觸摸屏面板及其制造方法
【專利說(shuō)明】觸摸屏面板及其制造方法
[0001]相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用
[0002]本申請(qǐng)要求于2014年10月23日提交至韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局的第10-2014-0144331號(hào)韓國(guó)專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，該韓國(guó)專利申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用整體并入本文。
技術(shù)領(lǐng)域
[0003]描述的技術(shù)通常涉及觸摸屏面板和制造觸摸屏面板的方法。
【背景技術(shù)】
[0004]目前，對(duì)柔性顯示器存在高需求，其結(jié)果是對(duì)柔性觸摸屏面板的高需求。相應(yīng)地，已經(jīng)在開(kāi)發(fā)制造柔性觸摸屏面板所需的技術(shù)，該技術(shù)包括形成用于感測(cè)與柔性薄膜襯底的接觸的感測(cè)電極。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]—個(gè)發(fā)明方面為一種觸摸屏面板，該觸摸屏面板包括:襯底、沿著第一方向位于襯底上的第一感測(cè)電極、沿著第二方向位于襯底上的第二感測(cè)電極、以及位于第一感測(cè)電極和第二感測(cè)電極的相交處的絕緣層，其中絕緣層在第一方向或第二方向中被圖案化為線形狀并與第一感測(cè)電極或第二感測(cè)電極相交。
[0006]根據(jù)實(shí)施方式，絕緣層可包括沿著第二方向以預(yù)定的間隔圖案化為線形狀的多個(gè)絕緣層，其中多個(gè)絕緣層中的每個(gè)與第一感測(cè)電極相交。
[0007]根據(jù)實(shí)施方式，第一感測(cè)電極和第二感測(cè)電極中的至少一個(gè)可具有網(wǎng)的形狀。
[0008]根據(jù)實(shí)施方式，第一感測(cè)電極中的每個(gè)可包括沿著第一方向布置的多個(gè)第一感測(cè)圖案以及在第一方向中連接第一感測(cè)圖案的多個(gè)第一連接圖案。
[0009]根據(jù)實(shí)施方式，第一連接圖案可設(shè)置在襯底和絕緣層之間并包括至少一個(gè)不透明或半透明層。
[0010]根據(jù)實(shí)施方式，第一連接圖案可具有堆疊結(jié)構(gòu)，該堆疊結(jié)構(gòu)包括形成于絕緣層之下的金屬層以及形成于金屬層之下的透明導(dǎo)電層。
[0011]根據(jù)實(shí)施方式，金屬層可具有比透明導(dǎo)電層的寬度小的寬度并設(shè)置在透明導(dǎo)電層所形成的區(qū)域的內(nèi)部中，其中絕緣層完全地覆蓋金屬層、布置成暴露透明導(dǎo)電層的兩端并與第一連接圖案相交。
[0012]根據(jù)實(shí)施方式，第一連接圖案可包括介于襯底和絕緣層之間的至少一個(gè)金屬層，其中絕緣層與金屬層相交、暴露金屬層的兩端。
[0013]根據(jù)實(shí)施方式，第二感測(cè)電極中的每個(gè)可包括沿著第二方向布置的多個(gè)第二感測(cè)圖案、以及多個(gè)第二連接圖案，絕緣層介于第一連接圖案與第二連接圖案之間，第二連接圖案與第一連接圖案相交并沿著第二方向連接第二感測(cè)圖案。
[0014]另一方面為一種制造觸摸屏面板的方法，該方法包括:在襯底上形成導(dǎo)電層;通過(guò)經(jīng)由第一掩模工藝圖案化第一導(dǎo)電層而形成多個(gè)第一連接圖案;通過(guò)第二掩模工藝將絕緣層形成為線形狀，絕緣層沿著與第一連接圖案相交的方向與多個(gè)第一連接圖案重疊并暴露第一連接圖案的兩端;形成在第一方向上通過(guò)第一連接圖案連接的多個(gè)第一感測(cè)圖案、在絕緣層之上形成與第一連接圖案相交的多個(gè)第二連接圖案、以及通過(guò)第三掩模工藝形成在第二方向中通過(guò)第二連接圖案連接的多個(gè)第二感測(cè)圖案。
[0015]根據(jù)實(shí)施方式，該方法可包括:將導(dǎo)電層形成為包括至少一個(gè)不透明或半透明層；以及通過(guò)圖案化導(dǎo)電層來(lái)形成包括至少一個(gè)不透明或半透明層的第一連接圖案。
[0016]根據(jù)實(shí)施方式，該方法可包括:使用第一連接圖案作為對(duì)準(zhǔn)鍵而圖案化絕緣層。
[0017]根據(jù)實(shí)施方式，該方法可包括:將導(dǎo)電層形成為堆疊結(jié)構(gòu)，該堆疊結(jié)構(gòu)包括由透明導(dǎo)電材料形成的第一導(dǎo)電層以及由金屬材料形成的、形成于第一導(dǎo)電層之上的第二導(dǎo)電層;通過(guò)使用單個(gè)掩模一次性地圖案化第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層而形成第一連接圖案，其中每個(gè)第一連接圖案包括透明導(dǎo)電層以及金屬層，該金屬層在透明導(dǎo)電層的上部上形成于透明導(dǎo)電層所形成的區(qū)域的內(nèi)部中。
[0018]根據(jù)實(shí)施方式，該方法可包括:使用第一連接圖案的金屬層作為對(duì)準(zhǔn)鍵來(lái)形成絕緣層，該絕緣層完全地覆蓋金屬層；以及將絕緣層圖案化為暴露透明導(dǎo)電層的兩端。
[0019]根據(jù)實(shí)施方式，該方法可包括:通過(guò)第三掩模工藝一次性地圖案化第一感測(cè)圖案、第二感測(cè)圖案以及第二連接圖案。
[0020]另一方面為一種觸摸屏面板，該觸摸屏面板包括:襯底；多個(gè)第一感測(cè)電極，在第一方向中形成于襯底之上；多個(gè)第二感測(cè)電極，在第二方向中形成于襯底之上；以及至少一個(gè)絕緣層，形成于第一感測(cè)電極和第二感測(cè)電極之間的相交處，其中絕緣層具有在第一方向和第二方向中的一個(gè)方向中延伸并與第一感測(cè)電極或第二感測(cè)電極相交的線形狀。
[0021 ] 在示例性實(shí)施方式中，至少一個(gè)絕緣層包括多個(gè)絕緣層，多個(gè)絕緣層中的每個(gè)具有在第二方向中延伸的線形狀，其中多個(gè)絕緣層在第一方向中以預(yù)定的間隔布置，以及其中多個(gè)絕緣層中的每個(gè)與第一感測(cè)電極相交。第一感測(cè)電極和第二感測(cè)電極中的至少一個(gè)可具有網(wǎng)的形狀。多個(gè)第一感測(cè)電極中的每個(gè)可包括在第一方向中布置的多個(gè)第一感測(cè)圖案；以及在第一方向中連接第一感測(cè)圖案的多個(gè)第一連接圖案。
[0022]在示例性實(shí)施方式中，第一連接圖案介于襯底和絕緣層之間并包括至少一個(gè)不透明或半透明層。第一連接圖案可具有堆疊結(jié)構(gòu)，該堆疊結(jié)構(gòu)包括形成于絕緣層之下的金屬層以及形成于金屬層之下的透明導(dǎo)電層。金屬層可具有比透明導(dǎo)電層的寬度小的寬度并且可形成于透明導(dǎo)電層所形成的區(qū)域的內(nèi)部中，其中絕緣層i)完全地覆蓋金屬層，ii)不覆蓋透明導(dǎo)電層的兩端，以及iii)與第一連接圖案相交。
[0023]在示例性實(shí)施方式中，第一連接圖案包括介于襯底和絕緣層之間的至少一個(gè)金屬層，其中絕緣層與金屬層相交并且不覆蓋金屬層的兩端。多個(gè)第二感測(cè)電極中的每個(gè)可包括在第二方向中布置的多個(gè)第二感測(cè)圖案；以及與第一連接圖案相交并在第二方向中連接第二感測(cè)圖案的多個(gè)第二連接圖案，其中絕緣層介于第一連接圖案和第二連接圖案之間。
[0024]另一方面為一種制造觸摸屏面板的方法，該方法包括:在襯底上形成導(dǎo)電層;通過(guò)第一掩模工藝圖案化導(dǎo)電層，以形成多個(gè)第一連接圖案;通過(guò)第二掩模工藝形成至少一個(gè)絕緣層，以便:1)與第一連接圖案重疊和相交，以及ii)暴露第一連接圖案的兩端，其中絕緣層具有線形狀;形成多個(gè)第一感測(cè)圖案，以便在第一方向中通過(guò)第一連接圖案連接;在絕緣層之上形成多個(gè)第二連接圖案，以與第一連接圖案相交；以及形成多個(gè)第二感測(cè)圖案，以便在第二方向中通過(guò)第二連接圖案連接，其中第一感測(cè)圖案和第二感測(cè)圖案以及第二連接圖案通過(guò)第三掩模工藝形成。
[0025]在示例性實(shí)施方式中，導(dǎo)電層包括至少一個(gè)不透明或半透明層，并且圖案化導(dǎo)電層的步驟包括:圖案化至少一個(gè)不透明或半透明層以形成第一連接圖案。該方法可進(jìn)一步包括:使用第一連接圖案作為對(duì)準(zhǔn)鍵來(lái)圖案化絕緣層。在襯底上形成導(dǎo)電層的步驟可包括:通過(guò)透明導(dǎo)電材料形成第一導(dǎo)電層；以及在第一導(dǎo)電層之上通過(guò)金屬材料形成第二導(dǎo)電層，以形成堆疊結(jié)構(gòu)，其中形成多個(gè)第一連接圖案的步驟包括:使用單個(gè)掩模一次性地圖案化第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層，以及其中多個(gè)第一連接圖案中的每個(gè)包括:透明導(dǎo)電層；以及金屬層，形成于透明導(dǎo)電層所形成所的區(qū)域的內(nèi)部中并且形成于透明導(dǎo)電層之上。
[0026]在示例性實(shí)施方式中，形成至少一個(gè)絕緣層的步驟包括:使用多個(gè)第一連接圖案中的每個(gè)的金屬層作為對(duì)準(zhǔn)鍵，其中絕緣層被圖案化為完全地覆蓋金屬層并暴露透明導(dǎo)電層的兩端。該方法可進(jìn)一步包括:通過(guò)第三掩模工藝一次性地圖案化第一感測(cè)圖案、第二感測(cè)圖案和第二連接圖案。
【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1為示出了根據(jù)實(shí)施方式的觸摸屏面板的平面圖。
[0028]圖2為示出了圖1中所示出的觸摸屏面板的主要部件的平面圖。
[0029]圖3為示出了圖2中所示出的絕緣層的修改示例的主要部件的平面圖。
[0030]圖4為示出了沿著圖2的1-1’的剖面的示例的剖視圖。
[0031 ]圖5為示出了沿著圖2的1-1 ’的剖面的另一示例的剖視圖。
[0032]圖6A至圖6D為依次示出了制造圖4中所示出的觸摸屏面板的方法的剖視圖。
[0033]圖7A至圖7D為依次示出了制造圖5中所示出的觸摸屏面板的方法的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034]在下文中將參照附圖更充分地描述示例性實(shí)施方式;然而，這些實(shí)施方式可以以不同的形式實(shí)施，且不應(yīng)解釋為限于本文所闡述的實(shí)施方式。相反，提供這些實(shí)施方式以使得本公開(kāi)將是徹底的和完整的，并且將向本領(lǐng)域技術(shù)人員充分傳達(dá)如何實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。
[0035]在附圖中，為了清楚起見(jiàn)可能放大了尺寸。將理解的是，當(dāng)元件被稱為在兩個(gè)元件“之間”時(shí)，該元件可以是這兩個(gè)元件之間的唯一元件，或者還可存在一個(gè)或多個(gè)中間元件。在全文中，相同的參考標(biāo)號(hào)表示相同的元件。
[0036]在以下詳細(xì)說(shuō)明中，僅通過(guò)說(shuō)明的方式只示出和描述某些示例性實(shí)施方式。如本領(lǐng)域技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到的，描述的實(shí)施方式可以以各種不同的方式修改，所有的修改方式均不背離描述的技術(shù)的精神或范圍。因此，認(rèn)為附圖和說(shuō)明實(shí)質(zhì)上是說(shuō)明性的而非限制性的。此外，當(dāng)元件被稱為位于另一元件“上”時(shí)，