專利名稱：外觀檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如用于檢查芯片狀電子部件等工件外觀的外觀檢查裝置。
背景技術(shù)：
例如，對(duì)于檢查由六面體組成的芯片狀電子部件外觀的外觀檢查裝置來說，其如圖6所示那樣構(gòu)成。圖6表示的是檢查工件外觀的外觀檢查裝置50，從直線送料器51將由六面體組成的芯片狀電子部件(以下稱工件)供給至水平轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)52。在水平轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)52的圓周邊緣部設(shè)置有多個(gè)用于收納工件的、由凹部組成的工件收納部52a，工件被逐個(gè)地分離收納在這些工件收納部52a內(nèi)。
若水平轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)52轉(zhuǎn)動(dòng)，則在工件伴隨著其轉(zhuǎn)動(dòng)而被搬送的過程中，通過設(shè)置在水平轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)52的圓周邊緣部的外側(cè)的攝像裝置54a，對(duì)工件收納部52a內(nèi)的工件側(cè)面進(jìn)行攝像。而且，通過分別設(shè)置在水平轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)52的上下方向的攝像裝置54b以及54c，對(duì)工件收納部52a內(nèi)的工件的上下兩面進(jìn)行攝像。
來自攝像裝置54a、54b、54c的攝像數(shù)據(jù)，被送往未圖示的圖像處理裝置進(jìn)行圖像處理，判定是否合格。將被判定為次品的工件從工件接收箱55排出，而合格的工件則被水平轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)52搬送到工件移載位置57。然后，合格的工件在工件移載裝置57處，從工件收納部52a被移載到設(shè)置于垂直轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)53的圓周邊緣部上的多個(gè)工件收納部53a。對(duì)于被移載到垂直轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)53側(cè)的合格工件來說，通過設(shè)置在垂直轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)53的圓周邊緣部的外側(cè)的攝像裝置54d，對(duì)工件的側(cè)面進(jìn)行攝像，而且，通過分別設(shè)置在垂直轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)53的左右側(cè)的攝像裝置54e以及54f，對(duì)收納部53a內(nèi)的工件的左右兩面進(jìn)行攝像。
來自攝像裝置54d、54e、54f的攝像數(shù)據(jù)，被送往未圖示的圖像處理裝置進(jìn)行圖像處理，判定是否合格。將判定為次品的工件從工件接收箱56排出，而合格工件則通過未圖示的工件取出部被移交到下面的工序。
然而，對(duì)于上述外觀檢查裝置50來說，雖然可以對(duì)工件的六面進(jìn)行外觀檢查，但是，若要進(jìn)行多于四面的外觀檢查，則需要搬送工件的水平轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)52以及垂直轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)53這兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)。此外，需要以使水平轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)52和垂直轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)53同步間歇轉(zhuǎn)動(dòng)的方式進(jìn)行控制。而且，工件的保持裝置或者移載裝置等的結(jié)構(gòu)精密且復(fù)雜，這就成為成本提高的主要原因。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種外觀檢查裝置，在工件被收納于轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的工件收納部內(nèi)并對(duì)其進(jìn)行搬送的過程中，即使在工件的最多五面進(jìn)行外觀檢查，特別是進(jìn)行一個(gè)面的輪廓(影像)檢查也可以的情況下，能夠通過簡單的機(jī)構(gòu)進(jìn)行檢查，并能夠降低成本。
在本發(fā)明中，外觀檢查裝置包括在外周部上具有逐個(gè)收納并搬送工件的多個(gè)工件收納部的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)；吸附保持收納于上述工件收納部內(nèi)的工件并將其向上述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的外部空間送出的送出裝置；以及對(duì)從上述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)送出的上述工件外觀進(jìn)行檢查的檢查裝置。而且，其特征在于在使上述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)而將上述工件收納部定位于規(guī)定位置后，通過上述送出裝置，將上述工件收納部的上述工件向上述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的外部空間送出，通過檢查裝置對(duì)上述工件的外觀進(jìn)行檢查。
根據(jù)上述構(gòu)成，對(duì)于收納于轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的工件收納部內(nèi)并被搬送的工件，通過送出裝置吸附保持并向轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的外部空間送出，從而，能夠根據(jù)檢查裝置對(duì)因工件收納部的壁面成為屏障而不能檢查的工件的面進(jìn)行外觀檢查。


圖1A是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的外觀檢查裝置的部分截面的主視圖。
圖1B是沿著圖1A的A-A線的向視圖。
圖2是表示該實(shí)施方式的工件收納部的放大立體圖。
圖3A是表示該實(shí)施方式的外觀檢查部的平面圖。
圖3B是表示該實(shí)施方式的外觀檢查部的側(cè)視圖。
圖3C是表示該實(shí)施方式的外觀檢查部的主視圖。
圖3D是表示該實(shí)施方式的外觀檢查部的光路形成的立體圖。
圖4A是表示該實(shí)施方式的照明裝置的說明圖。
圖4B是表示該實(shí)施方式的照明裝置的說明圖。
圖5A是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的外觀檢查部的立體圖。
圖5B是將該實(shí)施方式的主要部分放大的立體圖。
圖6是現(xiàn)有技術(shù)的外觀檢查裝置的立體圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
在圖1A以及圖1B中，在外觀檢查裝置1的基板2的表面上(以下，以表面?zhèn)葹樯?，背面?zhèn)葹橄?固定設(shè)置有滑動(dòng)基底支撐體3?；瑒?dòng)基底4以樞軸4a為中心、可自由轉(zhuǎn)動(dòng)地被設(shè)置在滑動(dòng)基底支撐體3上。在滑動(dòng)基底4上，沿垂直方向設(shè)置有多個(gè)引導(dǎo)孔4b，輔助滑塊5的下端側(cè)沿著垂直方向可自由滑動(dòng)地被設(shè)置在這些引導(dǎo)孔4b上。這些輔助滑塊5的上端側(cè)與噴嘴支撐體6相嵌合，噴嘴支撐體6相對(duì)于滑動(dòng)基底4進(jìn)行上下移動(dòng)。
支撐部件7利用定位銷釘(stop bolt)8而被固定在噴嘴支撐體6的上面。支撐部件7通過與固定設(shè)置在滑動(dòng)基底4上的檔塊支撐部件9之間所配置的彈簧10而被施加作用力，從而被押向下方。此外，將調(diào)整螺絲11擰在檔塊支撐部件9上，調(diào)整螺絲11的下端與定位銷釘8的上面接觸。
在滑動(dòng)基底4上沿垂直方向設(shè)置有貫通孔13，驅(qū)動(dòng)滑塊14可自由滑動(dòng)地設(shè)置在貫通孔13上。驅(qū)動(dòng)滑塊14在其頭頂部形成有比支撐部件7的板厚稍寬的縮徑部14a，該縮徑部14a被緩緩地插入支撐部件7的U形槽7a內(nèi)。此外，在比驅(qū)動(dòng)滑塊14的縮徑部14a稍靠下方處設(shè)置有凸緣部14b。在凸緣部14b與支撐部件之間設(shè)置有彈簧15，其施加作用力使得支撐部件7的上面被按壓在縮徑部14a的上端。
在上述基板2的背面?zhèn)壬瞎潭ㄓ型馆喕?6。在凸輪基底16上設(shè)置有發(fā)動(dòng)機(jī)17。在凸輪基底16上與發(fā)動(dòng)機(jī)17隔開而可自由轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置有由長徑和短徑組成而形成為橢圓形的凸輪18。在發(fā)動(dòng)機(jī)17的滑輪19和凸輪18的滑輪20之間搭掛有帶21。在凸輪18上轉(zhuǎn)接有凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)(cam follower)22，該凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)22可自由轉(zhuǎn)動(dòng)地被設(shè)置在凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)基底23上。
在凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)基底23上嵌合有驅(qū)動(dòng)桿24的一端部。驅(qū)動(dòng)桿24貫通固定設(shè)置在凸輪基底16上的支撐部件25以及基板2并可沿垂直方向自由滑動(dòng)地設(shè)置。該驅(qū)動(dòng)桿24的另一端通過接觸部14c與驅(qū)動(dòng)滑塊14的下面接觸。此外，輔助桿26的一端平行于驅(qū)動(dòng)桿24并可自由滑動(dòng)地與凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)基底23相嵌合。該輔助桿26的另一端貫通支撐部件25并可自由滑動(dòng)地設(shè)置。
彈簧27與驅(qū)動(dòng)桿24以及輔助桿26相嵌合。這些彈簧27以壓縮狀態(tài)被安裝在支撐部件25和凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)基底23之間，凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)22始終保持與凸輪18緊密接觸。
在上述噴嘴支撐體6上，設(shè)置有作為工件送出裝置的吸附噴嘴28。在該吸附噴嘴28的下側(cè)前端部上，設(shè)置有吸附工件w的噴嘴頭28a。在上述基板2上設(shè)置有缺口部2a，在該缺口部2a上設(shè)置有與噴嘴頭28a相對(duì)的外觀檢查部29。而且，覆蓋外觀檢查部29而設(shè)置有承接臺(tái)30。承接臺(tái)30的上面和基板2的上面形成同一水平面，接近承接臺(tái)30和基板2的上面并可自由轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31。
在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31的外周部上，等間隔地設(shè)置有由收納工件w的凹部組成的工件收納部31a。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31通過未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置間歇地在基板2以及承接臺(tái)30上轉(zhuǎn)動(dòng)。這樣，在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31的間歇停止位置處，與噴嘴頭28a相對(duì)，使圖2所示的工件收納部31a與工件2一起被定位。而且，在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31的間歇停止位置處，設(shè)置在承接臺(tái)30上的工件通過孔30a和工件收納部31a以及噴嘴頭28a被定位在同一垂線上。
如圖3A～圖3G所示那樣，外觀檢查部29由設(shè)置在光路箱32內(nèi)的多個(gè)光反射裝置33、34、35以及照射大致平行光線的照明裝置36構(gòu)成。在通過外觀檢查部29形成的光路L的延長線上，按照圖1A所示那樣設(shè)置攝像裝置37。
其中，對(duì)于滑動(dòng)基底4的樞軸4a來說，在外觀檢查部29等上發(fā)生故障的情況下，將作為用于轉(zhuǎn)動(dòng)開閉滑動(dòng)基底4的的支點(diǎn)，通?；瑒?dòng)基底4被固定在基板2上。
接下來，對(duì)所述那樣構(gòu)成的外觀檢查裝置1的作用進(jìn)行說明。
如圖1A所示那樣，凸輪18形成為由長徑和短徑組成的橢圓形。凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)基底23通過彈簧27而被施加作用力，與凸輪18和凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)22彈性地轉(zhuǎn)接。在這種狀態(tài)下，若發(fā)動(dòng)機(jī)17間歇地轉(zhuǎn)動(dòng)，則凸輪18通過滑輪19、帶21以及滑輪20沿箭頭方向每次90°地間歇轉(zhuǎn)動(dòng)，分別在凸輪18的長徑部分和短徑部分上間歇地停止。利用凸輪18的長徑部分和短徑部分的徑差，使得凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)22沿上下方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，與此相伴，凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)23、驅(qū)動(dòng)桿24以及輔助桿26沿上下方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)22隨著從凸輪18的長徑側(cè)轉(zhuǎn)到短徑側(cè)，驅(qū)動(dòng)桿24由彈簧27施加作用力而向下方移動(dòng)。伴隨著驅(qū)動(dòng)桿24向下方的滑動(dòng)，承受彈簧10作用力的支撐部件7以及承受彈簧15作用力的驅(qū)動(dòng)滑塊14向下方滑動(dòng)，始終保持驅(qū)動(dòng)滑塊14的下面以及驅(qū)動(dòng)桿24的上面的接觸部14c緊密接觸而滑動(dòng)。
若凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)22從凸輪18的短徑側(cè)向長徑側(cè)移動(dòng)，則驅(qū)動(dòng)桿24向上方滑動(dòng)并將驅(qū)動(dòng)滑塊14上推，支撐部件7與其一起而被上推。設(shè)定支撐部件7的上限，使得以噴嘴頭28a的前端與滑動(dòng)基底4的噴嘴頭附近下面處于同一平面上的方式使調(diào)整螺絲11與定位銷釘8相接觸。由此，當(dāng)通過轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)，如圖2所示那樣搬送工件w時(shí)，由于沒有臺(tái)階差，所以能夠穩(wěn)定地通過，此外，由于噴嘴頭28a的前端最靠近工件w，所以能夠有效地進(jìn)行吸附。
而且，將驅(qū)動(dòng)滑塊14的縮徑部14a設(shè)置成比支撐部件7的厚度稍寬。所以，即使支撐部件7被調(diào)整螺絲11限制而停止在上限位置，驅(qū)動(dòng)滑塊14能夠抵抗彈簧15的作用力，再移動(dòng)所述行程之差的部分。
固定設(shè)置在支撐部件7上的噴嘴支撐體6，通過多個(gè)輔助滑塊5而相對(duì)于滑動(dòng)基底4垂直地上下滑動(dòng)移動(dòng)。由于滑動(dòng)基底4與基板2平行地設(shè)置，所以噴嘴支撐體6相對(duì)于基板2垂直地上下移動(dòng)。通過噴嘴支撐體6的上下移動(dòng)而相對(duì)于基板2垂直地上下移動(dòng)的吸附噴嘴28，與未圖示的負(fù)壓發(fā)生源相連接，從而始終使噴嘴頭28a處于負(fù)壓。
如圖2所示，工件w被收納于在基底2上間歇地轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31的工件收納部31a內(nèi)，若將工件w搬送到與噴嘴頭28a相對(duì)設(shè)置的外觀檢查部29，則工件w通過始終處于負(fù)壓的噴嘴頭28a而被吸附保持。若工件w由噴嘴頭28a所吸附保持，則凸輪18轉(zhuǎn)動(dòng)90°而在短徑位置處停止。這樣，吸附有工件w的噴嘴頭28a下降，使工件w從設(shè)置在接收臺(tái)30上的工件w通過孔30a向設(shè)置在基板2內(nèi)的外觀檢查部29移動(dòng)。
如圖3A～圖3D所示，外觀檢查部29通過設(shè)置在光路箱32內(nèi)的多個(gè)光反射裝置33、34、35反射從照明裝置36照射過來的大致平行光線而形成光路L。即，若通過噴嘴頭28a吸附保持而向外觀檢查部29移動(dòng)的工件w被投入到光路L中，并從背面照射平行光線，則形成包含工件w的輪廓(影像)的光路L，如圖1A所示那樣，通過設(shè)置在光路L后方的攝像裝置37，對(duì)工件w的輪廓進(jìn)行攝像，并將其送至未圖示的控制部分進(jìn)行解析。
如圖3A～圖3D所示的照射工件w的平行光線的面，是如圖2所示的工件收納部31a的壁面成為屏障而成為不能進(jìn)行檢查的D面方向，通過來自D面方向的光線的照射，圖2所示的工件w的D面方向的輪廓影像可以通過攝像裝置37得到，可以根據(jù)這些輪廓影像，檢查例如設(shè)置在工件w兩端的電極wa歪曲等異常。即，即使如圖2所示的工件w那樣的工件表面與電極wa不在同一平面上的情況下，影像方式也可以用于檢查。
通過上述那樣，可以與在收納于轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31的工件收納部31a內(nèi)的狀態(tài)下能夠進(jìn)行檢查的A～C面一起，從四面進(jìn)行外觀檢查。
若D面的外觀結(jié)束，則凸輪18再次轉(zhuǎn)動(dòng)90°而停止在長徑側(cè)，由此，噴嘴頭28a上升，工件w回到轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31的工件收納部31a。與此同時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31間歇轉(zhuǎn)動(dòng)，從噴嘴頭28a取出工件w，并將其搬送到下一個(gè)工序。
如果用現(xiàn)有技術(shù)的透鏡系統(tǒng)制作用于該檢查的平行光線，則會(huì)非常昂貴。所以，在對(duì)象工件w的長度為1mm左右較小時(shí)，考慮使用LED。
圖4A是光的折射的基本形態(tài)，當(dāng)光從介質(zhì)A入射到介質(zhì)B時(shí)，若相對(duì)于法線C的角度分別為θA、θB，則根據(jù)斯奈爾定律(折射定律)，相對(duì)折射率nAB為nAB＝nB/nA＝sinθA/sinθB(nA、nB介質(zhì)的折射率)在此，若A為空氣，則nA1，另外，nB＞1，所以，sinθA/sinθB＞1，即，θA＞θB圖4B表示將該結(jié)果適用于投光面41大致為球面形且由樹脂填充的LED40。即，如果適用斯奈爾定律的結(jié)果，則發(fā)光部42在投光面41的球心o的后部的情況下，從發(fā)光部42發(fā)出的投射光X在投光面41折射而向LED的光軸Y側(cè)彎曲。但是理論上，投射光X不與光軸Y相交叉。所以，可以說光軸Y附近的投射光無限地接近平行光線。
此外，由于因發(fā)光部42的大小會(huì)導(dǎo)致平行光發(fā)生若干偏移，所以，優(yōu)選發(fā)光部42較小。作為照明裝置36，雖然以LED為例進(jìn)行說明，但是除此之外，只要滿足圖4B的構(gòu)成即可使用。其中，如果將該照明裝置36的光源的特征進(jìn)行歸納，則(1)優(yōu)選發(fā)光部盡量小。
(2)優(yōu)選投光面為凸形形狀，并且優(yōu)選發(fā)光部位于從凸?fàn)钪行膐起靠近投光面的相反側(cè)。
(3)優(yōu)選投光面附近充滿相同介質(zhì)。
(4)由于越靠近光軸Y越增加投射光的平行度，所以，若檢查對(duì)象工件w越小，則檢查精度越高。
雖然以上是理論上的理想的條件，但是實(shí)際上由于LED40的構(gòu)造而產(chǎn)生若干散射光。由于該散射光在LED40的較近處發(fā)生擴(kuò)散，所以在要發(fā)生問題的情況下，如圖4B所示那樣，可以通過在LED40的前面對(duì)準(zhǔn)光軸來設(shè)置具有光圈孔50a的光圈50來進(jìn)行防止。
圖5A以及圖5B是本發(fā)明外觀檢查裝置的第二實(shí)施方式。在圖5A以及圖5B中，因?yàn)槭刮絿娮?8垂直地上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同，所以省略其說明。在本實(shí)施方式，在由噴嘴頭28a吸附保持的工件w的外觀檢查部43上，相對(duì)于除了所述吸附面以外的五個(gè)面，通過分別設(shè)置的攝像裝置44a、44b、44c、44d、44e對(duì)各個(gè)面進(jìn)行攝像。
其中，在各個(gè)攝像裝置44a、44b、44c、44d、44e上，包含未圖示的照明裝置。
構(gòu)成為由工件供給裝置45供給的工件w，若被收納于設(shè)置在間歇轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31的圓周邊緣部的多個(gè)工件收納部31a內(nèi)，并被搬送至與噴嘴頭28a相對(duì)設(shè)置的外觀檢查部43，則工件w始終被吸附在處于負(fù)壓的噴嘴頭28a上。
若工件w被吸附，則吸附噴嘴28下降，使工件w從工件收納部31a向設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31下面?zhèn)瓤臻g內(nèi)的外觀檢查部43的大致中心位置移動(dòng)。
利用與除了移動(dòng)到外觀檢查部43大致中心部分的工件w的被噴嘴頭28a吸附的上面之外的各個(gè)面相對(duì)設(shè)置的攝像裝置44a、44b、44c、44d、44e攝像而得到的數(shù)據(jù)，被送到未圖示的控制部分，同時(shí)，吸附噴嘴28上升，再次使工件w成為在工件收納部31a內(nèi)那樣。
若吸附噴嘴28到達(dá)上限位置，則轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)31間歇地轉(zhuǎn)動(dòng)，從噴嘴頭28a取出工件w，并將其搬送到下面的工序。
其中，對(duì)于被噴嘴頭28吸附的工件w的上面，可以通過用未圖示的攝像裝置在事先或者事后另外間歇攝像，得到六面的全部圖像。
在第一實(shí)施方式中，雖然使用鏡子作為多個(gè)光發(fā)生裝置33、34、35，但是也可以使用棱鏡進(jìn)行反射，此外，由多個(gè)鏡子進(jìn)行光反射是設(shè)計(jì)上的手段，而無需拘泥于反射裝置的數(shù)量。
而且，在吸附噴嘴28的上下移動(dòng)中，雖然使用凸輪18以及凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)22，但是，由于是為了緩和吸附噴嘴28的急劇動(dòng)作，只要是以上下動(dòng)作為目的，則不必局限于曲柄機(jī)構(gòu)或者螺絲進(jìn)給裝置等構(gòu)成的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的種類。
此外，在第二實(shí)施方式中，在外觀檢查部43上，雖然對(duì)五面進(jìn)行攝像，但是也可以通過未圖示的攝像裝置在進(jìn)行上面的攝像的位置處，同時(shí)對(duì)下面進(jìn)行攝像。
如以上說明的那樣，根據(jù)本發(fā)明，不使用多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)，便可以通過簡單機(jī)構(gòu)檢查由于工件收納部的壁面成為屏障而不能檢查的工件的面，具有可以降低成本的效果。
其中，這種說明不僅局限于所述實(shí)施方式，在實(shí)施階段可以在不脫離其精神的范圍內(nèi)，將構(gòu)成要素進(jìn)行變形而具體化。另外，可以通過所述實(shí)施方式中公開的多個(gè)構(gòu)成要素的適宜的組合而形成各種發(fā)明。例如，也可以從實(shí)施方式中公開的全體構(gòu)成要素中刪除幾個(gè)構(gòu)成要素。而且，也可以將不同實(shí)施方式中的構(gòu)成要素進(jìn)行組合。
權(quán)利要求
1.一種外觀檢查裝置，其特征在于，包括在外周部上具有逐個(gè)地收納并搬送工件的多個(gè)工件收納部的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)；吸附保持收納于所述工件收納部內(nèi)的工件并將其向所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的外部空間送出的送出裝置；以及對(duì)從所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)送出的所述工件外觀進(jìn)行檢查的檢查裝置，其中，在使所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)并將所述工件收納部定位于規(guī)定位置后，通過所述送出裝置，將所述工件收納部的所述工件向所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的外部空間送出，并通過檢查裝置對(duì)。所述工件的外觀進(jìn)行檢查。
2.如權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于所述送出裝置是用于吸附所述工件并相對(duì)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)沿垂直方向進(jìn)退移動(dòng)的吸附噴嘴。
3.如權(quán)利要求2所述的外觀檢查裝置，其特征在于所述吸附噴嘴通過由短徑和長徑組成的凸輪以及伴隨該凸輪的轉(zhuǎn)動(dòng)而上下動(dòng)作的凸輪從動(dòng)機(jī)構(gòu)所構(gòu)成的上下動(dòng)作機(jī)構(gòu)而被驅(qū)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求2所述的外觀檢查裝置，其特征在于所述吸附噴嘴通過由曲柄機(jī)構(gòu)組成的上下動(dòng)作機(jī)構(gòu)而被驅(qū)動(dòng)。
5.如權(quán)利要求2所述的外觀檢查裝置，其特征在于所述吸附噴嘴通過由螺旋進(jìn)給機(jī)構(gòu)組成的上下動(dòng)作機(jī)構(gòu)而被驅(qū)動(dòng)。
6.如權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于所述檢查裝置由向所述工件照射大致平行光線的照明裝置、反射這些大致平行光線的多個(gè)光反射裝置、以及攝像裝置所組成，通過使所述工件位于所述平行光線中，用所述攝像裝置對(duì)所述工件的輪廓圖像進(jìn)行攝像。
7.如權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于所述檢查裝置是由與吸附保持在所述送出裝置上并被送出到所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)外部空間的所述工件的、被所述送出裝置吸附的面以外的各面相對(duì)設(shè)置的多個(gè)攝像裝置所構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求6所述的外觀檢查裝置，其特征在于所述照明裝置具有大致為球面的凸形形狀的投射光部，發(fā)光部相對(duì)于所述投射光部的球面的球心，在所述球面的相反側(cè)位于光軸上。
9.如權(quán)利要求8所述的外觀檢查裝置，其特征在于在所述投射光部的前面對(duì)準(zhǔn)光軸而設(shè)置有光圈。
10.如權(quán)利要求8或9所述的外觀檢查裝置，其特征在于所述投射光部為LED。
11.如權(quán)利要求6所述的外觀檢查裝置，其特征在于所述光反射裝置為鏡子。
12.如權(quán)利要求6所述的外觀檢查裝置，其特征在于所述光反射裝置為棱鏡。
全文摘要
一種外觀檢查裝置，其特征在于，包括在外周部上具有逐個(gè)地收納并搬送工件的多個(gè)工件收納部(31a)的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(31)；吸附保持收納于工所述件收納部(31a)的工件(w)并向所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(31)的外部空間送出的送出裝置；和檢查從所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(31)送出的所述工件(w)的外觀的檢查裝置，其中，使所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(31)的所述工件收納部定位于規(guī)定位置后，通過作為所述送出裝置的吸附噴嘴(28)將所述工件收納部(31a)的所述工件(w)送出，通過作為檢查裝置的攝像裝置(37)對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(31)外部空間的所述工件(w)進(jìn)行檢查。
文檔編號(hào)H01L21/67GK1929087SQ20061015145
公開日2007年3月14日 申請日期2006年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月8日
發(fā)明者水上博文 申請人:東京威爾斯股份有限公司