之間的通信，將從管理用終端7輸 入的工藝評價更新信息INF3向工藝評價信息更新部309傳送，并將從工藝 評價成績反饋信息取得部303傳送來的工藝評價成績反饋信息INF5向管理 用終端7輸出。工藝評價成績反饋信息取得部303從制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9取得所要求 的工藝評價成績反饋信息INF5，并將其向通信控制部313傳送。為了從制造 工藝評價數(shù)據(jù)庫9取得工藝評價成績反饋信息INF5，可以使用作為通常的信 息交接裝置的ODBC以及ADO等。工藝評價信息更新部309將從通信控制部313傳送來的工藝評價更新信 息INF3向通信控制部311傳送。[警報影響度表]圖4是表示制造裝置1為半導(dǎo)體制造用清洗裝置時警報影響度表1055 的具體例子的圖。如圖4所示，警報影響度表1055為這樣的圖表可以將根據(jù)制造工藝 信息INF7以及警報信息INF9確定的"警報內(nèi)容"、"警報發(fā)生部位"、"工 藝內(nèi)容"，與表示警報影響度的"警報影響級別"以及"警報影響內(nèi)容"建 立對應(yīng)關(guān)系。警報影響度判斷部1051，通過參照警報影響度表1055，每當(dāng)獲得了制 造工藝信息INF7以及警報信息INF9時，將"警報內(nèi)容"、"警報發(fā)生部位"、 "工藝內(nèi)容"作為檢索關(guān)鍵詞，檢索與該檢索關(guān)鍵詞建立對應(yīng)關(guān)系的"警報 影響級別"以及"警報影響內(nèi)容"，由此來判斷警報影響度。也就是說，警 報影響度判斷部1051，除了考慮制造裝置1的狀態(tài)之外，還要考慮制造裝置 l執(zhí)行的制造工藝的內(nèi)容，來判斷警報影響度。例如，在使用了圖4所示的警報影響度表1055時，如果"警報內(nèi)容" 為"動作超時(不到5秒)"、"警報發(fā)生部位"為"提升器No.001"、"工 藝內(nèi)容"為"純水沖洗"，則"警報影響級別"為"無"、"警報影響內(nèi)容" 為"沒有影響"。但是，即使"警報內(nèi)容"以及"警報發(fā)生部位"相同，若 "工藝內(nèi)容"變?yōu)?強酸沖洗"，則"警報影響級別"變?yōu)?H"，而"警 報影響內(nèi)容"變?yōu)?有可能給工藝帶來很大的影響。請送到檢查工序"。這樣，不僅可以根據(jù)警報信息INF9還與制造工藝信息INF7相應(yīng)地使警 報影響度的判斷結(jié)果進行變化，由此能夠妥當(dāng)?shù)嘏袛嗑瘓笥绊懚取?[防止警報再次發(fā)生建議表]圖5是表示制造裝置1為半導(dǎo)體制造用清洗裝置時的防止警報再次發(fā)生 建議表1057的具體例子的圖。如圖5所示，防止警報再次發(fā)生建議表1057為這樣的圖表可以將根 據(jù)警報信息INF9確定的"警報內(nèi)容"、"警報發(fā)生部位"，與表示防止警 報再次發(fā)生建議的"防止警報再次發(fā)生建議"建立對應(yīng)關(guān)系。防止警報再次發(fā)生建議判斷部1053，通過參照防止警報再次發(fā)生建議表 1057，每當(dāng)獲得了警報信息INF9時，將"警報內(nèi)容"以及"警報發(fā)生部位" 作為檢索關(guān)鍵詞，檢索與該檢索關(guān)鍵詞建立對應(yīng)關(guān)系的"防止警報再次發(fā)生 的建議"，由此來判斷防止警報再次發(fā)生建議。例如，在使用了如圖5所示的防止警報再次發(fā)生建議表1057時，如果 "警報內(nèi)容"為"動作超時(不到5秒)"、"警報發(fā)生部位"為"提升器 No.001"，則"防止警報再次發(fā)生的建議"為"氣缸No.001用的N2的流量 有可能不足。請將N2閥V123的流量調(diào)整到0.5gal/min 1.0gal/min的范圍內(nèi)。 此外，請每隔一個月確認(rèn)一次流量。"。但是，即使"警報發(fā)生部位"相同， 若"警報內(nèi)容"變?yōu)?動作超時(5秒以上不到60秒)"，則"防止警報再 次發(fā)生的建議"也變?yōu)?氣缸No.001用的N2的流量可能不足、或者氣缸可 能發(fā)生故障。請將N2閥V123的流量調(diào)整到0.5gal/min~1.0gal/min的范圍內(nèi)。 如果流量適當(dāng)，則有可能是氣缸故障。這種情況請與本公司的工程師聯(lián)絡(luò)。"。 也就是說，防止警報再次發(fā)生建議判斷部1053，發(fā)生與解決認(rèn)為是異常的發(fā) 生原因的制造裝置1的調(diào)整不良或故障的處理方法相關(guān)的信息作為防止警報 再次發(fā)生建議。這樣，可以根據(jù)警報信息INF9使防止警報再次發(fā)生建議的判斷結(jié)果進 行變化，由此能夠妥當(dāng)?shù)嘏袛喾乐咕瘓笤俅伟l(fā)生建議。 [處理工藝結(jié)果一覽畫面]圖6是表示在閱覽工藝評價信息INF1時顯示在輸出設(shè)備(下面，該設(shè) 備為顯示器)57上的處理工藝結(jié)果一覽畫面SC1的具體例子的圖。如圖6所示，處理工藝結(jié)果一覽畫面SC1包括分別表示工藝評價信息 INF1包含的"裝置名"、"工藝執(zhí)行時間"、"執(zhí)行工藝名稱"、"執(zhí)行訣 竅名稱"以及"工藝執(zhí)行結(jié)果"的裝置名標(biāo)簽、工藝執(zhí)行時間標(biāo)簽、執(zhí)行工 藝名稱標(biāo)簽、執(zhí)行訣竅名稱標(biāo)簽以及工藝執(zhí)行結(jié)果標(biāo)簽。在處理工藝結(jié)果一覽畫面SC1中，"裝置名"顯示在區(qū)域All上。此外，在處理工藝結(jié)果一覽畫面SC1中，對每個顯示在區(qū)域All上的 "裝置名"的工藝評價信息INF1，在區(qū)域A12上顯示有"工藝執(zhí)行時間"、 "執(zhí)行工藝名稱"、"執(zhí)行訣竅名稱"以及"工藝執(zhí)行結(jié)果"。并且，處理 工藝結(jié)果一覽畫面SC1包含詳細(xì)信息閱覽按鈕Bll，該詳細(xì)信息閱覽按鈕 Bll用于將處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3調(diào)出到輸出設(shè)備57中。各個詳細(xì)信 息閱覽按鈕Bl 1分別對應(yīng)在區(qū)域A12上所顯示的各個工藝評價信息INF1 。在處理工藝結(jié)果一覽畫面SC1中，可以僅提取符合在區(qū)域A13指定的 檢索條件的工藝評價信息INF1并將其顯示在區(qū)域A12中。在區(qū)域A13,可 以將"工藝執(zhí)行時間"、"執(zhí)行工藝名稱"、"執(zhí)行訣竅名稱"以及"工藝 執(zhí)行結(jié)果"作為檢索條件來指定，來提取工藝評價信息INF1。由此，操作人 員可以僅選擇所希望的工藝評價信息INF1、例如、"工藝執(zhí)行結(jié)果"為"警 報發(fā)生"的工藝評價信息INF1來閱讀，從而可以有效地執(zhí)行與工藝評價相 關(guān)的業(yè)務(wù)。[處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面]圖7是表示與在處理工藝結(jié)果一覽畫面SC1中的詳細(xì)信息閱覽按鈕Bll 操作相應(yīng)對并顯示在輸出設(shè)備57上的處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3的具體例 子的圖。如圖7所示，在處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3中，在區(qū)域A31顯示工藝 評價信息INF1的"工藝執(zhí)行時間"、"執(zhí)行工藝名稱"、"執(zhí)行訣竅名稱" 以及"工序執(zhí)行結(jié)果"。顯示在區(qū)域A31的工藝評價信息INF1，與在顯示 處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3之前的處理工藝結(jié)果一覽畫面SC1中所按下的 詳細(xì)信息閱覽按鈕Bll相對應(yīng)。
此外，在處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3中，針對在區(qū)域A31顯示的制造 工藝的執(zhí)行時發(fā)生的每個異常，在區(qū)域A32顯示"警報執(zhí)行時間"、"警報 級別"、"警報內(nèi)容"、"警報發(fā)生部位"、"工藝內(nèi)容"以及"警報影響 度(警報影響級別)"。另外，在處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3中，與通過點擊在區(qū)域A32上顯 示的"警報發(fā)生時間"而選擇的異常相關(guān)的"警報影響度(警報影響內(nèi)容)" 以及"防止警報再次發(fā)生建議(防止警報再次發(fā)生的建議)"被顯示在區(qū)域 A33中。除此之外，處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3包括評價按鈕BT31，該評價按 鈕BT31用于將用于警報影響度和防止再次發(fā)生的評價畫面SC5調(diào)出到輸出 設(shè)備57上。操作人員通過閱覽顯示在處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3上的警報影響度， 可獲知在執(zhí)行制造工藝的過程中發(fā)生的異常給目標(biāo)物帶來的影響，因此可以 對該異常進行妥當(dāng)?shù)奶幚怼＠?，在制造裝置1為半導(dǎo)體制造用清洗裝置時， 在發(fā)生異常時可以選擇應(yīng)將作為清洗對象的晶片送到檢査工序，或者應(yīng)忽略 異常送到下一個工序，或者應(yīng)進行再次清洗處理。并且，操作人員通過閱覽顯示在處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3上的防止警 報再次發(fā)生建議，可獲知在執(zhí)行制造工藝的過程中發(fā)生的與防止異常再次發(fā) 生相關(guān)的建議，因此可以對異常進行妥當(dāng)?shù)奶幚怼＠?，在發(fā)生異常時可以 選擇應(yīng)調(diào)整制造裝置1，或者應(yīng)對制造裝置1進行故障修理。[評價畫面]圖8是表示與在處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3中的評價按鈕BT31的按下 操作相應(yīng)對并顯示在輸出設(shè)備57上的評價畫面SC5的具體例子的圖。如圖8所示，在評價畫面SC5中，將在顯示評價畫面SC5之前在處理 工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3的區(qū)域A31中顯示的"工藝執(zhí)行時間"、"執(zhí)行工 藝名稱"、"執(zhí)行訣竅名稱"以及"工藝執(zhí)行結(jié)果"顯示在區(qū)域A51，在處 理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3的區(qū)域A32上顯示的"警報影響度(警報影響內(nèi) 容)"被顯示在區(qū)域S52中，在處理工藝結(jié)果詳細(xì)畫面SC3的區(qū)域A33中 顯示的"防止警報再次發(fā)生建議(防止警報再次發(fā)生的建議)"被顯示在區(qū) 域A53中。
此外，在評價畫面SC5的區(qū)域A52上具有接受"警報影響度(警報影 響內(nèi)容)"的有效性(是否是要選擇的目標(biāo))的輸入的復(fù)選框C51。并且， 在評價畫面SC5的區(qū)域A53具備接受"防止警報再次發(fā)生建議(防止警報 再次發(fā)生的建議)"的有效性(是否是要選擇的目標(biāo))的輸入的復(fù)選框C52。在復(fù)選框C51中，可以從"完全正確"、"正確"、"普通"、"不完 全正確"以及"完全不正確"這5個選項中選擇一個，在復(fù)選框C52中，可 以從"非常有用"、"有用"、"普通"、"沒有用"以及"完全沒有用" 這5個選項中選擇一個。這樣，如果從多個選項中選擇最合適的一個，不會 給操作人員帶來過大的負(fù)擔(dān)，就可以從操作人員獲得工藝評價成績反饋信息 INF5，并可以容易地處理所取得的工藝評價成績反饋信息INF5，而這不妨 礙用其他的方法來獲得工藝評價成績反饋信息INF5。例如，可以輸入與有效 性相應(yīng)的點數(shù)，還可以以文章的方式輸入關(guān)于合理性的見解。除此之外，評價畫面SC5包括登錄按鈕B51，該登錄按鈕B51用于對工 藝評價成績反饋信息INF5的登錄進行指示。2制造工藝管理系統(tǒng)的動作[工藝評價信息的儲存]圖9是表示向制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9存儲工藝評價信息INF1時的制造 工藝評價系統(tǒng)PS的動作的流程圖。如圖9所示，在存儲工藝評價信息INF1的過程中，首先，在制造裝置l 中，工藝執(zhí)行部101執(zhí)行制造工藝(步驟S101)。此時，當(dāng)警報檢測部103檢測到在執(zhí)行制造工藝的過程中發(fā)生的異常時 (步驟S102為"是")，警報檢測部103向工藝執(zhí)行部101傳送警報信息 INF9 (步驟S103)，工藝執(zhí)行部101向工藝評價部105傳送制造工藝信息 INF7以及警報信息INF9 (步驟S104)。由此，準(zhǔn)備好判斷警報影響度以及 防止警報再次發(fā)生建議所必須的信息，更具體地來說，準(zhǔn)備好對警報影響度 表1055以及防止警報再次發(fā)生建議表1057進行檢索所必須的檢索關(guān)鍵詞。當(dāng)這樣應(yīng)對時，警報影響度判斷部1051參照警報影響度表1055來判斷 警報影響度(步驟S105)，防止警報再次發(fā)生建議判斷部1053參照防止警 報再次發(fā)生建議表1057來判斷防止警報再次發(fā)生建議(步驟S106)，工藝 評價部105在將警報影響度以及防止警報再次發(fā)生建議附加到警報信息 INF9中的基礎(chǔ)上，還經(jīng)由通信控制部107、 311，將包含制造工藝信息INF7 以及警報信息INF9的工藝評價信息INF1向制造工藝評價管理裝置3的工藝 評價信息登錄部301發(fā)送(步驟S109)。另一方面，在警報檢測部103沒檢測到異常時，工藝執(zhí)行部101向工藝 評價部105傳送制造工藝信息INF7 (步驟S107)，工藝評價部105經(jīng)由通 信控制部107、 311，將制造工藝信息INF7作為工藝評價信息INF1向工藝 評價信息登錄部301發(fā)送(步驟S109)。相對于此，工藝評價信息登錄部301將收到的工藝評價信息INF1存儲 在制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中(步驟SllO)。在制造工藝評價系統(tǒng)PS1中，每當(dāng)執(zhí)行制造工藝時，通過反復(fù)執(zhí)行步驟 S101 S110，由此將對整個制造工藝的工藝評價信息INF1存儲在制造工藝評 價數(shù)據(jù)庫9中。但是，如下內(nèi)容是本發(fā)明所不包括的內(nèi)容不執(zhí)行步驟 S107 S108，而僅將附有警報影響度以及防止警報再次發(fā)生建議的工藝評價 信息INF1存儲在制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中，或者僅將將附有警報影響度以 及防止警報再次發(fā)生建議的工藝評價信息INF1的一部分，例如僅將警報影 響級別為"H"的工藝評價信息INF1存儲在制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中。[工藝評價信息的閱覽]圖10是表示閱覽在制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中存儲的工藝評價信息INF1 時制造工藝評價系統(tǒng)PS的動作的流程圖。如圖10所示，在閱覽工藝評價信息INF1的過程中，首先，工藝評價用 終端5經(jīng)由通信控制部315將操作人員利用輸入設(shè)備55指定的"裝置名" 的工藝評價信息INF1的要求指令發(fā)布到工藝評價信息取得部307。當(dāng)然，在 發(fā)布要求指令時，操作人員也可以指定"裝置名"以外的內(nèi)容。另外，如果 在制造工藝評價管理裝置3上安裝網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器的話，可以使用安裝了網(wǎng)頁瀏 覽器的普通計算機作為工藝評價用終端5，來發(fā)布要求指令作為HTTP請求。與此相對，工藝評價信息取得部307從制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9取得與要 求指令相應(yīng)的工藝評價信息INF1 (步驟S202)，將所取得的工藝評價信息 INF1經(jīng)由通信控制部315向工藝評價用終端5發(fā)送(步驟S203)。并且， 工藝評價用終端5將包含所接收到的工藝評價信息INF1的處理工藝結(jié)果一 覽畫面SC1顯示在輸出設(shè)備57上(步驟S204)。
在制造工藝評價系統(tǒng)PS中，將工藝評價信息INF1暫時存儲在制造工藝 評價數(shù)據(jù)庫9中，利用工藝評價用終端5閱覽所存儲的工藝評價信息INF1， 由此能夠僅選擇所希望的工藝評價信息INF1來閱讀，并且有效地執(zhí)行與工 藝評價相關(guān)的業(yè)務(wù)。[工藝評價成績反饋信息的存儲]圖11是表示向制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9存儲工藝評價成績反饋信息INF5 時的制造工藝評價系統(tǒng)PS的動作的流程圖。如圖11所示，在存儲工藝評價成績反饋信息INF5的過程中，首先，工 藝評價用終端5與登錄按鈕B51的按下操作相應(yīng)對，將利用復(fù)選框C51、C52 輸入的工藝評價成績反饋信息INF5經(jīng)由通信控制部315，向制造工藝評價管 理裝置3的工藝評價成績反饋信息登錄部305發(fā)送(步驟S301)。相對于此，工藝評價成績反饋信息登錄部305將所接收到的工藝評價成 績反饋信息INF5存儲在制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中(步驟S302)。在制造工藝評價系統(tǒng)PS1中，在評價畫面SC5上評價警報信息以及防止 警報再次發(fā)生建議的合理性，并每當(dāng)按下了登錄按鈕B51時就重復(fù)執(zhí)行步驟 S301 S302，由此將工藝評價成績反饋信息INF5存儲在制造工藝評價數(shù)據(jù)庫 9中。[提取工藝評價成績反饋信息]圖12是表示制造裝置1的銷售商提取存儲在制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中 的工藝評價成績反饋信息INF5時的制造工藝評價系統(tǒng)PS的動作的流程圖。如圖12所示，在提取工藝評價成績反饋信息INF5的過程中，首先，管 理用終端7根據(jù)操作者對輸入設(shè)備75的提取操作，通過通信控制部313，對 制造工藝評價管理裝置3的工藝評價成績反饋信息取得部303發(fā)布采取指令 (步驟S401)。當(dāng)然，也可以在發(fā)布提取指令的過程中，指定應(yīng)提取的工藝 評價成績反饋信息INF5的登錄時間等。相對于此，工藝評價成績反饋信息取得部303，從制造工藝評價數(shù)據(jù)庫 9取得與提取指令相應(yīng)的工藝評價成績反饋信息INF5 (步驟S402)，并通 過通信控制部313將所取得的工藝評價成績反饋信息INF5向管理用終端7 發(fā)送(步驟S403)。管理用終端7將所接收到的工藝評價成績反饋信息INF5顯示在輸出設(shè)
備77上(步驟S404)。當(dāng)然，還可以替代將工藝評價成績反饋信息INF5 顯示在輸出設(shè)備77上的步驟，或者，在將工藝評價成績反饋信息INF5顯示 在輸出設(shè)備77上的步驟之外，還將接收到的工藝評價成績反饋信息INF5保 存在存儲器中，或者將其向其他的計算機(例如，制造裝置l的銷售商的設(shè) 施內(nèi)的計算機)傳送。這樣一來如果參照所提取的工藝評價成績反饋信息INF5,就能夠知道被 評價為"不完全正確"、"完全不正確"等否定的評價的、欠缺有效性(偏 離目標(biāo))的警報影響度，同時能夠知道被評價為"不完全有用"、"完全沒 有用"等否定的評價的、欠缺有效性(偏離目標(biāo))的防止警報再次發(fā)生建議， 從而能夠驗證警報影響度表1055以及防止警報再次發(fā)生建議表1057的有效 性。這樣，在制造工藝評價系統(tǒng)PS中，通過存儲制造裝置1的用戶執(zhí)行的 工藝評價成績反饋信息INF5禾B、提取制造裝置1的銷售商執(zhí)行的工藝評價 成績反饋信息，從而從制造裝置l的用戶向銷售商反饋對警報影響度以及防 止警報再次發(fā)生建議的評價。[判斷用數(shù)據(jù)的更新]圖13是表示更新判斷用數(shù)據(jù)、即更新警報影響度表1055以及防止警報 再次發(fā)生建議表1057時的制造工藝評價系統(tǒng)PS的動作的流程圖。判斷用數(shù) 據(jù)的更新主要是在驗證了判斷用數(shù)據(jù)的有效性的結(jié)果、判明了判斷用數(shù)據(jù)欠 缺有效性時進行的。如圖13所示，在更新判斷用數(shù)據(jù)的過程中，首先，管理用終端7，將包 含適當(dāng)?shù)乇恍拚说男碌呐袛嘤脭?shù)據(jù)的工藝評價更新信息INF3，經(jīng)由通信控 制部313向制造工藝評價管理裝置3的工藝評價信息更新部309發(fā)送(步驟 S501)。另外，向管理用終端7輸入新的判斷用數(shù)據(jù)，既可以利用輸入設(shè)備 75，也可以從其他的計算機(例如，制造裝置1的銷售商的設(shè)施內(nèi)的計算機) 傳送，還可以使管理用終端7讀取存儲新的判斷用數(shù)據(jù)的存儲介質(zhì)。與此相對，工藝評價信息更新部309，經(jīng)由通信控制部3U、 107將接收 到的工藝評價更新信息INF3向制造裝置1的工藝評價信息更新部109發(fā)送 (步驟S502)。并且，工藝評價信息更新部109根據(jù)接收到的工藝評價更新信息INF3
對警報影響度表1055以及防止警報再次發(fā)生建議表1057進行更新(步驟 S503)。由此，警報影響度表1055以及防止警報再次發(fā)生建議表1057被妥 當(dāng)?shù)刂脫Q為修改過的內(nèi)容，從而警報影響度部1051以及防止警報再次發(fā)生 建議表1057能夠進行妥當(dāng)?shù)呐袛?。作為其結(jié)果，在更新警報影響度表1055 以及防止警報再次發(fā)生建議表1057后，存儲在制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中的 工藝評價信息INF1變?yōu)檫m當(dāng)?shù)膬?nèi)容，從而生成了從制造裝置1的用戶向銷 售商的評價反饋。 其他在上述的實施方式中，雖然與發(fā)生異常同步地判斷警報影響度以及防止 警報再次發(fā)生建議，但是也可以在發(fā)生異常的時刻存儲制造工藝信息INF7 以及警報信息INF9，與工藝評價信息INF1的要求指令同步地判斷警報影響 度以及防止警報再次發(fā)生建議。此外，也不是必須在制造裝置l的內(nèi)部判斷 警報影響度以及防止警報再次發(fā)生建議，也可以在制造工藝評價管理裝置3 的內(nèi)部來判斷警報影響度以及防止警報再次發(fā)生建議。此外，在上述的實施方式中，舉出了將工藝評價信息INF1暫時存儲在 制造工藝評價數(shù)據(jù)庫9中，利用工藝評價用終端5來閱覽所存儲的工藝評價 信息INF1的例子，但是只要能夠?qū)⒐に囋u價信息INF1實時地輸出到設(shè)置在 制造裝置1或者制造工藝評價管理裝置3上的顯示器或者打印機等輸出設(shè)備 中，就能夠容易地應(yīng)對應(yīng)當(dāng)緊急進行處理的異常。
權(quán)利要求
1.一種產(chǎn)業(yè)工藝評價裝置，其特征在于，對產(chǎn)業(yè)用裝置執(zhí)行的產(chǎn)業(yè)工藝進行評價，所述裝置具有檢測裝置，其檢測在執(zhí)行所述產(chǎn)業(yè)工藝時發(fā)生的異常；第一判斷裝置，其判斷所述異常給通過所述產(chǎn)業(yè)用裝置執(zhí)行所述產(chǎn)業(yè)工藝而處理的目標(biāo)物帶來的影響；以及輸出裝置，其輸出所述第一判斷裝置的判斷結(jié)果。
2. 如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)業(yè)工藝評價裝置，其特征在于，還具有第一更 新裝置，所述第一更新裝置對作為所述第一判斷裝置判斷基礎(chǔ)的數(shù)據(jù)進行更 新。
3. 如權(quán)利要求1或者2所述的產(chǎn)業(yè)工藝評價裝置，其特征在于，還具有 第二判斷裝置，所述第二判斷裝置對與防止所述異常再次發(fā)生相關(guān)的建議進 行判斷，所述輸出裝置在輸出所述第一判斷裝置的判斷結(jié)果的同時，輸出所 述第二判斷裝置的判斷結(jié)果。
4. 如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)業(yè)工藝評價裝置，其特征在于，還具有第二更 新裝置，所述第二更新裝置對作為所述第二判斷裝置判斷基礎(chǔ)的數(shù)據(jù)進行更 新。
5. 如權(quán)利要求1或者2所述的產(chǎn)業(yè)工藝評價裝置，其特征在于，還具有 接收裝置，所述接收裝置接收來自所述輸出裝置的有效性的輸入。
6. —種產(chǎn)業(yè)工藝評價方法，其對產(chǎn)業(yè)用裝置執(zhí)行的產(chǎn)業(yè)工藝進行評價， 所述方法具有檢測工序，其檢測在執(zhí)行所述產(chǎn)業(yè)工藝時發(fā)生的異常； 判斷工序，其判斷所述異常給通過所述產(chǎn)業(yè)用裝置執(zhí)行所述產(chǎn)業(yè)工藝而 處理的目標(biāo)物帶來的影響；以及輸出工序，其輸出所述判斷工序的判斷結(jié)果。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種產(chǎn)業(yè)工藝評價裝置以及產(chǎn)業(yè)工藝評價方法，其妥當(dāng)?shù)靥幚碓诋a(chǎn)業(yè)用裝置發(fā)生的異常。警報檢測部(103)監(jiān)視制造裝置(1)的各結(jié)構(gòu)，檢測在執(zhí)行制造工藝的過程中發(fā)生的異常。工藝評價部(105)，通過警報影響度判斷部(1051)判斷該異常給目標(biāo)物(產(chǎn)品、半成品、在制品)帶來的影響(警報影響度)，通過防止警報再次發(fā)生建議判斷部(1053)判斷與防止異常再次發(fā)生相關(guān)的建議(防止警報再次發(fā)生建議)。在顯示于輸出設(shè)備(57)上的處理工藝結(jié)構(gòu)詳細(xì)畫面(SC3)中包含有警報影響度以及防止警報再次發(fā)生建議。
文檔編號G06Q50/04GK101149606SQ20071012629
公開日2008年3月26日 申請日期2007年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月20日
發(fā)明者中村康則 申請人:大日本網(wǎng)目版制造株式會社