一種觸摸屏及其制作方法、顯示裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種觸摸屏及其制作方法、顯示裝置，用以提高觸摸屏觸摸點定位的靈敏度。所述觸摸屏包括襯底基板；位于所述襯底基板上沿第一方向分布的多個第一電極組，所述第一電極組包括不同層設置的第一電極和第二電極；位于所述襯底基板上的沿與第一方向交叉的第二方向分布的多個第二電極組，所述第二電極組包括第三電極和第四電極；所述第一電極組與第二電極組交叉點處，由第一電極、第二電極、第三電極和第四電極圍設成一個空心立體區(qū)域，還包括位于所述空心立體區(qū)域的容納有磁性材料的絕緣密閉的腔體。
【專利說明】一種觸摸屏及其制作方法、顯示裝置
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及觸摸顯示【技術領域】，尤其涉及一種觸摸屏及其制作方法、顯示裝置。
【背景技術】
[0002]隨著顯示技術的發(fā)展，觸摸顯示越來越受到人們的廣泛關注。觸摸屏作為顯示裝置的輸出設備已經逐漸成為顯示領域的主流。
[0003]現(xiàn)有觸摸屏按照工作原理主要包括電阻式和電容式觸摸屏。電阻式觸摸屏的靈敏度不夠高。電容式觸摸屏的靈敏度相比較電阻式觸摸屏的靈敏度較高且可以實現(xiàn)多點觸控。但是，隨著人們對聞品質觸摸屏需求的不斷提聞，觸摸屏的靈敏度還有待進一步提聞。
[0004]以下簡單介紹現(xiàn)有電容式觸摸屏的結構和工作原理，參見圖1，觸摸屏的電路結構包括:交叉設置的觸摸驅動電極100和觸摸感應電極200，相鄰觸摸驅動電極100和觸摸感應電極200之間稱合產生互電容Cm (mutual capacitance),當手指觸碰屏幕時,手指的觸碰會改變所述互電容Cm的值，觸摸屏的觸摸感應電路通過檢測手指觸碰前后電容Cm對應的電流的改變，從而檢測出手指觸摸點的位置。上述觸摸屏的電路結構探測觸摸點的靈敏度還不夠高。這是因為，觸摸屏內的觸摸驅動電極和觸摸感應電極之間存在寄生電容，寄生電容產生的噪音電流使得手指觸碰前后電容Cm對應的電流的改變非常小，也就是說，噪音電流將因觸碰觸摸屏引起的電流變化淹沒，無法準確檢測出僅因為手指觸碰前后電容Cm對應的電流的改變，觸摸點定位的靈敏度降低。另外，現(xiàn)有觸摸顯示屏為觸摸屏與顯示屏集成在一起。對于內嵌式觸摸屏，觸摸驅動電極和觸摸感應電極集成在顯示屏內，觸摸驅動電極和觸摸感應電極與其他功能電極之間存在寄生電容，同理，該寄生電容降低了觸摸點定位的靈敏度降低。

【發(fā)明內容】

[0005]本發(fā)明實施例提供了一種觸摸屏及其制作方法、顯示裝置，用以提高觸摸屏觸摸點定位的靈敏度，提高觸摸屏的觸控效果。
[0006]本發(fā)明實施例提供的一種觸摸屏，包括:襯底基板；
[0007]位于所述襯底基板上沿第一方向分布的多個第一電極組，所述第一電極組包括不同層設置的第一電極和第二電極；
[0008]位于所述襯底基板上的沿與第一方向交叉的第二方向分布的多個第二電極組，所述第二電極組包括第三電極和第四電極；所述第一電極、第二電極、第三電極和第四電極為面狀電極；
[0009]所述第一電極組與第二電極組交叉點處，由第一電極、第二電極、第三電極和第四電極圍設成一個空心立體區(qū)域，所述第一電極和第二電極作為空心立體區(qū)域的兩個相對的面，所述第三電極和第四電極作為空心立體區(qū)域另外兩個相對的面；
[0010]還包括位于所述空心立體區(qū)域容納有磁性材料的絕緣密閉的腔體；
[0011]所述第一電極、第二電極、第三電極和第四電極用于在施加觸控驅動信號時實現(xiàn)觸摸顯示。
[0012]較佳地，所述腔體的截面為平行四邊形，腔體的形狀與所述空心立體區(qū)域的形狀類似，腔體的大小與所述空心立體區(qū)域的大小相當。
[0013]較佳地，所述腔體的頂部和底部之間的垂直距離為10?100 μ m ;所述腔體上相對的兩個側壁之間的垂直距離為10?100 μ m。
[0014]較佳地，所述襯底基板上還包括彩色樹脂層和黑矩陣；
[0015]所述第一電極、第二電極、第三電極和第四電極位于與所述黑矩陣相對應的區(qū)域。
[0016]較佳地，所述彩色樹脂層和黑矩陣位于襯底基板的同一側，所述第一電極、第二電極、第三電極和第四電極位于所述襯底基板的同一側；
[0017]所述彩色樹脂層和黑矩陣與所述第一電極、第二電極、第三電極和第四電極位于所述襯底基板的同一側，或者位于襯底基板的不同側。
[0018]較佳地，所述彩色樹脂層、黑矩陣、第一電極、第二電極、第三電極和第四電極位于所述襯底基板的同一側；所述第三電極、第四電極和腔體設置在所述黑矩陣內。
[0019]較佳地，所述磁性材料為磁性量子點。
[0020]本發(fā)明實施例提供一種觸摸屏的制作方法，包括以下步驟:
[0021]采用構圖工藝在襯底基板上形成多條沿第一方向分布的包括第一電極和第二電極的第一電極組、多條沿與第一方向交叉的第二方向分布的包括第三電極和第四電極的第二電極組；所述第一電極組與第二電極組交叉點處由第一電極、第二電極、第三電極和第四電極圍設成一個空心立體區(qū)域，所述第一電極和第二電極作為空心立體區(qū)域的兩個相對的面，所述第三電極和第四電極作為空心立體區(qū)域另外兩個相對的面；
[0022]還包括在所述空心立體區(qū)域形成容納有磁性材料的絕緣密閉的腔體。
[0023]較佳地，在所述襯底基板上形成第一電極、第二電極、第三電極、第四電極和容納有磁性材料的腔體，具體為:
[0024]在通過構圖工藝在襯底基板上待形成第二電極的區(qū)域形成多條第二電極；
[0025]在形成有所述第二電極的襯底基板上形成設定厚度的第一絕緣層，在待形成所述第三電極和第四電極的區(qū)域形成設定深度的第一狹縫和第二狹縫；
[0026]在形成有所述第一狹縫和第二狹縫的襯底基板上形成一層導電層，通過構圖工藝保留第一狹縫和第二狹縫中的導電層，去除其余區(qū)域的導電層，位于第一狹縫和第二狹縫中的導電層分別作為第三電極和第四電極；
[0027]在形成有所述第三電極和第四電極的襯底基板上形成第二絕緣層，以保證第三電極和第四電極與待形成的第一電極保持絕緣；
[0028]在形成有所述第二絕緣層的襯底基板上設置位于第二電極與所述第三電極和第四電極交叉區(qū)域且容納有磁性材料的腔體；
[0029]通過構圖工藝在形成有所述腔體的襯底基板上待形成第一電極的區(qū)域形成多條
第一電極。
[0030]較佳地，所述在待形成第三電極和第四電極的區(qū)域形成設定深度的第一狹縫和第二狹縫的同時還包括，在第一絕緣層上待形成腔體的區(qū)域形成容納所述腔體的凹陷區(qū)域，使得所述腔體位于所述第一絕緣層之中。
[0031 ] 本發(fā)明實施例還提供一種顯示裝置，包括上述任一方式的觸摸屏。[0032]本發(fā)明通過在襯底基板上設置沿第一方向分布的第一電極和第二電極，沿第二方向分布的第三電極和第四電極，第一方向和第二方向交叉。在第一電極和第二電極與第三電極和第四電極交叉區(qū)域形成一個空心立體區(qū)域；所述空心立體區(qū)域設置容納有磁性材料的絕緣密閉的腔體。手指觸碰觸摸屏后，可以改變觸碰觸摸屏前腔體內磁性材料的空間分布，改變第一電極和第二電極之間的介電常數(shù)，以及改變第三電極和第四電極之間的介電常數(shù)，從而改變第一電極和第二電極之間的電容，以及第三電極和第四電極之間的電容，確定觸摸點的位置。由于容納有磁性材料的絕緣腔體的設置，使得觸碰觸摸屏前后電流的變化量非常明顯，相比較電容式觸摸屏，觸摸點定位的靈敏度得到提高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0033]圖1為現(xiàn)有內嵌式觸摸屏觸控原理示意圖；
[0034]圖2為本發(fā)明實施例提供的觸摸屏俯視示意圖；
[0035]圖3為圖2在AA’向的截面局部放大示意圖；
[0036]圖4為本發(fā)明實施例提供的設置有觸摸驅動電路和觸摸感應電路的觸摸屏結構示意圖；
[0037]圖5為設置有第一絕緣層的觸摸屏結構示意圖；
[0038]圖6為本發(fā)明實施例提供的觸摸屏上第一電極和第二電極與與腔體的相對位置結構示意圖；
[0039]圖7為本發(fā)明實施例提供的觸摸屏上第三電極和第四電極與與腔體的相對位置結構示意圖；
[0040]圖8為本發(fā)明實施例提供的未觸碰觸摸屏時的結構示意圖；
[0041]圖9為本發(fā)明實施例提供的觸碰觸摸屏時的結構示意圖；
[0042]圖10為本發(fā)明實施例提供的觸摸屏中腔體與黑矩陣的相對位置結構示意圖；
[0043]圖11為本發(fā)明實施例提供的On cell式觸摸屏結構示意圖；
[0044]圖12為本發(fā)明實施例提供的In cell式觸摸屏結構示意圖；
[0045]圖13為本發(fā)明實施例提供的形成有第二電極的觸摸屏結構示意圖；
[0046]圖14為本發(fā)明實施例提供的第一絕緣層上形成有第一狹縫和第二狹縫的觸摸屏結構示意圖；
[0047]圖15為本發(fā)明實施例提供的形成有第三電極和第四電極的觸摸屏結構示意圖；
[0048]圖16為本發(fā)明實施例提供的形成有第二絕緣層的觸摸屏結構示意圖；
[0049]圖17為本發(fā)明實施例提供的形成有腔體的觸摸屏結構示意圖；
[0050]圖18為本發(fā)明實施例提供的形成有第一電極的觸摸屏結構示意圖。
【具體實施方式】
[0051]本發(fā)明實施例提供了一種觸摸屏及其制作方法、顯示裝置，用以提高觸摸屏觸摸點定位的靈敏度，提高觸摸屏的觸控效果。
[0052]本發(fā)明通過在襯底基板上設置沿第一方向分布的多個第一電極組，第一電極組包括第一電極和第二電極，沿第二方向分布的多個第二電極組，第二電極組包括第三電極和第四電極，第一方向和第二方向交叉。在第一電極組和第二電極組的交叉點，由第一電極、第二電極、第三電極和第四電極圍設成一個空心立體區(qū)域；所述空心立體區(qū)域設置容納有磁性材料的且絕緣密閉的腔體。手指觸碰觸摸屏后，可以改變觸碰觸摸屏前腔體內磁性材料的空間分布，改變第一電極和第二電極之間的介電常數(shù)，以及改變第三電極和第四電極之間的介電常數(shù)，從而改變第一電極和第二電極之間的電容，以及第三電極和第四電極之間的電容，確定觸摸點的位置。由于容納有磁性材料的絕緣腔體的設置，使得觸碰觸摸屏前后電流的變化量非常明顯，相比較電容式觸摸屏，觸摸點定位的靈敏度得到提高。
[0053]本發(fā)明實施例提供的觸摸屏，可以為設置在顯示面板上的觸摸屏(也稱Oncell式觸摸屏)、內嵌在顯示面板中的觸摸屏(也稱In Cell式觸摸屏)、外掛在顯示面板上的觸摸屏(即獨立于顯示面板的Out cell式觸摸屏)。
[0054]以下將結合附圖具體介紹本發(fā)明實施例提供的觸摸屏及其制作方法、顯示裝置。以下介紹的內容和附圖所示的結構均用于解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。附圖中各層薄膜厚度和形狀不反映內嵌式觸摸屏及顯示裝置的真實比例，目的只是示意說明本發(fā)明的技術方案。
[0055]參見圖2和圖3，圖2為本發(fā)明實施例提供的觸摸屏的俯視圖，圖3為圖2所示的觸摸屏在AA’向的局部截面放大示意圖。
[0056]觸摸屏包括:
[0057]襯底基板10 ；
[0058]位于襯底基板10上的多條沿第一方向分布的多個第一電極組，每一第一電極組包括不同層設置的第一電極I和第二電極2 ；
[0059]位于襯底基板10上的多條沿與第一方向交叉的第二方向分布的第二電極組，每一第二電極組包括第三電極3和第四電極4 ;
[0060]第一電極1、第二電極2、第三電極3和第四電極4為面狀電極；
[0061 ] 第一電極組和第二電極組存在交叉點，即第一電極組的第一電極和第二電極分別與第二電極組的第三電極和第四電極之間存在交叉點，交叉點處的第一電極1、第二電極
2、第三電極3和第四電極4相互保持絕緣；
[0062]并且，參見圖3，交叉點處的第一電極1、第二電極2、第三電極3和第四電極4圍設成一個空心立體區(qū)域，第一電極I和第二電極2作為空心立體區(qū)域的兩個相對的面，第三電極3和第四電極4作為空心立體區(qū)域另外兩個相對的面；
[0063]還包括位于空心立體區(qū)域且容納有磁性材料5的絕緣密閉的腔體6 ；
[0064]第一電極1、第二電極2、第三電極3和第四電極4用于在施加有觸控驅動信號時實現(xiàn)觸摸顯示。
[0065]優(yōu)選地，第一電極和第二電極位于襯底基板上的不同層，二者相對設置，則第一電極和第二電極的俯視圖如圖1所示，第一電極和第二電極的俯視圖相重疊，用標號I (2)所
/Jn ο
[0066]以下將具體說明上述觸摸屏能夠提高觸摸靈敏度的原理。
[0067]根據(jù)電磁原理,磁性材料在恒定磁場中呈一定的空間分布，對應的磁介質為介電常數(shù)為一定值，當磁性材料周圍的磁場發(fā)生變化，則磁場的空間分布也發(fā)生變化，對應的磁介質為介電常數(shù)也發(fā)生變化。
[0068]本發(fā)明在具體實施時，分別為第一電極1、第二電極2、第三電極3和第四電極4施加觸摸驅動信號，如恒定電壓或恒定電流。當手指觸屏觸摸屏前，交叉區(qū)域相對設置的第一電極I和第二電極2周圍形成恒定的磁場，第三電極3和第四電極4周圍形成恒定的磁場，腔體6內的磁性材料5呈一定的空間分布,對應的第一電極I和第二電極2之間的介電常數(shù)為ε 1，第三電極3和第四電極4之間的介電常數(shù)為ε1‘。又因為，第一電極I和第二電極2作為空心立體區(qū)域的兩個相對的面，二者之間存在電容Cl ;第三電極3和第四電極4作為空心立體區(qū)域另外兩個相對的面，二者之間存在電容C2。
[0069]當有手指觸屏觸摸屏時，由于人體生物磁場的作用，腔體6內的磁性材料5受人體生物磁場的作用，空間分布發(fā)生變化，第一電極I和第二電極2之間的介電常數(shù)變化為ε 2，第三電極3和第四電極4之間的介電常數(shù)變化為ε2’。第一電極I和第二電極2之間的電容Cl的值發(fā)生變化，第三電極3和第四電極4之間的電容C2的值發(fā)生變化。如果在觸摸屏上建立直角坐標系，通過確定電容發(fā)生變化的第一電極I和第二電極2的坐標值Y，以及確定電容發(fā)生變化的第三電極3和第四電極4之間的坐標值X，確定才觸摸點的位置(X，Y)。具體實施時，通過確定第一電極和第二電極的電流的變化確定二者之間電容的變化，確定第三電極和第四電極的電流的變化確定二者之間電容的變化。
[0070]具體實施時，參見圖4，各第一電極I和第二電極2的一端與第一觸摸驅動電路7相連，另一端與第一觸摸感應電路8相連。各第三電極3和第四電極4的一端與第二觸摸驅動電路9相連，另一端與第二觸摸感應電路11相連。
[0071]圖4中的小圓點“.”代表觸摸區(qū)域或上述交叉區(qū)域(即設置有所述腔體的區(qū)域)。第一電極和第二電極的俯視圖重疊，用標號I (2)表示。第三電極和第四電極之間的距離，相比較與相鄰的第三電極或第四電極之間的距離非常小，因此，第三電極和第四電極的俯視圖在圖4中幾乎重疊。用標號3 (4)表示。
[0072] 本發(fā)明提供的上述觸摸屏，電極結構簡單，觸摸驅動電路和觸摸感應電路與電極的連接關系簡單，探測方法簡單，易于實現(xiàn)。觸摸驅動電路和觸摸感應電路可以為現(xiàn)有技術提供的電路。
[0073]本發(fā)明通過手指觸碰觸摸屏改變電極之間的介質的介電常數(shù)，從而改變電極之間的電容，進一步確定電容變化的電極對應的位置，實現(xiàn)一種新型的觸摸屏。更重要的是，腔體內的磁性材料受人體生物磁場的作用可以靈活改變，容納有磁性材料的絕緣腔體的介電常數(shù)可以靈活改變，使得第一電極和第二電極之間的電容以及第三電極和第四電極之間的電容變化更加靈活，探測觸摸屏觸摸點定位的靈敏度更高。相比較電阻式和電容式觸摸屏，提高了觸摸屏觸摸點定位的靈敏度。
[0074]優(yōu)選地，參見圖5，第一電極I和第二電極2之間設置有第一絕緣層12，腔體6鑲嵌于第一絕緣層12上。第三電極3和第四電極4設置于第一絕緣層12內。保證在交叉點處的第一電極1、第二電極2、第三電極3和第四電極4圍設成一個空心立體區(qū)域,第一電極I和第二電極2作為空心立體區(qū)域的兩個相對的面，第三電極3和第四電極4作為空心立體區(qū)域另外兩個相對的面。
[0075]具體實施時，第一絕緣層上待形成腔體的區(qū)域形成凹陷區(qū)域，容納有磁性材料的腔體設置在所述第一絕緣層的凹陷區(qū)域內，第一絕緣層上待形成第三電極和第四電極的區(qū)域形成具有設定深度的第一狹縫和第二狹縫，第三電極和第四電極分別形成在所述第一狹縫和第二狹縫內，第一狹縫和第二狹縫的深度為第三電極和第四電極的寬度，第一狹縫和第二狹縫的寬度為第三電極和第四電極的厚度。一般地，第三電極和第四電極的寬度約10-100 μ m。第三電極和第四電極的厚度約幾微米甚至更小。
[0076]圖3所示的觸摸屏的腔體6的截面形狀不限，優(yōu)選為平行四邊形，較佳地為正方形或長方形等，對應腔體6為正方體或長方體等。
[0077]優(yōu)選地，腔體的形狀與所述空心立體區(qū)域的形狀類似，腔體的大小與所述空心立體區(qū)域的大小相當。
[0078]具體地，腔體6的截面為正方形或長方形，即腔體6為正方體或長方體時，參見圖6，交叉的區(qū)域的第一電極I和第二電極2分別與腔體6的頂部和底部平行，參見圖7，交叉區(qū)域的第三電極3和第四電極4分別與腔體6上相對的兩個側壁平行，使得第一電極1、第二電極2、第三電極3和第四電極4將腔體6的四個面包圍，腔體6中的磁場強度更大，更有利于靈活改變腔體6內的磁性材料的空間分布。
[0079]第一電極I和第二電極2分別與腔體6的頂部和底部貼合,第三電極3和第四電極4分別與腔體6上相對的兩個側壁貼合。進一步減小了各電極與腔體之間的距離，更有利于提高腔體內的磁場強度，更加靈活地改變腔體內的磁性材料的空間分布。
[0080]較佳地，所述腔體的頂部和底部之間的垂直距離約為10?100 μ m ;所述腔體上相對的兩個側壁之間的垂直距離約為10?100 μ m。
[0081]較佳地,為第一電極和第二電極施加方向相反的電流，為第三電極和第四電極施加方向相反的電流，使得觸碰觸摸屏之前，腔體內的磁性材料分布更集中，當有手指觸碰觸摸屏時，人體生物磁場作用使得磁性材料分布較分散，手指觸摸觸摸屏前后磁性材料空間分布變化更大，第一電極和第二電極之間的電容變化更大，第三電極與第四電極之間的電容變化更大，進一步提高了觸摸點定位的靈敏度。
[0082]參見圖8和圖9，圖8為未觸碰觸摸屏時的結構示意圖，圖9為觸碰觸摸屏時的結構示意圖。第一電極I和第二電極2的電流方向平行于紙面，如帶箭頭的直線段表示電流方向，第三電極3的電流方向垂直紙面向外，第四電極4的電流方向垂直紙面向里。根據(jù)磁場方向和電流方向的關系可以得到如圖8和圖9所示的磁場方向，其中帶箭頭的閉合曲線表示電極產生的磁場方向。如圖9所示，帶箭頭的曲線表示人手指13產生的磁場。如圖8所示，觸摸前腔體6內的磁性材料5分布較集中，位于腔體6的左上角。如圖9所示，觸摸后腔體6內的磁性材料5分布較分散，分散于整個腔體6內。
[0083]優(yōu)選地，本發(fā)明實施例提供的磁性材料為磁性量子點，即顆粒尺寸在納米量級的磁性材料。
[0084]容納磁性材料的腔體可以為預先制作好的腔體，或者也可以在第一絕緣層上直接制作腔體，然后在腔體中注入磁性材料。
[0085]優(yōu)選地，容納磁性材料的腔體可以由高透過率的樹脂材料制作而成，有機樹脂材料可以為亞克力(Acryl)樹脂或硅碳(S1-C)樹脂等。
[0086]優(yōu)選地，第一電極、第二電極、第三電極和第四電極采用低電阻材料制作，例如可以為金屬鑰(Mo)、鋁(Al)、銅(Cu)、或包含鑰(Mo)、鋁(Al)、銅(Cu)的合金制作而成，也可以采用氧化銦錫(ITO)材料制作而成。
[0087]上述任一方式的觸摸屏，可以為Out cell式觸摸屏。當觸摸屏為Out cell式觸摸屏，上述觸摸屏直接設置在顯示面板的出光側，為顯示面板提供觸摸功能。[0088]無論觸摸屏為何種類型的觸摸屏，觸摸屏中的第一電極、第二電極、第三電極和第四電極位于與顯示面板上的黑矩陣相對應的區(qū)域，不影響像素區(qū)域光線的透過率。如圖10所示，腔體6和第一電極、第二電極、第三電極和第四電極設置在黑矩陣16對應的區(qū)域。圖10未體現(xiàn)第一電極、第二電極、第三電極和第四電極。
[0089]當上述觸摸屏為On cell式觸摸屏，如圖11，襯底基板10上還設置有彩色樹脂層和黑矩陣16，圖11中未體現(xiàn)彩色樹脂層，彩色樹脂層和黑矩陣16位于襯底基板10的同一偵牝第一電極1、第二電極2、第三電極3和第四電極4設置在襯底基板10的同一側，且彩色樹脂層和黑矩陣16與第一電極1、第二電極2、第三電極3和第四電極4位于襯底基板10的兩側。具體地，彩色樹脂層和黑矩陣16位于彩膜基板上靠近陣列基板的一側，第一電極
1、第二電極2、第三電極3和第四電極4位于襯底基板10遠離陣列基板的一側。
[0090]當上述觸摸屏為In cell式觸摸屏，如圖12，圖12與圖11所示的觸摸屏區(qū)別在于，彩色樹脂層和黑矩陣16與第一電極1、第二電極2、第三電極3和第四電極4位于襯底基板10的同一側。即彩色樹脂層和黑矩陣16與第一電極1、第二電極2、第三電極3和第四電極4位于襯底基板10上靠近陣列基板的一側。
[0091 ] 優(yōu)選地，第一絕緣層為黑矩陣，即腔體6設置在黑矩陣16內，可以省掉一層絕緣層的設置，降低了彩膜基板的厚度。
[0092]當然，本發(fā)明所述的觸摸屏上的第一電極1、第二電極2、第三電極3和第四電極4還可以設置在陣列基板上，只要保證不影響其他功能膜層實現(xiàn)正常的功能以及實現(xiàn)良好觸摸效果即可。
[0093]以下將具體介紹本發(fā)明實施例提供的觸摸屏的制作方法，主要包括以下步驟:
[0094]采用構圖工藝在襯底基板上形成多條沿第一方向分布的包括第一電極和第二電極的第一電極組、多條沿與第一方向交叉的第二方向分布的包括第三電極和第四電極的第二電極組；所述第一電極組與第二電極組交叉點處由第一電極、第二電極、第三電極和第四電極圍設成一個空心立體區(qū)域，所述第一電極和第二電極作為空心立體區(qū)域的兩個相對的面，所述第三電極和第四電極作為空心立體區(qū)域另外兩個相對的面；
[0095]還包括在所述空心立體區(qū)域形成容納有磁性材料的絕緣密閉的腔體。
[0096]以下將具體說明上述觸摸屏的制作方法的工藝流程。
[0097]在所述襯底基板上形成第一電極、第二電極、第三電極、第四電極和容納有磁性材料的腔體，具體為:
[0098]步驟一:參見圖13，通過構圖工藝在襯底基板10上待形成第二電極的區(qū)域形成多條第二電極2 ;
[0099]上述和下述的構圖工藝至少包括掩膜、曝光、顯影、光刻和刻蝕等步驟。
[0100]參見圖14，在形成有第二電極2的襯底基板10上形成設定厚度的第一絕緣層12，在待形成第三電極和第四電極的區(qū)域形成設定深度的第一狹縫121和第二狹縫122 ;第一狹縫的寬度約在微米量級，第一狹縫和第二狹縫的長度延伸至基板的邊框區(qū)域，第一狹縫和第二狹縫深度約為10-100 μ m。第一狹縫和第二狹縫深度遠大于第一狹縫和第二狹縫的寬度。也就是說，第三電極和第四電極為具有一定寬度的條狀電極。
[0101]可選地，參見圖14，在待形成第三電極3和第四電極4的區(qū)域形成設定深度的第一狹縫和第二狹縫的同時還包括，在第一絕緣層12上待形成腔體的區(qū)域形成容納所述腔體的凹陷區(qū)域123，使得腔體位于所述第一絕緣層之中。
[0102]參見圖15，在形成有圖14所示的第一狹縫121和第二狹縫122的襯底基板10上形成一層導電層，通過構圖工藝保留第一狹縫和第二狹縫中的導電層，去除其余區(qū)域的導電層，位于第一狹縫和第二狹縫中的導電層分別為第三電極3和第四電極4;
[0103]參見圖16，在形成有第三電極3和第四電極4的襯底基板10上形成第二絕緣層17，以保證第三電極3和第四電極4與待形成的第一電極I保持絕緣；第二絕緣層17的厚度盡可能小，保證電極之間的絕緣效果即可。但是第一絕緣層的厚度不小于第三電極的寬度。保證第三電極和第四電極與第一電極和第二電極相絕緣。
[0104]參見圖17，在形成有第二絕緣層17的襯底基板10上設置位于第二電極與所述第三電極和第四電極交叉區(qū)域且容納有磁性材料5的腔體6 ;該容納有磁性材料5的腔體6可以預先形成數(shù)個，該步驟直接將成型了腔體6設置在第二絕緣層17上。當然，第二絕緣層也可以通過涂覆樹脂等絕緣材料代替，即在第一狹縫和第二狹縫對應的第三電極和第四電極上涂覆絕緣層,保證與其他電極之間的絕緣。
[0105]參見圖18，通過構圖工藝在襯底基板10上待形成第一電極的區(qū)域形成多條第一電極I ;第一電極I與第二電極2相對設置,第三電極3與第四電極4相對設置。
[0106]本發(fā)明實施例還提供一種顯示裝置，包括上述觸摸屏，例如Out ce 11式觸摸屏、Incell式觸摸屏或On cell式觸摸屏等。該顯示裝置可以為液晶面板、液晶顯示器、液晶電視、有機電致發(fā)光顯示OLED面板、OLED顯示器、OLED電視或電子紙等顯示裝置。
[0107]顯然，本領域的技術人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權利要求及其等同技術的范圍之內，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內。
【權利要求】
1.一種觸摸屏，其特征在于，包括: 襯底基板； 位于所述襯底基板上沿第一方向分布的多個第一電極組，所述第一電極組包括不同層設置的第一電極和第二電極； 位于所述襯底基板上沿與第一方向交叉的第二方向分布的多個第二電極組，所述第二電極組包括第三電極和第四電極；所述第一電極、第二電極、第三電極和第四電極為面狀電極； 所述第一電極組與第二電極組交叉點處，由第一電極、第二電極、第三電極和第四電極圍設成一個空心立體區(qū)域，所述第一電極和第二電極作為空心立體區(qū)域的兩個相對的面，所述第三電極和第四電極作為空心立體區(qū)域另外兩個相對的面； 還包括位于所述空心立體區(qū)域容納有磁性材料的絕緣密閉的腔體； 所述第一電極、第二電極、第三電極和第四電極用于在施加觸控驅動信號時實現(xiàn)觸摸顯不O
2.根據(jù)權利要求1所述的觸摸屏，其特征在于，所述腔體的截面為平行四邊形，腔體的形狀與所述空心立體區(qū)域的形狀類似，腔體的大小與所述空心立體區(qū)域的大小相當。
3.根據(jù)權利要求2所述的觸摸屏，其特征在于，所述腔體的頂部和底部之間的垂直距離為10~100 μ m ;所述腔體上相對的兩個側壁之間的垂直距離為10~100 μ m。
4.根據(jù)權利要求3所述的觸摸屏，其特征在于，所述襯底基板上還包括彩色樹脂層和黑矩陣； 所述第一電極、第二電極、第三電極和第四電極位于與所述黑矩陣相對應的區(qū)域。
5.根據(jù)權利要求4所述的觸摸屏，其特征在于，所述彩色樹脂層和黑矩陣位于襯底基板的同一側，所述第一電極、第二電極、第三電極和第四電極位于所述襯底基板的同一側； 所述彩色樹脂層和黑矩陣與所述第一電極、第二電極、第三電極和第四電極位于所述襯底基板的同一側，或者位于襯底基板的不同側。
6.根據(jù)權利要求5所述的觸摸屏，其特征在于，所述彩色樹脂層、黑矩陣、第一電極、第二電極、第三電極和第四電極位于所述襯底基板的同一側；所述第三電極、第四電極和腔體設置在所述黑矩陣內。
7.根據(jù)權利要求1所述的觸摸屏，其特征在于，所述磁性材料為磁性量子點。
8.一種觸摸屏的制作方法，其特征在于，包括以下步驟: 采用構圖工藝在襯底基板上形成多條沿第一方向分布的包括第一電極和第二電極的第一電極組、多條沿與第一方向交叉的第二方向分布的包括第三電極和第四電極的第二電極組；所述第一電極組與第二電極組交叉點處由第一電極、第二電極、第三電極和第四電極圍設成一個空心立體區(qū)域，所述第一電極和第二電極作為空心立體區(qū)域的兩個相對的面，所述第三電極和第四電極作為空心立體區(qū)域另外兩個相對的面； 還包括在所述空心立體區(qū)域形成容納有磁性材料的絕緣密閉的腔體。
9.根據(jù)權利要求8所述的方法，其特征在于，在所述襯底基板上形成第一電極、第二電極、第三電極、第四電極和容納有磁性材料的腔體，具體為: 在通過構圖工藝在襯底基板上待形成第二電極的區(qū)域形成多條第二電極； 在形成有所述第二電極的襯底基板上形成設定厚度的第一絕緣層，在待形成所述第三電極和第四電極的區(qū)域形成設定深度的第一狹縫和第二狹縫； 在形成有所述第一狹縫和第二狹縫的襯底基板上形成一層導電層，通過構圖工藝保留第一狹縫和第二狹縫中的導電層，去除其余區(qū)域的導電層，位于第一狹縫和第二狹縫中的導電層分別作為第三電極和第四電極； 在形成有所述第三電極和第四電極的襯底基板上形成第二絕緣層，以保證第三電極和第四電極與待形成的第一電極保持絕緣； 在形成有所述第二絕緣層的襯底基板上設置位于第二電極與所述第三電極和第四電極交叉區(qū)域且容納有磁性材料的腔體； 通過構圖工藝在形成有所述腔體的襯底基板上待形成第一電極的區(qū)域形成多條第一電極。
10.根據(jù)權利要求9所述的方法，其特征在于，所述在待形成第三電極和第四電極的區(qū)域形成設定深度的第一狹縫和第二狹縫的同時還包括，在第一絕緣層上待形成腔體的區(qū)域形成容納所述腔體的凹陷區(qū)域，使得所述腔體位于所述第一絕緣層之中。
11.一種顯示裝置，其特征在于，包括權利要求1-7任一權項所述的觸摸屏。
【文檔編號】G06F3/041GK103699262SQ201310712650
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年12月20日 優(yōu)先權日:2013年12月20日
【發(fā)明者】沈奇雨 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司