專利名稱：真空檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于進(jìn)行熱退火工藝的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的真空檢測(cè) 裝置。
背景技術(shù)：
如圖1所示，目前進(jìn)行熱退火工藝的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，以美國(guó)Metron 公司生產(chǎn)的Hp8800為例，其工藝要求在純N2的條件下進(jìn)行硅片表面的熱 退火，而工藝腔體的門開(kāi)關(guān)是由氣缸控制，然后通過(guò)檢測(cè)門上雙密封圈 11間的真空度來(lái)確認(rèn)該門是否密封，雙密封圈的真空原來(lái)是通過(guò)一個(gè)真 空泵來(lái)抽的，由于真空泵12是一個(gè)易損壞部件，因此這種真空檢測(cè)裝置 的故障率高，穩(wěn)定性差，影響了設(shè)備的生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種真空檢測(cè)裝置，可減少故障的發(fā) 生率，提高真空檢測(cè)的穩(wěn)定性。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的即該裝置 包括 一個(gè)三通閥，安裝在主真空管道上；在三通閥新分出的一路真空管 道上的一常開(kāi)氣動(dòng)閥，該氣動(dòng)閥的開(kāi)關(guān)通過(guò)另一路真空管道與控制腔體門 開(kāi)關(guān)的氣缸連接在一起。
本發(fā)明由于釆用了上述技術(shù)方案，具有這樣的有益效果，即避免了易 損壞部件真空泵的使用，減少了故障發(fā)生率，提高了真空檢測(cè)的穩(wěn)定性， 并且提高了生產(chǎn)效率。


下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明
圖1是傳統(tǒng)真空檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖2是本發(fā)明所述真空檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
如圖2所示，本發(fā)明所述的真空檢測(cè)裝置在原有設(shè)備連接機(jī)械手23 和對(duì)準(zhǔn)器24的主真空管道上增加一個(gè)三通閥25，以分出一路真空，在該 新分出的真空管道上安裝有一常開(kāi)氣動(dòng)閥21，并通過(guò)另一真空管道將驅(qū) 動(dòng)腔體門開(kāi)關(guān)的氣缸22和該氣動(dòng)閥21的開(kāi)關(guān)連接在一起，以實(shí)現(xiàn)使用氣 缸中的氣體來(lái)控制氣動(dòng)閥的開(kāi)關(guān)，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)門開(kāi)關(guān)與氣動(dòng)閥的開(kāi)關(guān)的 同步控制。這樣當(dāng)需取送硅片而打開(kāi)工藝腔體的門時(shí)，氣動(dòng)閥的開(kāi)關(guān)將會(huì) 在氣缸中氣體的壓力控制下關(guān)閉該氣動(dòng)閥，而當(dāng)工藝腔體的門關(guān)閉后，若 工藝腔體中雙密封圈間的氣體是真空的，則氣動(dòng)閥的開(kāi)關(guān)則會(huì)因不受氣缸 中氣體的壓力而打開(kāi)。由此，實(shí)現(xiàn)了同步檢測(cè)真空的目的。
權(quán)利要求
1、一種真空檢測(cè)裝置，其特征是，包括一個(gè)三通閥，安裝在主真空管道上；在該三通閥新分出的真空管道上的一常開(kāi)氣動(dòng)閥，該氣動(dòng)閥的開(kāi)關(guān)通過(guò)另一路真空管道與控制腔體門開(kāi)關(guān)的氣缸連接在一起。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種真空檢測(cè)裝置，包括一個(gè)三通閥，安裝在主真空管道上；在三通閥新分出的一路真空管道上的一常開(kāi)氣動(dòng)閥，該氣動(dòng)閥的開(kāi)關(guān)通過(guò)另一路真空管道與控制腔體門開(kāi)關(guān)的氣缸連接在一起。該裝置避免了真空泵的使用，減少了故障發(fā)生率，提高了真空檢測(cè)的穩(wěn)定性，并且提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101110363SQ20061002907
公開(kāi)日2008年1月23日 申請(qǐng)日期2006年7月18日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月18日
發(fā)明者偉 華, 裴雷洪 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司