專利名稱：多層光盤及多層光盤的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光盤等的光記錄介質(zhì)及其制作方法，特別是涉及具有多個(gè)具備引導(dǎo)槽(Track Groove)的信息記錄層的多層光盤。
為了提高光盤的記錄密度，除了提高在一個(gè)信息記錄層的記錄密度以外，增加信息記錄層的層數(shù)也是有效的。在DVD中，有可將兩層信息記錄層所記錄的信息從一側(cè)讀出的再生專用的光盤。另外，具有兩層信息記錄層的記錄再生型光盤也正在被開發(fā)中。
參照

圖1來說明具有兩層信息記錄層的記錄再生型光盤的結(jié)構(gòu)。
圖1所示的記錄再生型光盤具有由在非晶形(Amorphous)和晶形之間光學(xué)特性變化的相位變化材料形成的兩層信息記錄層。在各信息記錄層，通過激光的照射，被稱做為「痕跡」的非晶型的圖形就被記錄在記錄層。
圖1的光盤由具有引導(dǎo)槽(Groove)的第1大致透明的基體材料201和具有引導(dǎo)槽的第2大致透明的基體材料205粘合而制成的。在第1大致透明的基體材料201上形成有半透明的第1信息記錄層202，在第2大致透明的基體材料205上形成有第2信息記錄層204。兩個(gè)基體材料201及205面向兩個(gè)面對的信息記錄層202及203而被配置著，并通過大致透明的粘合層203而被粘合在一起。粘合層203作為將第1信息記錄層202和第2信息記錄層204隔開的中間層而發(fā)揮其功能。
各信息記錄層202、204的引導(dǎo)槽根據(jù)一定的頻率而進(jìn)行蛇行(S狀行進(jìn))。在信息的記錄/再生時(shí)，檢測出具有該頻率的再生信號(hào)并生成時(shí)鐘信號(hào)。時(shí)鐘信號(hào)是為了使光盤的旋轉(zhuǎn)速度和光盤裝置的記錄/再生速度同步而被使用的。
關(guān)于這種多層光盤，從各信息記錄層返回到光頭的受光面的光量和從光盤裝置的光頭入射到光盤中的光量相比較則變得非常小。因此，從被分配到各信息記錄層的引導(dǎo)槽的蛇行得到的再生信號(hào)也就變得小。
另外，由于在每個(gè)信息記錄層的記錄膜的結(jié)構(gòu)(光透射率及反射率等)不同，因而再生信號(hào)的干擾電平與再生信號(hào)的振幅的比(CN比Carrierto Noise Ratio)在多個(gè)信息記錄層之間就會(huì)有很大的差異。在這種情況，根據(jù)在各信息記錄層的引導(dǎo)槽的蛇行形狀正確地再生時(shí)鐘信號(hào)就變得很難。
本發(fā)明的多層光盤，為具備有通過光頭進(jìn)行信息的記錄及/或再生的多個(gè)信息記錄層的多層光盤，所述多個(gè)信息記錄層通過中間層被層疊起來，各信息記錄層具有蛇行的引導(dǎo)槽，在所述多個(gè)信息記錄層當(dāng)中，至少有一層的信息記錄層的引導(dǎo)槽的形狀要素和其他信息記錄層的引導(dǎo)槽的形狀要素不同。
在理想的實(shí)施方式中，所述引導(dǎo)槽的形狀要素為沿著所述引導(dǎo)槽的光盤徑向的蛇行振幅、所述引導(dǎo)槽的深度及/或所述引導(dǎo)槽的側(cè)面傾斜角度。
在理想的實(shí)施方式中，對每個(gè)信息記錄層給予所述引導(dǎo)槽的形狀要素中的任何一個(gè)不同的值，通過這樣，就可以調(diào)節(jié)因所述引導(dǎo)槽的蛇行而產(chǎn)生的再生信號(hào)的振幅。
在理想的實(shí)施方式中，將與在所述多個(gè)信息記錄層的每層的、因所述引導(dǎo)槽的蛇行而產(chǎn)生的再生信號(hào)的振幅相關(guān)的CN比表示為相互大致等值的所述引導(dǎo)槽的形狀要素進(jìn)行調(diào)節(jié)，通過這樣，就可以在信息記錄層之間將CN比的不一致調(diào)節(jié)到30％以內(nèi)。
在理想的實(shí)施方式中，所述引導(dǎo)槽的蛇行包括根據(jù)時(shí)鐘信號(hào)再生時(shí)所使用的大致單一的周期而進(jìn)行振動(dòng)的基本頻率成分。
在理想的實(shí)施方式中，所述引導(dǎo)槽的蛇行根據(jù)副信息表示不同的形狀，包括比所述基本頻率成分要高的頻率成分。
在理想的實(shí)施方式中，所述副信息包括表示光盤上的地址的位置信息。
在理想的實(shí)施方式中，所述引導(dǎo)槽的蛇行形狀包括正弦波及/或大致呈矩形波形的組合。
在理想的實(shí)施方式中，所述大致呈矩形波形的蛇行振幅被設(shè)定為比正弦波的蛇行振幅還要大。
本發(fā)明的多層光盤制作方法的特征為準(zhǔn)備多個(gè)印模的校對環(huán)規(guī)工序，和采用所述多個(gè)印模制作復(fù)錄所希望的圖形的基體材料、具備有包含形成可記錄再生信息記錄層的復(fù)制工序的多個(gè)信息記錄層，所述校對環(huán)規(guī)工序?yàn)橹谱髯鳛橛糜谥谱魉龆鄠€(gè)信息記錄層的多個(gè)印模的，具備對每個(gè)信息記錄層規(guī)定至少一個(gè)不同的形狀要素的引導(dǎo)槽的形狀的印模。
在理想的實(shí)施方式中，所述校對環(huán)規(guī)工序包括準(zhǔn)備被涂抹感光性材料的多個(gè)基板的工序、通過由記錄光照射所述感光性材料的所選擇的區(qū)域，形成包括蛇行的引導(dǎo)槽的圖形的潛像的記錄工序、通過對所述感光性材料進(jìn)行顯像，制作具有所述圖形的多個(gè)原盤的顯像工序、根據(jù)所述多個(gè)原盤制作所述多個(gè)印模的工序，在所述記錄工序里，通過在每個(gè)基板上將沿著所述記錄光的光盤徑向的偏向量進(jìn)行變化，使所述引導(dǎo)槽的蛇行量在每個(gè)信息記錄層發(fā)生變化。
在理想的實(shí)施方式中，所述校對環(huán)規(guī)工序包括準(zhǔn)備被涂抹感光性材料的多個(gè)基板的工序、通過由記錄光來照射所述感光性材料的所選擇的區(qū)域，形成包括蛇行的引導(dǎo)槽的圖形的潛像的記錄工序、通過對所述感光性材料進(jìn)行顯像，制作具有所述圖形的多個(gè)原盤的顯像工序、根據(jù)所述多個(gè)原盤制作所述多個(gè)印模的工序，在所述記錄工序里，在每個(gè)所述多個(gè)印模中改變所述感光性材料的厚度。
在理想的實(shí)施方式中，所述校對環(huán)規(guī)工序包括準(zhǔn)備被涂抹感光性材料的多個(gè)基板的工序、通過由記錄光來照射所述感光性材料的所選擇的區(qū)域，形成包括蛇行的引導(dǎo)槽的圖形的潛像的記錄工序、通過對所述感光性材料進(jìn)行顯像，制作具有所述圖形的多個(gè)原盤的顯像工序、根據(jù)所述多個(gè)原盤制作所述多個(gè)印模的工序，在每個(gè)所述多個(gè)印模中改變所述引導(dǎo)槽的側(cè)面傾斜角度。
在理想的實(shí)施方式中，在所述顯像工序之后，通過對所述原盤的加熱處理，改變所述引導(dǎo)槽的側(cè)面傾斜角度。
在理想的實(shí)施方式中，在所述校對環(huán)規(guī)工序之后，在所述復(fù)制工序之前，通過對所述印模進(jìn)行等離子處理，改變所述引導(dǎo)槽的側(cè)面傾斜角度。
在理想的實(shí)施方式中，在所述等離子處理中使用氬及/或氧。
在理想的實(shí)施方式中，在所述記錄工序中，根據(jù)正弦波形和矩形波形組合的圖形來偏轉(zhuǎn)所述記錄光。
在理想的實(shí)施方式中，在所述正弦波形部和所述矩形波形部之間使所述記錄光的偏轉(zhuǎn)量發(fā)生變化。
圖2為說明在本發(fā)明的多層光盤中的引導(dǎo)槽的示意圖。
圖3為表示上述引導(dǎo)槽的詳細(xì)狀態(tài)的圖。
圖4為表示本發(fā)明的多層光盤的第1實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖5為表示第1實(shí)施例的引導(dǎo)槽的蛇行圖形的俯視圖。
圖6為表示第1實(shí)施例的引導(dǎo)槽的蛇行圖形的立體圖。
圖7為表示第1實(shí)施例的多層光盤的制作方法的工序剖面圖。
圖8為表示第1實(shí)施例的第1復(fù)制工序的工序剖面圖。
圖9為說明第1實(shí)施例的第2復(fù)制工序的工序剖面圖。
圖10為表示本發(fā)明的多層光盤的第2實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖11為表示引導(dǎo)槽的深度和信號(hào)振幅的關(guān)系的圖表。
圖12為表示本發(fā)明的多層光盤的第3實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖13為表示引導(dǎo)槽的其他例的俯視圖。
圖14(a)為表示擺動(dòng)圖形的要素的俯視圖，圖14(b)為表示將上述要素進(jìn)行組合而形成的4個(gè)種類的擺動(dòng)圖形的俯視圖。
圖15為表示依據(jù)引導(dǎo)槽的擺動(dòng)、根據(jù)振幅變化的擺動(dòng)信號(hào)可以識(shí)別擺動(dòng)圖形的種類的裝置的基本結(jié)構(gòu)圖。
圖16為表示引導(dǎo)槽的擺動(dòng)圖形、擺動(dòng)信號(hào)及脈沖信號(hào)的波形圖。
圖17為表示根據(jù)擺動(dòng)信號(hào)來分離脈沖信號(hào)和時(shí)鐘信號(hào)的電路結(jié)構(gòu)圖。
首先，參照附圖，詳細(xì)地說明光盤的引導(dǎo)槽的結(jié)構(gòu)。在本發(fā)明的光盤介質(zhì)的記錄面1上，如圖2所示，引導(dǎo)槽2形成螺旋形。圖3擴(kuò)大表示引導(dǎo)槽2的一部分。在圖3中，未圖示的光盤中心位于下方，光盤徑向用箭形符號(hào)a來表示。箭形符號(hào)b表示在光盤上形成的記錄/再生光的光束點(diǎn)伴隨著光盤的旋轉(zhuǎn)而移動(dòng)的方向。在本說明書中，將與箭形符號(hào)a平行的方向稱作「光盤徑(徑向的)方向」，將與箭形符號(hào)b平行的方向稱做「引導(dǎo)方向」。
在將光盤上形成的激光光束點(diǎn)固定起來的坐標(biāo)系中，被激光光束照射的光盤部分(「光盤照射部」)向和箭形符號(hào)b相反的方向移動(dòng)。
在這里，就要考慮如圖3所示的X-Y坐標(biāo)。在本發(fā)明的光盤中，引導(dǎo)槽的側(cè)面2a、2b的Y坐標(biāo)位置伴隨著X坐標(biāo)的增加而進(jìn)行周期性的變化。將這種引導(dǎo)槽側(cè)面2a、2b的周期性的位置位移稱作為引導(dǎo)槽2的「擺動(dòng)」或「顫動(dòng)」。箭形符號(hào)a方向的位移稱作「光盤外周側(cè)位移」，向箭形符號(hào)a反方向的位移稱作「光盤內(nèi)周側(cè)位移」。另外，在圖中用「T」來表示擺動(dòng)的一個(gè)周期。擺動(dòng)頻率與擺動(dòng)的一個(gè)周期T成反比例，與光盤上的激光光束的線速度為正比。當(dāng)槽中心的Y坐標(biāo)用X坐標(biāo)的函數(shù)fo(x)來表示時(shí)，fo(x)則比如用常數(shù)·sin(2πx/T)來表示。
在圖所示的例子中的引導(dǎo)槽2的寬幅沿著引導(dǎo)方向(箭形符號(hào)b)其寬幅是一樣的。為此，引導(dǎo)槽2的側(cè)面2a、2b的位置位移到光盤徑向(箭形符號(hào)a)的量與引導(dǎo)槽2的中心(虛線)位移到光盤徑向的量相等。為此，以下就將在引導(dǎo)槽的側(cè)面位置的光盤徑向位移簡單地表現(xiàn)為「引導(dǎo)槽的位移」或「引導(dǎo)槽的擺動(dòng)」。但是，本發(fā)明并不限定于引導(dǎo)槽2的中心和引導(dǎo)槽2的側(cè)面2a、2b與光盤徑向僅做同樣的擺動(dòng)的情況。引導(dǎo)槽2的寬幅也可以根據(jù)引導(dǎo)方向來進(jìn)行變化，引導(dǎo)槽2的中心也可以不擺動(dòng)，只讓引導(dǎo)槽的側(cè)面進(jìn)行擺動(dòng)。
本發(fā)明的光盤具備有多個(gè)信息記錄層，在各信息記錄層上形成有如上所述的蛇行引導(dǎo)槽。本發(fā)明的多層光盤的主要特征在于對于引導(dǎo)槽的形狀要素在各信息記錄層是不一樣的，有區(qū)別的。
以下，將引導(dǎo)槽具有的3個(gè)種類的形狀參數(shù)分別進(jìn)行調(diào)節(jié)的實(shí)施例具體地進(jìn)行說明。(實(shí)施例1)首先，參照圖4及圖5說明本發(fā)明的光盤的第1實(shí)施例。
本實(shí)施例的多層光盤，如圖4所示的那樣，為具備有通過光頭進(jìn)行信息的記錄及/或和再生的多個(gè)信息記錄層的多層光盤。多個(gè)信息記錄層通過中間層被層疊起來，各信息記錄層具有擺動(dòng)的引導(dǎo)槽的面及記錄層。圖5表示了引導(dǎo)槽的蛇行狀態(tài)。引導(dǎo)槽的寬幅為0.10～0.25μm左右，深度為10～25nm左右。
讓我們再參照一下圖4。更具體地來講，本實(shí)施例的光盤從配置光頭的一側(cè)開始順序地具備有聚碳酸鹽制的板(厚度為80μm)301、第1紫外線固化性樹脂層(厚度為10μm)302、半透明的第1信息記錄層(厚度為10μm)303、第2紫外線固化性樹脂層(厚度為20～40μm)306、第2信息記錄層304和聚碳酸鹽制的基體材料305。
第1紫外線固化性樹脂層302的引導(dǎo)間距和在大致為0.32μm的引導(dǎo)槽在內(nèi)周部形成有間距。間距的配置表現(xiàn)為不可重寫的信息。
第1信息記錄層303及第2信息記錄層304均含有以GeTeSb作為主要成分的相位變化記錄材料。
第2紫外線固化樹脂層306在與第1信息記錄層303和第2信息記錄層304相粘接的同時(shí)，起到作為隔開兩個(gè)信息記錄層的中間層的作用。
在聚碳酸鹽制的基體材料305的第1面上，間距大致為0.32μm的引導(dǎo)槽形成為螺旋狀和同心圓狀，在光盤內(nèi)周部配置有不可重寫的槽。
根據(jù)激光照射的第2信息記錄層304的記錄再生是通過第1信息記錄層303來實(shí)施的。為此，第1信息記錄層303具有對記錄再生用的激光大約50％的透射率。
還有，在圖中各層的厚度、引導(dǎo)槽的寬幅及深度等各種結(jié)構(gòu)要素的尺寸并不能反映實(shí)際的大小。例如，引導(dǎo)槽的深度只不過是記錄再生用的激光的波長的數(shù)分之一，但第2紫外線固化樹脂層306的厚度(也就是上下信息記錄層的間隔)是上述波長的數(shù)十倍至100倍左右。
本實(shí)施例的光盤的特征之一，就在于在第1信息記錄層303中的引導(dǎo)槽的蛇行量和在第2信息記錄層304中的引導(dǎo)槽的蛇行量不同。以下對這一點(diǎn)進(jìn)行詳細(xì)地說明。
本實(shí)施例的各信息記錄層303、304的引導(dǎo)槽如圖5所示的那樣根據(jù)單一頻率大致呈正弦波形狀地進(jìn)行蛇行。根據(jù)該頻率來規(guī)定時(shí)鐘信號(hào)的頻率。也就是說，引導(dǎo)槽的蛇行周期表現(xiàn)了時(shí)鐘信息。在這里，所謂引導(dǎo)槽的「蛇行量」，就是按照光盤徑向測定的蛇行的振幅。
上述的時(shí)鐘信息，是比如通過射出波長405nm的激光的口徑數(shù)為0.85的光頭來被再生的。具體來講，首先將光盤反射的激光通過面向引導(dǎo)方向的被左右兩分開的受光面來檢測出來，并作成兩個(gè)信號(hào)差(推挽信號(hào))。該推挽信號(hào)象激光的光點(diǎn)追隨引導(dǎo)槽那樣來進(jìn)行控制光傳感器用的。推挽信號(hào)包括依據(jù)引導(dǎo)槽的蛇行而生成的頻率成分，但蛇行的頻域因跟蹤控制比重要信號(hào)成分的頻域還要高。為此，對推挽信號(hào)如果進(jìn)行恰當(dāng)?shù)臑V波的話，就可以分離、檢測出時(shí)鐘信息。還有，在引導(dǎo)槽的途中設(shè)置有引導(dǎo)槽中斷部分，在該部分里可以記錄時(shí)鐘以外的信息。
在本實(shí)施例中，如圖6所示那樣，在兩個(gè)信息記錄層的引導(dǎo)槽的間距(引導(dǎo)間距)為相互相等的，但在第1信息記錄層303的引導(dǎo)槽的蛇行量W1和第2信息記錄層304的引導(dǎo)槽的蛇行量W2則相互不同。
作為比較例，將在各信息記錄層的引導(dǎo)槽的蛇行量W1及W2與引導(dǎo)槽的間距的大致4％相等的情況下，對于光頭射入的激光的強(qiáng)度，通過第1信息記錄層303進(jìn)行反射，通過光頭的受光面檢測出反射光強(qiáng)度的比率大致為7％，但通過第2信息記錄層304進(jìn)行反射，通過光頭的受光面檢測出反射光強(qiáng)度的比率大致為5％。
另外，在記錄再生第2信息記錄層304的時(shí)候，由于在激光經(jīng)過的途中存在有第1信息記錄層303，因而在通過第2信息記錄層304反射的激光信號(hào)內(nèi)就會(huì)因存在第1信息記錄層303而產(chǎn)生雜波。
這樣，當(dāng)來自第2信息記錄層304的反射光強(qiáng)度變低、雜波增加時(shí)，再生信號(hào)的CN比就會(huì)降低。要想根據(jù)引導(dǎo)槽的蛇行良好地讀出時(shí)鐘信息的話，就需要30dB以上的CN比。將引導(dǎo)槽的蛇行量W和CN比的關(guān)系在表1中進(jìn)行表示。
表1

根據(jù)表1我們知道，將在第2信息記錄層304的引導(dǎo)槽的蛇行量W2和在第1信息記錄層303的引導(dǎo)槽的蛇行量W1相等為10nm的情況下，由第2信息記錄層304再生的信號(hào)的CN比就會(huì)低于30dB。但是，將蛇行量W1為10nm、將蛇行量W2為15nm的時(shí)候，對于兩個(gè)信息記錄層所再生的信號(hào)就會(huì)得到33dB的CN比了。
還有，當(dāng)在各信息記錄層所反射的、通過光頭的受光面檢測出的光量根據(jù)信息記錄層有很大不同的話，在對不同的信息記錄層進(jìn)行記錄再生時(shí)，在兩個(gè)信息記錄層之間讓光頭的焦點(diǎn)移動(dòng)的時(shí)候就會(huì)產(chǎn)生問題。為了避免此問題，可以把與檢測出的光量為最小的信息記錄層相關(guān)的光量，調(diào)節(jié)到與檢測出的光量為最大的信息記錄層相關(guān)的光量的兩倍以下。
與因引導(dǎo)槽的蛇行而產(chǎn)生的再生信號(hào)的振幅相關(guān)的CN比的不一致，可以在信息記錄層之間調(diào)節(jié)到30％以內(nèi)。
下面，參照圖7，對本實(shí)施例的多層光盤的制作方法進(jìn)行說明。
首先，將第1玻璃基片(厚度比如為6mm左右)501及第2玻璃基片(厚度比如為6mm左右)502洗凈。然后準(zhǔn)備在第1玻璃基片501上涂上光刻膜(厚度10～40nm左右)的第1原盤503、和在第2玻璃基片502上涂上光刻膜(厚度10～40nm左右)的第2原盤504。在兩個(gè)玻璃基片501及502上形成的光刻膜的厚度大致為同樣。
接下來，在兩個(gè)原盤503及504的光刻膜上進(jìn)行復(fù)錄所定的圖形的記錄/顯影工序。具體地來講，將波長248nm的激光聚光在光刻膜上，然后將光刻膜曝光。讓原盤503及504旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，將在光刻膜上的激光的光束點(diǎn)位置向光盤徑向位移。該位移是通過偏轉(zhuǎn)激光的光束來進(jìn)行的。這樣，蛇行的引導(dǎo)槽的圖形就被復(fù)錄在光刻膜上。還有，通過調(diào)制激光的強(qiáng)度，也可以斷絕引導(dǎo)槽的形成，也可以控制引導(dǎo)槽的寬幅等的物理形狀。這樣，包括引導(dǎo)槽的所希望的圖形作為潛像被復(fù)錄到光刻膜上。在這之后，經(jīng)過顯像將所定的圖形給予到光刻膜上，從而制作第1主原盤505和第2主原盤506。
對各主原盤505、506，通過濺射法來堆積Ni薄膜。然后，將Ni薄膜作為電極來進(jìn)行Ni電鑄，形成厚度約為300μm的Ni層。將Ni層從各主原盤505、506上剝離后，將付著在Ni層上的光刻膜除去，研磨Ni層的后面。制作作為從該Ni層上沖切掉規(guī)定出光盤的內(nèi)徑及外徑的不要部分的光盤印模的第1印模507及第2印模508(校對環(huán)規(guī)工序)。
接下來，采用第1印模507來制作形成第1信息記錄層的第1基體材料509。參照圖8來說明該工序(第1復(fù)制工序)。
首先，通過注塑成型，采用第1印模507來制作聚碳酸鹽制的基體材料原版601。在基體材料原版601的表面復(fù)錄有第1印模507的凹凸圖形。在對基體材料原版601的圖形復(fù)錄面的上面通過濺射法堆積A1膜。
另一方面，準(zhǔn)備由厚度約80μm的聚碳酸鹽制作的圓形板602，將紫外線固化樹脂以環(huán)形體狀吐出到該圓形板602的上面。
之后，將基體材料原版601的A1膜形成的面與圓形板602面對地重疊起來。通過旋轉(zhuǎn)基體材料原版601，利用離心力將多余紫外線固化樹脂甩掉。通過這樣，將基體材料原版601和板602之間的紫外線固化樹脂的厚度調(diào)節(jié)到約10μm。
通過紫外線的照射使紫外線固化樹脂固化后，從基體材料原版601上將固化的紫外線固化樹脂及板602剝離。紫外線固化樹脂和板602膜形成一體化，構(gòu)成板基體材料603。在該板基體材料603的表面上，復(fù)錄有第1印模507的圖形。
按照第1電介質(zhì)體膜(厚度50～1000nm左右)604、記錄膜(厚度3～50nm左右)605、第2電介質(zhì)體膜(厚度50～1000nm左右)606及金屬反射膜(厚度0～40nm左右)607這一順序?qū)⑺鼈儗盈B在板基體材料603圖形復(fù)錄面上。還有，可以省略金屬反射膜607。第1電介質(zhì)體膜604及第2電介質(zhì)體膜606均由以ZnS為主要成分的材料形成，記錄膜605由以GeTeSb為主要成分的相位變化記錄材料形成。金屬反射膜607由Ag合金膜形成，對記錄再生用的激光具有半透明的厚度。構(gòu)成這些層疊膜(信息記錄層)的各層均通過濺射法被恰當(dāng)?shù)貙盈B起來。
通過濺射法形成的記錄膜605在成膜之后處于非晶形的狀態(tài)。為了將記錄膜初始化，將激光聚光起來對記錄膜605進(jìn)行照射，使記錄膜605結(jié)晶化。就這樣第1基體材料509被制作成。
接下來，采用上述第2印模508來制作第2基體材料510。參照圖9來說明該工序(第2復(fù)制工序)。
首先，通過注塑成型，采用第2印模508來制作厚度約為1.1mm的聚碳酸鹽制的基體材料701。在基體材料原版701的表面上復(fù)錄有第2印模508的凹凸圖形。
按照金屬反射膜705、第2電介質(zhì)體膜704、記錄膜703及第1電介質(zhì)體膜702這一順序，將它們層疊在基體材料原版701的圖形復(fù)錄面上。這些層疊膜(信息記錄膜)通過濺射法被恰當(dāng)?shù)匦纬伞?br> 金屬反射膜705由以A1為主要成分的金屬膜形成，第1電介質(zhì)體膜702及第2電介質(zhì)體膜704由以ZnS為主要成分的膜形成。記錄膜703由以GeTeSb為主要成分的相變化記錄材料形成。構(gòu)成這些層疊膜(信息記錄層)的各層均通過濺射法被恰當(dāng)?shù)貙盈B起來。
和對第1基體材料同樣，通過將激光聚光起來照射記錄膜703，使記錄膜結(jié)晶化、初始化。這樣，第2基體材料510被制作成。
再參照一下圖7。
將紫外線固化樹脂以同心圓狀吐出到形成第1基體材料509的信息記錄層的面上。然后，將形成第2信息記錄層付著的基體材料510的信息記錄層的面和第1信息記錄層付著的基體材料面對地重合起來。讓紫外線固化樹脂旋轉(zhuǎn)起來，通過離心力將多余的紫外線固化樹脂甩出，從而將紫外線固化樹脂的厚度調(diào)節(jié)到20～40μm。
通過紫外線的照射使紫外線固化樹脂固化，在粘合兩個(gè)基體材料的同時(shí)，形成隔開兩個(gè)信息記錄層的中間層。這樣，具有兩個(gè)信息記錄層的多層光盤511就被制作成了。
還有，在圖中，位于上層的信息記錄層的引導(dǎo)槽的位置和位于下層的信息記錄層的引導(dǎo)槽的位置被完全匹配地記載下來，但實(shí)際上并沒有這個(gè)必要。由于在每個(gè)信息記錄層都實(shí)施跟蹤控制，因而引導(dǎo)槽的位置就沒有必要在每個(gè)信息記錄層都具有特定的關(guān)系。
在本實(shí)施例中，有必要改變每個(gè)信息記錄層的引導(dǎo)槽的蛇行量。為此，根據(jù)在第1主原盤505上的光刻膜上記錄的引導(dǎo)槽的圖形的工序和在第2主原盤506上的光刻膜上記錄的引導(dǎo)槽的圖形的工序，從而使得激光的偏轉(zhuǎn)量不同。具體地來講，按照如圖6所示的蛇行量為W1的那樣對第1主原盤505進(jìn)行激光偏轉(zhuǎn)量的調(diào)節(jié)。對此，按照如圖1所示的蛇行量為W2(≠W1)的那樣對第2主原盤506進(jìn)行激光偏轉(zhuǎn)量的調(diào)節(jié)。這樣，就可以得到將引導(dǎo)槽的蛇行量調(diào)節(jié)到W1的第1基體材料509和將引導(dǎo)槽的蛇行量調(diào)節(jié)到W2的第2基體材料510。(實(shí)施例2)參照圖10來說明本發(fā)明的多層光盤的第2實(shí)施例。
本實(shí)施例的多層光盤的層疊結(jié)構(gòu)和第1實(shí)施例的多層光盤大致相同。但是，在本實(shí)施例的光盤方面，第1信息記錄層801的引導(dǎo)槽的深度D1和第2信息記錄層802的引導(dǎo)槽D2的深度相互不同。
圖11為表示將光頭射出的激光的波長定為λ的情況下、因引導(dǎo)槽的蛇行而產(chǎn)生的再生信號(hào)的振幅和引導(dǎo)槽的深度的關(guān)系的圖表。引導(dǎo)槽的深度被換算成光路長。從圖11的圖表就可以知道，再生信號(hào)的振幅在引導(dǎo)槽的深度為λ/8時(shí)最大，隨著深度接近λ/4，再生信號(hào)的振幅就會(huì)減少。第1信息記錄層的引導(dǎo)槽的深度D1及第2信息記錄層的引導(dǎo)槽的深度D2最好均達(dá)到λ/8以下。
在多層光盤的情況下，有第2信息記錄層802的再生信號(hào)里包含的雜波比第1信息記錄層801的再生信號(hào)里包含的雜波增大的傾向。當(dāng)引導(dǎo)槽的深度D1＝引導(dǎo)槽的深度D1的情況下，對于從光頭入射的激光的強(qiáng)度，在第1信息記錄層801進(jìn)行反射，在受光面檢測出的激光的強(qiáng)度的比例大約為7％，但在第2信息記錄層802進(jìn)行反射，在受光面檢測出的的激光的強(qiáng)度的比例大約為5％。
表2所表示的是采用射出波長405nm的激光的口徑數(shù)為0.85光頭進(jìn)行再生記錄時(shí)的CN比。必要的CN比應(yīng)為30dB以上。
表2

根據(jù)表2我們知道，對于在第1信息記錄層801的引導(dǎo)槽的深度D1，通過將第2信息記錄層802的引導(dǎo)槽的深度D2加深10～20％左右，兩個(gè)信息記錄層就可以同樣得到30dB以上幾乎相同的CN比了。還有，當(dāng)在信息記錄層所被反射的、在光頭的受光面檢測出的光量通過信息記錄層產(chǎn)生很大差異時(shí)，在對不同的信息記錄層進(jìn)行記錄再生時(shí)，在兩個(gè)信息記錄層之間將光頭的焦點(diǎn)移動(dòng)時(shí)便會(huì)產(chǎn)生問題。為了避免這一問題，理想的是把與被檢測出的光量最小的信息記錄層相關(guān)的光量調(diào)節(jié)到與被檢測出的光量最大的記錄層的光量的2倍以下。
下面，將本實(shí)施例的多層光盤的制作方法來進(jìn)行說明。該多層光盤的制作方法和第1實(shí)施例的多層光盤的制作方法大致相同。不同點(diǎn)在于將在第1原盤及第2原盤上形成的光刻膜的厚度分別作成D1及D2(≠D1)。
還有，將涂敷在各原盤上的光刻膜的厚度作成比所希望的引導(dǎo)槽深度還深，即可以在兩個(gè)原盤上將曝光工序的激光的強(qiáng)度進(jìn)行變化，也可以在每個(gè)信息記錄層將引導(dǎo)槽的深度進(jìn)行變化。(實(shí)施例3)參照圖12來說明本發(fā)明的多層光盤的第3實(shí)施例。
本實(shí)施例的多層光盤的層疊結(jié)構(gòu)也和第1實(shí)施例的多層光盤大致相同。但是，在本實(shí)施例中，第1信息記錄層1001的引導(dǎo)槽的側(cè)面的角度A1和第2信息記錄層1002的引導(dǎo)槽的側(cè)面的角度A2相互不同。
通過光頭被檢測出的引導(dǎo)槽的信號(hào)，在光頭的受光面受到引導(dǎo)槽的反射光和在引導(dǎo)槽的繞射的光的干擾。當(dāng)引導(dǎo)槽的側(cè)面的角度變大時(shí)，該干擾狀態(tài)就會(huì)發(fā)生變化，其結(jié)果和引導(dǎo)槽變淺具有同等的效果。
在引導(dǎo)槽的側(cè)面角度A1＝引導(dǎo)槽的側(cè)面角度A1的情況下，對于光頭入射的光的強(qiáng)度，在第1信息記錄層1001進(jìn)行反射、在受光面檢測出的強(qiáng)度的比率大致為7％，但是，在第2信息記錄層1002進(jìn)行反射、在受光面檢測出的強(qiáng)度的比率大致為5％。
表3表示了將在各信息記錄層的引導(dǎo)槽的深度作成17nm的情況下，采用射出波長405nm的激光的口徑數(shù)為0.85的光頭進(jìn)行記錄再生時(shí)的CN比。必要的CN比為30dB以上。
表3

如表3所示那樣，通過將在第1信息記錄層1001的引導(dǎo)槽的側(cè)面傾斜角度A1作成比第2信息記錄層1002的引導(dǎo)槽的側(cè)面傾斜角度A2大15度左右，來自第1信息記錄層1001的再生信號(hào)的CN比就會(huì)下降，從而就可以達(dá)到和來自第2信息記錄層1002的再生信號(hào)的CN比同樣的大小(33 dB)。這樣，關(guān)于來自兩個(gè)信息記錄層的再生信號(hào)，就可以得到30dB以上的大致相同的CN比。
還有，當(dāng)在信息記錄層被反射的、在光頭的受光面被檢測出的光量通過信息記錄層產(chǎn)生很大差異時(shí)，在對不同的信息記錄層進(jìn)行記錄再生時(shí)，在兩個(gè)信息記錄層之間將光頭的焦點(diǎn)移動(dòng)時(shí)便會(huì)產(chǎn)生問題。為了避免這一問題，理想的是把與被檢測出的光量最小的信息記錄層相關(guān)的光量調(diào)節(jié)到與被檢測出的光量最大的記錄層的光量的2倍以下。
下面，將本實(shí)施例的多層光盤的制作方法來進(jìn)行說明。本實(shí)施例的多層光盤的制作方法和第1實(shí)施例的多層光盤的制作方法大致相同。但是，在本實(shí)施例中，在對光刻膜的曝光顯像工序和電鍍工序之間，將主原盤在接近感光材料的熔點(diǎn)溫度(比如約120℃)進(jìn)行數(shù)分鐘的加熱。通過該加熱工序，光刻膜的表面溶解，根據(jù)表面張力使得光刻膜的表面變圓滑。通過調(diào)節(jié)該加熱處理的溫度及/和加熱處理的時(shí)間，就可以控制主原盤的引導(dǎo)槽的側(cè)面角度。
即使在印模制作完之后，通過將印模曝露在Ar氣體的等離子區(qū)中，也可以改變引導(dǎo)槽的側(cè)面角度。這是因?yàn)橥ㄟ^等離子區(qū)的處理，電場集中在引導(dǎo)槽的角部，就比其他的部分優(yōu)先被濺射，因此角部就變圓了。通過該處理的角部的形狀變化依賴于等離子區(qū)處理的時(shí)間及等離子區(qū)的狀態(tài)(離子密度及離子照射能量)。所以，通過在每個(gè)印模將等離子區(qū)處理的時(shí)間及生成等離子區(qū)用的施加功率進(jìn)行改變，就可以制作本實(shí)施例的多層光盤了。另外，也可以取代上述的Ar氣體，或采用加入Ar氣體的其他氣體(例如氧氣)來生成等離子區(qū)。
在以上的各實(shí)施例中，無論哪一個(gè)，為了降低第2信息記錄層的雜波都將引導(dǎo)槽的蛇行量、深度及引導(dǎo)槽的側(cè)面的角度這一形狀參數(shù)進(jìn)行了調(diào)整。但是，根據(jù)多層光盤的結(jié)構(gòu)及制作方法，也要考慮第1信息記錄層的雜波變大的問題。在這種情況，要想降低第1信息記錄層的雜波也可以調(diào)節(jié)引導(dǎo)槽的形狀參數(shù)。不僅在使引導(dǎo)槽的兩個(gè)側(cè)面同時(shí)蛇行的情況，在使各個(gè)側(cè)面獨(dú)立地蛇行或僅使一個(gè)側(cè)面蛇行的情況也可以。(實(shí)施例4)引導(dǎo)槽的蛇行也可以不僅只通過正弦波形來構(gòu)成。也可以將圖13所示的一部分變更為矩形波形。通過將被正弦波形區(qū)別的特征給予引導(dǎo)槽，就可以在引導(dǎo)槽上記錄時(shí)鐘以外的信息(地址信息等的副信息)。讓引導(dǎo)槽的矩形波形部的振量比正弦波形部的振量還大的話，就可以檢測出高品質(zhì)的副信息了。
要想將圖13所示的形狀給予引導(dǎo)槽的話，只要采用在比正弦波形的頻率10倍以上的頻域可偏轉(zhuǎn)激光的偏轉(zhuǎn)器(例如利用電光學(xué)效果的偏轉(zhuǎn)器)、將上述的光刻膜進(jìn)行曝光就可以。
以下，參照附圖，將通過數(shù)種類的位移圖形的組合所規(guī)定的引導(dǎo)槽的顫動(dòng)結(jié)構(gòu)的光盤進(jìn)行詳細(xì)地說明。
本實(shí)施例的引導(dǎo)槽的平面形狀并不是僅靠圖3及圖5所示的正弦波形來形成的，至少具有一部分和正弦波形不同的形狀部分。象這樣的擺動(dòng)槽的基本結(jié)構(gòu)，在本申請人的專利申請(專利申請2000-6593號(hào)、專利申請2000-187259號(hào)及專利申請2000-319009號(hào))的說明書里發(fā)表過。
參照圖14(a)及(b)。圖14(a)表示了構(gòu)成引導(dǎo)槽2的擺動(dòng)圖形的四個(gè)種類的基本要素。在圖14(a)中表示了柔和的正弦波部位100及101、將面向光盤外周的位移形成陡峭的矩形部位102及將面向光盤內(nèi)周的位移形成陡峭的矩形部位103。通過這些要素部分的組合，如圖14(b)所示的那樣就形成了四個(gè)種類的擺動(dòng)圖形104～107。
擺動(dòng)圖形104為沒有矩形部位的正弦波。因而將該圖形稱為「基本波形」。在本說明書中，所謂「正弦波」并不限定于完整的正弦波形，也廣泛地包括柔和的蛇行。
擺動(dòng)圖形105具有比正弦波形的位移還急劇地位移到光盤外周側(cè)的部分。因而將這種部分稱為「面向外周的位移矩形部」。
在實(shí)際的光盤中，由于對引導(dǎo)方向?qū)⒁龑?dǎo)槽的光盤的徑向位移很難垂直地實(shí)現(xiàn)，因此就不能形成完整的矩形。這樣，在實(shí)際的光盤里的矩形部的邊緣形狀如果對正弦波部位進(jìn)行相對的陡峭位移也可以，沒有必要為完整的矩形。從圖14(b)可以明白，在正弦波部位從最內(nèi)周側(cè)到最外周側(cè)的位移在擺動(dòng)周期的1/2的時(shí)間完成。在矩形部位同樣的位移如果在擺動(dòng)周期的比如1/4以下的時(shí)間完成的話，就可以充分地探測出這些形狀差了。
還有，擺動(dòng)圖形106賦有向內(nèi)周位移矩形特征，擺動(dòng)圖形107賦有「向內(nèi)周位移矩形」加之「向外周位移矩形」特征。
擺動(dòng)圖形104由于只依據(jù)基本波形被構(gòu)成的，因而其頻率成分由與擺動(dòng)周期T的倒數(shù)成比例的「基本頻率」來規(guī)定的。對此，來自其他擺動(dòng)圖形105的107的頻率成分，除基本頻率成分以外還具有高頻率成分。高頻率成分是通過在擺動(dòng)圖形的矩形部分的急劇的位移而發(fā)生的。
關(guān)于擺動(dòng)圖形105～107，采用圖3的坐標(biāo)系，用引導(dǎo)中心的Y坐標(biāo)×X坐標(biāo)的函數(shù)來表示的話，就可以用富里埃級(jí)數(shù)將這些函數(shù)展開。在被展開的富里埃級(jí)數(shù)里包括比sin(2πx/T)的振動(dòng)周期還要短的sin函數(shù)項(xiàng)(高次諧波成分)。但是，不管哪一個(gè)擺動(dòng)圖形均含有基本波形成分。在本說明書中，也有將基本波形的頻率稱為「擺動(dòng)頻率」的。上述4種擺動(dòng)圖形具有共同的擺動(dòng)頻率。
在本實(shí)施例中，通過調(diào)制擺動(dòng)頻率，就可以根據(jù)將上述數(shù)種類的擺動(dòng)圖形進(jìn)行組合，來替代將地址信息寫入引導(dǎo)槽2、而將含有地址信息的各種信息記錄到引導(dǎo)槽內(nèi)。具體來講，就是通過將上述4個(gè)種類的擺動(dòng)圖形104～107的任何一個(gè)分配到每個(gè)引導(dǎo)槽的所定區(qū)間，就可以比如事先將「B」、「S」、「O」及「1」等的4個(gè)符號(hào)記錄起來。在這里，「B」為表示塊信息，「S」為表示同步信息的?！窸」及「1」為表現(xiàn)通過那些組合的地址編號(hào)及其錯(cuò)誤檢出符號(hào)等。
下面，參照圖15及圖16來說明再生本發(fā)明的光盤根據(jù)引導(dǎo)槽的擺動(dòng)所記錄的信息的基本方法。
首先，參照圖15A及圖16。
圖15為表示再生裝置的主要部分的圖，圖3B為表示引導(dǎo)槽和再生信號(hào)的關(guān)系圖。
對于圖16所示的以模型方式來表示的引導(dǎo)槽1200，將再生用的激光束1201的光點(diǎn)沿箭形符號(hào)方向進(jìn)行掃描。激光束1201被光盤反射，形成反射光1202。反射光1202被圖15所示的再生裝置的檢波器1203、1204接收。檢波器1203、1204于對應(yīng)光盤半徑的方向被分開，并分別根據(jù)接收到的光的強(qiáng)度來輸出電壓。對于檢波器1203、1204的反射光1202的照射位置(受光位置)，對位于檢波器1203和檢波器1204之間的分離位置來講無論移動(dòng)到哪一側(cè)，在檢波器1203的輸出和檢波器1204的輸出之間就會(huì)產(chǎn)生差異(檢測出差動(dòng)推挽)。檢波器1203、1204的輸出被輸入到差動(dòng)電路1205，在差動(dòng)電路1205中進(jìn)行減法運(yùn)算。其結(jié)果，就可以根據(jù)引導(dǎo)槽1200的擺動(dòng)形狀得到信號(hào)(擺動(dòng)信號(hào))1206。擺動(dòng)信號(hào)1206被輸入到高通濾波器(HPF)1207，在高通濾波器(HPF)1207中被進(jìn)行微分運(yùn)算。其結(jié)果，擺動(dòng)信號(hào)1206所包含的柔和的基本成分被衰減，從而得到了具有與陡峭傾斜的矩形波對應(yīng)的脈沖成分的脈沖信號(hào)1208。由圖16可知，脈沖信號(hào)1208的各脈沖的極性依存于引導(dǎo)槽1200的陡峭的位移的方向。為此，可以根據(jù)脈沖信號(hào)1208來識(shí)別引導(dǎo)槽1200所具有擺動(dòng)圖形。
下面參照圖17。圖17為表示圖16所示的擺動(dòng)信號(hào)1206所生成的脈沖信號(hào)1208和時(shí)鐘信號(hào)1209的電路結(jié)構(gòu)的例子圖。
在圖17的結(jié)構(gòu)例子中，擺動(dòng)信號(hào)1206被輸入第1帶通濾波器BPF1及第2帶通濾波器BPF2。這樣，第1帶通濾波器BPF1及第2帶通濾波器BPF2就分別生成了脈沖信號(hào)1208及時(shí)鐘信號(hào)1209。
將引導(dǎo)槽的擺動(dòng)頻率定為fw(Hz)的話，第1帶通濾波器BPF1就會(huì)由在4fw～6fw(比如5fw)的頻率具有增益(透射率)為峰值的特性的濾波器形成的。根據(jù)這種濾波器，從低頻率到峰值頻率比如在20dB/dec增益上升，在比峰值頻率還要高的高頻率區(qū)域(比如60dB/dec)增益就會(huì)理想地急劇地降低。第1帶通濾波器BPF1就可以根據(jù)擺動(dòng)信號(hào)1206恰當(dāng)?shù)厣杀硎疽龑?dǎo)槽擺動(dòng)的矩形變化部分的脈沖信號(hào)1208。
另一方面，第2帶通濾波器BPF2具有在所定的頻域(比如以擺動(dòng)頻率fw為中心包含0.5fw～1.5fw的頻域)增益高、在此以外的頻率增益小的濾波特性。象這樣的第2帶通濾波器BPF2就可以將具有對應(yīng)引導(dǎo)槽的擺動(dòng)頻率的頻率的正弦波信號(hào)生成為時(shí)鐘信號(hào)1209。
本實(shí)施例的引導(dǎo)槽，由于具有上述復(fù)雜的擺動(dòng)形狀，當(dāng)從兩層的信息記錄層的一方所再生的信號(hào)的CN比和另一方的再生信號(hào)的CN比相比較為降低時(shí)，不僅時(shí)鐘信號(hào)，地址信息等的再生也就不能正確地進(jìn)行了。
為此，關(guān)于實(shí)施例1～3如所說明的那樣，通過在每一層調(diào)節(jié)引導(dǎo)槽的形狀要素，就可以使再生信號(hào)的CN比達(dá)到最適合狀態(tài)。
另外，本發(fā)明不限定于具有兩個(gè)信息記錄層的多層光盤，也適用于具有三個(gè)以上的信息記錄層的多層光盤。還有，引導(dǎo)槽的形狀要素不限定于上述的情況，在每個(gè)信息記錄層變化各形狀要素的方法也不限定于上述的情況。再有，也可以將實(shí)施例1～3所說明的多個(gè)形狀要素的組合在每個(gè)信息記錄層進(jìn)行變化。
根據(jù)本發(fā)明，在引導(dǎo)槽的蛇行時(shí)記錄信息的類型的多層光盤方面，由于在每個(gè)信息記錄層改變根據(jù)引導(dǎo)槽蛇行的信號(hào)的調(diào)制度、即讓對于反射光量的信號(hào)的振幅發(fā)生變化的主要原因(引導(dǎo)槽型的形狀要素)，因而，就可以將通過引導(dǎo)槽的蛇行各信息記錄層所記錄的信息在良好的CN比狀態(tài)下讀出。
權(quán)利要求
1.一種多層光盤，具有通過光頭進(jìn)行信息的記錄及/或再生的多個(gè)信息記錄層，其特征在于所述多個(gè)信息記錄層通過介入中間層被疊層，各信息記錄層具有蛇行的引導(dǎo)槽，在所述多個(gè)信息記錄層中，至少在一個(gè)信息記錄層的引導(dǎo)槽的形狀要素與在其他信息記錄層的引導(dǎo)槽的形狀要素不同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層光盤，其特征在于所述引導(dǎo)槽的形狀要素為沿著所述引導(dǎo)槽的光盤徑向的蛇行振幅、所述引導(dǎo)槽的深度及/或所述引導(dǎo)槽的側(cè)面傾斜角度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多層光盤，其特征在于對于每個(gè)信息記錄層的所述引導(dǎo)槽的任意形狀要素付與不同的值，由此來調(diào)節(jié)因引導(dǎo)槽的蛇行而產(chǎn)生的再生信號(hào)的振幅。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多層光盤，其特征在于調(diào)節(jié)所述引導(dǎo)槽的形狀要素，使在所述多個(gè)信息記錄層的各層的、與因所述引導(dǎo)槽的蛇行而產(chǎn)生的再生信號(hào)的振幅相關(guān)的CN比，表示為相互大致相等的值，由此，在信息記錄層之間將CN比的不一致調(diào)節(jié)到30％以內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任意一項(xiàng)所述的多層光盤，其特征在于所述引導(dǎo)槽的蛇行包括用于時(shí)鐘信號(hào)再生的，以大致單一的周期進(jìn)行振動(dòng)的基本頻率成分。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多層光盤，其特征在于所述引導(dǎo)槽的蛇行包括根據(jù)副信息表示不同形狀的、比所述基本頻率成分高的頻率成分。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多層光盤，其特征在于所述副信息包含表示光盤上的地址的位置信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多層光盤，其特征在于所述引導(dǎo)槽的蛇行形狀包含正弦波及大致矩形波的組合。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多層光盤，其特征在于所述矩形波形的蛇行振幅被設(shè)定為大于正弦波的蛇行振幅。
10.一種多層光盤的制作方法，是一種包括準(zhǔn)備多個(gè)印模的校對環(huán)規(guī)工序和制作使用所述多個(gè)印模復(fù)制所希望的圖形的基體材料、形成能夠進(jìn)行記錄再生的信息記錄層的復(fù)制工序的具有多個(gè)信息記錄層的多層光盤的制作方法，其特征在于所述校對環(huán)規(guī)工序制作出作為用于制作所述多個(gè)信息記錄層的多個(gè)印模的，具有在每個(gè)信息記錄層中至少規(guī)定一個(gè)不同的形狀要素的引導(dǎo)槽的形狀的印模。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的多層光盤的制造方法，其特征在于所述校對環(huán)規(guī)工序包括準(zhǔn)備涂敷有感光材料的多個(gè)基片的工序、通過由記錄光照射所述感光性材料的被選擇的區(qū)域，形成包含蛇行引導(dǎo)槽的圖形的潛像的記錄工序、通過對所述感光性材料進(jìn)行顯像，制作具有所述圖形的多個(gè)原盤的顯像工序、根據(jù)所述多個(gè)原盤制造所述多個(gè)印模的工序，在所述記錄工序中，通過在每個(gè)基片上變化沿著所述記錄光的光盤徑向的偏轉(zhuǎn)量，改變在每個(gè)信息記錄層上的所述引導(dǎo)槽的蛇行量。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的多層光盤的制造方法，其特征在于所述校對環(huán)規(guī)工序包括準(zhǔn)備涂敷有感光材料的多個(gè)基片的工序、通過由記錄光照射所述感光性材料的被選擇的區(qū)域，形成包含蛇行引導(dǎo)槽的圖形的潛像的記錄工序、通過對所述感光性材料進(jìn)行顯像，制作具有所述圖形的多個(gè)原盤的顯像工序、根據(jù)所述多個(gè)原盤制造所述多個(gè)印模的工序，在所述記錄工序中，對每個(gè)所述多個(gè)印模改變所述感光性材料的厚度。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的多層光盤的制造方法，其特征在于所述校對環(huán)規(guī)工序包括準(zhǔn)備涂敷有感光材料的多個(gè)基片的工序、通過由記錄光照射所述感光性材料的被選擇的區(qū)域，形成包含蛇行引導(dǎo)槽的圖形的潛像的記錄工序、通過對所述感光性材料進(jìn)行顯像，制作具有所述圖形的多個(gè)原盤的顯像工序、根據(jù)所述多個(gè)原盤制造所述多個(gè)印模的工序，對所述多個(gè)印模中的每一個(gè)印模改變所述引導(dǎo)槽的側(cè)面傾斜角度。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的多層光盤的制造方法，其特征在于在所述顯像工序之后，通過進(jìn)行對所述原盤的加熱處理來改變所述引導(dǎo)槽的側(cè)面傾斜角度。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的多層光盤的制造方法，其特征在于在所述校對環(huán)規(guī)工序之后，在所述復(fù)制工序之前，通過對所述印模進(jìn)行等離子處理來改變所述引導(dǎo)槽的側(cè)面傾斜角度。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的多層光盤的制造方法，其特征在于在所述等離子處理中使用氬及/或氧。
17.根據(jù)權(quán)利要求10至16的中任意一項(xiàng)所述的多層光盤的制造方法，其特征在于在所述記錄工序中，對應(yīng)正弦波形和矩形波形的組合圖形來偏轉(zhuǎn)所述記錄光。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的多層光盤的制造方法，其特征在于在所述正弦波形部和所述矩形波形部的之間變化所述記錄光的偏轉(zhuǎn)量。
全文摘要
一種具有通過光頭進(jìn)行信息的記錄及/或再生的多個(gè)信息記錄層的多層光盤。多個(gè)信息記錄層通過介入中間層形成疊層，各信息記錄層具有蛇行的引導(dǎo)槽。在多個(gè)信息記錄層當(dāng)中，至少有一個(gè)信息記錄層的引導(dǎo)槽的形狀要素(蛇行量W1、W2、引導(dǎo)槽的深度及/或引導(dǎo)槽的側(cè)面傾斜角度等)與其他信息記錄層的引導(dǎo)槽的形狀要素不同。由此，能夠從各信息記錄層再生良好的信號(hào)。
文檔編號(hào)G11B7/007GK1468428SQ01816673
公開日2004年1月14日 申請日期2001年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2000年10月3日
發(fā)明者阿部伸也 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社