半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法，用于對半導(dǎo)體處理工藝的各工藝步驟所產(chǎn)生的不同報(bào)警事件進(jìn)行相應(yīng)的處理，所述報(bào)警處理方法包括對于每一個所述報(bào)警事件根據(jù)不同的所述工藝步驟設(shè)定對應(yīng)的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報(bào)警事件所對應(yīng)的組別不完全相同；根據(jù)發(fā)生報(bào)警事件的工藝步驟獲得該報(bào)警事件所對應(yīng)的組別；以及以該組別所對應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。本發(fā)明還提供了一種報(bào)警處理系統(tǒng)，能夠根據(jù)實(shí)際情況在不同工藝步驟中對同一報(bào)警事件進(jìn)行區(qū)別對待，提高半導(dǎo)體工藝的成功率。
【專利說明】半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備控制【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)半導(dǎo)體工藝過程中發(fā)生設(shè)備運(yùn)作異常時，會發(fā)出報(bào)警信息并進(jìn)行相應(yīng)處理，從而達(dá)到維護(hù)工藝安全、保護(hù)半導(dǎo)體設(shè)備的目的。目前，在半導(dǎo)體處理工藝中所采用的報(bào)警處理方法是通過一個數(shù)據(jù)庫文件設(shè)定每個報(bào)警信息所對應(yīng)的處理方式，由此當(dāng)發(fā)出報(bào)警信息時，根據(jù)該報(bào)警信息所對應(yīng)的處理方式處理。然而，這種處理方式的缺陷在于，不論任何情況下，同一報(bào)警信息產(chǎn)生后的處理方式是固定的。由于在半導(dǎo)體處理工藝的各個工藝步驟中，相同報(bào)警信息對工藝產(chǎn)生的影響不盡相同，因此若在不同工藝步驟中，均以相同的處理方式對待同一報(bào)警信息，例如終止工藝，則當(dāng)該報(bào)警信息對工藝步驟產(chǎn)生影響較小時，也會使工藝終止，不利于對設(shè)備的保護(hù)，更會造成生產(chǎn)損失、降低工藝的成功率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的主要目的旨在提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)在不同工藝步驟中對同一個報(bào)警事件進(jìn)行不同處理的方法，以降低異常情況帶來的損失，提高工藝的成功率。
[0004]為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法，用于對半導(dǎo)體處理工藝的各工藝步驟所產(chǎn)生的不同報(bào)警事件進(jìn)行相應(yīng)的處理，所述報(bào)警處理方法包括以下步驟:
[0005]S1:對于每一個所述報(bào)警事件根據(jù)不同的所述工藝步驟設(shè)定對應(yīng)的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報(bào)警事件所對應(yīng)的組別不完全相同；
[0006]S2:根據(jù)發(fā)生報(bào)警事件的工藝步驟獲得該報(bào)警事件所對應(yīng)的組別；以及
[0007]S3:以該組別所對應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。
[0008]優(yōu)選地，步驟SI進(jìn)一步包括:建立與所述半導(dǎo)體處理工藝的每一工藝步驟一一對應(yīng)的多個報(bào)警事件表，其中每一所述報(bào)警事件表記錄全部所述報(bào)警事件以及每一所述報(bào)警事件對應(yīng)的組別。
[0009]優(yōu)選地，步驟S2包括:
[0010]S21:在工藝菜單中針對每一所述工藝步驟設(shè)定第一參數(shù)和第二參數(shù)，所述第一參數(shù)用于表示對應(yīng)于該工藝步驟的報(bào)警事件表，所述第二參數(shù)用于表示全部的所述組別所對應(yīng)的處理方式；
[0011]S22:根據(jù)所述工藝菜單中針對發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第一參數(shù)獲得對應(yīng)的所述報(bào)警事件表；
[0012]S23:根據(jù)該報(bào)警事件表獲得該報(bào)警事件對應(yīng)的組別。
[0013]優(yōu)選地，步驟S2為根據(jù)針對所述工藝菜單中發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第二參數(shù)以該組別所對應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。[0014]優(yōu)選地，根據(jù)所述第二參數(shù)的設(shè)定，所述多個報(bào)警事件表中相同的組別所對應(yīng)的處理方式相同或不同。
[0015]優(yōu)選地，所述處理方式包括:忽略報(bào)警事件、暫停工藝步驟、終止工藝步驟和跳過工藝步驟。
[0016]本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理系統(tǒng)，用于對半導(dǎo)體處理工藝的各工藝步驟所產(chǎn)生的不同報(bào)警事件進(jìn)行相應(yīng)的處理。所述報(bào)警處理系統(tǒng)包括報(bào)警事件組別設(shè)定模塊，報(bào)警事件分析模塊和報(bào)警事件處理模塊，其中報(bào)警事件組別設(shè)定模塊用于對于每一個所述報(bào)警事件根據(jù)不同的所述工藝步驟設(shè)定對應(yīng)的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報(bào)警事件所對應(yīng)的組別不完全相同；報(bào)警事件分析模塊用于根據(jù)發(fā)生報(bào)警事件的工藝步驟獲得該報(bào)警事件所對應(yīng)的組別；報(bào)警事件處理模塊用于以該組別所對應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。
[0017]優(yōu)選地，所述報(bào)警事件組別設(shè)定模塊建立與所述半導(dǎo)體處理工藝的每一工藝步驟一一對應(yīng)的多個報(bào)警事件表，其中每一所述報(bào)警事件表記錄全部所述報(bào)警事件以及每一所述報(bào)警事件對應(yīng)的組別。
[0018]優(yōu)選地，所述報(bào)警事件分析模塊包括參數(shù)設(shè)定子模塊和報(bào)警事件組別獲取子模塊。其中參數(shù)設(shè)定子模塊用于在工藝菜單中針對每一所述工藝步驟設(shè)定第一參數(shù)和第二參數(shù)，所述第一參數(shù)用于表示對應(yīng)于該工藝步驟的報(bào)警事件表，所述第二參數(shù)用于表示全部的所述組別所對應(yīng)的處理方式；報(bào)警事件組別獲取子模塊用于根據(jù)所述工藝菜單中針對發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第一參數(shù)獲得對應(yīng)的所述報(bào)警事件表，并根據(jù)該報(bào)警事件表獲得該報(bào)警事件對應(yīng)的組別。
[0019]優(yōu)選地，所述報(bào)警事件處理模塊根據(jù)所述工藝菜單中針對發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第二參數(shù)以該組別所對應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。
[0020]優(yōu)選地，根據(jù)所述參數(shù)設(shè)定子模塊對所述第二參數(shù)的設(shè)定，所述多個報(bào)警事件表中相同的組別所對應(yīng)的處理方式相同或不同。
[0021]優(yōu)選地，所述處理方式包括:忽略報(bào)警事件、暫停工藝步驟、終止工藝步驟和跳過工藝步驟。
[0022]本發(fā)明所提出的半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法和系統(tǒng)，能夠根據(jù)實(shí)際情況在不同工藝步驟中對同一報(bào)警事件進(jìn)行區(qū)別對待，由此可降低異常情況帶來的損失，提高半導(dǎo)體工藝的成功率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1為本發(fā)明半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理系統(tǒng)的方塊圖；
[0024]圖2為本發(fā)明半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法的流程圖；
[0025]圖3為本發(fā)明半導(dǎo)體工藝的報(bào)警系統(tǒng)中多個報(bào)警事件表的示意圖；
[0026]圖4為本發(fā)明半導(dǎo)體工藝的報(bào)警系統(tǒng)中工藝菜單中顯示第一參數(shù)和第二參數(shù)部分的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0028]圖1為本發(fā)明半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理系統(tǒng)的方塊圖；圖2為本發(fā)明半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法的流程圖，以下將結(jié)合圖1和圖2對本發(fā)明的半導(dǎo)體工藝的報(bào)警方法和系統(tǒng)進(jìn)行說明。
[0029]半導(dǎo)體工藝的報(bào)警系統(tǒng)包括報(bào)警事件組別設(shè)定模塊10，報(bào)警事件分析模塊20和報(bào)警事件處理模塊30。其中，報(bào)警事件分析模塊10用于執(zhí)行步驟SI，即對于每一個報(bào)警事件根據(jù)不同的工藝步驟設(shè)定對應(yīng)的組別；其中，不同的工藝步驟中，相同的報(bào)警事件所對應(yīng)的組別不完全相同。報(bào)警事件分析模塊20用于執(zhí)行步驟S2，即根據(jù)發(fā)生報(bào)警事件的工藝步驟獲得該報(bào)警事件所對應(yīng)的組別。報(bào)警事件處理模塊30用于執(zhí)行步驟S3，即以所獲得的組別所對應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。
[0030]具體來說，首先，報(bào)警事件組別設(shè)定模塊10建立多個報(bào)警事件表，每個報(bào)警事件表里包含了所有的報(bào)警事件以及每個報(bào)警事件所對應(yīng)的組別。在同一報(bào)警事件表中，不同報(bào)警事件所對應(yīng)的組別可以相同或不相同。同一報(bào)警事件表中不同報(bào)警事件所對應(yīng)的組別并不一定涵蓋全部的組別。
[0031]當(dāng)某一報(bào)警事件產(chǎn)生時，報(bào)警事件分析模塊20獲得該報(bào)警事件所對應(yīng)的組別。具體的，報(bào)警事件分析模塊20進(jìn)一步包括參數(shù)設(shè)定子模塊21和報(bào)警事件組別獲取子模塊22。參數(shù)設(shè)定子模塊21在工藝菜單中針對每一個工藝步驟設(shè)定第一參數(shù)和第二參數(shù)，其中第一參數(shù)是表示對于該工藝步驟選擇哪個報(bào)警事件表的參數(shù)，第二參數(shù)是表示與全部的組別對應(yīng)的處理方式的參數(shù)，處理方式可以包括忽略報(bào)警事件、暫停工藝步驟、終止工藝步驟和跳過工藝步驟等。根據(jù)第二參數(shù)的設(shè)定，在各個報(bào)警時間表中相同的組別所對應(yīng)的處理方式可以相同或者不相同。當(dāng)某一報(bào)警事件產(chǎn)生時，報(bào)警事件組別獲取子模塊13可以根據(jù)工藝菜單中針對當(dāng)前工藝步驟所設(shè)定的第一參數(shù)查詢當(dāng)前工藝步驟所對應(yīng)的報(bào)警事件表，再根據(jù)該報(bào)警事件表所記載的報(bào)警事件和組別的對應(yīng)關(guān)系，查表得到產(chǎn)生的報(bào)警事件所對應(yīng)的組別。然后，報(bào)警事件處理模塊30根據(jù)工藝菜單中針對當(dāng)前工藝步驟的第二參數(shù)得到該組別所對應(yīng)的處理方式，并以該處理方式進(jìn)行處理。
[0032]圖3和圖4為本發(fā)明一具體實(shí)施例的報(bào)警處理系統(tǒng)中包含多個報(bào)警事件表的配置文件示意圖以及工藝菜單中顯示第一參數(shù)和第二參數(shù)部分的示意圖，以下將結(jié)合圖3和圖4詳細(xì)說明本發(fā)明報(bào)警處理系統(tǒng)和方法的實(shí)現(xiàn)過程。
[0033]如圖3所示，報(bào)警事件組別設(shè)定模塊10建立了包含多個報(bào)警事件表的配置文件，每個報(bào)警事件表包含了全部報(bào)警事件“報(bào)警1”、“報(bào)警2”和“報(bào)警3”，以及每一個報(bào)警事件所對應(yīng)的組別。如在第一報(bào)警事件表TableO中，“報(bào)警I”對應(yīng)組別為Groupl，“報(bào)警2”對應(yīng)組別為GroUp5，“報(bào)警3”對應(yīng)組別為GroUp4。需要注意的是，多個報(bào)警事件表中，相同報(bào)警事件對應(yīng)的組別不完全相同。例如對于“報(bào)警I”來說，在報(bào)警事件表TableO，Tablel,Table2, Table3, Table4 中對應(yīng)的組別分別為 Groupl, Group3, Group5, Group5, Group7。請參考圖4，參數(shù)設(shè)定子模塊21在工藝菜單中針對每一個工藝步驟進(jìn)行第一參數(shù)和第二參數(shù)的設(shè)置。對于第一步的工藝步驟，根據(jù)第一參數(shù)的設(shè)定其對應(yīng)的報(bào)警事件表為TableO，根據(jù)第二參數(shù)的設(shè)定全部組別Groupl?GrouplO所對應(yīng)的處理方式。對于第二步的工藝步驟，其對應(yīng)的報(bào)警事件表為Table2，全部組別同樣具有各自對應(yīng)的處理方式。其中，根據(jù)第二參數(shù)的設(shè)定，不同報(bào)警事件表中的相同組別所對應(yīng)的處理方式可以相同，也可以不同。
[0034]假設(shè)當(dāng)半導(dǎo)體工藝運(yùn)行到第一步的工藝步驟時，有個名為“報(bào)警I”的報(bào)警事件產(chǎn)生。首先報(bào)警事件組別獲取子模塊22從工藝菜單中針對第一步工藝步驟所設(shè)定的第一參數(shù)查詢知道該第一步的工藝步驟對應(yīng)的報(bào)警事件表是TableO，然后再從配置文件中的TableO下找到名為“報(bào)警I”的報(bào)警事件所對應(yīng)的組別為Groupl組。最后報(bào)警事件處理模塊30再從工藝菜單中針對第一步工藝步驟所設(shè)定的第二參數(shù)獲得屬于Groupl組的處理方式為Ignore，則該報(bào)警處理模塊30采取的處理方式是忽略報(bào)警事件。
[0035]當(dāng)半導(dǎo)體工藝運(yùn)行到第二步的工藝步驟時，同樣的名為“報(bào)警I”的報(bào)警事件產(chǎn)生。報(bào)警事件組別獲取子模塊22從工藝菜單中針對第二步工藝步驟所設(shè)定的第一參數(shù)獲得報(bào)警事件表為Table2，再從配置文件中的Table2找到名為“報(bào)警I”的報(bào)警事件所對應(yīng)的組另IJ，為GroUp5組。最后報(bào)警事件處理模塊30從工藝菜單中針對第二工藝步驟所設(shè)定的第二參數(shù)獲得屬于GroUp5組的處理方式為Hold，則該報(bào)警處理模塊30采取的處理方式是暫停工藝。這就達(dá)到了對于同一報(bào)警事件“報(bào)警I”可以在第一步和第二部工藝步驟中進(jìn)行不同的處理。
[0036]綜上所述，本發(fā)明的半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法和報(bào)警處理系統(tǒng)，通過對不同工藝步驟中報(bào)警事件所對應(yīng)的組別進(jìn)行配置，使得相同報(bào)警事件對應(yīng)的組別不完全相同；再通過工藝菜單的參數(shù)設(shè)定對每個組別的處理方式進(jìn)行配置，由此可實(shí)現(xiàn)根據(jù)實(shí)際情況在不同工藝步驟中對同一報(bào)警事件進(jìn)行區(qū)別對待，從而降低異常情況帶來的損失、提高半導(dǎo)體工藝的成功率。
[0037]雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然所述諸多實(shí)施例僅為了便于說明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動與潤飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書所述為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法，用于對半導(dǎo)體處理工藝的各工藝步驟所產(chǎn)生的不同報(bào)警事件進(jìn)行相應(yīng)的處理，其特征在于，所述報(bào)警處理方法包括: S1:對于每一個所述報(bào)警事件根據(jù)不同的所述工藝步驟設(shè)定對應(yīng)的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報(bào)警事件所對應(yīng)的組別不完全相同； 52:根據(jù)發(fā)生報(bào)警事件的工藝步驟獲得該報(bào)警事件所對應(yīng)的組別；以及 53:以該組別所對應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的報(bào)警處理方法，其特征在于，步驟SI包括:建立與所述半導(dǎo)體處理工藝的每一工藝步驟一一對應(yīng)的多個報(bào)警事件表，其中每一所述報(bào)警事件表記錄全部所述報(bào)警事件以及每一所述報(bào)警事件對應(yīng)的組別。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的報(bào)警處理方法，其特征在于，步驟S2包括: S21:在工藝菜單中針對每一所述工藝步驟設(shè)定第一參數(shù)和第二參數(shù)，所述第一參數(shù)用于表示對應(yīng)于該工藝步驟的報(bào)警事件表，所述第二參數(shù)用于表示全部的所述組別所對應(yīng)的處理方式； S22:根據(jù)所述工 藝菜單中針對發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第一參數(shù)獲得對應(yīng)的所述報(bào)警事件表； S23:根據(jù)該報(bào)警事件表獲得該報(bào)警事件對應(yīng)的組別。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的報(bào)警處理方法，其特征在于，步驟S3為根據(jù)針對所述工藝菜單中發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第二參數(shù)以該組別所對應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的報(bào)警處理方法，其特征在于，根據(jù)所述第二參數(shù)的設(shè)定，所述多個報(bào)警事件表中相同的組別所對應(yīng)的處理方式相同或不同。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的報(bào)警處理方法，其特征在于，所述處理方式包括:忽略報(bào)警事件、暫停工藝步驟、終止工藝步驟和跳過工藝步驟。
7.一種半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理系統(tǒng)，用于對半導(dǎo)體處理工藝的各工藝步驟所產(chǎn)生的不同報(bào)警事件進(jìn)行相應(yīng)的處理，其特征在于，所述報(bào)警處理系統(tǒng)包括: 報(bào)警事件組別設(shè)定模塊，用于對于每一個所述報(bào)警事件根據(jù)不同的所述工藝步驟設(shè)定對應(yīng)的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報(bào)警事件所對應(yīng)的組別不完全相同； 報(bào)警事件分析模塊，用于根據(jù)發(fā)生報(bào)警事件的工藝步驟獲得該報(bào)警事件所對應(yīng)的組別；以及 報(bào)警事件處理模塊，用于以該組別所對應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的報(bào)警處理系統(tǒng)，其特征在于，所述報(bào)警事件組別設(shè)定模塊建立與所述半導(dǎo)體處理工藝的每一工藝步驟一一對應(yīng)的多個報(bào)警事件表，其中每一所述報(bào)警事件表記錄全部所述報(bào)警事件以及每一所述報(bào)警事件對應(yīng)的組別。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的報(bào)警處理系統(tǒng)，其特征在于，所述報(bào)警事件分析模塊包括: 參數(shù)設(shè)定子模塊，用于在工藝菜單中針對每一所述工藝步驟設(shè)定第一參數(shù)和第二參數(shù)，所述第一參數(shù)用于表示對應(yīng)于該工藝步驟的報(bào)警事件表，所述第二參數(shù)用于表示全部的所述組別所對應(yīng)的處理方式；以及 報(bào)警事件組別獲取子模塊，用于根據(jù)所述工藝菜單中針對發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第一參數(shù)獲得對應(yīng)的所述報(bào)警事件表，并根據(jù)該報(bào)警事件表獲得該報(bào)警事件對應(yīng)的組別。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的報(bào)警處理系統(tǒng)，其特征在于，所述報(bào)警事件處理模塊根據(jù)所述工藝菜單中針對發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第二參數(shù)以該組別所對應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的報(bào)警處理系統(tǒng)，其特征在于，根據(jù)所述參數(shù)設(shè)定子模塊對所述第二參數(shù)的設(shè)定，所述多個報(bào)警事件表中相同的組別所對應(yīng)的處理方式相同或不同。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的報(bào)警處理系統(tǒng)，其特征在于，所述處理方式包括:忽略報(bào)警事件、暫停工藝步驟、終止工藝步驟 和跳過工藝步驟。
【文檔編號】G08B21/00GK103794024SQ201410058336
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2014年2月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月20日
【發(fā)明者】張立超, 劉建濤, 鐘結(jié)實(shí), 王亞寧 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司