半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法
【專利摘要】一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法，其中所述半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)包括：若干批次產(chǎn)品；處理站點；關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達時間預(yù)測單元；機臺端口下一次可用時間預(yù)測單元；約束檢查單元和分配單元。所述分配單元根據(jù)關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達時間預(yù)測單元獲得的關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔和機臺端口下一次可用時間預(yù)測單元獲得的處理站點各機臺端口的下一次可用時間間隔，計算約束檢查單元獲得的各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口。本發(fā)明的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法縮短了關(guān)鍵批次產(chǎn)品等待時間，合理安排了機臺資源。
【專利說明】半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 在集成電路的生產(chǎn)制造過程中，存在成百甚至上千道工序，晶圓（Wafer)經(jīng)過所有 工序后才能形成最終產(chǎn)品。在正常情況下，晶圓按照預(yù)先設(shè)定好的工藝流程一步一步地執(zhí) 行每一道工序，也就是說，預(yù)先設(shè)定好了工藝流程中每一道工序的內(nèi)容、具體的工藝參數(shù)， 還預(yù)先設(shè)定好了每一道工序執(zhí)行的時間順序，根據(jù)預(yù)先設(shè)定好的工藝流程，控制晶圓依次 執(zhí)行每一道工序。
[0003] 但是在很多情況下，集成電路的制造過程中，存在關(guān)鍵批次產(chǎn)品（Bullet lot)的 生產(chǎn)。所述的關(guān)鍵批次產(chǎn)品一方面可能是新量產(chǎn)（ΝΤΟ :New type out)的批次產(chǎn)品，即客戶 在晶圓代工廠（FAB)中大量投單之前，事先小量投產(chǎn)生產(chǎn)，再依據(jù)這批產(chǎn)品最終的質(zhì)量和訂 單交付速度來決定是否需要跟進大量投單，因此ΝΤ0 lot可以給晶圓代工廠帶來大量的后 續(xù)訂單以及顯著的產(chǎn)能和業(yè)績提高；另外一方面，晶圓代工廠日常運行時會有某段制程出 現(xiàn)異常的批次產(chǎn)品，工程師在發(fā)現(xiàn)并解決這一異常后，急需通過處理這個批次產(chǎn)品來驗證 解決方法的合理性，如果驗證通過則可以將這一解決方案快速推廣到全廠的生產(chǎn)當(dāng)中，為 晶圓代工廠的良率和產(chǎn)出做出重要貢獻；又或者工程師研發(fā)了一項新技術(shù)，并且該技術(shù)可 能會給晶圓代工廠帶來制程水平的提升，從而使更多的客戶來晶圓代工廠投訂單，則這樣 的批次產(chǎn)品也希望盡快處理。由此可見，關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理對晶圓代工廠的良率提高、產(chǎn) 能提升和工藝制程水平的提高具有重要影響，因此需要進行優(yōu)先處理。
[0004] 但是，晶圓代工廠的資源是有限的，如何在保證正常生產(chǎn)不受影響的同時，更合理 的將系統(tǒng)資源分配給關(guān)鍵批次產(chǎn)品是一個復(fù)雜的問題。圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)的關(guān)鍵批次產(chǎn) 品的處理流程示意圖，包括：
[0005] 步驟S101，線上操作員查看處理站點是否有可以處理的關(guān)鍵批次產(chǎn)品，若是則執(zhí) 行步驟S102,若否則執(zhí)行步驟S103 ;
[0006] 步驟S102,處理關(guān)鍵批次產(chǎn)品；
[0007] 步驟S103,判斷是否有將要到達處理站點的關(guān)鍵批次產(chǎn)品，若是則執(zhí)行步驟 S104,若否則執(zhí)行步驟S105 ;
[0008] 步驟S104,空機臺等待關(guān)鍵批次產(chǎn)品；
[0009] 步驟S105,處理其他批次產(chǎn)品。
[0010] 現(xiàn)有技術(shù)中，對關(guān)鍵批次產(chǎn)品管理和處理方法粗略，無法達到優(yōu)化晶圓代工廠產(chǎn) 能的目的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 本發(fā)明解決的問題是現(xiàn)有技術(shù)對關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理方法粗略，無法達到優(yōu)化晶 圓代工廠產(chǎn)能的目的。
[0012] 為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，包括：若干批次 產(chǎn)品，所述批次產(chǎn)品包括關(guān)鍵批次產(chǎn)品；處理站點，所述處理站點包括若干機臺端口，所述 機臺端口適于處理所述批次產(chǎn)品；關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達時間預(yù)測單元，適于收集所述批次產(chǎn) 品的工藝流程信息，并根據(jù)所述工藝流程信息計算各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間 隔；機臺端口下一次可用時間預(yù)測單元，適于根據(jù)機臺端口的運行信息計算各機臺端口的 下一次可用時間間隔；約束檢查單元，適于根據(jù)所述工藝流程信息將所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品和 所述機臺端口相匹配，獲得各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點時的可使用機臺端口；分配單元， 適于根據(jù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔和處理站點各機臺端口的下一次可 用時間間隔，計算各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可處理批次產(chǎn)品 數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口。
[0013] 可選的，所述分配單元計算各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)包括：將所 有關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔與某一可使用機臺端口的下一次可用時間間隔 進行比較；當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔小于或等于該可使用機臺端口的 下一次可用時間間隔時，則該可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加1，當(dāng)某一關(guān)鍵批次 產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔大于該可使用機臺端口的下一次可用時間間隔時，則該可使 用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加0。
[0014] 可選的，所述分配單元按照所述總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機 臺端口包括以下步驟：步驟S301，獲取各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)；步驟 S302,將按時間順序最早到達處理站點的關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配給總可處理批次產(chǎn)品數(shù)最小的 可使用機臺端口，去除已分配的關(guān)鍵批次產(chǎn)品和可使用機臺端口；步驟S303,判斷是否所 有可使用機臺端口已經(jīng)分配完畢，若是則執(zhí)行步驟S304,若否則執(zhí)行步驟S302 ;步驟S304， 判斷是否所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品已分配到機臺端口，若是則結(jié)束，若否則執(zhí)行步驟S305 ;步驟 S305,提示線上操作員為未分配機臺端口的關(guān)鍵批次產(chǎn)品預(yù)留機臺端口。
[0015] 可選的，還包括設(shè)定和維護單元，適于在所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達時間預(yù)測單元收 集各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔之前，設(shè)定和維護所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息。
[0016] 可選的，所述機臺端口下一次可用時間預(yù)測單元獲得各機臺端口的下一次可用時 間間隔包括：根據(jù)機臺端口實時處理信息，獲得當(dāng)前正在處理的批次產(chǎn)品信息；根據(jù)該批 次產(chǎn)品信息和該批次產(chǎn)品的工藝流程信息，獲得該機臺端口下一次可用時間間隔。
[0017] 可選的，還包括排序和顯示單元，適于在所述分配單元按照總可處理批次產(chǎn)品數(shù) 為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口后，對各關(guān)鍵批次產(chǎn)品進行排序和顯示。
[0018] 對應(yīng)的，本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，包括：提供若干批次產(chǎn) 品，所述批次產(chǎn)品包括關(guān)鍵批次產(chǎn)品；提供處理站點，所述處理站點包括若干機臺端口，所 述機臺端口適于處理所述批次產(chǎn)品；收集所述批次產(chǎn)品的工藝流程信息，并根據(jù)所述工藝 流程信息計算各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔；根據(jù)機臺端口的運行信息計算各 機臺端口的下一次可用時間間隔；根據(jù)所述工藝流程信息將所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品和所述機臺 端口相匹配，獲得各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點時的可使用機臺端口；根據(jù)所述關(guān)鍵批次 產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔和處理站點各機臺端口的下一次可用時間間隔，計算各可使 用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配 機臺端口。
[0019] 可選的，所述計算各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)包括：將所有關(guān)鍵批 次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔與某一可使用機臺端口的下一次可用時間間隔進行比較； 當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔小于或等于該可使用機臺端口的下一次可 用時間間隔時，則該可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加1，當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達 處理站點的時間間隔大于該可使用機臺端口的下一次可用時間間隔時，則該可使用機臺端 口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加〇。
[0020] 可選的，所述按照總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口包括以 下步驟：步驟S301，獲取各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)；步驟S302,將按時間順 序最早到達處理站點的關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配給總可處理批次產(chǎn)品數(shù)最小的可使用機臺端口， 去除已分配的關(guān)鍵批次產(chǎn)品和可使用機臺端口；步驟S303,判斷是否所有可使用機臺端口 已經(jīng)分配完畢，若是則執(zhí)行步驟S304,若否則執(zhí)行步驟S302 ;步驟S304,判斷是否所述關(guān)鍵 批次產(chǎn)品已分配到機臺端口，若是則結(jié)束，若否則執(zhí)行步驟S305 ;步驟S305,提示線上操作 員為未分配機臺端口的關(guān)鍵批次產(chǎn)品預(yù)留機臺端口。
[0021] 可選的，還包括，在收集各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔之前，設(shè)定和維 護所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息。
[0022] 可選的，所述獲得各機臺端口的下一次可用時間間隔包括：根據(jù)機臺端口實時處 理信息，獲得當(dāng)前正在處理的批次產(chǎn)品信息；根據(jù)該批次產(chǎn)品信息和該批次產(chǎn)品的工藝流 程信息，獲得該機臺端口下一次可用時間間隔。
[0023] 可選的，還包括，在按照總可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口后， 對各關(guān)鍵批次廣品進行排序和顯不。
[0024] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點：
[0025] 本發(fā)明實施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法中，規(guī)劃人員或者管理人員可 以實時的設(shè)定和維護關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息，保證數(shù)據(jù)的實時性和準(zhǔn)確性，再根據(jù)關(guān)鍵批次 產(chǎn)品的工藝流程信息獲得其到達處理站點的時間間隔，根據(jù)處理站點各機臺端口的運行信 息，獲得各機臺端口的下一次可用時間間隔，同時結(jié)合機臺資源的使用情況，按照各機臺端 口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口，可以達到縮短關(guān)鍵批次產(chǎn)品等 待時間，合理安排機臺資源的目的；另外，通過對關(guān)鍵批次產(chǎn)品進行排序和顯示，可以使線 上操作員實時獲取關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理信息，極大的降低了生產(chǎn)復(fù)雜性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026] 圖1是現(xiàn)有技術(shù)的關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理流程示意圖；
[0027] 圖2是本發(fā)明實施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028] 圖3是本發(fā)明實施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)中，分配單元為各關(guān)鍵批次產(chǎn) 品分配機臺端口的流程示意圖；
[0029] 圖4是本發(fā)明實施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法的流程示意圖。

【具體實施方式】
[0030] 由【背景技術(shù)】可知，現(xiàn)有技術(shù)對關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理方法粗略，無法達到優(yōu)化晶圓 代工廠產(chǎn)能的目的。
[0031] 本發(fā)明的發(fā)明人通過研究現(xiàn)有技術(shù)的對關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理方法，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù) 中采用關(guān)鍵批次產(chǎn)品報告（Bullet lot report)，在關(guān)鍵批次產(chǎn)品報告中將關(guān)鍵批次產(chǎn)品 的歷史可參考的處理時間加上固定的五分鐘的隊列時間（Queue time)作為該關(guān)鍵批次產(chǎn) 品的生產(chǎn)周期，并在關(guān)鍵批次產(chǎn)品報告中依次排列出各關(guān)鍵批次產(chǎn)品的時程。然后按照如 圖1所示的處理流程進行處理，線上操作員查看處理站點是否有可以處理的關(guān)鍵批次產(chǎn) 品，有的話就優(yōu)先處理該關(guān)鍵批次產(chǎn)品；沒有的話就查看關(guān)鍵批次產(chǎn)品報告，判斷是否有將 要到達處理站點的關(guān)鍵批次產(chǎn)品，如果有的話就需要空機臺等待該關(guān)鍵批次產(chǎn)品的到來。 但是，現(xiàn)有技術(shù)中并沒有考慮線上的實際產(chǎn)能和約束，對關(guān)鍵批次產(chǎn)品的管理和處理，線上 操作員通過關(guān)鍵批次產(chǎn)品報告來處理，其方法粗略，當(dāng)線上操作員面對復(fù)雜而繁瑣的管理 規(guī)則和先后派貨順序，無法對關(guān)鍵批次產(chǎn)品進行合理安排。
[0032] 基于以上研究，本發(fā)明的發(fā)明人提出一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，首先關(guān)鍵 批次產(chǎn)品到達時間預(yù)測單元根據(jù)工藝流程信息，獲得關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間 隔；其次機臺端口下一次可用時間預(yù)測單元根據(jù)處理站點各機臺的運行信息，獲得各機臺 端口的下一次可用時間間隔；約束檢查單元根據(jù)所述工藝流程信息將所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品和 所述機臺端口相匹配，獲得各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點時的可使用機臺端口；分配單元 再根據(jù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔和處理站點各機臺端口的下一次可用 時間間隔，計算各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可處理批次產(chǎn)品數(shù) 為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口。由于對關(guān)鍵批次產(chǎn)品的分配以各機臺端口的總可處理批 次產(chǎn)品數(shù)為依據(jù)，結(jié)合了機臺資源的使用情況，使得本發(fā)明實施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處 理方法縮短了關(guān)鍵批次產(chǎn)品的等待時間，合理安排了機臺資源。
[0033] 為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明 的具體實施例做詳細的說明。需要說明的是，提供這些附圖的目的是有助于理解本發(fā)明的 實施例，而不應(yīng)解釋為對本發(fā)明的不當(dāng)?shù)南拗啤?br> [0034] 請參考圖2,圖2為本發(fā)明實施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，包 括：若干批次產(chǎn)品201、處理站點202、關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達時間預(yù)測單元203、機臺端口下一 次可用時間預(yù)測單元204、約束檢查單元205和分配單元206。
[0035] 所述若干批次產(chǎn)品201 (lot)包括關(guān)鍵批次產(chǎn)品（Bullet lot)。
[0036] 在集成電路的制造過程中，存在關(guān)鍵批次產(chǎn)品。所述若干批次產(chǎn)品201包括關(guān)鍵 批次產(chǎn)品和其他非關(guān)鍵批次產(chǎn)品，所述的關(guān)鍵批次產(chǎn)品通常對晶圓代工廠的良率提高和產(chǎn) 能提升等具有重要影響，需要采用特殊的派工方法，進行優(yōu)先處理。本實施例中，所述關(guān)鍵 批次產(chǎn)品可以為客戶在晶圓代工廠中大量投單之前的新量產(chǎn)的批次產(chǎn)品；也可以為晶圓代 工廠中解決制程異常的批次產(chǎn)品；還可以為晶圓代工廠中提高制程水平的批次產(chǎn)品。
[0037] 本實施例中，還包括設(shè)定和維護單元(未圖示)，工程師通過所述設(shè)定和維護單元 根據(jù)關(guān)鍵批次產(chǎn)品具體特性，設(shè)定和維護關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息，包括了關(guān)鍵批次產(chǎn)品的各 工藝步驟，以及各工藝步驟所需的生產(chǎn)周期等信息。
[0038] 所述處理站點202包括若干機臺端口，所述機臺端口適于處理所述批次產(chǎn)品201。
[0039] 本實施例中，所述處理站點202可以為鍍膜、光刻、刻蝕或量測等半導(dǎo)體工藝流程 中的任一處理站點。所述處理站點202具有若干機臺，各個機臺具有一個或多個機臺端口， 用于處理所述批次產(chǎn)品201。
[0040] 所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達時間預(yù)測單元203用于收集所述批次產(chǎn)品201的工藝流 程信息，并根據(jù)所述工藝流程信息計算各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔（Bullet lot arriving time interval)。
[0041] 現(xiàn)有的晶圓代工廠中，通常建立有模擬系統(tǒng)，如移動預(yù)測系統(tǒng)(move forecast system)，該模擬系統(tǒng)可以模擬一天當(dāng)中，各個批次產(chǎn)品的每一個工藝步驟的生產(chǎn)周期信息 (CT:Cycle time)等，并記錄在數(shù)據(jù)庫中。本實施例中，所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達時間預(yù)測單 元203收集所述批次產(chǎn)品201的工藝流程信息，根據(jù)工藝流程信息獲得關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達 處理站點的時間間隔，即是通過移動預(yù)測系統(tǒng)對關(guān)鍵批次產(chǎn)品工藝流程中各個工藝步驟的 周期信息進行計算后獲得的。
[0042] 請參考表1，表1示出了在一具體實施例中，所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達時間預(yù)測單元 203根據(jù)工藝流程信息，所獲得的關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔，表1中各關(guān)鍵批 次產(chǎn)品L0T1?L0T8到達處理站點的時間間隔的單位為分鐘，例如，關(guān)鍵批次產(chǎn)品L0T1已 到達處理站點，其到達處理站點的時間間隔為0 ;關(guān)鍵批次產(chǎn)品L0T3到達處理站點的時間 間隔為20分鐘等等。在其他實施例中，所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品也可以具有其他數(shù)量，所述關(guān)鍵 批次產(chǎn)品到達處理站點的時間也可以采用其他時間單位。
[0043]

【權(quán)利要求】
1. 一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，包括： 若干批次產(chǎn)品，所述批次產(chǎn)品包括關(guān)鍵批次產(chǎn)品； 處理站點，所述處理站點包括若干機臺端口，所述機臺端口適于處理所述批次產(chǎn)品； 關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達時間預(yù)測單元，適于收集所述批次產(chǎn)品的工藝流程信息，并根據(jù)所 述工藝流程信息計算各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔； 機臺端口下一次可用時間預(yù)測單元，適于根據(jù)機臺端口的運行信息計算各機臺端口的 下一次可用時間間隔； 約束檢查單元，適于根據(jù)所述工藝流程信息將所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品和所述機臺端口相匹 配，獲得各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點時的可使用機臺端口； 分配單元，適于根據(jù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔和處理站點各機臺端 口的下一次可用時間間隔，計算各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可 處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口。
2. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述分配單元計算 各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)包括：將所有關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間 間隔與某一可使用機臺端口的下一次可用時間間隔進行比較；當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處 理站點的時間間隔小于或等于該可使用機臺端口的下一次可用時間間隔時，則該可使用機 臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加1，當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔大于該 可使用機臺端口的下一次可用時間間隔時，則該可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加 0〇
3. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述分配單元按照 所述總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口包括以下步驟： 步驟S301，獲取各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)； 步驟S302,將按時間順序最早到達處理站點的關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配給總可處理批次產(chǎn)品 數(shù)最小的可使用機臺端口，去除已分配的關(guān)鍵批次產(chǎn)品和可使用機臺端口； 步驟S303,判斷是否所有可使用機臺端口已經(jīng)分配完畢，若是則執(zhí)行步驟S304,若否 則執(zhí)行步驟S302 ; 步驟S304,判斷是否所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品已分配到機臺端口，若是則結(jié)束，若否則執(zhí)行步 驟 S305 ; 步驟S305,提示線上操作員為未分配機臺端口的關(guān)鍵批次產(chǎn)品預(yù)留機臺端口。
4. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括設(shè)定和維護 單元，適于在所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達時間預(yù)測單元收集各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時 間間隔之前，設(shè)定和維護所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息。
5. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述機臺端口下一 次可用時間預(yù)測單元獲得各機臺端口的下一次可用時間間隔包括：根據(jù)機臺端口實時處理 信息，獲得當(dāng)前正在處理的批次產(chǎn)品信息；根據(jù)該批次產(chǎn)品信息和該批次產(chǎn)品的工藝流程 信息，獲得該機臺端口下一次可用時間間隔。
6. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括排序和顯示 單元，適于在所述分配單元按照總可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口后， 對各關(guān)鍵批次廣品進行排序和顯不。
7. -種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，包括： 提供若干批次產(chǎn)品，所述批次產(chǎn)品包括關(guān)鍵批次產(chǎn)品； 提供處理站點，所述處理站點包括若干機臺端口，所述機臺端口適于處理所述批次產(chǎn) 品； 收集所述批次產(chǎn)品的工藝流程信息，并根據(jù)所述工藝流程信息計算各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到 達處理站點的時間間隔； 根據(jù)機臺端口的運行信息計算各機臺端口的下一次可用時間間隔； 根據(jù)所述工藝流程信息將所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品和所述機臺端口相匹配，獲得各關(guān)鍵批次 產(chǎn)品到達處理站點時的可使用機臺端口； 根據(jù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔和處理站點各機臺端口的下一次可 用時間間隔，計算各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可處理批次產(chǎn)品 數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口。
8. 如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，所述計算各可使用 機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)包括：將所有關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔與某 一可使用機臺端口的下一次可用時間間隔進行比較；當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的 時間間隔小于或等于該可使用機臺端口的下一次可用時間間隔時，則該可使用機臺端口的 總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加1，當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔大于該可使用機 臺端口的下一次可用時間間隔時，則該可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加0。
9. 如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，所述按照總可處理 批次產(chǎn)品數(shù)，為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口包括以下步驟： 步驟S301，獲取各可使用機臺端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)； 步驟S302,將按時間順序最早到達處理站點的關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配給總可處理批次產(chǎn)品 數(shù)最小的可使用機臺端口，去除已分配的關(guān)鍵批次產(chǎn)品和可使用機臺端口； 步驟S303,判斷是否所有可使用機臺端口已經(jīng)分配完畢，若是則執(zhí)行步驟S304,若否 則執(zhí)行步驟S302 ; 步驟S304,判斷是否所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品已分配到機臺端口，若是則結(jié)束，若否則執(zhí)行步 驟 S305 ; 步驟S305,提示線上操作員為未分配機臺端口的關(guān)鍵批次產(chǎn)品預(yù)留機臺端口。
10. 如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，還包括，在收集各 關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達處理站點的時間間隔之前，設(shè)定和維護所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息。
11. 如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，所述獲得各機臺端 口的下一次可用時間間隔包括：根據(jù)機臺端口實時處理信息，獲得當(dāng)前正在處理的批次產(chǎn) 品信息；根據(jù)該批次產(chǎn)品信息和該批次產(chǎn)品的工藝流程信息，獲得該機臺端口下一次可用 時間間隔。
12. 如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，還包括，在按照總 可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機臺端口后，對各關(guān)鍵批次產(chǎn)品進行排序和顯 /_J、1 〇
【文檔編號】G06Q50/04GK104217978SQ201310222155
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2013年6月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月5日
【發(fā)明者】趙晨, 吳勇, 于婷婷, 譚小兵 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司