專利名稱：一種高壓繼電器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種高壓繼電器，特別地涉及一種用于離子注入機(jī)在加速和減速模式之間進(jìn)行切換時(shí)應(yīng)用的高壓繼電器，屬半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工藝的離子注入工藝中，通常使用的注入能量比較高，能達(dá)到幾十KeV，此時(shí)注入機(jī)的離子加速器工作在加速模式；但是對(duì)于某些特殊工藝中，需要的注入能量只需要幾KeV，甚至更低，此時(shí)注入機(jī)的離子加速器則工作在減速模式，將能量過(guò)高的離子能量降低到所需的能量，在這個(gè)過(guò)程中需要對(duì)加速器的電極進(jìn)行重新引線，并從使用加速電源變換到使用減速電源，如果采用人工完成其中工作，所需的時(shí)間比較長(zhǎng)，且不滿足設(shè)備實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的要求，而目前市場(chǎng)上又缺乏這種耐壓達(dá)到幾萬(wàn)伏的轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型即是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的現(xiàn)狀而提出的一種高壓繼電器，該繼電器采用了氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)和杠桿機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了離子加速器在加速和減速模式下自動(dòng)切換過(guò)程中的引線轉(zhuǎn)換。
本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)一種高壓繼電器，包括一絕緣外殼、一驅(qū)動(dòng)氣缸、一驅(qū)動(dòng)擺桿、一擺動(dòng)連桿和一組或一組以上繼電器觸點(diǎn)單元，每組繼電器觸點(diǎn)單元包括一動(dòng)片、一動(dòng)片觸點(diǎn)、一常閉觸點(diǎn)和一常開(kāi)觸點(diǎn)；所述的驅(qū)動(dòng)氣缸、驅(qū)動(dòng)擺桿、動(dòng)片觸點(diǎn)、常閉觸點(diǎn)和常開(kāi)觸點(diǎn)均設(shè)置在絕緣外殼上；所述的驅(qū)動(dòng)擺桿一端與驅(qū)動(dòng)氣缸的活塞軸連接，另一端與擺動(dòng)連桿連接；所述的動(dòng)片均安裝在驅(qū)動(dòng)擺桿上；所述的動(dòng)片觸點(diǎn)與動(dòng)片連接；所述的動(dòng)片在不同角度可以分別與常閉觸點(diǎn)和常開(kāi)觸點(diǎn)接觸。
所述的絕緣外殼上在各常閉觸點(diǎn)和常開(kāi)觸點(diǎn)之間設(shè)置有絕緣筋；所述的動(dòng)片觸點(diǎn)為圓柱型結(jié)構(gòu)。
本實(shí)用新型具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)1.采用壓縮空氣驅(qū)動(dòng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；2.絕緣能力高，引線觸點(diǎn)之間可承受幾萬(wàn)伏高壓。


圖1為本實(shí)用新型一種高壓繼電器具體實(shí)施例的原理圖；圖2為本實(shí)用新型一種高壓繼電器具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)分解圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的介紹，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
參考圖1和圖2，一種新型高壓繼電器，包括一絕緣外殼1、一驅(qū)動(dòng)氣缸2、一驅(qū)動(dòng)擺桿3、一擺動(dòng)連桿4和三組繼電器觸點(diǎn)單元5，每個(gè)繼電器觸點(diǎn)單元5包括一動(dòng)片50、一動(dòng)片觸點(diǎn)51、一常閉觸點(diǎn)52和一常開(kāi)觸點(diǎn)53。絕緣外殼1采用尼龍等絕緣材料，分上下兩部分，中間各觸點(diǎn)之間設(shè)計(jì)絕緣隔離筋11，提高絕緣性能，同時(shí)也可為其他零件提供安裝點(diǎn)；驅(qū)動(dòng)氣缸2安裝在絕緣外殼1上，為高壓繼電器觸點(diǎn)切換提供動(dòng)力源，驅(qū)動(dòng)氣缸2的活塞桿連接驅(qū)動(dòng)擺桿3，驅(qū)動(dòng)擺桿3也固定在絕緣外殼1上的固定軸孔內(nèi)，可轉(zhuǎn)動(dòng)，另一端與擺動(dòng)連桿4相連，驅(qū)動(dòng)擺桿3將驅(qū)動(dòng)氣缸2的活塞桿的直線運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成轉(zhuǎn)動(dòng)，并傳遞給擺動(dòng)連桿4；動(dòng)片50，可以水平轉(zhuǎn)動(dòng)，在不同角度分別接觸到常開(kāi)觸點(diǎn)53和常閉觸點(diǎn)52，三組繼電器觸點(diǎn)單元5的動(dòng)片50均安裝固定在擺動(dòng)連桿4上，通過(guò)擺動(dòng)連桿4的聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)三組繼電器觸點(diǎn)單元5中常開(kāi)觸點(diǎn)53與常閉觸點(diǎn)52的同時(shí)切換，動(dòng)片50采用導(dǎo)電彈性金屬片制作，動(dòng)片觸點(diǎn)51為圓柱體，另一端為圓柱轉(zhuǎn)軸，同時(shí)有與動(dòng)片觸點(diǎn)51接觸的彈性觸點(diǎn)。擺動(dòng)連桿4，將驅(qū)動(dòng)擺桿3和三組繼電器觸點(diǎn)單元5的動(dòng)片50連為一體聯(lián)動(dòng)，符合平行四邊形原理，使驅(qū)動(dòng)擺桿3和三組繼電器觸點(diǎn)單元5的動(dòng)片50運(yùn)動(dòng)一致；動(dòng)片觸點(diǎn)51，圓柱型結(jié)構(gòu)，外殼采用絕緣材料，固定于絕緣外殼1上，一端可外接引線，另一端與動(dòng)片50連接，通過(guò)動(dòng)片50與常開(kāi)觸點(diǎn)52或者常閉觸點(diǎn)53的接觸，實(shí)現(xiàn)電氣連接。常開(kāi)觸點(diǎn)52與常閉觸點(diǎn)53也設(shè)置在絕緣外殼1上。
本實(shí)用新型的特定實(shí)施例已對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實(shí)用新型精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求1.一種高壓繼電器，其特征在于該繼電器包括一絕緣外殼、一驅(qū)動(dòng)氣缸、一驅(qū)動(dòng)擺桿、一擺動(dòng)連桿和一組或一組以上繼電器觸點(diǎn)單元，每組繼電器觸點(diǎn)單元包括一動(dòng)片、一動(dòng)片觸點(diǎn)、一常閉觸點(diǎn)和一常開(kāi)觸點(diǎn)；所述的驅(qū)動(dòng)氣缸、驅(qū)動(dòng)擺桿、動(dòng)片觸點(diǎn)、常閉觸點(diǎn)和常開(kāi)觸點(diǎn)均設(shè)置在絕緣外殼上；所述的驅(qū)動(dòng)擺桿一端與驅(qū)動(dòng)氣缸的活塞軸連接，另一端與擺動(dòng)連桿連接；所述的動(dòng)片均安裝在驅(qū)動(dòng)擺桿上；所述的動(dòng)片觸點(diǎn)與動(dòng)片連接；所述的動(dòng)片在不同角度可以分別與常閉觸點(diǎn)和常開(kāi)觸點(diǎn)接觸。
2.如權(quán)利要求1所述的一種高壓繼電器，其特征在于所述的絕緣外殼上在各常閉觸點(diǎn)和常開(kāi)觸點(diǎn)之間設(shè)置有絕緣筋。
3.如權(quán)利要求1所述的一種高壓繼電器，其特征在于所述的動(dòng)片觸點(diǎn)為圓柱型結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高壓繼電器，包括一絕緣外殼、一驅(qū)動(dòng)氣缸、一驅(qū)動(dòng)擺桿、一擺動(dòng)連桿和一組或一組以上繼電器觸點(diǎn)單元，每組繼電器觸點(diǎn)單元包括一動(dòng)片、一動(dòng)片觸點(diǎn)、一常閉觸點(diǎn)和一常開(kāi)觸點(diǎn)；所述的驅(qū)動(dòng)氣缸、驅(qū)動(dòng)擺桿、動(dòng)片觸點(diǎn)、常閉觸點(diǎn)和常開(kāi)觸點(diǎn)均設(shè)置在絕緣外殼上；所述的驅(qū)動(dòng)擺桿一端與驅(qū)動(dòng)氣缸的活塞軸連接，另一端與擺動(dòng)連桿連接；所述的動(dòng)片均安裝在驅(qū)動(dòng)擺桿上；所述的動(dòng)片觸點(diǎn)與動(dòng)片連接；所述的動(dòng)片在不同角度可以分別與常閉觸點(diǎn)和常開(kāi)觸點(diǎn)接觸。本實(shí)用新型采用壓縮空氣驅(qū)動(dòng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，且絕緣能力高，引線觸點(diǎn)之間可承受幾萬(wàn)伏高壓。
文檔編號(hào)H01H3/24GK2788340SQ20052001708
公開(kāi)日2006年6月14日 申請(qǐng)日期2005年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月22日
發(fā)明者彭立波, 陳鑫, 許波濤, 郭建輝, 易文杰, 龍會(huì)躍, 唐景庭 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司