專利名稱:備用線分配裝置、存儲(chǔ)器修補(bǔ)裝置、備用線分配方法、存儲(chǔ)器制造方法和程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種備用線分配裝置、存儲(chǔ)器修補(bǔ)裝置、備用線分配方法、存儲(chǔ)器制造
方法和程序。本發(fā)明特別涉及關(guān)于設(shè)置多條備用線的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等的存儲(chǔ)器,決定對(duì)哪 個(gè)失效線分配備用線的備用線分配裝置。
背景技術(shù):
目前已知有呈二維矩陣狀配置記憶單元的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器。在該半導(dǎo)體存儲(chǔ)器的制 造中,理想的是制造出所有記憶單元均正常動(dòng)作的存儲(chǔ)器。但是,因?yàn)榻鼛啄甑陌雽?dǎo)體存儲(chǔ) 器具有非常多的記憶單元,很難使所以記憶單元都正常。 另外,公知有一種在記憶單元的矩陣中的行方向或列方向的地址線上,預(yù)先形成 規(guī)定數(shù)量的備用線的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器。在該半導(dǎo)體存儲(chǔ)器中,利用備用線調(diào)換具有不良記憶 單元(失效位)的地址線,從而可以對(duì)具有不良記憶單元的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器進(jìn)行修補(bǔ)(例如, 參照專利文獻(xiàn)1)。 專利文獻(xiàn)1 :日本專利開平2-24899號(hào)公報(bào)。 可是,能成為半導(dǎo)體存儲(chǔ)器中的備用線的數(shù)量是有限的。因此,如果對(duì)有失效位的 地址線不能適當(dāng)?shù)胤峙鋫溆镁€,則有時(shí)無法修補(bǔ)全部失效位。但近幾年來的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器 具有非常多的地址線,故在對(duì)可修補(bǔ)所有失效位的備用線的分配解進(jìn)行檢測(cè)時(shí)需要花費(fèi)非 常長(zhǎng)的時(shí)間。因此,需要一種對(duì)可修補(bǔ)所有失效位的備用線的分配解進(jìn)行高效率檢測(cè)的方 法。 因此,為了解決上述問題,本發(fā)明的目的在于提供一種備用線分配裝置、存儲(chǔ)器修 補(bǔ)裝置、備用線分配方法、存儲(chǔ)器制造方法及程序。該目的是由權(quán)利要求書中的獨(dú)立權(quán)利要 求所記載的特征的組合而實(shí)現(xiàn)的。而從屬權(quán)利要求規(guī)定了本發(fā)明的更為有利的具體例子。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題,在本發(fā)明的第一實(shí)施方式中提供一種備用線分配裝置,該裝 置針對(duì)設(shè)有多條備用線的存儲(chǔ)器,決定對(duì)具有失效位的行方向的失效線及列方向的失效線 中的哪條失效線分配備用線的備用線分配裝置,其具有位計(jì)數(shù)部,針對(duì)各條失效線中包含 的各個(gè)失效位數(shù),將包含該失效位而且與該失效線不同方向的失效線具有的失效位的個(gè)數(shù) 作為所述正交失效位數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù),并在每個(gè)失效位中存儲(chǔ)上述正交失效位數(shù);加權(quán)計(jì)算部, 根據(jù)各條失效線中包含的失效位的正交失效位數(shù),計(jì)算各條失效線的加權(quán)系數(shù),并對(duì)每條 失效線存儲(chǔ)加權(quán)系數(shù);分配部,按照加權(quán)計(jì)算部計(jì)算的加權(quán)系數(shù)的大小關(guān)系,決定向哪條失 效線分配備用線。 在本發(fā)明的第二實(shí)施方式中,提供一種存儲(chǔ)器修補(bǔ)裝置,是修補(bǔ)設(shè)置了多條備用 線的存儲(chǔ)器的失效位的裝置,其具有備用線分配裝置,決定對(duì)上述存儲(chǔ)器中具有失效位的 行方向的失效線及列方向的失效線中的哪一個(gè)失效線分配備用線;以及,設(shè)定部,對(duì)上述存儲(chǔ)器設(shè)定備用線分配裝置所決定的分配,備用線分配裝置具有位計(jì)數(shù)部,對(duì)于各條失效線 中包含的各個(gè)失效位,將含該失效位而且與該失效線不同方向的失效線所具有的失效位的 個(gè)數(shù)作為正交失效位數(shù)而計(jì)數(shù),并對(duì)應(yīng)每個(gè)失效位存儲(chǔ)正交失效位數(shù);加權(quán)計(jì)算部,根據(jù)各 條失效線中包含的失效位的正交失效位數(shù),計(jì)算各條上述失效線的加權(quán)系數(shù),并對(duì)應(yīng)每條 失效線而存儲(chǔ)加權(quán)系數(shù);分配部,根據(jù)上述加權(quán)計(jì)算部計(jì)算的上述加權(quán)系數(shù)的大小關(guān)系,決 定對(duì)哪個(gè)失效線分配上述備用線。 在本發(fā)明的第三實(shí)施方式中,提供一種備用線分配方法,是對(duì)設(shè)置有多條備用線 的存儲(chǔ)器,決定對(duì)具有失效位的行方向的失效線及列方向的失效線中的哪個(gè)失效線分配上 述備用線的備用線分配方法,其中,針對(duì)各條上述失效線中包含的各個(gè)失效位數(shù),將包含該 失效位而且與該失效線不同的方向的失效線具有的失效位的個(gè)數(shù)作為所述正交失效位數(shù) 進(jìn)行計(jì)數(shù),并在每個(gè)上述失效位中存儲(chǔ)上述正交失效位數(shù);根據(jù)各條上述失效線中包含的 上述失效位的上述正交失效位數(shù),計(jì)算各條上述失效線的加權(quán)系數(shù),并對(duì)每條上述失效線 存儲(chǔ)上述加權(quán)系數(shù);根據(jù)上述加權(quán)系數(shù)的大小關(guān)系,決定向哪條上述失效線分配上述備用 線。 在本發(fā)明的第四實(shí)施方式提供一種存儲(chǔ)器制造方法,用于制造存儲(chǔ)器,包括如下 階段形成設(shè)有多條備用線的存儲(chǔ)器的階段;對(duì)于已形成的上述存儲(chǔ)器,決定對(duì)具有失效 位的行方向的失效線及列方向的失效線中的哪個(gè)失效線分配上述備用線;修補(bǔ)上述存儲(chǔ)器 的階段,在該階段中,針對(duì)各條上述失效線中包含的各個(gè)失效位,將包含該失效位而且與該 失效線不同方向的失效線具有的失效位的個(gè)數(shù)作為所述正交失效數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù),并在每個(gè)上 述失效位中存儲(chǔ)上述正交失效位數(shù);根據(jù)各條上述失效線中包含的上述失效位的上述正交 失效位數(shù),計(jì)算各條上述失效線的加權(quán)系數(shù),并對(duì)每條上述失效線存儲(chǔ)上述加權(quán)系數(shù);根據(jù) 上述加權(quán)系數(shù)的大小關(guān)系,決定向哪條上述失效線分配上述備用線。 本發(fā)明提供一種程序,是使計(jì)算機(jī)作為備用線分配裝置而發(fā)揮作用的程序,該備 用線分配裝置針對(duì)設(shè)有多條備用線的存儲(chǔ)器,決定對(duì)具有失效位的行方向的失效線及列 方向的失效線中的哪個(gè)失效線分配上述備用線,上述計(jì)算機(jī)通過執(zhí)行上述程序發(fā)揮以下功 能位計(jì)數(shù)部,針對(duì)各條上述失效線中包含的各個(gè)失效位數(shù),將包含該失效位而且與該失效 線不同的方向的失效線具有的失效位的個(gè)數(shù)作為所述正交失效位數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù),并在每個(gè)上 述失效位中存儲(chǔ)上述正交失效位數(shù);加權(quán)計(jì)算部,根據(jù)各條上述失效線中包含的上述失效 位的上述正交失效位數(shù),計(jì)算各條上述失效線的加權(quán)系數(shù),并對(duì)每條上述失效線存儲(chǔ)上述 加權(quán)系數(shù);分配部,按照上述加權(quán)計(jì)算部計(jì)算的上述加權(quán)系數(shù)的大小關(guān)系,決定向哪條上述 失效線分配上述備用線。 上述的發(fā)明的概要并未列舉出本發(fā)明必要的全部特征。這些特征群的輔助組合也 能成為本發(fā)明。
圖1表示對(duì)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)器40進(jìn)行測(cè)試的存儲(chǔ)器測(cè)試裝置10和修補(bǔ)存儲(chǔ)
器40失效位的存儲(chǔ)器修補(bǔ)裝置20的一例示意圖。 圖2表示備用線分配裝置100構(gòu)成的一例示意圖。 圖3表示存儲(chǔ)器40失效數(shù)據(jù)的一例示意圖。
圖4表示對(duì)備用線分配裝置100的處理進(jìn)行說明的一例示意圖。
圖5表示備用線分配裝置100的其他構(gòu)成例的示意圖。 圖6表示對(duì)圖5所示的備用線分配裝置100的處理進(jìn)行說明的一例示意圖。
圖7是圖1到圖6中所說明的備用線分配裝置100動(dòng)作的一例流程圖。
圖8表示圖7說明的備用線的分配處理S404的處理的一例流程圖。
圖9表示存儲(chǔ)器40的其他的失效數(shù)據(jù)的一例示意圖。
圖10表示備用線分配裝置100其他的構(gòu)成例的示意圖。
圖11表示提供給孤立失效檢測(cè)部150的失效數(shù)據(jù)位圖的一例示意圖。
圖12表示修補(bǔ)可否判斷部140的一部分的構(gòu)成例的示意圖。
圖13表示失效位的位圖的一例示意圖。 圖14表示本發(fā)明一實(shí)施方式涉及的存儲(chǔ)器制造方法的一例流程圖。
圖15表示本發(fā)明一實(shí)施方式涉及的計(jì)算機(jī)1900硬件構(gòu)成的一個(gè)例子。
附圖標(biāo)記說明 10、存儲(chǔ)器測(cè)試裝置,20、存儲(chǔ)器修補(bǔ)裝置,30、設(shè)定部,40、存儲(chǔ)器,100、線分配裝 置,110、位計(jì)數(shù)部,120、加權(quán)計(jì)算部,130、分配部,140、修補(bǔ)可否判斷部,142、第1乘法部, 144、第2乘法部,146、比較部,150、孤立失效檢測(cè)部,1900、計(jì)算機(jī),2000、 CPU,2010、 ROM, 2020、 RAM, 2030、通信接口 , 2040、硬盤驅(qū)動(dòng)器,2050、軟盤驅(qū)動(dòng)器,2060、 CD-ROM驅(qū)動(dòng)器, 2070、輸入輸出芯片,2080、顯示裝置,2082、主機(jī)/控制器,2084、輸入輸出控制器,2090、軟 盤,2095、 CD-ROM
具體實(shí)施例方式
下面通過發(fā)明的實(shí)施方式說明本發(fā)明,下面的實(shí)施方式并不限定權(quán)利要求的范 圍,而且在實(shí)施方式中所說明的特征的組合并不都是發(fā)明的解決手段所必須的。
圖1表示對(duì)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等的存儲(chǔ)器40進(jìn)行測(cè)試的存儲(chǔ)器測(cè)試裝置10和修補(bǔ)存 儲(chǔ)器40的失效位的存儲(chǔ)器修補(bǔ)裝置20的一例示意圖。存儲(chǔ)器測(cè)試裝置10對(duì)作為測(cè)試對(duì) 象的存儲(chǔ)器40的各記憶單元進(jìn)行測(cè)試其是否正常動(dòng)作。存儲(chǔ)器測(cè)試裝置IO,可以將表示存 儲(chǔ)器40各記憶單元是否為失效位的失效數(shù)據(jù)輸入線修補(bǔ)裝置20。存儲(chǔ)器40可以是2維矩 陣狀配置記憶單元的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器。同時(shí),在存儲(chǔ)器40中,針對(duì)記憶單元的矩陣的行方向 或列方向的地址線,分別預(yù)先設(shè)置有規(guī)定數(shù)量的備用線。 存儲(chǔ)器修補(bǔ)裝置20,具有備用線分配裝置100及設(shè)定部30。備用線分配裝置100, 從存儲(chǔ)器測(cè)試裝置10接收存儲(chǔ)器40的失效數(shù)據(jù)。同時(shí),備用線分配裝置100按照該失效數(shù) 據(jù)決定在存儲(chǔ)器40中具有失效位的行方向地址線(行方向失效線)及列方向地址線(列 方向失效線)中向哪個(gè)失效線分配備用線。在這里,所謂失效線,是指在行方向及列方向地 址線中具有失效位的地址線。設(shè)定部30,在存儲(chǔ)器40設(shè)定備用線分配裝置100所決定的備 用線的分配。比如,設(shè)定部30可以按照該備用線的分配,通過由激光等對(duì)存儲(chǔ)器40中的線 路進(jìn)行溶斷,在存儲(chǔ)器40中設(shè)定相應(yīng)的分配。根據(jù)這樣的處理,能制造實(shí)施了失效位修補(bǔ) 的存儲(chǔ)器40。 圖2表示備用線分配裝置100構(gòu)成的一例示意圖。備用線分配裝置100具有位計(jì) 數(shù)部110、加權(quán)計(jì)算部120和分配部130。位計(jì)數(shù)部110從存儲(chǔ)器測(cè)試裝置10接收存儲(chǔ)器40的失效數(shù)據(jù)。 圖3表示存儲(chǔ)器40失效數(shù)據(jù)的一例示意圖。位計(jì)數(shù)部110,可以接收如圖3所示 的失效數(shù)據(jù)的位圖。位計(jì)數(shù)部110,可以具有存儲(chǔ)該位圖的位圖存儲(chǔ)器。還有在圖3中,舉 例說明了在行方向及列方向各具有10條地址線的存儲(chǔ)器40 。另外在圖3中,行方向及列方 向的地址線交叉的點(diǎn)分別與1位的記憶單元對(duì)應(yīng)。同時(shí),用X符號(hào)表示本例中的存儲(chǔ)器40 的失效位。本例中,(行地址,列地址)=(l,l), (1,3), (1,5), (1,9), (2,1), (3,2), (3, 4), (3, 7), (5, 3), (6, 4), (8, 4)的各位,是失效位。 位計(jì)數(shù)部110,對(duì)于各條失效線(行方向的地址線1、2、3、5、6、8以及列方向的地址 線1、2、3、4、5、7、9)中所含的各個(gè)失效位,將包含該失效位且與該失效線不同方向的失效 線所具有的失效位的個(gè)數(shù)作為正交失效位數(shù)而進(jìn)行計(jì)數(shù)。例如,失效位(n, m)的行地址線 n上的正交失效位數(shù)包含失效位(n,m)、且與行地址線n正交的列地址線m所具有的失效位 數(shù)(其中,n、m為整數(shù))。而且,失效位(n,m)的列地址線m上的正交失效位數(shù)包含失效位 (n, m)、且與列地址線m正交的行地址線n所具有的失效位數(shù)。 更具體地說,例如,失效位(1、 1)的行地址線1上的正交失效位數(shù)由于是列地址線 l所具有的失效位數(shù),因此在本例中為"2"。而且,失效位(1、1)的列地址線l上的正交失 效位數(shù)由于是行地址線1所具有的失效位數(shù),因此在本例中為"4"。 位計(jì)數(shù)部110針對(duì)各個(gè)失效位(n, m),對(duì)行地址線n上的正交失效位數(shù)與列地址 線m上的正交失效位數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù),并分別對(duì)應(yīng)于每個(gè)失效位進(jìn)行存儲(chǔ)。位計(jì)數(shù)部110中,對(duì) 于存儲(chǔ)器40的各位,可分別具有行位數(shù)暫存器,其存儲(chǔ)行地址線上的正交失效位數(shù);以及 列位數(shù)暫存器,其存儲(chǔ)列地址線上的正交失效位數(shù)。 加權(quán)計(jì)算部120根據(jù)各條失效線中所含的失效位的、在該失效線上的正交失效位 數(shù),計(jì)算各條失效線的加權(quán)系數(shù)。例如,加權(quán)計(jì)算部120可對(duì)該失效線上的正交失效位數(shù)更 大的失效位,計(jì)算更小的系數(shù)。并且,加權(quán)計(jì)算部120可計(jì)算各條失效線所具有的失效位的 系數(shù)的總和作為該失效線的加權(quán)系數(shù)而。 基本上,通過對(duì)所含的失效位數(shù)更多的失效線來依次分配備用線,從而可對(duì)更多 的失效位進(jìn)行修補(bǔ)。然而,因?yàn)榇鎯?chǔ)器40的各存儲(chǔ)單元是形成于存儲(chǔ)器40的規(guī)定的面內(nèi), 所以優(yōu)選的是,各存儲(chǔ)單元形成二維矩陣狀,以便屬于列地址線和行地址線這兩者。因此, 各失效位可在列地址線以及行地址線這兩者上得以修補(bǔ)。此時(shí),若將備用線分配成使得一 個(gè)失效位可利用列地址線的備用線以及行地址線的備用線這兩者而修補(bǔ),則可修補(bǔ)的失效 位的總數(shù)將會(huì)減少。 對(duì)此,備用線分配裝置100對(duì)于各失效位,求出行地址線以及列地址線上的正交 失效位數(shù),借此可取得表示應(yīng)在列地址線或行地址線的哪一者上對(duì)各個(gè)失效位進(jìn)行修補(bǔ)的 系數(shù)。并且,求出各失效線所具有的失效位的系數(shù)的總和,借此可針對(duì)各失效線而取得表示 是否應(yīng)分配備用線的加權(quán)系數(shù)。 更具體地說,加權(quán)計(jì)算部120可根據(jù)各條失效線所具有的失效位的在該失效線上 的正交失效位數(shù)的倒數(shù)的總和,而計(jì)算該失效線的加權(quán)系數(shù)。例如,行地址線l所具有的失 效位(1,1)、(1,3)、(1,5)、(1,9)的在行地址線1上的正交失效位數(shù)為2、2、1、1。加權(quán)計(jì)算 部120可計(jì)算所述正交失效位數(shù)的倒數(shù)的總和,即1/2+1/2+1/1+1/1 = 3,將其作為行地址 線l的加權(quán)系數(shù)。加權(quán)系數(shù)計(jì)算部120可對(duì)應(yīng)于每條失效線而計(jì)算并存儲(chǔ)加權(quán)系數(shù)。加權(quán)系數(shù)計(jì)算部120可具有加權(quán)暫存器,該加權(quán)暫存器對(duì)應(yīng)于每條地址線而設(shè)置,存儲(chǔ)對(duì)應(yīng)的 地址線的加權(quán)系數(shù)。 分配部130根據(jù)加權(quán)計(jì)算部120計(jì)算的加權(quán)系數(shù)的大小關(guān)系,決定對(duì)哪一條失效 線分配備用線。例如分配部130可對(duì)加權(quán)系數(shù)更大的失效線分配備用線。例如在圖3所示 的例中,由于行地址線1的加權(quán)系數(shù)最大,因此分配部130可對(duì)行地址線1分配行方向的備 用線。 而且,可對(duì)分配部130預(yù)先通知設(shè)在存儲(chǔ)器40中的列方向以及行方向的備用線各 自的條數(shù)。例如由使用者等對(duì)分配部130預(yù)先通知備用線的條數(shù)。分配部130可具有初始 備用線數(shù)暫存器,該初始備用線數(shù)暫存器分別存儲(chǔ)有已通知的列方向以及行方向的備用線 的條數(shù)。而且,分配部130還可具有對(duì)各方向的剩余備用線數(shù)進(jìn)行存儲(chǔ)的剩余備用線數(shù)暫 存器,該剩余備用線數(shù)是在已對(duì)任一條失效線分配了備用線時(shí),通過減去該方向的備用線 的條數(shù)而計(jì)算。分配部130可將剩余備用線數(shù)不為零作為條件,來對(duì)失效線分配該方向的 備用線。 圖4是對(duì)備用線分配裝置100的處理的一例進(jìn)行說明的示意圖。如圖3中所說明,
分配部130對(duì)加權(quán)系數(shù)最大的失效線(圖3中為行地址線1)分配對(duì)應(yīng)方向的備用線。此
時(shí),分配部130可將已對(duì)該失效線分配了備用線的信息通知給位計(jì)數(shù)部110。 位計(jì)數(shù)部110對(duì)在已分配有備用線的失效線中所含的失效位除外的情況下,計(jì)算
各個(gè)失效位的列方向以及行方向的正交失效位數(shù)。位計(jì)數(shù)部iio還可具有更新的位圖存儲(chǔ)
器,該更新位圖存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)有將已分配有備用線的失效線中所含的失效位除外的情況下
的失效數(shù)據(jù)的位圖。 如圖4所示,設(shè)行地址線1所具有的失效位已得到修補(bǔ),本例中的位計(jì)數(shù)部110對(duì) 各個(gè)失效位的正交失效位數(shù)進(jìn)行再次計(jì)算。位計(jì)數(shù)部iio還可具有列方向以及行方向的再 次計(jì)算位數(shù)暫存器,該列方向以及行方向的再次計(jì)算位數(shù)暫存器重新存儲(chǔ)對(duì)于各個(gè)失效位 再次計(jì)算的列方向以及行方向的正交失效位數(shù)。 加權(quán)計(jì)算部120根據(jù)位計(jì)數(shù)部110已再次計(jì)算并重新存儲(chǔ)的正交失效位數(shù),來對(duì) 將已分配有備用線的失效線中所含的失效位除外的情況下的各條失效線的加權(quán)系數(shù)進(jìn)行 計(jì)算。例如,由于行地址線1的失效位已得到修補(bǔ),因而本例的行地址線2的加權(quán)系數(shù)由 1/2被再次計(jì)算為1。加權(quán)計(jì)算部120對(duì)應(yīng)每條失效線而再次計(jì)算并存儲(chǔ)加權(quán)系數(shù)。加權(quán) 計(jì)算部120還可具有更新加權(quán)暫存器,該更新加權(quán)暫存器對(duì)應(yīng)于每條地址線而設(shè)置,存儲(chǔ) 有對(duì)所對(duì)應(yīng)的地址線進(jìn)行再次計(jì)算所得的加權(quán)系數(shù)。 分配部130根據(jù)加權(quán)計(jì)算部120已重新存儲(chǔ)的加權(quán)系數(shù),來選擇下次應(yīng)分配備用 線的失效線。例如分配部130可對(duì)更新后的加權(quán)系數(shù)最大的失效線分配下一條備用線。而 且,例如圖4的行地址線3與列地址線4所示,也考慮加權(quán)系數(shù)為相同值的情況。此時(shí),分 配部130可由使用者等預(yù)先指定的方向的失效線優(yōu)先,并對(duì)其分配備用線。且分配部130 可使剩余備用線數(shù)更大的方向的失效線優(yōu)先,并對(duì)其分配備用線。另外,分配部130也可對(duì) 加權(quán)系數(shù)相同的多條失效線同時(shí)分配備用線。 通過重復(fù)上述處理,能夠?qū)溆镁€分配成使得可修補(bǔ)的失效位數(shù)最大化。因此,能 高效地檢測(cè)出可對(duì)所有失效位進(jìn)行修補(bǔ)的備用線的分配解。 圖5表示備用線分配裝置100的其他構(gòu)成例的示意圖。本例中的備用線分配裝置
10100相對(duì)于圖1至圖4中已說明的備用線分配裝置100的構(gòu)成,還具備修補(bǔ)可否判定部140。 本例的備用線分配裝置100中的其他構(gòu)成元件可與圖1至圖4中已說明的備用線分配裝置 100相同。 在如圖1至圖4中所說明的依次分配有備用線的情況下,修補(bǔ)可否判定部140判 定是否可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)。例如,每當(dāng)分配部130欲對(duì)任一條失效線分配備用線 時(shí),修補(bǔ)可否判定部140便會(huì)判定是否尚存有可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性。
作為一例,修補(bǔ)可否判定部140可在剩余備用線數(shù)已為零時(shí),尚存有并未修補(bǔ)的 失效位的情況下,判定為可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性已不存在。而且,即使在剩余 備用線數(shù)不為零的情況下,修補(bǔ)可否判定部140也可利用例如圖10至圖12中以下將描述 的方法,來判定是否尚存有可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性。 分配部130可將已對(duì)哪一條失效線分配了備用線的信息通知給修補(bǔ)可否判定部 140。修補(bǔ)可否判定部140可根據(jù)該通知的內(nèi)容與位計(jì)數(shù)部110、加權(quán)計(jì)算部120及分配部 130中的各暫存器、各存儲(chǔ)器的信息,判定是否尚存有可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能 性。 例如修補(bǔ)可否判定部140可在對(duì)該失效線分配了備用線的結(jié)果為,分配部130的 剩余備用線數(shù)暫存器中所存儲(chǔ)的線數(shù)變?yōu)榱悖椅挥?jì)數(shù)部110的更新位圖存儲(chǔ)器中所存儲(chǔ) 的位圖中剩余有失效數(shù)據(jù)時(shí),判定為不存在可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性。而且, 修補(bǔ)可否判定部140也可在對(duì)該失效線分配了備用線之后、一個(gè)方向的剩余備用線數(shù)變?yōu)?零、且另一個(gè)方向的剩余備用線數(shù)少于該另一個(gè)方向的失效線數(shù)時(shí),判定為不存在可對(duì)所 有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性。 圖6是對(duì)圖5所示的備用線分配裝置100的一例處理進(jìn)行說明的示意圖。本例中, 對(duì)剩余的失效位為(行地址,列地址)=(1,1)、(1,2)、(2,3)、(2,4)、(2,5)、(2,6)、(3,4)、 (3,5)、 (3,6)的各位,且行方向的剩余備用線數(shù)為1,而列方向的剩余備用線數(shù)為4的第1 狀態(tài)的情況進(jìn)行說明。圖6所示的第1狀態(tài)可為存儲(chǔ)器40的初始狀態(tài),也可為圖1至圖5 所說明的處理中已分配有若干條備用線之后的狀態(tài)。 如圖1至圖4中所說明的,加權(quán)計(jì)算部120對(duì)各條地址線計(jì)算加權(quán)系數(shù)。繼而,分 配部130對(duì)加權(quán)系數(shù)最大的失效線分配備用線。本例中,由于行地址線2的加權(quán)系數(shù)最大, 因此對(duì)行地址線2分配行方向的備用線。其結(jié)果為,行方向的剩余備用線數(shù)變?yōu)榱?。而且?列方向的失效線數(shù)變?yōu)?5",大于列方向的剩余備用線數(shù)"4"。在這種情況下,修補(bǔ)可否判 定部140判定為無法對(duì)任一個(gè)失效位進(jìn)行修補(bǔ),并將該信息通知給分配部130。
分配部130在接收到該通知時(shí),將已分配有備用線的失效線的任一條作為第1失 效線,并解除對(duì)第1失效線的備用線分配。本例的分配部130將此前剛剛分配有備用線的 行地址線2作為第1失效線,并解除備用線的分配。此時(shí),位計(jì)數(shù)部110、加權(quán)計(jì)算部120以 及分配部130中的各暫存器以及各存儲(chǔ)器的內(nèi)容恢復(fù)為對(duì)第1失效線分配備用線之前的狀 態(tài)。 例如,加權(quán)計(jì)算部120可在修補(bǔ)可否判定部140判定為無法對(duì)任一個(gè)失效位進(jìn)行 修補(bǔ)時(shí),對(duì)將備用線分配給第1失效線之前的加權(quán)系數(shù)進(jìn)行再次計(jì)算。而且,位計(jì)數(shù)部110、 加權(quán)計(jì)算部120以及分配部130中,對(duì)于各暫存器以及各存儲(chǔ)器,可具有高速緩沖存儲(chǔ)器, 該快取存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)有每當(dāng)對(duì)失效線分配備用線時(shí)的各個(gè)狀態(tài)。
而且,分配部130在自修補(bǔ)可否判定部140接收到無法對(duì)任一個(gè)失效位進(jìn)行修補(bǔ) 的通知時(shí),選擇包含第1失效線所具有的失效位、且與第1失效線不同方向的各條第2失效 線,并分配備用線。本例的分配部I30對(duì)包含行地址線2所具有的失效位(2, 3) 、(2, 4) 、(2, 5) 、 (2,6)、且與行地址線2正交的4條列地址線3、4、5、6分配列方向的備用線。
本例中,選作第2失效線的地址線的條數(shù)小于等于該方向上剩余的備用線數(shù),因 此修補(bǔ)可否判定部140將存在可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性的信息通知給分配部 130。位計(jì)數(shù)部110以及加權(quán)計(jì)算部120對(duì)已將備用線分配給各條第2失效線的狀態(tài)下的 失效數(shù)據(jù)的位圖、正交失效位數(shù)、加權(quán)系數(shù)等進(jìn)行再次計(jì)算。 接著,分配合130根據(jù)已再次計(jì)算的加權(quán)系數(shù),來選擇下次應(yīng)分配備用線的失效 線。對(duì)于本例的分配部130而言,由于行地址線1的加權(quán)系數(shù)最大,故會(huì)對(duì)行地址線1分配 行方向的備用線。此時(shí),由于行方向的剩余備用線數(shù)不為零、且在分配了該備用線時(shí)剩余的 失效位變?yōu)榱?,因此修補(bǔ)可否判定部140將可通過該分配而將所有的失效位已得到修補(bǔ)的 信息通知給分配部130。分配部130可在接收到該通知時(shí)確定備用線的分配形態(tài),并通知給 設(shè)定部30。 如上所述,在對(duì)第1失效線設(shè)定備用線時(shí)判定為不可能對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ) 的情況下,備用線分配裝置IOO解除對(duì)第1失效線的分配,借此可省略對(duì)已分配了第1失效 線的狀態(tài)以后的備用線的分配解的探索處理。因此,可縮短處理時(shí)間。且在未對(duì)第l失效 線設(shè)定備用線的情況下,若不對(duì)正交的第2失效線分配備用線,則無法修補(bǔ)第1失效線中所 含的失效位。如本例所示,在解除了對(duì)第1失效線的分配時(shí),對(duì)正交的第2失效線強(qiáng)制性地 分配備用線,借此可提高對(duì)備用線的分配解進(jìn)行探索的處理效率。 而且,當(dāng)選作第2失效線的地址線的條數(shù)多于該方向上剩余的備用線數(shù)時(shí),修補(bǔ) 可否判定部140將不可能對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的信息通知給分配部130。此時(shí),在第1 狀態(tài)下的剩余失效位與剩余備用線的組合中,不存在可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的備用線 的分配解。 因此,分配部130進(jìn)一步解除在成為第l狀態(tài)前剛剛對(duì)失效線所分配的備用線。 即,分配部130對(duì)該失效線分配了備用線之后,在剩余失效位以及剩余備用線變?yōu)榈?狀態(tài) 下,再解除對(duì)失效線的備用線分配。接著,分配部130對(duì)包含已解除了備用線分配的失效線 的失效位且與該失效線正交的失效線,強(qiáng)制性地分配備用線。 如此,備用線分配裝置100在不可能對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)時(shí),依次解除備用 線的分配,并對(duì)正交的失效線強(qiáng)制性地分配備用線。并且,可通過探索備用線的分配解而高 效地檢測(cè)出分配解。 圖7是表示圖1至圖6中所說明的備用線分配裝置100的動(dòng)作的一例流程圖。如
上所述,首先,位計(jì)數(shù)部iio針對(duì)各失效位,對(duì)列方向以及行方向的正交失效位數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)
(S400)。 接著,加權(quán)計(jì)算部120根據(jù)各失效線中所含的失效位的正交失效位數(shù),來計(jì)算各 條失效線的加權(quán)系數(shù)(S402)。然后,如圖1至圖6中所說明,備用線分配裝置IOO根據(jù)失效 線的加權(quán)系數(shù),來進(jìn)行備用線的分配處理(S404)。 其次,備用線分配裝置100判定所有的失效位是否可通過S404的處理而修補(bǔ) (S406)。當(dāng)所有的失效位可修補(bǔ)時(shí),設(shè)定部30對(duì)存儲(chǔ)器40進(jìn)行修補(bǔ)處理(S408)。且當(dāng)任
12一個(gè)失效位無法修補(bǔ)時(shí),備用線分配裝置100例如通過將該信息通知給使用者等,進(jìn)行不 可修補(bǔ)的處理(S410)。 圖8是表示圖7中所說明的備用線的分配處理S404的處理的一例的流程圖。如 上所述,分配部130對(duì)加權(quán)系數(shù)最大的失效線分配備用線(S500)。其次,修補(bǔ)可否判定部 140在分配部130已將一條備用線分配給失效線時(shí),根據(jù)預(yù)先規(guī)定的判定基準(zhǔn),來判定是否 尚存有可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性(S502)。例如,如上所述,修補(bǔ)可否判定部140 可根據(jù)剩余失效位與剩余備用線數(shù),來判定是否可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)。
當(dāng)在S502中判定為尚存有可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性時(shí),將對(duì)位計(jì)數(shù) 部110以及加權(quán)計(jì)算部120的各暫存器以及各存儲(chǔ)器的數(shù)據(jù)進(jìn)行更新。例如加權(quán)計(jì)算部 120對(duì)加權(quán)系數(shù)進(jìn)行更新(S504)。而且,修補(bǔ)可否判定部140判定是否存在有尚未修補(bǔ)的 失效位(S506)。當(dāng)在S506中已判定為存在有尚未修補(bǔ)的失效位時(shí),重復(fù)自S500開始的處 理,并依次分配備用線。且當(dāng)在S506中已判定為不存在尚未修補(bǔ)的失效位的情況下,判定 為在備用線的該分配形態(tài)下對(duì)所有的失效位可進(jìn)行修補(bǔ)(S508)。此時(shí),如圖7中所說明,通 過設(shè)定部30來進(jìn)行修補(bǔ)處理S508。 而且,當(dāng)在S502中判定為不可能對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)時(shí),分配部130會(huì)解除 此前剛設(shè)定的備用線的分配(S510)。接著,使位計(jì)數(shù)部110以及加權(quán)計(jì)算部120的各暫存 器以及各存儲(chǔ)器的數(shù)據(jù)恢復(fù)為分配該備用線之前的狀態(tài)。例如加權(quán)計(jì)算部120可對(duì)分配該 備用線之前的狀態(tài)的加權(quán)系數(shù)進(jìn)行再次計(jì)算(S512)。 接著,分配部130選擇包含已解除了備用線分配的笫1失效線的失效位且與第1 失效線正交的第2失效線,并分配備用線(S514)。其次,修補(bǔ)可否判定部140判定是否存在 可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性(S516)。 當(dāng)在S516中已判定為存在可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性時(shí),根據(jù)該備用 線的分配來進(jìn)行S504以后的處理。而且,當(dāng)在S516中已判定為無法對(duì)任一個(gè)失效位進(jìn)行 修補(bǔ)時(shí),分配部130可判定是否可進(jìn)一步解除備用線的分配(S518)。例如,當(dāng)已追溯到存儲(chǔ) 器40的初始狀態(tài)來解除備用線的分配時(shí),可判定為無法解除更多的備用線的分配。
當(dāng)在S518中判定為可進(jìn)一步解除備用線的分配時(shí),分配部130返回至S510的處 理,解除此前剛分配的備用線。而且,當(dāng)在S518中判定為無法進(jìn)一步解除備用線的分配時(shí), 設(shè)定為不存在可對(duì)存儲(chǔ)器40的所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的備用線的分配解,結(jié)束處理。此 時(shí),執(zhí)行圖7中所說明的不可修補(bǔ)處理S410。通過如上所述的處理,可高效地檢測(cè)出備用線 的分配解。 而且,在以上的示例中,說明了每次分配備用線時(shí)對(duì)各失效線的加權(quán)系數(shù)進(jìn)行更 新的示例。而在其他示例中,備用線分配裝置100也可不更新各失效線的加權(quán)系數(shù)。此時(shí), 備用線分配裝置100可省略圖8中所說明的加權(quán)系數(shù)更新處理S504以及加權(quán)系數(shù)再次計(jì) 算處理S512。通過如此處理,也可高效地檢測(cè)出備用線的分配解。 而且,在圖8的處理例中,當(dāng)在S502中已判定為無法對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)時(shí), 解除此前剛剛分配的備用線(S512)。在其他示例的S512的處理中,也可解除在S500中最 初分配的備用線。此時(shí),在S512的處理中,位計(jì)數(shù)部110以及加權(quán)計(jì)算部120的各暫存器 以及各存儲(chǔ)器恢復(fù)為初始狀態(tài)。而且,在S500的處理之前,分配部130可對(duì)具有預(yù)先規(guī)定 的數(shù)量的失效位的失效線預(yù)先分配備用線。
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圖9是表示存儲(chǔ)器40中的其他失效數(shù)據(jù)的示意圖。而且,本例的存儲(chǔ)器40的存 儲(chǔ)區(qū)域,在行方向以及列方向中的至少一個(gè)方向上被分割成多個(gè)存儲(chǔ)塊。圖9的示例中,存 儲(chǔ)器40的存儲(chǔ)區(qū)域在行方向上被分割成3個(gè)塊,而在列方向上被分割成2個(gè)塊。存儲(chǔ)器40 可對(duì)應(yīng)于各個(gè)存儲(chǔ)塊的每一個(gè)而具有列方向以及行方向的備用線。 針對(duì)上述存儲(chǔ)器40,當(dāng)在圖8所說明的S502的處理中,修補(bǔ)可否判定部140判定 為無法對(duì)任一個(gè)失效位進(jìn)行修補(bǔ)時(shí),解除此前剛剛分配給第l失效線的備用線(S510)。接 著,在S514的處理中,分配部130可選擇與第1失效線相同方向的失效且每個(gè)存儲(chǔ)塊的失 效位數(shù)與第1失效線相同的第3失效線,并強(qiáng)制性地分配備用線。此時(shí),分配部130可對(duì)上 述的第2失效線以及第3失效線此兩者分配備用線。 例如,對(duì)在圖8所說明的S500的處理中,對(duì)圖9所示的行地址線1分配了備用線 的情況進(jìn)行說明。此時(shí),當(dāng)已判定為無法對(duì)任一個(gè)失效位進(jìn)行修補(bǔ)時(shí)(S502),在S514的處 理中,首先選擇列地址線1、2、7、8、9作為第2失效線。而且,由于行地址線2所具有的失效 位在每個(gè)存儲(chǔ)塊中的個(gè)數(shù),與行地址線l所具有的失效位在每個(gè)存儲(chǔ)塊中的個(gè)數(shù)相同,因 此分配部130選擇包含行地址線2的失效位且與行地址線2正交的列地址線2、3、6、7、9作 為第3失效線。 接著,分配部130對(duì)所選擇的第2失效線以及第3失效線強(qiáng)制性地分配備用線 (S514)。如此,在對(duì)于每個(gè)存儲(chǔ)塊而設(shè)有備用線的情況下,在對(duì)某條失效線分配備用線時(shí)無 法對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的情況下,若針對(duì)該失效線即使對(duì)每個(gè)存儲(chǔ)塊的失效位數(shù)相同 的失效線分配備用線,無法對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性仍很高。對(duì)于上述失效線,也 可通過對(duì)正交的第3失效線強(qiáng)制性地分配備用線,而更高效地探索備用線的分配解。
圖10是表示備用線分配裝置100的其他構(gòu)成例的示意圖。本例的備用線分配裝 置100除了具備圖5中所說明的備用線分配裝置100的構(gòu)成以外,還具備孤立失效檢測(cè)部 150。其他構(gòu)成要素可與圖5中所說明的備用線分配裝置100相同。 孤立失效檢測(cè)部150,在包含該失效位的行方向以及列方向的失效線上不存在其
他失效位時(shí),檢測(cè)出將該失效位作為孤立失效位。即,孤立失效檢測(cè)部150檢測(cè)出在列方向
的某條失效線中僅含一個(gè)失效位、且包含該失效位并與該失效線正交的行方向的失效線上
不含其他失效位時(shí),將該失效位作為孤立失效位。孤立失效檢測(cè)部150可根據(jù)位計(jì)數(shù)部110
依次更新并存儲(chǔ)的失效數(shù)據(jù)的位圖,來依次檢測(cè)出各個(gè)狀態(tài)下的孤立失效位。 圖11是表示提供給孤立失效檢測(cè)部150的失效數(shù)據(jù)的位圖的示意圖。如上所述,
孤立失效檢測(cè)部150可根據(jù)該位圖來檢測(cè)孤立失效位。本例中,孤立失效檢測(cè)部150檢測(cè)
出失效位(l,l)、 (2,2)、 (3,3)、 (4,4)、 (5,5)此5個(gè)失效位作為孤立失效位。 而且,修補(bǔ)可否判定部140可在圖8所示的S502以及S516的處理中,根據(jù)孤立失
效位數(shù)以及剩余備用線數(shù),來判定是否具有可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性。例如,修
補(bǔ)可否判定部140可在列方向以及行方向的剩余備用線數(shù)之和少于孤立失效數(shù)的情況下,
判定為不存在可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性。 而且,分配部130可在圖8中所說明的S500的處理中,根據(jù)孤立失效位數(shù)以及剩 余備用線數(shù),來選擇應(yīng)強(qiáng)制性地分配備用線的失效線。例如,分配部130可將自孤立失效位 數(shù)減去列方向的剩余備用線的條數(shù)所得的減算結(jié)果所對(duì)應(yīng)的條數(shù)的行方向的備用線,分配 給包含孤立失效位的任意行方向的失效線。
例如,當(dāng)孤立失效位數(shù)為"5"、列方向的剩余備用線的條數(shù)為"2"時(shí),分配部130將 3條行方向的備用線分配給包含孤立失效位的任意3條行方向的失效線。同樣地,當(dāng)孤立失 效位數(shù)為"5"、行方向的剩余備用線的條數(shù)為"4"時(shí),分配部130將1條列方向的備用線分 配給包含孤立失效位的任意1條列方向的失效線。 可利用各方向的備用線來進(jìn)行修補(bǔ)的孤立失效位數(shù)的最大值為該方向的剩余備 用線數(shù)。因此,當(dāng)列方向或行方向的至少任一方向上的剩余備用線數(shù)a少于孤立失效位數(shù) b時(shí),必須利用其他方向的備用線來修補(bǔ)至少(b-a)個(gè)孤立失效位數(shù)。 因此,如上所述,根據(jù)孤立失效位數(shù)以及剩余備用線數(shù)來強(qiáng)制性地分配備用線,借 此可更高效地探索備用線的分配解。而且,孤立失效檢測(cè)部150在每次分配部130根據(jù)加 權(quán)系數(shù)來將備用線分配給失效線時(shí),可檢測(cè)出除去該失效線中所含的失效位的狀態(tài)下的孤 立失效位。孤立失效檢測(cè)部150可具有存儲(chǔ)各狀態(tài)下的孤立失效位數(shù)的暫存器。
而且,在尚未分配備用線、且未修補(bǔ)的失效位全部為孤立失效位的情況下,若孤立 失效位數(shù)少于剩余備用線數(shù),則確定可進(jìn)行修補(bǔ)。此時(shí),分配部130可對(duì)剩余的所有失效線 分配備用線,并結(jié)束分配處理。例如,分配部130可以由使用者等預(yù)先指定的方向的備用線 為優(yōu)先,并將其分配給剩余的失效線。 而且,圖10以及圖11中所說明的孤立失效位的處理,可對(duì)圖9中所說明的每個(gè)存 儲(chǔ)塊進(jìn)行。例如,修補(bǔ)可否判定部140當(dāng)對(duì)于任一個(gè)存儲(chǔ)塊,在列方向以及行方向的剩余 備用線數(shù)之和少于孤立失效數(shù)的情況下,判定為不存在可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能 性。 圖12是表示修補(bǔ)可否判定部140的一部分的構(gòu)成示意圖。本例的修補(bǔ)可否判定 部140除了具有執(zhí)行圖1至圖11中所說明的功能的構(gòu)成以外,還具有第1乘法部142、第2 乘法部144以及比較部146。 第1乘法部142計(jì)算第1乘法值,該第1乘法值是將列方向的失效線中所含的失效 位的個(gè)數(shù)的最大值與列方向的剩余備用線的條數(shù)相乘所得。即,第l乘法值表示通過列方 向的剩余備用線而可修補(bǔ)的失效位的最大值。另外,第2乘法部144計(jì)算第2乘法值,該第 2乘法值是將行方向的失效線中所含的失效位的個(gè)數(shù)的最大值與行方向的剩余備用線的條 數(shù)相乘所得。即,第2乘法值表示通過行方向的剩余備用線而可修補(bǔ)的失效位的最大值。
比較部146判定第1乘法值以及第2乘法值之和是否小于剩余失效位的總數(shù)。當(dāng) 第1乘法值以及第2乘法值之和小于剩余失效位的總數(shù)時(shí),無法利用剩余備用線來修補(bǔ)所 有的失效位。此時(shí),比較部146將該信息通知給分配部130。 圖13是表示失效位的位圖的示意圖。本例的失效位的總數(shù)為13,列方向以及行方 向的剩余備用線的條數(shù)分別為"3"。 第1乘法部142檢測(cè)出行方向的失效線中所含的失效位的個(gè)數(shù)的最大值。如圖13 所示,本例中的該最大值為"2"。第l乘法部142將剩余備用線的條數(shù)"3"與最大值"2"相 乘,計(jì)算第1乘法值"6"。 同樣地,第2乘法部144檢則出列方向的失效線中所含的失效位的個(gè)數(shù)的最大值。 如圖13所示,本例中的該最大值為"2"。第2乘法部144將剩余備用線的條數(shù)"3"與最大 值"2 "相乘,計(jì)算第2乘法值"6 "。 本例中,第1乘法值以及第2乘法值之和"12"小于剩余失效位數(shù)"13"。因此,比較部146將無法對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的信息通知給分配部130。通過如此的處理,可更 早期地檢測(cè)出不存在可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性,因此可高效地探索備用線的分 配解。 而且,修補(bǔ)可否判定部140可對(duì)圖9中所說明的每個(gè)存儲(chǔ)塊,來進(jìn)行圖12以及圖 13中所說明的使用第1乘法值以及第2乘法值的處理。例如,修補(bǔ)可否判定部140可在任 一個(gè)存儲(chǔ)塊中的第1乘法值以及第2乘法值之和小于剩余失效位數(shù)的情況下,判定為不存 在可對(duì)所有的失效位進(jìn)行修補(bǔ)的可能性。 圖14是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的存儲(chǔ)器制造方法的一例流程圖。該存儲(chǔ)器制 造方法使用圖1至圖13中所說明的備用線分配方法以及存儲(chǔ)器修補(bǔ)方法,來制造半導(dǎo)體存 儲(chǔ)器等的存儲(chǔ)器40。 首先,在存儲(chǔ)器形成階段,形成設(shè)有多條備用線的存儲(chǔ)器40 (S600)。接著,對(duì)存儲(chǔ) 器40進(jìn)行測(cè)試,生成存儲(chǔ)器40的失效數(shù)據(jù)(S602)。 其次,在備用線分配階段,決定對(duì)存儲(chǔ)器40中具有失效位的列方向的失效線以及 行方向的失效線中的哪一條失效線分配備用線(S604) 。 S604可使用圖1至圖13中所說明 的備用線分配裝置100來進(jìn)行處理。 接著,對(duì)存儲(chǔ)器40設(shè)定已決定的備用線的分配來修補(bǔ)存儲(chǔ)器40,借此制造品質(zhì)優(yōu) 良的存儲(chǔ)器40(S606) 。 S606可使用圖1至圖13中所說明的設(shè)定部30來進(jìn)行處理。通過 如此處理,可高效地制造品質(zhì)優(yōu)良的存儲(chǔ)器40。 圖15表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的電腦1900的硬件構(gòu)成的一例示意圖。電腦1900 可根據(jù)所提供的程序而作為圖1至圖14中所說明的備用線分配裝置100來發(fā)揮功能。
當(dāng)電腦1900作為備用線分配裝置100而發(fā)揮功能時(shí),程序可使電腦1900作為圖 1至圖14中所說明的位計(jì)數(shù)部110、加權(quán)計(jì)算部120、分配部130、修補(bǔ)可否判定部140以及 孤立失效檢測(cè)部150中的至少任一個(gè)而發(fā)揮功能。例如,程序可使中央處理單元(CPU) 2000 作為位計(jì)數(shù)部110、加權(quán)計(jì)算部120、分配部130、修補(bǔ)可否判定部140以及孤立失效檢測(cè)部 150而發(fā)揮功能,而且,可使硬盤驅(qū)動(dòng)器2040或RAM2020作為位計(jì)數(shù)部110、加權(quán)計(jì)算部120 以及分配部130中所設(shè)的各暫存器以及各存儲(chǔ)器而發(fā)揮功能。 電腦1900具備CPU周邊部、輸入輸出部以及傳統(tǒng)的(legacy)輸入輸出部。CPU周 邊部具有通過主控制器2082而彼此連接的CPU2000、 RAM2020、繪圖控制器2075以及顯示 裝置2080。輸入輸出部具有通過輸入輸出控制器2084而連接于主控制器2082的通信接 口 2030、硬盤驅(qū)動(dòng)器2040以及光盤驅(qū)動(dòng)器2060。傳統(tǒng)輸入輸出部具有連接于輸入輸出控 制器2084的只讀存儲(chǔ)器(R0M)2010、軟盤驅(qū)動(dòng)器2050以及輸入輸出芯片2070。
主控制器2082將RAM2020與以較高的傳輸率(rate)來對(duì)RAM2020進(jìn)行存取的 CPU2000以及繪圖控制器2075連接起來。CPU2000根據(jù)存儲(chǔ)于R0M2010以及RAM2020中的 程序而動(dòng)作,進(jìn)行各部分的控制。繪圖控制器2075取得CPU2000等在設(shè)于RAM2020內(nèi)的幀 緩沖器上生成的圖像數(shù)據(jù),并使該圖像數(shù)據(jù)顯示于顯示裝置2080上。也可取代此構(gòu)成,繪 圖控制器2075在內(nèi)部包含對(duì)CPU2000等所生成的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲(chǔ)的幀緩沖器。
輸入輸出控制器2084將主控制器2082與相對(duì)較高速的輸入輸出裝置即通信接口 2030、硬盤驅(qū)動(dòng)器2040、光盤驅(qū)動(dòng)器2060連接起來。通信接口 2030經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)而與其他裝 置進(jìn)行通訊。例如,通信接口 2030可與存儲(chǔ)器測(cè)試裝置10以及設(shè)定部30進(jìn)行通訊。硬盤
16驅(qū)動(dòng)器2040中存儲(chǔ)電腦1900內(nèi)的CPU2000所使用的程序以及數(shù)據(jù)。光盤驅(qū)動(dòng)器2060自 CD-R0M2095讀取程序或數(shù)據(jù),并經(jīng)由RAM2020而提供給硬盤驅(qū)動(dòng)器2040。
而且,在輸入輸出控制器2084上,連接有R0M2010、軟盤驅(qū)動(dòng)器2050以及輸入輸出 芯片2070的相對(duì)較低速的輸入輸出裝置。R0M2010中存儲(chǔ)電腦1900啟動(dòng)時(shí)執(zhí)行的啟動(dòng)程 序、依賴于電腦1900的硬件的程序等。軟盤驅(qū)動(dòng)器2050自軟盤2090讀取程序或數(shù)據(jù),并 經(jīng)由RAM2020而提供給硬盤驅(qū)動(dòng)器2040。輸入輸出芯片2070經(jīng)由軟盤驅(qū)動(dòng)器2050、并行 接口 (parallel port)、串行接口 、鍵盤接口 、鼠標(biāo)接口等而連接各種輸入輸出裝置。
經(jīng)由RAM2020向硬盤驅(qū)動(dòng)器2040提供的程序,被存儲(chǔ)在軟盤2090, CD-R0M2095, 或IC卡等的記錄介質(zhì)上由利用者提供。程序從記錄介質(zhì)讀出,通過RAM2020被安裝到計(jì)算 機(jī)1900中的硬盤驅(qū)動(dòng)器2040中,在CPU2000中實(shí)行。 該程序安裝在計(jì)算機(jī)1900中。該程序在CPU2000等中運(yùn)行,使計(jì)算機(jī)1900作為 前述的備用線分配裝置100各構(gòu)成要素而發(fā)揮作用。 以上表示的程序,可以存儲(chǔ)在外部的記錄介質(zhì)中。作為記錄介質(zhì),除了軟盤2090, CD-R0M2095以外,還能使用DVD及CD等的光學(xué)記錄介質(zhì),MO等的光磁記錄介質(zhì),磁帶記錄 介質(zhì),IC卡等的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等。同時(shí),還可以將連接專用通信網(wǎng)絡(luò)或互聯(lián)網(wǎng)的服務(wù)器系 統(tǒng)設(shè)置的硬盤和RAM等的存儲(chǔ)裝置作為記錄介質(zhì),通過網(wǎng)絡(luò)向計(jì)算機(jī)1900提供程序。
上面用實(shí)施方式說明了本發(fā)明,但本發(fā)明的技術(shù)范圍不受上述實(shí)施方式記載內(nèi)容 的限定。對(duì)上述實(shí)施方式可以進(jìn)行多種多樣的變更及改良。權(quán)利要求的范圍明顯說明了本 發(fā)明的技術(shù)范圍中也包含對(duì)上述進(jìn)行變更或改良的實(shí)施方式。 如上所述,根據(jù)本例中的備用線分配裝置IOO,能高效率地探索備用線的分配解。 同時(shí),根據(jù)存儲(chǔ)器修補(bǔ)裝置20,能有效率地修補(bǔ)存儲(chǔ)器。
權(quán)利要求
一種備用線分配裝置,該裝置針對(duì)設(shè)有多條備用線的存儲(chǔ)器,決定對(duì)具有失效位的行方向的失效線及列方向的失效線中的哪條失效線分配上述備用線,其具有位計(jì)數(shù)部,針對(duì)各條上述失效線中包含的各個(gè)失效位,將包含該失效位而且與該失效線不同方向的失效線具有的失效位的個(gè)數(shù)作為正交失效位數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù),并在每個(gè)上述失效位中存儲(chǔ)上述正交失效位數(shù);加權(quán)計(jì)算部,根據(jù)各條上述失效線中包含的上述失效位的上述正交失效位數(shù),計(jì)算各條上述失效線的加權(quán)系數(shù),并對(duì)每條上述失效線存儲(chǔ)上述加權(quán)系數(shù);分配部,按照上述加權(quán)計(jì)算部計(jì)算的上述加權(quán)系數(shù)的大小關(guān)系,決定向哪條上述失效線分配上述備用線。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l記載的備用線分配裝置,其中,上述位計(jì)數(shù)部,針對(duì)各個(gè)上述失效位,對(duì)行方向的失效線及列方向的失效線雙方,計(jì)算 上述正交失效位數(shù)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2記載的備用線分配裝置,其中,上述加權(quán)計(jì)算部,根據(jù)各條上述失效線具有的上述失效位的、在該失效線的上述正交 失效位數(shù)的倒數(shù)的總和,計(jì)算該失效線的上述加權(quán)系數(shù)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2記載的備用線分配裝置,其中,上述分配部按照上述加權(quán)系數(shù),對(duì)任意一條上述失效線分配上述備用線; 上述加權(quán)計(jì)算部,計(jì)算分配了上述備用線的上述失效線中包含的上述失效位除外的情況下各條上述失效線的上述加權(quán)系數(shù),并對(duì)應(yīng)每條上述失效線重新存儲(chǔ)上述加權(quán)系數(shù);上述分配部,按照上述加權(quán)計(jì)算部重新存儲(chǔ)的上述加權(quán)系數(shù),選擇下次應(yīng)該分配上述備用線的上述失效線。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4記載的備用線分配裝置,其中上述分配部,對(duì)上述加權(quán)系數(shù)最大的上述失效線依次分配上述備用線; 上述備用線分配裝置,還具有修補(bǔ)可否判斷部,在對(duì)上述加權(quán)系數(shù)最大的上述失效線依次分配上述備用線時(shí),判定是否可對(duì)全部上述失效位進(jìn)行修補(bǔ);上述分配部,在上述修補(bǔ)可否判斷部判定不能修補(bǔ)哪一個(gè)上述失效位時(shí),將已經(jīng)分配了上述備用線的上述失效線的任一個(gè)作為第1上述失效線,解除對(duì)上述第1失效線的上述備用線的分配,選擇包含上述第1失效線具有的上述失效位、且與上述第1失效線不同方向的各第2上述失效線分配上述備用線。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5記載的備用線分配裝置,其中,上述加權(quán)計(jì)算部,當(dāng)上述修補(bǔ)可否判斷部判定不能修補(bǔ)哪個(gè)失效位時(shí),重新計(jì)算對(duì)上 述第1失效線分配上述備用線之前的上述加權(quán)系數(shù)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6記載的備用線分配裝置,其中,上述修補(bǔ)可否判斷部,在上述分配部每次對(duì)上述失效線分配一條上述備用線的時(shí)候, 按照預(yù)先決定的判斷基準(zhǔn),判定是否具有能修補(bǔ)全部的上述失效位的可能性;上述分配部在上述修補(bǔ)可否判斷部已判定不存在能修補(bǔ)全部上述失效位的可能性時(shí), 將之前剛分配了上述備用線的上述失效線作為上述第1失效線,解除上述備用線的分配。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6記載的備用線分配裝置,其中,上述修補(bǔ)可否判斷部,每當(dāng)上述分配部將一條上述備用線分配給上述失效線的時(shí)候,按照預(yù)先決定的判斷基準(zhǔn),判定是否存在修補(bǔ)全部上述失效位的可能性;上述分配部在被上述修補(bǔ)可否判斷部判定為不存在修補(bǔ)全部上述失效位的可能性時(shí), 將最初分配了上述備用線的上述失效線作為上述第1失效線,解除上述備用線的分配。
9. 根據(jù)權(quán)利要求5記載的備用線分配裝置,其中,上述存儲(chǔ)器的記憶領(lǐng)域,在列方向及行方向的至少一方中,被分割成多個(gè)記憶塊,上述 存儲(chǔ)器,具有每個(gè)記憶塊的備用線,上述分配部,在上述修補(bǔ)可否判斷部判定了不能對(duì)任意一個(gè)上述失效位進(jìn)行修補(bǔ)時(shí), 進(jìn)一步對(duì)與上述第1失效線同樣方向的上述失效線、且每個(gè)記憶塊的上述失效位數(shù)與上述 第1失效線相同的上述失效線分配上述備用線。
10. 根據(jù)權(quán)利要求l記載的備用線分配裝置,其中,上述分配部,對(duì)具有預(yù)先規(guī)定數(shù)量的上述失效位的上述失效線,預(yù)先分配上述備用線。
11. 根據(jù)權(quán)利要求l記載的備用線分配裝置,其中,還具有孤立失效檢測(cè)部,當(dāng)在包含該失效位的列方向及行方向的上述失效線上,沒有 其他的上述失效位的情況下,作為孤立失效位檢測(cè)出該失效位,上述分配部,從上述孤立失效位的個(gè)數(shù)減去沒分配給上述失效線的列方向的上述備用 線的根數(shù),將與減算結(jié)果對(duì)應(yīng)數(shù)量的行方向的上述備用線分配給包含上述孤立失效位的上 述失效線;從上述孤立失效位的個(gè)數(shù)減去沒分配給上述失效線的行方向的上述備用線的根數(shù),將 與減算結(jié)果對(duì)應(yīng)數(shù)量的列方向的上述備用線分配給包含上述孤立失效位的上述失效線。
12. 根據(jù)權(quán)利要求ll記載的備用線分配裝置,其中,上述孤立失效檢測(cè)部,每當(dāng)上述分配部將上述備用線分配給上述失效線時(shí),便檢測(cè)出 該失效線包含的上述失效位除外的狀態(tài)下的上述孤立失效位。
13. 根據(jù)權(quán)利要求ll記載的備用線分配裝置,其中,上述分配部在未分配有上述備用線的全部的上述失效位為上述孤立失效位的情況下, 將預(yù)先規(guī)定方向的上述備用線優(yōu)先分配給該失效線。
14. 根據(jù)權(quán)利要求9記載的備用線分配裝置,其中, 上述修補(bǔ)可否判斷部具有第1乘法部,計(jì)算第1乘法值,該第1乘法值是將各個(gè)上述記憶塊中的列方向的上述失 效線中包含的上述失效位的個(gè)數(shù)的最大值和屬于該記憶塊的列方向的上述備用線中的未 分配給上述失效線的上述備用線的數(shù)量相乘而求出;第2乘法部,計(jì)算出第2乘法值,該第2乘法值是將各個(gè)上述記憶塊中行方向的上述失 效線中包含的上述失效位個(gè)數(shù)的最大值和屬于該記憶塊的行方向的上述備用線中未分配 給上述失效線的上述備用線的數(shù)量相乘而求出;比較部,對(duì)于各個(gè)上述記憶i央,判定上述第1乘法值及上述第2乘法值的和是否比該記 憶塊中包含的上述失效位的總數(shù)小,當(dāng)對(duì)任一個(gè)上述記憶塊判斷為上述乘法值的和比上述 失效位的總數(shù)小時(shí),則判斷為不能修補(bǔ)全部的上述失效位。
15. —種存儲(chǔ)器修補(bǔ)裝置,用于對(duì)設(shè)置多條備用線的存儲(chǔ)器的失效位進(jìn)行修補(bǔ),其具有備用線分配裝置,決定對(duì)上述存儲(chǔ)器中具有上述失效位的行方向的失效線及列方向的失效線中的哪一個(gè)失效線分配上述備用線;以及,設(shè)定部,對(duì)上述存儲(chǔ)器設(shè)定已由上述備用線分配裝置所決定的分配; 上述備用線分配裝置具有位計(jì)數(shù)部,對(duì)于各條上述失效線中包含的各個(gè)失效位,將含該失效位而且與該失效線 不同方向的失效線所具有的失效位的個(gè)數(shù)作為正交失效位數(shù)而計(jì)數(shù),并對(duì)應(yīng)每個(gè)上述失效 位而存儲(chǔ)上述正交失效位數(shù);加權(quán)計(jì)算部,根據(jù)各條上述失效線中包含的上述失效位的上述正交失效位數(shù),計(jì)算各 條上述失效線的加權(quán)系數(shù),并對(duì)應(yīng)每條上述失效線而存儲(chǔ)上述加權(quán)系數(shù);分配部,根據(jù)上述加權(quán)計(jì)算部計(jì)算的上述加權(quán)系數(shù)的大小關(guān)系,決定對(duì)哪個(gè)失效線分 配上述備用線。
16. —種備用線分配方法,該方法對(duì)設(shè)置多條備用線的存儲(chǔ)器決定對(duì)具有失效位的行 方向的失效線及列方向的失效線中的哪個(gè)失效線分配上述備用線,其中,針對(duì)各條上述失效線中包含的各個(gè)失效位,將包含該失效位而且與該失效線不同方向 的失效線具有的失效位的個(gè)數(shù)作為正交失效位數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù),并在每個(gè)上述失效位中存儲(chǔ)上 述正交失效位數(shù);根據(jù)各條上述失效線中包含的上述失效位的上述正交失效位數(shù),計(jì)算各條上述失效線 的加權(quán)系數(shù),并對(duì)每條上述失效線存儲(chǔ)上述加權(quán)系數(shù);根據(jù)上述加權(quán)系數(shù)的大小關(guān)系,決定向哪條上述失效線分配上述備用線。
17. —種用于制造存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)器制造方法,包括如下階段 形成設(shè)有多條備用線的存儲(chǔ)器的階段;對(duì)于已形成的上述存儲(chǔ)器,決定對(duì)具有失效位的行方向的失效線及列方向的失效線中 的哪個(gè)失效線分配上述備用線,修補(bǔ)上述存儲(chǔ)器的階段; 在修補(bǔ)上述存儲(chǔ)器的階段中,針對(duì)各條上述失效線中包含的各個(gè)失效位,將包含該失效位而且與該失效線不同的方 向的失效線具有的失效位的個(gè)數(shù)作為所述正交失效數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù),并在每個(gè)上述失效位中存 儲(chǔ)上述正交失效位數(shù);根據(jù)各條上述失效線中包含的上述失效位的上述正交失效位數(shù),計(jì)算各條上述失效線 的加權(quán)系數(shù),并對(duì)每條上述失效線存儲(chǔ)上述加權(quán)系數(shù);根據(jù)上述加權(quán)系數(shù)的大小關(guān)系,決定向哪條上述失效線分配上述備用線。
18. —種程序,該程序使計(jì)算機(jī)作為備用線分配裝置而發(fā)揮作用,該備用線分配裝置針 對(duì)設(shè)有多條備用線的存儲(chǔ)器,決定對(duì)具有失效位的行方向的失效線及列方向的失效線中的 哪個(gè)失效線分配上述備用線,上述計(jì)算機(jī)通過執(zhí)行上述程序,而發(fā)揮以下功能,位計(jì)數(shù)部,針對(duì)各條上述失效線中包含的各個(gè)失效位,將包含該失效位而且與該失效 線不同方向的失效線具有的失效位的個(gè)數(shù)作為所述正交失效位數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù),并在每個(gè)上述 失效位中存儲(chǔ)上述正交失效位數(shù);加權(quán)計(jì)算部,根據(jù)各條上述失效線中包含的上述失效位的上述正交失效位數(shù),計(jì)算各 條上述失效線的加權(quán)系數(shù),并對(duì)每條上述失效線存儲(chǔ)上述加權(quán)系數(shù);分配部,按照上述加權(quán)計(jì)算部計(jì)算的上述加權(quán)系數(shù)的大小關(guān)系,決定向哪條上述失效線分配上述備用線'
全文摘要
本發(fā)明提供一種備用線分配裝置,該裝置針對(duì)設(shè)有多條備用線的存儲(chǔ)器,決定對(duì)哪條失效線分配備用線,其具有位計(jì)數(shù)部,針對(duì)各條失效線中包含的各個(gè)失效位,將包含該失效位,而且與該失效線不同方向的失效線具有的失效位的個(gè)數(shù)作為正交失效位數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù),并在每個(gè)失效位中存儲(chǔ)正交失效位數(shù);加權(quán)計(jì)算部,根據(jù)各條失效線中包含的失效位的正交失效位數(shù),計(jì)算各條失效線的加權(quán)系數(shù),并對(duì)每條失效線存儲(chǔ)加權(quán)系數(shù);分配部,按照加權(quán)計(jì)算部計(jì)算的加權(quán)系數(shù)的大小,決定向哪條失效線分配備用線。
文檔編號(hào)G11C29/44GK101765889SQ20078010003
公開日2010年6月30日 申請(qǐng)日期2007年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月26日
發(fā)明者藤井俊朗 申請(qǐng)人:愛德萬測(cè)試株式會(huì)社