專利名稱：磁頭懸掛裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于結(jié)合在例如個(gè)人電腦的信息處理設(shè)備中的磁盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭懸 掛裝置。
背景技術(shù)：
小尺寸、精密信息裝置正在快速發(fā)展，并且為了與這樣的裝置一起使用，對(duì)能夠進(jìn) 行非常小距離的定位控制的微致動(dòng)器的需求正在增加。這樣的微致動(dòng)器對(duì)于例如矯正聚焦 和入射角的光學(xué)系統(tǒng)、用于控制噴墨頭的噴墨打印機(jī)和用于控制磁頭的磁盤驅(qū)動(dòng)器尤其需要。為了滿足該需要，本發(fā)明的申請(qǐng)已經(jīng)在日本未經(jīng)審查的專利申請(qǐng)公開 No. 2002-50140中提出了用于磁盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭懸掛裝置，其包括底板、具有比底板更薄的 鉸鏈的連接板、設(shè)置有的載荷梁和包括一對(duì)壓電元件的壓電致動(dòng)器。該相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域采用雙致動(dòng)器系統(tǒng)，其為了精確定位，包括音圈馬達(dá)和壓電致動(dòng) 器，該壓電致動(dòng)器具有兩個(gè)由例如PZT(鋯鈦酸鉛)制成的壓電元件。雙致動(dòng)器系統(tǒng)中的壓 電致動(dòng)器沿磁頭懸掛裝置寬度方向(搖擺方向)微小地移動(dòng)載荷梁的前端。與僅采用音圈馬達(dá)的單致動(dòng)器系統(tǒng)相比較，采用音圈馬達(dá)和壓電致動(dòng)器的雙致動(dòng) 器系統(tǒng)能夠更精確地定位連接到磁頭懸掛裝置前端的磁頭。在雙致動(dòng)器系統(tǒng)的磁頭懸掛裝置中，壓電致動(dòng)器布置在形成在壓電元件連接部件 中的孔內(nèi)，該壓電元件連接部件制備在例如底板上。該類型的布置方式公開在日本未經(jīng)審 查的專利申請(qǐng)公開No. 2001-307442中。本發(fā)明的申請(qǐng)已經(jīng)在日本未經(jīng)審查的專利申請(qǐng)公開No. 2002-50140中提出通過 支架支撐壓電元件電極的技術(shù)，所述支架形成在形成于磁頭懸掛裝置的底板中的孔處。本 發(fā)明的申請(qǐng)還在日本未經(jīng)審查的專利申請(qǐng)公開No. 2002-184140中提出通過支架支撐一對(duì) 壓電元件的技術(shù)，所述支架具有底端、前端和沿磁頭懸掛裝置的中心線延伸來將底端和前 端彼此連接的橋。支架的底端和前端支承布置在支架的橋的每一側(cè)的壓電元件的前端和后 端。這些相關(guān)技術(shù)涉及很多部件，使用于支撐壓電元件的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化。結(jié)果，根據(jù)相關(guān) 技術(shù)領(lǐng)域的磁頭懸掛裝置使制造工藝復(fù)雜化，并且使其很難確保裝配精度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種磁頭懸掛裝置，包括數(shù)量較少的用于支撐壓電元件的部 件，并且能夠簡(jiǎn)化制造工藝和提高裝配精度。為了實(shí)現(xiàn)該目的，本發(fā)明的一方面提供一種磁頭懸掛裝置，其具有底部、載荷梁和 布置在所述底部和載荷梁之間并且響應(yīng)于施加的電力將所述載荷梁的前端相對(duì)于所述底 部精確移動(dòng)的壓電元件。所述磁頭懸掛裝置包括形成在所述底部中并且構(gòu)造用于接納所述 壓電元件的孔，和與所述底部結(jié)合、部分突出到所述孔內(nèi)并且構(gòu)造用于支撐所述壓電元件的電極的支架構(gòu)件。所述支架構(gòu)件具有一體的用于支撐所述電極底端的底端支架、用于支 撐所述電極前端的前端支架和用于將所述底端支架和前端支架在所述壓電元件外部彼此 連接的一對(duì)支架連接部。本發(fā)明的該方面減少用于支撐所述壓電元件的部件的數(shù)量，由此簡(jiǎn)化制造工藝， 并且提高所述磁頭懸掛裝置的裝配精度。


圖IA和IB是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1的磁頭懸掛裝置的仰視圖，其中圖IA示出磁 頭懸掛裝置的主要部件，圖IB示出磁頭懸掛裝置；圖2是示出圖IB的圍繞磁頭懸掛裝置壓電元件的部分的放大俯視圖； 圖3是沿圖2的III-III線的剖視圖；圖4A和4B是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例2的磁頭懸掛裝置的俯視圖，其中圖4A示出磁頭 懸掛裝置的主要部件，圖4B示出磁頭懸掛裝置；圖5是示出圖4B的圍繞磁頭懸掛裝置壓電元件的部分的放大俯視圖；圖6A和6B是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3的磁頭懸掛裝置的俯視圖，其中圖6A示出磁頭 懸掛裝置的主要部件，圖6B示出磁頭懸掛裝置；圖7是示出圖6B的圍繞磁頭懸掛裝置壓電元件的部分的放大俯視圖；圖8A和8B是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例4的磁頭懸掛裝置的仰視圖，其中圖8A示出磁頭 懸掛裝置的主要部件，圖8B示出磁頭懸掛裝置；圖9是示出圖8B的圍繞磁頭懸掛裝置壓電元件的部分的放大俯視圖；和圖10是示出連接到根據(jù)實(shí)施例1到4中任一個(gè)的磁頭懸掛裝置的壓電元件的剖 視圖。
具體實(shí)施例方式將參照附圖詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的磁頭懸掛裝置。每一個(gè)磁頭懸掛裝置采 用包括音圈馬達(dá)和壓電致動(dòng)器的雙致動(dòng)器系統(tǒng)。首先，將參照?qǐng)DIA到3說明根據(jù)實(shí)施例1的磁頭懸掛裝置，其中圖IA示出磁頭懸 掛裝置的主要部件，圖IB示出磁頭懸掛裝置，圖2是示出圍繞磁頭懸掛裝置壓電元件的部 分的放大俯視圖，圖3是沿圖2的III-III線的剖視圖。在下面的說明中，磁頭懸掛裝置的底板側(cè)稱為底端或后端，其載荷梁側(cè)稱為前端 或前側(cè)。磁頭懸掛裝置的表面?zhèn)仁桥c其中布置磁盤的側(cè)相對(duì)的側(cè)，磁頭懸掛裝置的后側(cè)或 底側(cè)為其中布置磁盤的側(cè)。根據(jù)實(shí)施例1的磁頭懸掛裝置IOA具有底板11a、載荷梁13a、支架構(gòu)件19a和壓 電致動(dòng)器12。壓電致動(dòng)器12包括壓電陶瓷元件(后文稱為“壓電元件”)40，其響應(yīng)于施加的電 力變形，以將載荷梁13a的前端沿磁頭懸掛裝置IOA的搖擺方向，即寬度方向略微移動(dòng)。底板Ila彈性地支撐載荷梁13a，并且由厚度范圍在例如150到200 μ m范圍內(nèi)的 薄彈性不銹鋼板制成。底板Ila具有孔20和圓形凸臺(tái)21。底板Ila對(duì)應(yīng)于權(quán)利要求中限定的“底部”。底板Ila具有一體的底端部分1 Ial、前端部分lla2和用于將低端部分Ila和前端部分lla2 在孔20外部，即在孔20的每一側(cè)彼此連接的一對(duì)底部連接部lla3?？?0容納矩形壓電元件40，如圖2和3中所示。壓電元件40由例如PZT (鋯鈦酸 鉛)制成，其響應(yīng)于施加到其的電力變形。底板Ila的底端部分Ilal固定到由音圈馬達(dá)(未示出)驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器臂(未示 出)的前端。每一個(gè)底部連接部lla3具有從孔20向外突出的U型形狀。通過底部連接部 lla3，前端部分lla2沿?fù)u擺方向X(圖1B)相對(duì)于底端部分Ilal彎曲。撓曲件15通過例如激光點(diǎn)焊固定到載荷梁13a的底部，如圖IB中所示。撓曲件15的前端設(shè)置有磁頭滑塊16。載荷梁13a由厚度在例如30到150 μ m范圍內(nèi)的薄彈性不 銹鋼板制成，并且用于將載荷施加到滑塊16上。撓曲件15由比載荷梁13a更薄并且更精密的薄不銹鋼板制成。如圖3中所示，撓 曲件15由從支架構(gòu)件19a側(cè)一個(gè)放置在另一個(gè)上的導(dǎo)電底層15a、電絕緣層15b和導(dǎo)體層 15c構(gòu)成。撓曲件15在適當(dāng)位置通過例如激光點(diǎn)焊固定到支架構(gòu)件19a。導(dǎo)電底層15a由薄金屬板，例如不銹鋼薄板制成。絕緣層15b由電絕緣材料，例如 聚酰亞胺樹脂制成。導(dǎo)體層15c由導(dǎo)電材料，例如銅和鎳制成。導(dǎo)體層15c用于將電力供 到壓電元件40的電極70和71，并且將寫/讀信號(hào)傳送到磁頭滑塊16或從磁頭滑塊16傳 送寫/讀信號(hào)。支架構(gòu)件19a由厚度范圍在例如20到50 μ m的薄彈性不銹鋼板制成。支撐部件19a具有一體的底端支架19al、前端支架19a2和用于將底端支架19al 和前端支架19a2在壓電元件40的每一個(gè)外側(cè)彼此連接的一對(duì)支架連接部19a3。支架構(gòu)件 19a包括孔22，其對(duì)應(yīng)于并且小于底板Ila的孔20。支架構(gòu)件19a的底端支架19al對(duì)應(yīng)于底板Ila的放置其上并且通過例如激光點(diǎn) 焊固定到其的底端部分Ilal的一部分。支架構(gòu)件19a的前端支架19a2對(duì)應(yīng)于底板Ila的放置其上并且通過例如激光電 焊固定到其的前端部分lla2。前端部分lla2通過例如激光點(diǎn)焊固定到載荷梁13a的底端。支架構(gòu)件19a的每一個(gè)支架連接部19a3具有在壓電元件40的每一側(cè)向外延伸的 U型形狀。通過支架連接部19a3，前端支架19a2相對(duì)于底端支架19al沿?fù)u擺方向X(圖 1B)彎曲。支架連接部19a3略微在底板Ila的底部連接部lla3的內(nèi)部，如圖IB所示。艮口， 實(shí)施例1將支架連接部19a3布置成不與底部連接部lla3重疊。在壓電致動(dòng)器12中，壓電元件40的頂部和底部表面分別設(shè)置有電極70和71。壓 電致動(dòng)器12的厚度在例如0. 07到0. 20mm的范圍內(nèi)。壓電元件40具有在其頂部和底部表面上的電極形成面50和51、后和前端面52和 53以及右和左側(cè)面54和55。壓電元件40嵌入底板Ila的孔20中。即，如圖3中所示，壓電元件40布置在孔 20中，以使壓電元件40的頂部表面上的電極70與底板Ila的表面Ild平齊或低于底板Ila 的表面lid。在孔20中，壓電元件40的端面52和53面向孔20的后和前側(cè)壁60和61，在其之 間具有預(yù)定間隙。而且，壓電元件40的側(cè)面54和55面向底板Ila的底端部分和前端部分Ilal和lla2的側(cè)壁62和63，在其間具有預(yù)定間隙。壓電元件40的頂部和底部電極形成面50和51全部由電極70和71覆蓋，電極70 和71由例如金(Au)的導(dǎo)電材料制成，如圖3中所示。電極70和71可通過氣相沉積、濺射 或 電鍍形成。電極70通過例如銀漿72的導(dǎo)電粘結(jié)劑接地到底板11a。電極71通過導(dǎo)線73結(jié) 合到形成在撓曲件15的導(dǎo)體層15c上的接線端74。壓電元件40具有面向底端支架19al的底端部分40a和面向前端支架19a2的前 端部分40b。底端支架19al和前端支架19a2從孔20的后和前側(cè)壁60和61突出，以支撐壓電 元件40的電極71。壓電元件40的底端部分40a通過非導(dǎo)電粘結(jié)劑80固定到底端支架19al。壓電元 件40的前端部分40b通過非導(dǎo)電粘結(jié)劑80固定到前端支架19a2。非導(dǎo)電粘結(jié)劑80可以是已知的非導(dǎo)電粘結(jié)劑、含有例如二氧化硅和玻璃等絕緣 材料填料微粒的已知導(dǎo)電粘結(jié)劑。非導(dǎo)電粘結(jié)劑80在壓電元件40的電極71和底端支架19al與前端支架19a2之 間形成適當(dāng)厚度的層。壓電元件40的電極71對(duì)應(yīng)于權(quán)利要求中限定的“電極”。優(yōu)選非導(dǎo)電粘結(jié)劑層80的厚度等于或大于10 μ。具有這樣的厚度的絕緣層確保 電極71和低端支架19al和前端支架19a2之間的電絕緣。在壓電元件40的端面52，53，54和55與孔20的側(cè)壁60、61、62和63之間的間隙 中，非導(dǎo)電粘結(jié)劑80形成具有適當(dāng)厚度的層。孔20的側(cè)壁60，61，62和63與權(quán)利要求中 限定的“孔的側(cè)壁”對(duì)應(yīng)。為了接納填充在壓電元件40的端面54和55與孔20的側(cè)壁62和63之間的間隙 中的非導(dǎo)電粘結(jié)劑80，支架構(gòu)件19a在對(duì)應(yīng)于壓電元件40的端面54和55的位置處具有粘 結(jié)劑接受部23和24。該粘結(jié)劑接受部23和24沿壓電元件40的端面54和55突出并且彼 此面對(duì)，其間具有微小間隙。壓電元件40的端面52，53，54和55與孔20的側(cè)壁60，61，62和63之間的非導(dǎo)電 粘結(jié)劑80確定地將壓電元件40的變形(位移)傳遞給載荷梁13a，并且確保壓電元件40 的電極70和71與孔20的側(cè)壁60，61，62和63之間電絕緣。加電壓時(shí)，壓電元件40的一側(cè)沿前后方向收縮，并且其相對(duì)側(cè)沿該方向延伸。結(jié) 果壓電元件40作為整體變形為梯形。根據(jù)壓電元件40的變形方向和大小，載荷梁13a的前端相對(duì)于底板Ila沿?fù)u擺方 向X(圖1B)移動(dòng)。為了使載荷梁13a的前端平穩(wěn)地沿?fù)u擺方向X移動(dòng)非常小的距離，底板Ila采用 U型底部連接部lla3，以提供給底端部分Ilal和前端部分lla2水平撓性和垂直剛性。類似地，支架構(gòu)件19a采用U型支架連接部19a3，以提供給底端支架19al和前端 支架19a2水平撓性和垂直剛性。這樣，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的磁頭懸掛裝置IOA采用了支架構(gòu)件19a，其具有一 體的底端支架19al、前端支架19a2、以及將底端支架19al和前端支架19a2在壓電元件40 的每一側(cè)上相互連接的支架連接部19a3。該結(jié)構(gòu)減少用于支撐壓電元件40的部件數(shù)量。
因此，根據(jù)實(shí)施例1的磁頭懸掛裝置IOA簡(jiǎn)化了制造工藝，并且提高了裝配精度。支架連接部19a3每一個(gè)具有U型形狀，以將底端支架19al和前端支架19a2彼此 連接。該結(jié)構(gòu)避免在將具有壓電元件40的壓電致動(dòng)器12連接到磁頭懸掛裝置IOA時(shí)支架 構(gòu)件19a和壓電元件40之間干涉。這防止出現(xiàn)灰塵或短路。底部連接部1 la3和支架連接部19a3布置成彼此不重疊。這防止底板連接部1 la3 和支架連接部19a3之間在壓電致動(dòng)器12搖擺操作過程中干涉，由此防止出現(xiàn)灰塵或噪聲。支架構(gòu)件19a可由薄金屬板，例如薄不銹鋼板通過將該板蝕刻成所需形狀制成。 該技術(shù)精確地形成支架構(gòu)件19a的支架連接部19a3，以使支架構(gòu)件19a沿?fù)u擺方向具有精 確的彈簧常數(shù)。底端支架19al、前端支架19a2和粘結(jié)劑接受部23和24配合來接納涂敷到壓電元 件40周圍端面的非導(dǎo)電粘結(jié)劑80。該結(jié)構(gòu)確保壓電元件40的電極70和71與孔20之間 的電絕緣，防止壓電元件40的周圍端面產(chǎn)生灰塵。粘結(jié)劑接受部23和24、壓電元件40的電極71和周圍端面、面向電極71的底端 支架19al和前端支架19a2和面向壓電元件40周圍端面的孔20的側(cè)壁形成粘結(jié)劑填充空 間。壓電元件40布置在孔20中，非導(dǎo)電粘結(jié)劑80填充在粘結(jié)劑填充空間中。該結(jié)構(gòu)確定 地將壓電元件40的變形(位移)傳遞到載荷梁13a，并且確保壓電元件40的電極70和71 與孔20的側(cè)壁60，61，62和63之間的電絕緣。非導(dǎo)電粘結(jié)劑80覆蓋壓電元件的易碎外周， 以有效地保護(hù)壓電元件40。粘結(jié)劑接受部23和24在壓電元件40每一側(cè)彼此間隔開，以使底端支架19al和 前端支架19a2相對(duì)于彼此可移動(dòng)而與粘結(jié)劑接受部23和24無關(guān)。這確保底端支架19al 和前端支架19a2的水平撓性。根據(jù)實(shí)施例1的磁頭懸掛裝置IOA因此平穩(wěn)地并且精確地沿?fù)u擺方向X將壓電致 動(dòng)器12移動(dòng)非常小的距離。根據(jù)實(shí)施例2的磁頭懸掛裝置將參照?qǐng)D4A，4B和5詳細(xì)說明，其中圖4A示出磁頭 懸掛裝置的主要部件，圖4B示出磁頭懸掛裝置，圖5是示出圍繞磁頭懸掛裝置的壓電元件 的一個(gè)部件的放大俯視圖。實(shí)施例2的磁頭懸掛裝置IOB基本上與實(shí)施例的磁頭懸掛裝置IOA相同，不同之 處在于支架構(gòu)件的結(jié)構(gòu)，因此兩個(gè)實(shí)施例共用的部件以相同的附圖標(biāo)記圖示，以省略重復(fù) 說明。在實(shí)施例1中，例如與底板Ila相關(guān)的部分使用“11a”加數(shù)字圖示。與此相似，在 實(shí)施例2中，例如與底板lib相關(guān)的部分使用“l(fā)ib”加數(shù)字圖示。該說明形式用于簡(jiǎn)單地 將不同實(shí)施例彼此區(qū)別開。具有相似附圖標(biāo)記的部分，例如實(shí)施例1的底端部分“l(fā)lal”和實(shí)施例2的底端部 分“l(fā)lbl”基本上為相同部分，因此這樣的部分將不再說明。下面主要說明實(shí)施例1和2之 間的區(qū)別。根據(jù)實(shí)施例1，磁頭懸掛裝置IOA具有載荷梁13a和支架構(gòu)件19a，其為不同的部 件，如圖IA中所示。根據(jù)實(shí)施例2，磁頭懸掛裝置IOB具有載荷梁13b和支架構(gòu)件25，其彼此一體形 成，如圖4A中所示。
更準(zhǔn)確地，根據(jù)實(shí)施例2的載荷梁13b具有與支架構(gòu)件25 —體的底端。支架構(gòu)件25包括底端支架13bl、前端支架13b2和在壓電元件40每一側(cè)連接底端支架13bl和前端 支架13b2的一對(duì)支架連接部13b3。支架構(gòu)件25還具有孔22，其對(duì)應(yīng)于并且小于底板lib 的孔20。與實(shí)施例1的載荷梁13a相似，載荷梁13b由厚度范圍例如在從30到150 μ m范 圍內(nèi)的薄彈性不銹鋼板制成。實(shí)施例2的載荷梁13b可由厚度范圍在例如20到50 μ m范 圍內(nèi)的比實(shí)施例1的更薄的薄彈性不銹鋼板制成。支架構(gòu)件25的底端支架13bl對(duì)應(yīng)于底板lib的底端部件llbl，并且放置其上，通 過例如電焊固定到其。支架構(gòu)件25的前端支架13b2對(duì)應(yīng)于底板lib的前端部llb2，并且放置其上，通過 例如電焊固定到其。支架構(gòu)件25的支架連接部13b3每一個(gè)以U形形狀在壓電元件40的每一側(cè)向外 突出。通過支架連接部13b3，前端支架13b2相對(duì)于底端支架13bl沿?fù)u擺方向X(圖4B)彎
曲ο支架連接部13b3略微布置在底板lib的底部連接部llb3的內(nèi)部，以使支架連接 部13b3不與底部連接部llb3重疊。除了實(shí)施例1的效果，由于載荷梁13b和支架構(gòu)件25 —體，實(shí)施例2的磁頭懸掛 裝置IOB還提供減少部件數(shù)量、簡(jiǎn)化制造工藝和提高裝配精度的效果。根據(jù)實(shí)施例3的磁頭懸掛裝置將參照?qǐng)D6A，6B和7詳細(xì)說明，其中，圖6A示出磁 頭懸掛裝置的主要部件，圖6B示出磁頭懸掛裝置，圖7是示出圍繞磁頭懸掛裝置的壓電元 件的一個(gè)部件的放大俯視圖。實(shí)施例3的磁頭懸掛裝置IOC與實(shí)施例2的磁頭懸掛裝置IOB基本上相同，不同 之處在于支架構(gòu)件的結(jié)構(gòu)，因此兩個(gè)實(shí)施例的共用部件以相同的附圖標(biāo)記圖示，以省略重 復(fù)說明。下面主要說明實(shí)施例2和3之間的區(qū)別。根據(jù)實(shí)施例2，支架構(gòu)件25的底端支架13bl和前端支架13b2彼此通過壓電元件 40外部的支架連接部13b3連接。根據(jù)實(shí)施例3，磁頭懸掛裝置IOC的支架構(gòu)件27具有底端支架13cl、前端支架 13c2和在壓電元件40外側(cè)將底端支架13cl和前端支架13c2彼此連接的一對(duì)支架連接部 13c3。該支架連接部13c3為撓性部件。更準(zhǔn)確地，根據(jù)實(shí)施例3的支架構(gòu)件27的支架連接部13c3分別為卷簧。支架連接部13c3可用作粘結(jié)劑接受部，用于接納填充在壓電元件40的端面54和 55與形成在磁頭懸掛裝置IOC的底板Ilc中的孔20的側(cè)壁62和63之間的非導(dǎo)電粘結(jié)劑 80。除了實(shí)施例1和2的效果，由于撓性支架連接部13c3，即卷簧，根據(jù)實(shí)施例3的磁 頭懸掛裝置IOC提供沿?fù)u擺方向的增加的撓性和平穩(wěn)的搖擺操作的效果。與實(shí)施例3相似，為了沿?fù)u擺方向提供撓性，實(shí)施例2可減小支架連接部13b3的 寬度。但是如果這樣實(shí)現(xiàn)，則實(shí)施例2使載荷梁13b沿厚度方向的剛性變差，并且在制造過 程中阻礙載荷梁13b的操作。另一方面，實(shí)施例3將卷簧應(yīng)用于每一個(gè)支架連接部13c3，以確保載荷梁13c沿厚度方向的剛性和制造過程中載荷梁13c的操作。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例4的頭部懸掛裝置將參照?qǐng)D8A，8B和9詳細(xì)說明，其中，圖8A 示出磁頭懸掛裝置的主要部件，圖8B示出磁頭懸掛裝置，圖9是示出圍繞磁頭懸掛裝置的 壓電元件的一個(gè)部件的放大俯視圖。實(shí)施例4的磁頭懸掛裝置IOD與實(shí)施例2的磁頭懸掛裝置IOB基本上相同，不同 之處在于支架構(gòu)件的結(jié)構(gòu)，因此兩個(gè)實(shí)施例的共用部件以相同的附圖標(biāo)記圖示，以省略重 復(fù)說明。下面主要說明實(shí)施例2和4之間的區(qū)別。根據(jù)實(shí)施例2，底端連桿llb3和支架連桿13b3布置成彼此不重疊。 根據(jù)實(shí)施例4，底端連桿lld3和支架連桿13d3布置成彼此重疊，并且通過激光點(diǎn) 焊彼此固定。根據(jù)實(shí)施例4，磁頭懸掛裝置IOD具有底板lld，其對(duì)應(yīng)于權(quán)利要求中限定的“底 部”。底板Ild具有底端部分lldl、前端部分lld2和將該底端部分Ildl和前端部分lld2 在孔20每一側(cè)彼此連接的底部連接部lld3。每一個(gè)底部連接部lld3具有從孔20向外突出的U型形狀。通過底部連接部lld3， 前端部分lld2能夠相對(duì)于底端部分Ildl沿?fù)u擺方向X彎曲，如圖8B中所示。根據(jù)實(shí)施例4的載荷梁13d的底端與支架構(gòu)件29 —體。支架構(gòu)件29具有底端支 架13dl、前端支架13d2和將該底端支架13dl和前端支架13d2在壓電元件40每一側(cè)彼此 連接的支架連接部13d3。支架構(gòu)件29具有孔22，其對(duì)應(yīng)于并且小于底板Ild的孔20。支架構(gòu)件29的底端支架13dl對(duì)應(yīng)于底板Ild的底端部分Ildl的一部分，并且放 置其上，通過激光點(diǎn)焊固定到其。支架構(gòu)件29的前端支架13d2對(duì)應(yīng)于底板Ild的前端部分1 ld2，并且放置其上，通 過例如激光點(diǎn)焊固定到其。支架構(gòu)件29的每一個(gè)支架連接部13d3在壓電元件40每一側(cè)具有向外突出的U 型形狀。通過支架連接部13d3，前端支架13d2能夠相對(duì)于底端支架13dl沿?fù)u擺方向X(圖 8B)彎曲。支架連接部13d3對(duì)應(yīng)于底部連接部lld3，并且比底板連接部lld3更窄。根據(jù)實(shí)施例4的支架連接部13d3和底部連接部lld3布置成彼此重疊，并且通過 例如激光點(diǎn)焊固定在一起。除了實(shí)施例1到3的效果外，由于支架連接部13d3和底部連接部lld3彼此重疊 并且通過激光點(diǎn)焊固定在一起，根據(jù)實(shí)施例4的磁頭懸掛裝置IOD提供防止連接部13d3和 lld3在壓電致動(dòng)器12的搖擺操作過程中彼此干涉的效果，和不產(chǎn)生灰塵和噪聲的效果。另 夕卜，重疊的并且固定的連接部lld3和13d3提高連接部的剛性。根據(jù)實(shí)施例4的磁頭懸掛裝置IOD因此可精確地將載荷梁13d的前端沿?fù)u擺方向 X響應(yīng)于壓電致動(dòng)器12的變形移動(dòng)非常短的距離，同時(shí)抑制磁頭懸掛裝置IOD自身振動(dòng)。實(shí)施例1到4能夠優(yōu)化壓電元件40在磁頭懸掛裝置上的連接狀態(tài)。這將參照?qǐng)D10說明。根據(jù)實(shí)施例1(2，3，4)，支架構(gòu)件19(25，27，29)與底板 lla(llb，llc，lld)分離。因此易于沿由底板lla(llb，11c，lid)和支架構(gòu)件19(25,27,29) 形成的結(jié)構(gòu)的厚度方向?qū)偠戎行妮SC與嵌入孔20中的壓電元件40的厚度方向的中心軸 C對(duì)準(zhǔn)。中心軸C彼此對(duì)準(zhǔn)導(dǎo)致抑制磁頭懸掛裝置的扭轉(zhuǎn)振動(dòng)。
因此，實(shí)施例1(2，3，4)的磁頭懸掛裝置10A(10B，10C，10D)可根據(jù)壓電致動(dòng)器12 的位移精確地將載荷梁的前端移動(dòng)非常短的距離，同時(shí)抑制磁頭懸掛裝置自身的扭轉(zhuǎn)振 動(dòng)。本發(fā)明不限于上述實(shí)施例。所述實(shí)施例可修改而不偏離權(quán)利要求和說明書中公開 的本發(fā)明的主旨和技術(shù)思想?；谶@樣的修改形式的磁頭懸掛裝置也落入本發(fā)明的范圍 內(nèi)。
例如，本發(fā)明不僅可用于具有嵌入在磁頭懸掛裝置的孔中的單個(gè)壓電元件的磁頭 懸掛裝置，而且可用于具有多個(gè)布置在磁頭懸掛裝置的孔中的壓電元件的磁頭懸掛裝置。
權(quán)利要求
一種磁頭懸掛裝置，具有底部、載荷梁和壓電元件，所述壓電元件布置在所述底部和載荷梁之間并且響應(yīng)于施加的電力而變形，以相對(duì)于所述底部精確地移動(dòng)所述載荷梁的前端，所述磁頭懸掛裝置包括孔，形成在所述底部中，并且構(gòu)造用于接納所述壓電元件；和支架構(gòu)件，與所述底部結(jié)合，部分突出到所述孔內(nèi)，并且構(gòu)造用于支撐所述壓電元件的電極，所述支架構(gòu)件一體地具有用于支撐所述電極的底端的底端支架、用于支撐所述電極的前端的前端支架和用于將所述底端支架和前端支架在所述壓電元件外部彼此連接的一對(duì)支架連接部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁頭懸掛裝置，其中所述底部一體地具有與所述底端支架結(jié)合的底端部分、與所述前端支架結(jié)合的前端部 分 和用于將所述底端部分和前端部分在所述孔外部彼此連接的一對(duì)底部連接部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁頭懸掛裝置，其中 所述底部連接部在所述孔的每一側(cè)向外突出； 所述支架連接部在所述壓電元件每一側(cè)向外突出；并且 所述底部連接部和所述支架連接部布置成彼此不重疊。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁頭懸掛裝置，其中 所述底部連接部在所述孔每一側(cè)向外突出；所述支架連接部在所述壓電元件每一側(cè)向外突出；并且 所述底部連接部和支架連接部布置成彼此重疊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁頭懸掛裝置，其中 所述支架構(gòu)件與所述載荷梁為一體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁頭懸掛裝置，其中 所述支架連接部為撓性部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁頭懸掛裝置，其中 所述撓性部件為卷簧。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁頭懸掛裝置，還包括粘結(jié)劑接受部，構(gòu)造用于接納用于覆蓋所述壓電元件周圍端面的非導(dǎo)電粘結(jié)劑。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁頭懸掛裝置，其中所述粘結(jié)劑接受部為粘結(jié)劑填充空間，所述粘結(jié)劑填充空間由所述壓電元件的電極和 周圍端面、所述底端支架和前端支架的電極面向部分、以及面向所述壓電元件的周圍端面 的所述孔的側(cè)壁形成；并且所述壓電元件布置在所述孔中，非導(dǎo)電粘結(jié)劑填充在所述粘結(jié)劑填充空間中。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁頭懸掛裝置，其中所述粘結(jié)劑接受部在壓電元件每一側(cè)上在其所述底端側(cè)和前端側(cè)之間具有間隙。
全文摘要
磁頭懸掛裝置具有底板11a、載荷梁13a和布置在所述底板和所述載荷梁之間并且響應(yīng)于施加的電力變形來精確地將所述載荷梁的前端相對(duì)于所述底板向前移動(dòng)的壓電元件40。該磁頭懸掛裝置包括形成在所述底板中并且構(gòu)造用于接納所述壓電元件的孔20，和與所述底板結(jié)合、部分突出到所述孔內(nèi)并且構(gòu)造用于支撐所述壓電元件的電極71的支架構(gòu)件19。所述支架構(gòu)件19具有一體的用于支撐電極底端的底端支架19a1、用于支撐所述電極前端的前端支架19a2和用于將所述底端支架和前端支架在所述壓電元件外部彼此連接的支架連接部19a3。該結(jié)構(gòu)減少用于支撐所述壓電元件的部件數(shù)量。
文檔編號(hào)G11B21/10GK101866673SQ20101011780
公開日2010年10月20日 申請(qǐng)日期2010年2月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月16日
發(fā)明者半谷正夫, 安藤利樹 申請(qǐng)人:日本發(fā)條株式會(huì)社