專利名稱：搬運裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種搬運裝置，且特別是涉及一種適于在制造平面顯示面板時，可防止基板受到靜電(electrostatic discharge，ESD)破壞，并防止工藝機臺受外力碰撞而損壞的搬運裝置。
背景技術(shù)：
顯示器為人與信息的溝通界面，目前以平面顯示器為發(fā)展的趨勢。平面顯示器主要有以下幾種有機電致發(fā)光顯示器(OrganicElectro-Luminescence Display，OELD)、等離子體顯示器(Plasma DisplayPanel，PDP)以及薄膜晶體管液晶顯示器等(Thin Film Transistor LiquidCrystal Display，TFT-LCD)。
在平面顯示器的制造過程中，會經(jīng)過許多的工藝步驟。因此，基板需通過搬運裝置進行多次的搬運，以在不同的工藝機臺間轉(zhuǎn)換工藝步驟。在搬運時，用來搬運基板的搬運裝置很有可能會與工藝機臺碰撞而造成工藝機臺損壞。另外，搬運裝置與基板之間也容易因為摩擦而產(chǎn)生靜電，而積累在基板上的靜電將可能對基板上的元件造成危害。
圖1所示為公知搬運裝置的示意圖。請參照圖1，公知的搬運裝置100包括至少兩個支撐座110，且支撐座110是用以支撐基板130的相對兩側(cè)邊130a。每一支撐座110固定在移動組件120上，通過移動組件120帶動支撐座110，可以將基板130支撐起來。當基板130被移至工藝機臺(未顯示)附近時，機器手臂140會夾持起基板130而將其傳送到工藝機臺中。
圖2所示為圖1中支撐座的側(cè)視示意圖。請參照圖2，一般而言，支撐座110包括支撐部112與主體114，其中支撐部為平臺形狀，適于支撐基板130。而主體114與支撐部112為一體成型，且其材質(zhì)為陶瓷。
承上所述，傳統(tǒng)搬運裝置100所存在的問題是，首先，由于支撐座110的本體114的慣性質(zhì)量(counter mass)較大，所以若搬運裝置100因操作不當或其它因素而與工藝機臺產(chǎn)生碰撞時，往往會對精密且昂貴的工藝機臺造成嚴重的損壞。
此外，由于支撐座110的材質(zhì)是陶瓷，而陶瓷具有絕緣的特性，所以基板130與支撐座110之間因不斷地接觸與分離而產(chǎn)生的摩擦，往往會產(chǎn)生靜電而積累在基板130上，因此有可能對基板130以及基板130上的元件產(chǎn)生破壞。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的就是提供一種搬運裝置，其適于在搬運過程時，可防止工藝機臺受外力碰撞而損壞，并防止基板受到靜電(electrostaticdischarge，ESD)破壞。
本發(fā)明提出一種搬運裝置，其包括至少兩個支撐座，且支撐座是用以支撐基板的相對兩側(cè)邊，其中每一支撐座包括支撐部、固定部以及安全組件。此安全組件是連接在支撐部與固定部之間，且當支撐座遭受預(yù)定程度的撞擊時，安全組件會斷裂使固定部與支撐部分離開來。
依照本發(fā)明的較佳實施例所述的搬運裝置，上述支撐部與固定部的厚度大于安全組件的厚度。其中支撐部的厚度介于3～4mm之間，固定部的厚度介于10～12mm之間，而安全組件的厚度介于2～3mm之間。
依照本發(fā)明的較佳實施例所述的搬運裝置，上述支撐部的形狀為平板狀。
依照本發(fā)明的較佳實施例所述的搬運裝置，還包括支撐條，且支撐條鋪設(shè)在支撐部的底面。
依照本發(fā)明的較佳實施例所述的搬運裝置，上述支撐座的材質(zhì)包括防靜電積累的材質(zhì)，而此防靜電積累的材質(zhì)例如為金屬，且此金屬例如選自鋁、銅、鉻、鈦、不銹鋼及其組合中之一個。
依照本發(fā)明的較佳實施例所述的搬運裝置，還包括至少兩個移動組件，且每一移動組件是與每一支撐座的固定部連接。
依照本發(fā)明的較佳實施例所述的搬運裝置，上述支撐部、安全組件與固定部為一體成型的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的搬運裝置采用具有安全組件的支撐座，所以在搬運時，若用來搬運基板的搬運裝置與工藝機臺碰撞，此時安全組件會斷裂，而使外力不會繼續(xù)傳遞到工藝機臺上，因此可以保護工藝機臺。另外，利用金屬作為支撐座的材質(zhì)，使得搬運裝置與基板之間因為摩擦而產(chǎn)生的靜電可被消除，所以靜電就不會積累在基板上，而可以保護基板以及基板上的元件不受靜電破壞。
為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合附圖，作詳細說明如下。


圖1所示為公知搬運裝置進行基板搬運的示意圖。
圖2所示為圖1中支撐座的側(cè)視示意圖。
圖3A所示為本發(fā)明的一較佳實施例中一種搬運裝置的示意圖。
圖3B所示為本發(fā)明的另一較佳實施例中一種搬運裝置的示意圖。
圖4A所示為本發(fā)明一實施例中的支撐座的俯視示意圖。
圖4B所示為本發(fā)明一實施例中的支撐座的側(cè)視示意圖。
圖4C所示為本發(fā)明一實施例中的支撐座的仰視示意圖。主要元件標記說明100公知的搬運裝置110支撐座112支撐部
114主體120移動組件130基板130a側(cè)邊140機器手臂200搬運裝置210支撐座212支撐部214安全組件216固定部218支撐條220、220a移動組件230基板230a側(cè)邊具體實施方式
圖3A所示為本發(fā)明的一較佳實施例中一種搬運裝置的示意圖。請參照圖3A，搬運裝置200包括至少兩個支撐座210，且支撐座210是用以支撐基板230的相對兩側(cè)邊230a。在本發(fā)明的一較佳實施例中，搬運裝置200還包括至少兩個移動組件220，且每一移動組件220是與每一支撐座210的固定部216連接。且連接的方式例如為圖3A所示，移動組件220是從固定部216的上方穿設(shè)到固定部216中。或者是如圖3B所示，移動組件220a是從支撐座210的側(cè)邊而與支撐座210相互連接的方式。
為了防止工藝機臺受外力碰撞而損壞，并防止基板受到靜電(electrostatic discharge，ESD)破壞，本發(fā)明是針對支撐座210的外型與材質(zhì)加以設(shè)計，關(guān)于支撐座210的構(gòu)造如下所述。
圖4A所示為本發(fā)明一實施例中的支撐座的俯視示意圖，而圖4B所示為本發(fā)明一實施例中的支撐座的側(cè)視示意圖，且圖4C所示為本發(fā)明一實施例中的支撐座的仰視示意圖。請共同參照圖4A～4C。
如圖4A～4C所示，每一支撐座210包括支撐部212、固定部214以及安全組件216。值得注意的是，安全組件214是連接在支撐部212與固定部216之間，且當支撐座210遭受預(yù)定程度的撞擊時，安全組件214會斷裂使固定部216與支撐部212分離開來。為達到上述目的，本發(fā)明例如是使安全組件214的厚度相對較薄，進而使安全組件214在遭受預(yù)定程度的撞擊時會先行斷裂。
在本發(fā)明的一實施例中，支撐部212與固定部216的厚度大于安全組件214的厚度。其中支撐部212的厚度介于3～4mm之間，固定部216的厚度介于10～12mm之間，而安全組件214的厚度介于2～3mm之間。此外，如圖4A～4C所示的支撐座210，其支撐部212、安全組件214與固定部216為一體成型的結(jié)構(gòu)，只要利用同一模具即可制造支撐座210?；蛘咧巫?10也可以不是一體成型的結(jié)構(gòu)，支撐部212、安全組件214以及固定部216之間是利用粘接、焊接或其它接合方式而形成一體。
請繼續(xù)參照圖4A～4C，不同于圖2所示的公知的支撐部112，本發(fā)明的支撐部212的形狀為平板狀，且為了增加支撐部212的支撐能力，在本發(fā)明的一實施例中，支撐座210例如還包括了支撐條218，且此支撐條218是鋪設(shè)在支撐部212的底面。當然，也可以利用其它能夠加強支撐座210的支撐能力的設(shè)計，例如加大支撐座210的厚度，或是利用支撐能力較佳的材料來制造支撐座210，本發(fā)明并不僅限于利用支撐條218的方式，只要能夠加強支撐座210的支撐能力即可。
承上所述，具有如圖4A～4C這樣結(jié)構(gòu)的支撐座210，因為其設(shè)計為平板狀，所以此支撐座210與圖2中公知的支撐座110相比較而言，支撐座210具有較小的慣性質(zhì)量。特別是，支撐座210又具有安全組件214，所以在搬運時，若搬運裝置200與工藝機臺(未顯示)產(chǎn)生碰撞，具有較小的慣性質(zhì)量的支撐座210對工藝機臺產(chǎn)生的外力撞擊力便可以減輕。另外，由于安全組件214可以先行斷裂，故撞擊產(chǎn)生的外力不會繼續(xù)傳遞到工藝機臺上，因而可以保護工藝機臺。
另外，為防止基板受到靜電(electrostatic discharge，ESD)破壞，在本發(fā)明的一較佳實施例中，支撐座210的材質(zhì)例如為防靜電積累的材質(zhì)。因此，在搬運時，支撐座210與基板230之間，因摩擦而生成的靜電，就可以通過支撐座210而導(dǎo)離基板230，所以靜電將不會積累在基板230上。如此一來，可降低因為靜電積累所造成的靜電破壞現(xiàn)象，進而保護基板230以及已經(jīng)制作于基板230上的電子元件(如薄膜晶體管)。在本發(fā)明的一實施例中，此防靜電積累的材質(zhì)例如為金屬，且金屬例如選自鋁、銅、鉻、鈦、不銹鋼及其組合中之一個。
綜上所述，本發(fā)明的搬運裝置具有下列優(yōu)點本發(fā)明在支撐座的設(shè)計上，采用具有安全組件的支撐座，其將安全組件的厚度制作得較薄，所以在搬運時，若支撐座受到預(yù)定程度的外力撞擊，安全組件可先斷裂，而不會使外力繼續(xù)傳遞到工藝機臺上，因此可以保護工藝機臺不受到損壞。此外，利用金屬作為支撐座的材質(zhì)，使得在搬運時支撐座與基板之間因不斷摩擦而產(chǎn)生的靜電，可以通過支撐座而導(dǎo)離基板。所以將可以避免靜電破壞基板以及已經(jīng)形成于基板上的電子元件。
雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當可作些許的更動與改進，因此本發(fā)明的保護范圍當視權(quán)利要求所界定者為準。
權(quán)利要求
1.一種搬運裝置，其特征是包括至少兩個支撐座，所述支撐座是用以支撐基板的相對兩側(cè)邊，其中每一所述支撐座包括支撐部；固定部；以及安全組件，連接在該支撐部與該固定部之間，當所述支撐座遭受預(yù)定程度的撞擊時，該安全組件會斷裂使該固定部與該支撐部分離開來。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運裝置，其特征是該支撐部與該固定部的厚度大于該安全組件的厚度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運裝置，其特征是該支撐部的厚度介于3～4mm之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運裝置，其特征是該固定部的厚度介于10～12mm之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運裝置，其特征是該安全組件的厚度介于2～3mm之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運裝置，其特征是該支撐部的形狀是平板狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運裝置，其特征是還包括支撐條，且該支撐條是鋪設(shè)在該支撐部的底面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運裝置，其特征是該支撐座的材質(zhì)包括防靜電積累的材質(zhì)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的搬運裝置，其特征是該防靜電積累的材質(zhì)包括金屬。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的搬運裝置，其特征是該金屬是選自鋁、銅、鉻、鈦、不銹鋼及其組合中之一個。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運裝置，其特征是還包括至少兩個移動組件，且每一所述移動組件是與每一所述支撐座的該固定部連接。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運裝置，其特征是該支撐部、該安全組件與該固定部是一體成型的結(jié)構(gòu)。
全文摘要
一種搬運裝置，其包括至少兩個支撐座，且支撐座是用以支撐基板的相對兩側(cè)邊，其中每一支撐座包括支撐部、固定部以及安全組件。此安全組件是連接在支撐部與固定部之間，且當支撐座遭受預(yù)定程度的撞擊時，安全組件會斷裂使固定部與支撐部分離開來。并且支撐座的材質(zhì)是使用防靜電累積的材質(zhì)，所以本發(fā)明可以防止基板受到靜電破壞，并防止工藝機臺受外力碰撞而損壞。
文檔編號H01L21/67GK1868838SQ20051007226
公開日2006年11月29日 申請日期2005年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月27日
發(fā)明者曹文光, 許泓譯, 陳建裕, 鐘享顯 申請人:中華映管股份有限公司