專利名稱：內(nèi)部電壓發(fā)生電路及其操作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及半導(dǎo)體設(shè)計(jì)技術(shù)，且更具體而言涉及一種經(jīng)由泵浦操作(pumping operation)產(chǎn)生內(nèi)部電壓的內(nèi)部電壓發(fā)生電路。
背景技術(shù)：
一般而言，半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件在內(nèi)部產(chǎn)生具有多種電壓電平的內(nèi)部電壓，且所產(chǎn)生的內(nèi)部電壓分別供應(yīng)至使用所產(chǎn)生的內(nèi)部電壓的內(nèi)部電路?？梢杂酶鞣N方式來(lái)設(shè)計(jì)用于產(chǎn) 生內(nèi)部電壓的內(nèi)部電壓發(fā)生電路。其中的一種為經(jīng)由泵浦操作產(chǎn)生內(nèi)部電壓的泵浦電路(pumping operation)。圖I是說(shuō)明典型的泵浦電路的框圖。參看圖1，泵浦電路包括多個(gè)泵單元，諸如第一至第N泵單元110、120、. . .、130。第一至第N泵單元110、120.....130每個(gè)都執(zhí)行典型的泵浦操作，且每個(gè)泵單元
產(chǎn)生不同的泵浦電壓。換言之，經(jīng)由第一泵單元110中執(zhí)行的泵浦操作所產(chǎn)生的泵浦電壓被輸入至第二泵單元120，且第二泵單元120接收該泵浦電壓且經(jīng)由泵浦操作產(chǎn)生比該泵浦電壓高的泵浦電壓。因此，從第N泵單元130輸出的電壓被稱為最終泵浦電壓V_PP。與此同時(shí)，愈來(lái)愈多的操作由半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件執(zhí)行，且因此，要產(chǎn)生多種電平的內(nèi)部電壓。為了容易地獲得多種電壓電平的內(nèi)部電壓，可以對(duì)應(yīng)于要產(chǎn)生的內(nèi)部電壓的各個(gè)電平而設(shè)置多個(gè)內(nèi)部電壓發(fā)生電路。然而，這種方法會(huì)增加用于產(chǎn)生內(nèi)部電壓的面積和電流消耗。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及一種根據(jù)內(nèi)部電壓的目標(biāo)電壓電平控制多個(gè)泵單元的激活操作的內(nèi)部電壓發(fā)生電路。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施例涉及一種產(chǎn)生目標(biāo)電壓電平的內(nèi)部電壓且使用最小面積的內(nèi)部電壓發(fā)生電路。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施例涉及一種產(chǎn)生具有目標(biāo)電壓電平的操作電壓且響應(yīng)于所述操作電壓而執(zhí)行數(shù)據(jù)處理操作的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例，一種內(nèi)部電壓發(fā)生電路包括泵浦電壓發(fā)生器，所述泵浦電壓發(fā)生器包括多個(gè)泵單元且被配置成產(chǎn)生具有目標(biāo)電壓電平的最終泵浦電壓；以及激活控制器，所述激活控制器被配置成基于目標(biāo)電壓電平控制泵單元中的被激活的泵單元的數(shù)目。激活控制器可響應(yīng)于通過(guò)對(duì)目標(biāo)電壓電平譯碼所獲得的控制信號(hào)將時(shí)鐘信號(hào)選擇性地傳送至泵單元。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施例，一種內(nèi)部電壓發(fā)生電路包括泵浦電壓發(fā)生器，所述泵浦電壓發(fā)生器包括以鏈的形式耦接的多個(gè)泵單元且被配置成從所述泵單元的最后的泵單元輸出具有目標(biāo)電壓電平的最終泵浦電壓；以及激活控制器，所述激活控制器被配置成基于目標(biāo)電壓電平控制泵單元中被激活的泵單元的數(shù)目。內(nèi)部電壓發(fā)生電路還可以包括電壓供應(yīng)器，所述電壓供應(yīng)器向泵單元中的對(duì)應(yīng)于目標(biāo)電壓電平的泵單元供應(yīng)電源電壓。根據(jù)本發(fā)明的又一個(gè)示例性實(shí)施例，響應(yīng)于操作電壓而執(zhí)行數(shù)據(jù)處理操作的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件包括泵浦電壓發(fā)生器，所述泵浦電壓發(fā)生器包括多個(gè)泵單元且被配置成產(chǎn)生具有操作電壓的目標(biāo)電壓電平的最終泵浦電壓；激活控制器，所述激活控制器被配置成基于目標(biāo)電壓電平控制泵單元中的被激活的泵單元的數(shù)目；以及內(nèi)部電壓發(fā)生器，所述內(nèi)部電壓發(fā)生器被配置成通過(guò)接收且降壓變換所述最終泵浦電壓來(lái)產(chǎn)操作電壓。 操作電壓可以包括編程電壓、通過(guò)電壓和擦除電壓。根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)示例性實(shí)施例，一種用于操作包括以鏈的形式與第二泵單元耦接的第一泵單元的內(nèi)部電壓發(fā)生電路的方法包括以下步驟通過(guò)激活第二泵單元而產(chǎn)生具有第一目標(biāo)電壓電平的第一泵浦電壓；以及通過(guò)順序地激活第一泵單元和第二泵單元而產(chǎn)生具不同于第一目標(biāo)電壓電平的第二目標(biāo)電壓電平的第二泵浦電壓。第二泵單元可以基于對(duì)應(yīng)于第一目標(biāo)電壓電平的預(yù)定電源電壓而執(zhí)行泵浦操作，且基于第一泵單元中所產(chǎn)生的對(duì)應(yīng)于第二目標(biāo)電壓電平的泵浦電壓而執(zhí)行泵浦操作。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的內(nèi)部電壓發(fā)生電路可以通過(guò)根據(jù)內(nèi)部電壓的目標(biāo)電壓電平控制多個(gè)泵單元中被激活的泵單元的數(shù)目來(lái)優(yōu)化用于產(chǎn)生內(nèi)部電壓的面積和電流消耗。


圖I是說(shuō)明典型的泵浦電路的框圖。圖2是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例的內(nèi)部電壓發(fā)生電路的框圖。圖3是說(shuō)明圖2中所示的使能控制器220的一個(gè)實(shí)例的框圖。圖4是說(shuō)明圖2中所示的使能控制器220的另一實(shí)例的框圖。圖5是說(shuō)明圖2中所示的泵浦電壓發(fā)生器210的一個(gè)實(shí)例的框圖。圖6是說(shuō)明圖2中所示的泵浦電壓發(fā)生器210的另一實(shí)例的框圖。圖7是簡(jiǎn)單地說(shuō)明圖6中所示的泵浦電壓發(fā)生器210的操作的說(shuō)明圖。圖8是說(shuō)明包括根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例制造的內(nèi)部電壓發(fā)生電路的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的框圖。
具體實(shí)施例方式下面將參照附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。但是，本發(fā)明可以用不同的方式實(shí)施，并不應(yīng)當(dāng)解釋為限定為本文所提供的實(shí)施例。另外，提供這些實(shí)施例是為了使本說(shuō)明書(shū)充分和完整，并向本領(lǐng)域技術(shù)人員充分傳達(dá)本發(fā)明的范圍。在本說(shuō)明書(shū)中，相同的附圖標(biāo)記在本發(fā)明的不同附圖和實(shí)施例中表示相同的部分。
圖2是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例的內(nèi)部電壓發(fā)生電路的框圖。參看圖2，內(nèi)部電壓發(fā)生電路包括泵浦電壓發(fā)生器210和激活控制器220。泵浦電壓發(fā)生器210產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于目標(biāo)電壓電平的最終泵浦電壓V_PP，且泵浦電壓發(fā)生器210包括以鏈的形式連接的多個(gè)泵單元，諸如第一泵單元至第N泵單元211、212、...、213。第一泵單元至第N泵單元211、212、..·、213分別在第一至第N使能控制信號(hào)CTR_EN〈1 :N>的控制下被激活。激活控制器220響應(yīng)于最終泵浦電壓V_PP和目標(biāo)電壓V_TG而產(chǎn)生第一至第N使能控制信號(hào)CTR_EN〈1:N>。在此，目標(biāo)電壓V_TG具有對(duì)應(yīng)于最終泵浦電壓V_PP要達(dá)到的目標(biāo)電壓電平的電壓電平。根據(jù)本發(fā)明的所述實(shí)施例的內(nèi)部電壓發(fā)生電路可以響應(yīng)于第一至第N使能控制信號(hào)CTR_EN〈1:N>將第一至第N泵單元211、212、. . .、213中的不同數(shù)目個(gè)的泵單元用于泵浦操作。在此，由于第一至第N使能控制信號(hào)CTR_EN〈1 :N>的激活和去激活取決于目標(biāo)電壓電平，故在泵浦操作期間被激活的泵單元的數(shù)目根據(jù)目標(biāo)電壓電平而不同。
圖3是說(shuō)明圖2中所示的激活控制器220的一個(gè)實(shí)例的框圖。參看圖3，激活控制器220輸出對(duì)應(yīng)于目標(biāo)電壓V_TG的多個(gè)控制信號(hào)CTR〈1 :N>作為第一至第N使能控制信號(hào)CTR_EN〈1 :N>。激活控制器220包括電壓比較單元310、電壓譯碼單元320以及使能信號(hào)輸出單元330。電壓比較單元310通過(guò)比較最終泵浦電壓V_PP的電壓電平與目標(biāo)電壓V_TG的電壓電平來(lái)產(chǎn)生使能信號(hào)EN。電壓譯碼單元320通過(guò)對(duì)目標(biāo)電壓V_TG譯碼來(lái)產(chǎn)生多個(gè)控制信號(hào)CTR〈1:N>。使能信號(hào)輸出單元330包括使能信號(hào)輸出部件，其響應(yīng)于使能信號(hào)EN輸出控制信號(hào)CTR〈1:N>作為第一至第N使能控制信號(hào)CTR_EN〈1:N>。在此，第一至第N使
能控制信號(hào)CTR_EN〈1:N>是分別用于激活圖2中所示的第一至第N泵單元211、212.....
213的信號(hào)。因此，根據(jù)本發(fā)明的所述實(shí)施例，內(nèi)部電壓發(fā)生電路具有第一至第N泵單元
211、212、.. .、213之中的響應(yīng)于與目標(biāo)電壓V_TG相對(duì)應(yīng)的第一至第N使能控制信號(hào)CTR_EN< I: N〉而被激活的不同數(shù)目個(gè)的泵單元。參看圖2和圖3，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的激活控制器220可以用多種方式來(lái)
設(shè)計(jì)。例如，如果第一至第N泵單元211、212.....213基于時(shí)鐘信號(hào)執(zhí)行泵浦操作，則激活
控制器220可以包括圖4中所示的時(shí)鐘信號(hào)傳送單元410，以替代使能信號(hào)輸出單元330。圖4是說(shuō)明圖2中所示的激活控制器220的另一個(gè)實(shí)例的框圖。激活控制器220包括圖3中所示的電壓比較單元310和電壓譯碼單元320，為簡(jiǎn)潔起見(jiàn)，圖4省略這兩個(gè)單
J Li ο參看圖4，激活控制器220包括時(shí)鐘信號(hào)傳送單元410，其用于響應(yīng)于使能信號(hào)EN和控制信號(hào)CTR〈1:N>將時(shí)鐘信號(hào)CLK傳送至泵浦電壓發(fā)生器210。從時(shí)鐘信號(hào)傳送單元410輸出的多個(gè)輸出時(shí)鐘信號(hào)CLK〈1:N>被分別傳送至圖2的第一至第N泵單元211、
212、.. .、213作為第一至第N使能控制信號(hào)CTR_EN〈1:N>。輸出時(shí)鐘信號(hào)CLK〈1 :N>是響應(yīng)于控制信號(hào)CTR〈1:N>在使能信號(hào)EN被激活的時(shí)段中被選擇性地傳送的，且接收相應(yīng)的輸出時(shí)鐘信號(hào)的泵單元執(zhí)行泵浦操作。總之，根據(jù)本發(fā)明的所述實(shí)施例的內(nèi)部電壓發(fā)生電路具有響應(yīng)于目標(biāo)電壓V_TG傳送的不同數(shù)目個(gè)輸出時(shí)鐘信號(hào)，這意味著第一至第N泵單元211、212.....213中的被激活的泵單元的數(shù)目可以根據(jù)目標(biāo)電壓V_TG而不同。圖5是說(shuō)明圖2中所示的泵浦電壓發(fā)生器210的一個(gè)實(shí)例的框圖。
參看圖5，泵浦電壓發(fā)生器210包括多個(gè)泵單元510和電壓選擇輸出單元520。泵單元510響應(yīng)于上述第一至第N使能控制信號(hào)CTR_EN〈1 :N>執(zhí)行泵浦操作且經(jīng)由泵浦操作產(chǎn)生多個(gè)泵浦電壓V_PP1、V_PP2、. . .、ν_ΡΡΝ-1。隨后，電壓選擇輸出單元520響應(yīng)于多個(gè)電壓選擇信號(hào)SEL_VPP〈1:N>輸出泵單元510中所產(chǎn)生的泵浦電壓V_PP1、V_PP2、. . .、V_PPN-1中的任一個(gè)作為最終泵浦電壓V_PP。在此，電壓選擇信號(hào)SEL_VPP〈1:N>可以為對(duì)應(yīng)于目標(biāo)電壓電平的信號(hào)，并且總之，電壓選擇輸出單元520選擇并輸出泵浦電壓V_PP1、V_PP2、. . .、V_PPN-1中的對(duì)應(yīng)于目標(biāo)電壓電平的泵浦電壓作為最終泵浦電壓V_PP0圖6是說(shuō)明圖2中所示的泵浦電壓發(fā)生器210的另一實(shí)例的框圖。參看圖6，泵浦電壓發(fā)生器210包括多個(gè)泵單元610和電源電壓供應(yīng)單元620。泵單元610響應(yīng)于上述第一至第N使能控制信號(hào)CTR_EN〈1 :N>執(zhí)行泵浦操作。 電源電壓供應(yīng)單元620響應(yīng)于供電控制信號(hào)CTR_VDD〈1:M>為泵單元610提供電源電壓例如電源電壓V_VDD，其中M為等于或小于N的自然數(shù)。在此，供電控制信號(hào)CTR_VDD〈1 :M>可以為對(duì)應(yīng)于目標(biāo)電壓電平的信號(hào)，這將在下文參看圖7詳細(xì)地描述。供應(yīng)至泵單元610的電源電壓V_VDD為用于泵浦操作的基本電壓，且泵單元610可以根據(jù)其設(shè)計(jì)方式而具有與基本電壓的電平相同的電壓電平或與基準(zhǔn)電壓的電平不同的電壓電平。圖7是簡(jiǎn)單地說(shuō)明圖6中所示的泵浦電壓發(fā)生器210的操作的說(shuō)明圖。出于描述的目的，選取如下情況作為實(shí)例六個(gè)泵單元以每組兩個(gè)泵單元的方式分組，且最終泵浦電壓V_PP的目標(biāo)電壓電平為約8V、約16V以及約24V。此后，將參照?qǐng)D6和圖7簡(jiǎn)單地描述電路操作。首先，描述最終泵浦電壓V_PP的目標(biāo)電壓電平為約8V的情況。在此情況下，響應(yīng)于約8V的目標(biāo)電壓電平，第一使能控制信號(hào)CTR_EN〈1>被激活，而第二和第三使能控制信號(hào)CTR_EN〈2:3>被去激活。因此，第一泵浦組710響應(yīng)于第一使能控制信號(hào)CTR_EN〈1>而被激活。在此，圖6的電源電壓供應(yīng)單元620響應(yīng)于供電控制信號(hào)CTR_VDD〈1:M>為第一泵浦組710提供第一電源電壓V_VDD1，且第一泵浦組710基于第一電源電壓V_VDD1執(zhí)行泵浦操作。隨后，描述最終泵浦電壓V_PP的目標(biāo)電壓電平為約16V的情況。在此情況下，響應(yīng)于約16V的目標(biāo)電壓電平，第一和第二使能控制信號(hào)CTR_EN〈1: 2>被激活，而第三使能控制信號(hào)CTR_EN〈3>被去激活。因此，第一泵浦組710及第二泵浦組720被激活。在此，圖6的電源電壓供應(yīng)單元620為第二泵浦組720提供第二電源電壓V_VDD2，且第二泵浦組720早于第一泵浦組710執(zhí)行泵浦操作，且第一泵浦組710基于第二泵浦組720中所產(chǎn)生的泵浦電壓而執(zhí)行泵浦操作。最后，當(dāng)最終泵浦電壓V_PP的目標(biāo)電壓電平為約24V時(shí)，第一至第三使能控制信號(hào)CTR_EN〈1:3>全部被激活以激活第一泵浦組710、第二泵浦組720及第三泵浦組730，且電源電壓供應(yīng)單元620為第三泵浦組730提供第三電源電壓V_VDD3。另外，如圖6和圖7中所示，在本發(fā)明的所述實(shí)施例中，從泵單元的末端處的泵單元輸出最終泵浦電壓ν_ΡΡ。在此結(jié)構(gòu)中，可以不提供圖5中所示的電壓選擇輸出單元520，且此外，可以不產(chǎn)生用于控制電壓選擇輸出單元520的多個(gè)電壓選擇信號(hào)SEL_VPP〈1:N>。在此，雖然電壓選擇信號(hào)SEL_VPP〈1:N>應(yīng)具有比要傳送的電壓的電壓電平高的電壓電平，但由于電壓選擇信號(hào)SEL_VPP〈1:N>不在圖6和圖7的結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生，故電路可以占據(jù)相對(duì)較小的面積。如上所述，在根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的內(nèi)部電壓發(fā)生電路中，被激活的泵單元的數(shù)目可以根據(jù)最終泵浦電壓v_pp的目標(biāo)電壓電平來(lái)控制，且因此，可以防止過(guò)度的電流消耗。另外，通過(guò)控制泵單元的數(shù)目獲得的最終泵浦電壓V_PP可以經(jīng)由降壓變換操作(down convert operation)修改成具有預(yù)定電壓電平的多個(gè)內(nèi)部電壓。在此，執(zhí)行降壓變換操作以去除由泵浦操作產(chǎn)生的紋波分量。因此，可以通過(guò)在泵浦操作之后執(zhí)行降壓變換操作來(lái)獲得穩(wěn)定的內(nèi)部電壓。圖8是說(shuō)明包括根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例制造的內(nèi)部電壓發(fā)生電路的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的框圖。 參看圖8，半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件包括泵浦電壓發(fā)生器810、激活控制器820、內(nèi)部電壓發(fā)生器830以及存儲(chǔ)塊840。由于在上文的實(shí)施例中描述了泵浦電壓發(fā)生器810和激活控制器820，故此處不再贅述。內(nèi)部電壓發(fā)生器830接收泵浦電壓發(fā)生器810所產(chǎn)生的最終泵浦電壓V_PP，且通過(guò)執(zhí)行降壓變換操作產(chǎn)生操作電壓(例如，通過(guò)電壓V_PS、編程電&V_PRG以及擦除電壓V_ERS)。隨后，存儲(chǔ)塊840是其中設(shè)置有存儲(chǔ)器單元陣列的區(qū)域。存儲(chǔ)塊840響應(yīng)于通過(guò)電壓(pass voltage) V_PS、編程電&V_PRG或擦除電壓V_ERS執(zhí)行數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)/處理操作。在此，數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)操作可以包括數(shù)據(jù)編程操作和數(shù)據(jù)擦除操作。換言之，存儲(chǔ)塊840響應(yīng)于通過(guò)電壓V_PS和編程電壓V_PRG執(zhí)行數(shù)據(jù)編程操作且響應(yīng)于擦除電壓V_ERS執(zhí)行數(shù)據(jù)擦除操作。在此，當(dāng)基于一個(gè)最終泵浦電壓V_PP而產(chǎn)生通過(guò)電壓V_PS、編程電壓V_PRG及擦除電壓V_ERS時(shí)，最終泵浦電壓V_PP的目標(biāo)電壓電平可根據(jù)通過(guò)電壓V_PS、編程電壓V_PRG和擦除電壓V_ERS的電壓電平中的最高電壓電平來(lái)設(shè)定。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的內(nèi)部電壓發(fā)生電路可以在不增加電路的面積的情況下產(chǎn)生多種電壓電平的內(nèi)部電壓且經(jīng)由有效操作防止過(guò)度電流消耗。雖然已結(jié)合具體的實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言明顯的是，在不脫離所附權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的主旨和范圍的情況下，可以進(jìn)行各種變化和修改。
權(quán)利要求
1.一種內(nèi)部電壓發(fā)生電路，包括 泵浦電壓發(fā)生器，所述泵浦電壓發(fā)生器包括多個(gè)泵單元且被配置成產(chǎn)生具有目標(biāo)電壓電平的最終泵浦電壓；以及 激活控制器，所述激活控制器被配置成基于所述目標(biāo)電壓電平控制所述泵單元中被激活的泵單元的數(shù)目。
2.如權(quán)利要求I所述的內(nèi)部電壓發(fā)生電路，還包括 電壓選擇輸出單元，所述電壓選擇輸出單元被配置成在泵單元中所產(chǎn)生的多個(gè)泵浦電壓中選擇電壓電平對(duì)應(yīng)于目標(biāo)電壓電平的泵浦電壓并輸出所述電壓電平對(duì)應(yīng)于目標(biāo)電壓電平的泵浦電壓作為所述最終泵浦電壓。
3.如權(quán)利要求I所述的內(nèi)部電壓發(fā)生電路，其中，所述激活控制器被配置成響應(yīng)于所述目標(biāo)電壓電平而輸出分別對(duì)應(yīng)于所述泵單元的多個(gè)使能控制信號(hào)。
4.如權(quán)利要求I所述的內(nèi)部電壓發(fā)生電路，其中，所述激活控制器包括 電壓比較單元，所述電壓比較單元被配置成通過(guò)比較所述最終泵浦電壓與具有所述目標(biāo)電壓電平的目標(biāo)電壓來(lái)產(chǎn)生使能信號(hào)； 電壓譯碼單元，所述電壓譯碼單元被配置成產(chǎn)生通過(guò)對(duì)所述目標(biāo)電壓電平譯碼而獲得的多個(gè)控制信號(hào)；以及 使能信號(hào)輸出單元，所述使能信號(hào)輸出單元被配置成響應(yīng)于所述使能信號(hào)而輸出所述控制信號(hào)作為對(duì)應(yīng)于所述泵單元的多個(gè)使能控制信號(hào)。
5.如權(quán)利要求I所述的內(nèi)部電壓發(fā)生電路，其中，所述激活控制器被配置成響應(yīng)于通過(guò)對(duì)所述目標(biāo)電壓電平譯碼而獲得的控制信號(hào)將時(shí)鐘信號(hào)選擇性地傳送至所述泵單元。
6.一種內(nèi)部電壓發(fā)生電路，包括 泵浦電壓發(fā)生器，所述泵浦電壓發(fā)生器包括以鏈的形式耦接的多個(gè)泵單元且被配置成從所述泵單元中的最后的泵單元輸出具有目標(biāo)電壓電平的最終泵浦電壓；以及 激活控制器，所述激活控制器被配置成基于所述目標(biāo)電壓電平控制所述泵單元中被激 活的泵單元的數(shù)目。
7.如權(quán)利要求6所述的內(nèi)部電壓發(fā)生電路，還包括 電壓供應(yīng)器，所述電壓供應(yīng)器被配置成基于所述目標(biāo)電壓電平為所述泵單元中的泵單元提供電源電壓。
8.如權(quán)利要求7所述的內(nèi)部電壓發(fā)生電路，其中，所述泵單元分成多個(gè)泵組，每個(gè)泵組包括預(yù)定數(shù)目個(gè)泵單元，并且 所述電壓供應(yīng)器被配置成產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于泵組的數(shù)目個(gè)的電源電壓。
9.一種響應(yīng)于操作電壓而執(zhí)行數(shù)據(jù)處理操作的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件，包括 泵浦電壓發(fā)生器，所述泵浦電壓發(fā)生器包括多個(gè)泵單元且被配置成產(chǎn)生具有所述操作電壓的目標(biāo)電壓電平的最終泵浦電壓； 激活控制器，所述激活控制器被配置成基于所述目標(biāo)電壓電平來(lái)控制所述泵單元中被激活的泵單元的數(shù)目；以及 內(nèi)部電壓發(fā)生器，所述內(nèi)部電壓發(fā)生器被配置成通過(guò)接收且降壓變換所述最終泵浦電壓來(lái)產(chǎn)生所述操作電壓。
10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件，其中，所述操作電壓包括編程電壓、通過(guò)電壓以及擦除電壓。
11.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件，還包括 電壓選擇輸出單元，所述電壓選擇輸出單元被配置成在所述泵單元中所產(chǎn)生的多個(gè)泵浦電壓中選擇電壓電平對(duì)應(yīng)于目標(biāo)電壓電平的泵浦電壓并輸出所述電壓電平對(duì)應(yīng)于目標(biāo)電壓電平的泵浦電壓作為所述最終泵浦電壓。
12.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件，其中，所述激活控制器被配置成響應(yīng)于所述目標(biāo)電壓電平而輸出分別對(duì)應(yīng)于所述泵單元的多個(gè)使能控制信號(hào)。
13.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件，其中，所述激活控制器包括 電壓比較單元，所述電壓比較單元被配置成通過(guò)比較所述最終泵浦電壓與具有所述目標(biāo)電壓電平的目標(biāo)電壓來(lái)產(chǎn)生使能信號(hào)； 電壓譯碼單元，所述電壓譯碼單元被配置成產(chǎn)生通過(guò)對(duì)所述目標(biāo)電壓電平譯碼而獲得的多個(gè)控制信號(hào)；以及 使能信號(hào)輸出單元，所述使能信號(hào)輸出單元被配置成響應(yīng)于所述使能信號(hào)而輸出所述控制信號(hào)作為對(duì)應(yīng)于所述泵單元的多個(gè)使能控制信號(hào)。
14.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件，其中，所述激活控制器被配置成響應(yīng)于通過(guò)對(duì)所述目標(biāo)電壓電平譯碼而獲得的控制信號(hào)將時(shí)鐘信號(hào)選擇性地傳送至所述泵單元。
15.如權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件，其中，所述泵浦電壓發(fā)生器包括以鏈的形式耦接的所述泵單元且被配置成從所述泵單元中的最后的泵單元輸出具有所述目標(biāo)電壓電平的所述最終泵浦電壓。
16.如權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件，還包括 電壓供應(yīng)器，所述電壓供應(yīng)器被配置成基于所述目標(biāo)電壓電平為所述泵單元中的泵單元提供電源電壓。
17.如權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件，其中，所述泵單元分成多個(gè)泵組，每個(gè)泵組包括預(yù)定數(shù)目個(gè)泵單元，并且 所述電壓供應(yīng)器被配置成產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于泵組的數(shù)目個(gè)的電源電壓。
18.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件，其中，所述操作電壓包括多個(gè)操作電壓，且基于所述多個(gè)操作電壓中的各個(gè)目標(biāo)電壓電平中的最高電壓電平來(lái)設(shè)定所述目標(biāo)電壓電平。
19.一種用于操作包括以鏈的形式與第二泵單元耦接的第一泵單元的內(nèi)部電壓發(fā)生電路的方法，包括以下步驟 通過(guò)激活所述第二泵單元而產(chǎn)生具有第一目標(biāo)電壓電平的第一泵浦電壓；以及 通過(guò)順序地激活所述第一泵單元和所述第二泵單元而產(chǎn)生具有不同于所述第一目標(biāo)電壓電平的第二目標(biāo)電壓電平的第二泵浦電壓。
20.如權(quán)利要求19所述的方法，其中，在產(chǎn)生所述第一泵浦電壓的步驟中，所述第二泵單元被激活為使用第一電源電壓執(zhí)行泵浦操作。
21.如權(quán)利要求20所述的方法，其中，在產(chǎn)生所述第二泵浦電壓的步驟中，所述第一泵單元被激活為使用第二電源電壓執(zhí)行泵浦操作，并且 所述第二泵單元被激活為使用所述第一泵單元的輸出電壓執(zhí)行泵浦操作。
22.如權(quán)利要求19所述的方法，其中，所述第二目標(biāo)電壓電平高于所述第一目標(biāo)電壓電平。
23.如權(quán)利要求19所述的方法，還包括以下步驟 通過(guò)降壓變換所述第一泵浦電壓或所述第二泵浦電壓而產(chǎn)生多個(gè)內(nèi)部電壓。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種內(nèi)部電壓發(fā)生電路及其操作方法，所述內(nèi)部電壓發(fā)生電路包括泵浦電壓發(fā)生器，所述泵浦電壓發(fā)生器包括多個(gè)泵單元且被配置成產(chǎn)生具有目標(biāo)電壓電平的最終泵浦電壓；以及激活控制器，所述激活控制器被配置成基于目標(biāo)電壓電平控制泵單元中的被激活的泵單元的數(shù)目。
文檔編號(hào)G11C11/4063GK102820050SQ20121012548
公開(kāi)日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月9日
發(fā)明者盧由鐘, 趙現(xiàn)喆 申請(qǐng)人:海力士半導(dǎo)體有限公司