專利名稱：一種氣動中央控制多點(diǎn)安全鎖裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種安全鎖裝置，特別地涉及一種用于離子注入機(jī)的氣動中央控制多點(diǎn)安全鎖裝置，屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
離子注入機(jī)屬于大型設(shè)備，工作時(shí)存在高壓和其它各種對人體或環(huán)境存在危害的射線和輻射，為保證其能夠安全環(huán)保的工作，一般均設(shè)計(jì)有活動的安全防護(hù)門，為確保在運(yùn)行設(shè)備的時(shí)候，所有的安全防護(hù)門關(guān)到位，通常采用普通的行程開關(guān)實(shí)現(xiàn)電氣聯(lián)鎖，又對各門設(shè)計(jì)獨(dú)立的機(jī)械鎖，兩者配合實(shí)現(xiàn)，設(shè)計(jì)復(fù)雜，操作繁瑣，且還是存在其中的單個(gè)門鎖被意外開啟而影響機(jī)器正常運(yùn)行的隱患。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型即是針對上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)而提出的一種氣動中央控制多點(diǎn)安全鎖裝置，該裝置將電氣聯(lián)鎖開關(guān)和門鎖定機(jī)械裝置合為一體，采用氣動驅(qū)動，中央控制，安裝簡單，工作可靠，可提高安裝設(shè)備的防護(hù)等級。
本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)一種氣動中央控制多點(diǎn)安全鎖裝置，包括一手動氣閥、一電動氣閥、一氣路分配多通接頭和一個(gè)或一個(gè)以上氣動鎖，所述的手動氣閥通過氣路與電動氣閥連接；所述的氣動鎖并聯(lián)于氣路分配多通接頭的輸出端，氣路分配多通接頭的輸入端與電動氣閥氣路連接，各個(gè)氣動鎖的行程開關(guān)觸點(diǎn)串連，且與外部控制系統(tǒng)也串連。
所述的氣動鎖與氣路分配多通接頭之間可以設(shè)置有一常開狀態(tài)手動安全氣閥；所述的電動氣閥為常斷狀態(tài)。
本實(shí)用新型具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)1.通過氣路控制，使得控制電路簡單、可靠；2.氣路連接中設(shè)置有安全氣閥，提高了機(jī)器的應(yīng)急處理能力。


圖1為本實(shí)用新型一種氣動中央控制多點(diǎn)安全鎖裝置的結(jié)構(gòu)連接示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的介紹，但不作為對本實(shí)用新型的限定。
一種氣動中央控制多點(diǎn)安全鎖裝置，其包括一手動氣閥1、一電動氣閥2、一氣路分配多通接頭3、若干安全氣閥4和若干個(gè)氣動鎖5。其中手動氣閥1是整個(gè)系統(tǒng)的中央鎖定和開鎖閥，電動氣閥2是和機(jī)器控制系統(tǒng)聯(lián)鎖用電磁閥，其電控端c-d與外部控制系統(tǒng)相連，電動氣閥2為常斷狀態(tài)，此時(shí)手動氣閥1不能完成鎖定，氣路分配多通接頭3通過氣路連接電動氣閥2和各個(gè)氣動鎖5的控制端，將中央控制氣路分配到各控制支路，氣動鎖5接受氣動控制，完成鎖定，同時(shí)可給出門關(guān)到位且鎖定的聯(lián)鎖觸點(diǎn)信號e-f、g-h，且聯(lián)鎖觸點(diǎn)e-f、g-h串連，各聯(lián)鎖觸點(diǎn)串連后通過觸點(diǎn)a-b與外部控制系統(tǒng)連接，因而只要有一個(gè)鎖定觸點(diǎn)中存在一個(gè)未完全實(shí)現(xiàn)鎖定的動作，則外部控制系統(tǒng)即可檢測到此聯(lián)鎖存在，禁止執(zhí)行相關(guān)動作，實(shí)現(xiàn)安全聯(lián)鎖，安全氣閥4為手控常開閥，串接在某些必要的鎖定支路中，當(dāng)遇到緊急或特殊情況需打開相應(yīng)的安全門時(shí)，則可快速拍下安全氣閥4，打開相應(yīng)門鎖開門，此時(shí)串接的安全聯(lián)鎖觸點(diǎn)被破壞，機(jī)器控制系統(tǒng)則立即執(zhí)行相應(yīng)的安全應(yīng)急處理，如停止輸出工作高壓等，保證進(jìn)入人員的安全。
本實(shí)用新型的特定實(shí)施例已對本實(shí)用新型的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實(shí)用新型精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本實(shí)用新型專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求1.一種氣動中央控制多點(diǎn)安全鎖裝置，其特征在于該裝置包括一手動氣閥、一電動氣閥、一氣路分配多通接頭和一個(gè)或一個(gè)以上氣動鎖，所述的手動氣閥通過氣路與電動氣閥連接；所述的氣動鎖并聯(lián)于氣路分配多通接頭的輸出端，氣路分配多通接頭的輸入端與電動氣閥氣路連接，各個(gè)氣動鎖的行程開關(guān)觸點(diǎn)串連，且與外部控制系統(tǒng)也串連。
2.如權(quán)利要求1所述的一種氣動中央控制多點(diǎn)安全鎖裝置，其特征在于所述的氣動鎖與氣路分配多通接頭之間可以設(shè)置有一常開狀態(tài)手動安全氣閥。
3.如權(quán)利要求1所述的一種氣動中央控制多點(diǎn)安全鎖裝置，其特征在于所述的電動氣閥為常斷狀態(tài)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種氣動中央控制多點(diǎn)安全鎖裝置，包括一手動氣閥、一電動氣閥、一氣路分配多通接頭和一個(gè)或一個(gè)以上氣動鎖，所述的手動氣閥通過氣路與電動氣閥連接；所述的氣動鎖并聯(lián)于氣路分配多通接頭的輸出端，氣路分配多通接頭的輸入端與電動氣閥氣路連接，各個(gè)氣動鎖的行程開關(guān)觸點(diǎn)串連，且與外部控制系統(tǒng)也串連；所述的氣動鎖與氣路分配多通接頭之間可以設(shè)置有一常開狀態(tài)手動安全氣閥；所述的電動氣閥為常斷狀態(tài)。本實(shí)用新型通過氣路控制，使得控制電路簡單、可靠；氣路連接中設(shè)置有安全氣閥，提高了設(shè)備的應(yīng)急處理能力。
文檔編號H01L21/265GK2849953SQ200520017069
公開日2006年12月20日 申請日期2005年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月25日
發(fā)明者彭立波, 郭建輝, 孫雪平, 唐景庚, 許波濤 申請人:北京中科信電子裝備有限公司