專利名稱：半導(dǎo)體測試器件的測試板分割裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體測試器件的測試板分割裝置，特別是一種將一個以上受測器件設(shè)在測試板的相對區(qū)域上，并有其接地點的裝置。
請參閱圖2，是傳統(tǒng)的半導(dǎo)體測試器件的測試板的斷面圖，以兩個受測器件DUT1、DUT2為例。由該附圖
可知，其各層(六層)的數(shù)字信號接地點DG是相通的，而在第三層及第四層IN2、IN3上則有待測器件所用的電源DPS1-DPS4。
但是，由于該兩受測器件DUT1、DUT2的數(shù)字信號接地點DG均是相通的，若有其中一個受測器件DUT1的數(shù)字信號接地點DG受到噪聲干擾，則會波及其它器件，而減少半導(dǎo)體測試器件在測試時的準(zhǔn)確度。
于是，本發(fā)明人潛心研究并配合學(xué)理運用，來設(shè)計針對上述原因的裝置，使使用者在進行測試時，可降低噪聲干擾，進而提高半導(dǎo)體測試器件在測試時的準(zhǔn)確度。
圖中標(biāo)記分別是1測試板 2供給測試器件電源接地點DUT1、DUT2受測器件13分隔線TOP第一層IN1第二層IN2第三層IN3第四層IN4第五層BOT第六層
SG測試系統(tǒng)固定電壓源接地點SG1、SG2測試器件數(shù)字信號接地點DG1、DG2待測器件參考接地點DPS1-4 待測器件所用電源L1、L2 具有電感性的磁性器件請參閱圖3，是本發(fā)明一實施例測試板的外觀圖。其是將兩受測器件DUT1、DUT2設(shè)在測試板1的相對區(qū)域上，且形成有一分隔線13，各受測器件DUT1(DUT2)有其自身的接地點，在本實施例中有測試系統(tǒng)固定電壓源接地點SG、測試器件數(shù)字信號接地點SG1(SG2)及待測器件參考接地點DG1(DG2)。
請參閱圖4，是圖3的斷面圖，現(xiàn)以六層作為范例來說明，其中在第一層TOP各受測器件DUT1(DUT2)的敷銅面上設(shè)有兩待測器件參考接地點DG1(DG2)；在第二層IN1各受測器件DUT1(DUT2)的敷銅面上設(shè)有一待測器件參考接地點DG1(DG2)，且在DG1、DG2之間設(shè)有一測試系統(tǒng)固定電壓源(+5V、+15V)接地點SG；在第三層IN2各受測器件DUT1(DUT2)的敷銅面上設(shè)一測試器件數(shù)字信號接地點SG1(SG2)及待測器件所用電源DPS1(DPS3)，且在DPS1及DPS3之間設(shè)有一測試系統(tǒng)固定電壓源接地點SG；在第四層IN3各受測器件DUT1(DUT2)上設(shè)一測試器件數(shù)字信號接地點SG1(SG2)及待測器件所用電源DPS2(DPS4)，且在DPS2及DPS4之間設(shè)有一測試系統(tǒng)固定電壓源接地點SG；在第五層IN5各受測器件DUT1(DUT2)的敷銅面上設(shè)有一測試器件參考接地點DG1(DG2)，且在DG1、DG2之間設(shè)有一測試系統(tǒng)固定電壓源接地點SG，而在DG1(DG2)與測試器件數(shù)字信號接地點SG1(SG2)之間則串接一具有電感性的磁性器件L1(L2)，借以產(chǎn)生一新的參考接地點。
在第六層BOT各受測器件區(qū)DUT1(DUT2)的敷銅面上設(shè)有兩待測器件參考接地點DG1(DG2)。
由該斷面圖可知，該兩受測器件DUT1(DUT2)的接地點是各自獨立的，也就是各受測器件DUT1(DUT2)均有其自身的接地點。
請參閱圖5，是本發(fā)明測試板的受測器件的接地點與供給測試器件電源接地點相連接的示意圖，其中各受測器件DUT1(DUT2)的測試器件數(shù)字信號接地點SG1(SG2)是與供給測試器件電源接地點2相連通的。若其中一受測器件DUT2受到噪聲干擾時，因兩受測器件DUT1、DUT2的數(shù)字信號接地點DG1、DG2未相連通，使得可經(jīng)供給測試器件電源接地點2衰減，再反饋至受測器件DUT1。因此，可有效降低噪聲干擾，進而提高該半導(dǎo)體測試器件在測試時的準(zhǔn)確度。
綜上所述，通過本發(fā)明的特殊設(shè)計，與公知的測試板相比較，具有下述幾項特點(1)可將一個以上的受測器件設(shè)在測試板的相對區(qū)域上，并有其接地點。
(2)降低噪聲干擾，提高該半導(dǎo)體器件在測試時的準(zhǔn)確度。
所以，本發(fā)明完全符合專利申請要件，具有產(chǎn)業(yè)上的實用性，故依法提出申請，請詳查并批準(zhǔn)授予專利權(quán)，以保障發(fā)明人的權(quán)益。
以上所述，是本發(fā)明的一具體實施例，而本發(fā)明的特征并不局限于此，任何熟悉該項技術(shù)的人員，在本發(fā)明的領(lǐng)域內(nèi)，可輕易思及的變化或修飾，例如本發(fā)明的測試板也可用預(yù)燒板(burn board)取代，皆涵蓋在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體測試器件的測試板分割裝置，包括一分割有一個以上區(qū)域的測試板；一個以上的受測器件(DUT)，設(shè)在測試板的相對區(qū)域上，并有其接地點，使進行測試時，能降低噪聲干擾，進而提高該半導(dǎo)體測試器件在測試時的準(zhǔn)確度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試器件的測試板分割裝置，其特征在于各受測器件的接地點可以是單接地點或多接地點。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測試器件的測試板分割裝置，其特征在于各受測器件的多接地點包括測試系統(tǒng)電源接地點、信號接地點及待測器件參考接地點。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體測試器件的測試板分割裝置，其特征在于待測器件參考接地點可由信號接地點串接一具有電感性的磁性器件形成一新接地點。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試器件的測試板分割裝置，其特征在于測試板可用預(yù)燒板(burn board)取代。
全文摘要
本發(fā)明是一種半導(dǎo)體測試器件的測試板分割裝置，包括一分割有一個以上區(qū)域的測試板及一個以上的受測器件(DUT)，其是將受測器件設(shè)在測試板的相對區(qū)域上，并有其接地點，使進行測試時，能降低噪聲干擾，進而提高該半導(dǎo)體測試器件在測試時的準(zhǔn)確度。
文檔編號H01L21/66GK1421705SQ0113498
公開日2003年6月4日 申請日期2001年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月23日
發(fā)明者陳文祺 申請人:陳文祺