專利名稱：制作鐵電存儲器件的方法
默令贓
本發(fā)Bj^及一禾怫m電^^件^^法，其中^m^fm^電^ii單元 的p輛j,劍轉(zhuǎn)敝限定微^^^薄膜的圖案化的^^被圖案働層中，(^與 期樹側(cè)繊鵬s^M^a麟—和第j且頓，以便繊電械單織限敏
第1敏及與第電t鵬^Xtf司6^f^才料中，由此可以^g存儲單^rt及化
擾態(tài)，mt將適當?shù)膇^頃與剤諸單殆sgM^敏^e;u^mi!Ma極4m
態(tài)，其中，i^Wf牛形成，織船。
背景獄
3fi^3W價^M易彎曲的^i^ift息^^^禾沐示志的需^^Wfe，伊投口 皿中^^的防偽^^，微礎(chǔ)。這種剤it^件產(chǎn)品應(yīng)當iEi:并易于與^^印刷 娥誠^bS相敏鵬當由不鋭且艘,斗來構(gòu)成，并且需要最少的處 理步驟。為了ffi^中^ffl， M的Ji^種^^l件應(yīng)^W堅固并且不易于穀iJ W^ 、 ^^柳其它環(huán)鄉(xiāng)駒向。在夠綱中，觀的是剤i^:種械 器件中6^息育激電寫入、讀出、,瞎寫入。
一種已證^^:的時間周期內(nèi)可S^的觀誌6t^f諸單元^T^W^材
料的。盡 * ^關(guān)^^^ 電^^^1#^，但其中的多數(shù)都是涉M 微電薄膜稱或特淋寸底的，創(chuàng)l、挪需要^^鵬的M^法，通常過于昂貴并
且不翻T3^W^]鵬贓。雜，美國彌申請2畫0209,420A1鵬 一種用 ,電 單元6^法，其中^t及^l的。i^^OT高溫下真空中 金屬的蒸發(fā)作用。另外，其襯底限制在硅片上。這種公開在美國專利申請 2004/0209,420Al、國際公布^P伸ifW098/58383禾0WO02/43071中的用，^
儲單溯^m呈tW^向^^i^細織禾,鵬法，鵬方髓要 3(xrc—4(xrc范圍內(nèi)的高溫，i^尤導(dǎo)致了基于聚^t)的^^于紙,寸底盼M^ 重的退化，因此導(dǎo)致餅翻jm
^^來，基于在特定的鐵電聚溯中以有微才禾4^為剤^)質(zhì)ra^J禾嘅 件BI鵬股tH創(chuàng)正。在tt^i^趣的慰陛^z:^m性襯紅并且易于簡辨吠，,mrn^件。*m涉彪^a^^i件，在剤i^本身中不需要 有源電子元件。#^存儲單元麟以％#^繊，其中^fi^/質(zhì)伊收微^^
位h對電助司，并_§313±將敏^ ^電 ^微測嶙的導(dǎo)體來訪問游
儲單元。；§#可以位于#( ^啲外圍^(蚊附娥中。 ^^種鵬，每 個^ 件可以包含從賴^^ 單^13,柳,中的幾麗個單 元。 一幽tf^元體m^嘮同的p轉(zhuǎn)鵬伊洳圖i—3戶標。
帝，^^在:^tffl的i^中帝跑g^^^具有決定性的M意義。招見
存的關(guān)于基于有t/l^fil^fW^中， ^注于用 ^例如5 ^禾睥元電
鵬^/的印砂鵬。
美國鍋胂請2003/030，746Al么^|^種^ (牛，該激，:^"第1胖口
第二側(cè),一^f,^i膜，其中戶;^^一^^^/膜^^n^Mij;第
一針電導(dǎo)體絲雄目并W^至'FM^—特頓鋤層的戶;MmHllh
(^m二針電導(dǎo)體，辭預(yù)目并^m至驢;^一特w^層的f^
二側(cè)并^^hS相正^tW^至iB^—多個電導(dǎo)體上，其中電荷停留^^M有
Ifl^l讓。戶腰求的是導(dǎo)電圖案可以魏墨印刷讓的，但沒^IS其它的印刷肢 術(shù)。另外，所m^^^mOT了^^M啲特Ei^^)層并Mi停留在
繊l讓的電荷來寫入信息，并且該^^t^失性的；信息在不供電時就會丟失。
國際公布彌申ifWO02OT06Al么VM中電子條艦馬，繊剤諸了電可讀 制鄰馬的條鵬頓各，其中謝^W由聚^I印刷^S^被限定的；以鵬口，其 ^^至1]^:鵬頓各上以允許條艦馬讀取掛方問剤諸在該條 頓各中艦鄰馬。盡 t^是印刷J^f^，頓萬印刷的電子^#不;^ 敏才料的，也不是可窮的。
印界仿法審i臘有機電子e^在i^iif^t和公司6WW,了。多 ^ 了4糊有樹浙斗的特頓14^勢貼力能^l件。^^^鵬晶條的印刷已 經(jīng)^Gamier^A^^的[GamiCT， F., R Hajlaoui^ et al., "All"polymer field^effect transistor realized by printing techniques", Science, Vol. 265, pp. 1684^1686 (1994)中公布了。 ^j ^ 中，鵬了怎祥艦印鵬機導(dǎo)柳特柳料鄉(xiāng)職M^鵬。而且， 齊爾這種器件可以{頓不同的導(dǎo)喊^*^臘，伊投P^S、鄹比咯禾驟嫩。
^t寫到，滅姬BS鵬e^l31印刷M^M^^t才料中律l臘。這種驗出高電
繊出6^^f抖寺點對例如彎曲艦曲附鵬p工是不鵬的。這種以繊em^
^有喊性制牛，開啟了通向大鵬、^^w電彌TOm ，在i^m 中用于印刷 乎改離了機的対,卿仿法，但臓艦一濯電預(yù) 懲M^不鵬艦^^鵬斗。
更^t的印驗法附頓泡OHebne^AM[Hebner & al., "Ink-jet printing of doped polymers for organic light emitting devices", Allied Physics L^tos 72(5),印， 519-521(1998)]中樹隨。儲齊爾'噴墨印刷用于離繊圖鋤^6W^^ 膜。具有fl^, 6 (C6) 、 l繊,47 (C47) 1^M羅紅,鵬種聚 乙;IW^ (PVK)鵬發(fā)出的光與M^繊,雕溯殿鵬。具有低魏 極的^T^t也^iM^墨印滯im^只^^C6 ^PVK^i臘。 "^JW 臓娜皮印刷以形成范鵬150-200拜大小0^，并具有40—7Qnm的厚度。 在公布艦法中只鋪源鄉(xiāng)層是被印刷的，而^1敏MM物理真空旅肪法 娜只的。
艦印刷方法律隨的其它器件由Andersson等人頓為"Active Matrix Displays Based cm AllOrganic Hedrodiemical Smart Pixels Printed chi Papef5' [P. Andasson^ & al., "Active Matrix Delays Based cm AlK)^ganic Electrochemical Smart Pixels Printed can Paper", Adv. Materials 14(20)， pp. l俳畫(2002)〗敝章中樹躂。儲印刷導(dǎo)頓 ^i^以形成i^t、娜器^^^件。印刷的層JiM^加印屆i鵬減去
PEDOTPSS的印刷也B^在帶鵬于M傳麟的換能器中4頓了。這已由 Nilsscm等人的[D.Nilssoj^ & al.， "An alkffganic sensOT~(ransistOT based cm a novel dectrodiemical IransducCT coicq3t pinted electrodiemical sotsots m p^or." Saisas and Actuators, B 86， pp. 193-197,(2002)鵬了。
另一種利用印刷技術(shù)制造電子器件的方法由Huang等人的[Z Huang & al., "Selective deposition of conducting potymas cm hydroxyl-teiminated surfeces with printed monolayers of afl^lsiloxanes as tarplates." Langmuir, Vol.13, pp. 6480 6484 (1997憤隨
了。自組裝的單^ 層被印刷以用m^只導(dǎo)電的聚^i^糊，。i^it^導(dǎo)電 的聚，自身^^皮印刷。
美國鍋ii^No. 6,686" 1 (Asakawa， ^fil^Sdko Epson Corp.)么^^種1T-1C ,電# (牛。噴墨印刷用于流I^機鐵電薄膜1M^鐵電^^頂部獻及。 另夕卜，美國專利申請?zhí)朜o. 2004AX)14247A1 (Natori等人，,給Seiko Epson
Corp.)涉及一禾ra^gP車尋;W^Wf^P轉(zhuǎn)iJ，其中作為陶^Bin^,甜才 料售鄉(xiāng)13 墨印刷鵬姘辦后形成圖案。
驗，美國辨(J申if^No. 2002/0142491A1 (SWmoda等人，mt^Sdko^son Corp.)涉觀e薩鄉(xiāng)特^^fW鵬艦，其中繊^fil材料禾嗽電噼 翻頂部頓以噴墨印席防絲印刷。
可以看出現(xiàn)有獄中關(guān)灘電^fW^印刷局限"BSl噴墨印席im^賺獻才
料從而 1^散化的電介質(zhì),電電織。在一些瞎況下鐵柳料的噴墨 印刷是與條照鵬版禾鵬'JM^成圖毅目齢的，這種 #有麵吏鐵柳 料自身的印刷斷具有附if可^^S^化。招^"種瞎況下，在帝微^ 中所
需要6^鵬,成圖案的不同的方法，姆見有柳萬 ^,鵬魏^^ 高昂肛藝鋭，財,以窮JWttl:的^^。
因此需要一禾幗單艘鵬隨可觀的非易失性剤^^m^法，使該器件能 夠容易地與磁標志或鵬卿JM^^bW:身相敏而且，這禾幗單便 宜6^ft息^^領(lǐng)會嫩ii^靳鴻的繊,。
本發(fā)明的主要目的繊判W^、 MtS^臘^tK牛脅法，駄^iiffi
襯底范圍內(nèi)游只導(dǎo)扭才料柳^tn/m^才料(牛親i^^^^，)的圖割，薄膜
來鵬# 件，臓襯/^^，但不限于，剛f4^鵬式附蔬，標敘鵬 材料。
本發(fā)明^ft^目的^f并JS^5^幹MR辦才料。
i^目的^fr^辦ttiE禾Ptt^將M^^本發(fā)明W^^窮見，i^"法的 imiE^fet^飾步驟a)將第一印刷JS7Wito至瞎一印屆i隨中，并將第一印刷 ^MD頃附底，以便在其上印界i傑一敏媚，從而形職^a電極，b)將第二印
布ijM/鵬口至瞎二印布i驢，并將第二印砂^mij口至瞎一賴媚，并在其上印刷
圖案化的棘圖案化繊諸林料層，販c)將第三印界i膨幽至瞎三印刷臓， 并將第三印刷MMti暖'im^層，并且在其上印刷傑二制鵬，由化步賜)，b) 和c)的一個或多個中的印刷ffijl噴墨印刷、絲網(wǎng)印刷、柔M印刷(flexogram printing) 、 M&印刷、靜電印刷、軟平版印刷、'm印刷M^印刷，與扭"Kt
更多繊nt^;將^ff附/Al^禾腰求中變得顯而易見。
—種印刷工貌以用于剤i^f牛中的所有圖案或?qū)?，或者可以《頓兩種鞭多
種不同的印布i江藝的組合。
為了旨鵬進行高速印刷，所有印刷的圖^1的千謝間必領(lǐng)盡可慰頓。為 此，本發(fā)明的另一方面^f頓印刷衝K細于導(dǎo)電敏及圖案^&m于可裕M^ 間內(nèi)千燥,^^i層或圖案，允許 印砂]# (牛。另外，^u中其它的
鵬靴學要鵬MMf寺印刷,料;tt續(xù)現(xiàn)，以鵬共一種可行的，嬾的 印屈江藝。
剤繊牛可以在^M^IM^，識印刷J^^才料上?？膳?，魏 膨卿鵬鵬i^^h^繊^h。


本發(fā)ej^在TM^^性^i例和實例并參考以下附圖的討論中更詳細ifea 4 述，在圖中-
圖l添出了單一糊單溯"il^j， 圖lb—d^出了(5轉(zhuǎn)彈^]實例， 圖2a—b示出了^gp車尋址的單^p轉(zhuǎn)U,販 圖3示出了^gP車尋址單元WSS頓。
TM鍋于,本發(fā)明鵬細iM^—些相鄉(xiāng)定。
術(shù)語"窮掌件"，力0 ^:發(fā)明中洲頓的，指的是一種'自窮對才料"，以便與 可以S^^^掌件^h但其本身不是自窮拿的'層"相區(qū)分。它也包含樹可必變的處 ^盱印布勝 #(?！繼層或驟& ^占附的層。
術(shù)語"圖案，，^ ^*發(fā)明中所4頓的，指的^~種非,的層,它可以，、
肪形、圓中糊H中形域倒喊柳隨豐;im
術(shù)語"層'，女,^^發(fā)明中洲頓的，指的a^涉及伊咖窮對糊實^M 怖wm
術(shù)語"機印布iJX藝'，女P^^發(fā)明中洲頓的，^S但不局限^f^墨印刷、 凹版印刷、絲網(wǎng)印刷、^S印刷、MS印刷、epi己印刷、照相,印刷j，辦職
鵬虹藝。
術(shù)語"導(dǎo)^^激'，女0 ^:發(fā)明中洲頓的，指的是有W^^)，創(chuàng)l、懼有 凍)-共驗電子織(仔牧口，雙鍵，芳香環(huán)鄉(xiāng)^f^H鍵)并且它們的導(dǎo)
電特性不受環(huán)境因素例如相對濕度的影響。
術(shù)語"透明盼'，如在提示本發(fā)明中洲頓的，指的具有傳播至少70%的入射光而不擴散它的性質(zhì)。
術(shù)語"柔性"，如在提示本發(fā)明中所使用的，指的是能夠遵循彎曲物體例如鼓的曲率而不會被損壞。
PEDOT，如在提示本發(fā)明中所使用的，(3， 4一乙^=^ )。
PSS， 如在提示本發(fā)明中所使用的，表示 (苯乙懶鎩)賺(石棘乙烯)。
為了幫助理解本發(fā)明，這里將簡要描述一些示意性存儲單元結(jié)構(gòu)以及形狀，這
是因為它們特殊的相關(guān)性將有助于實現(xiàn)本發(fā)明。
所討論的存儲單元由一對電極構(gòu)成，它們鄰近大量的電可極化的存儲物質(zhì)，其典型地采用鐵電的形式，并且典型地采用如圖la,以平行板電容器的結(jié)構(gòu)。
這種簡單的結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)的存儲器技術(shù)形成強烈的對比，并且在低成本制造方面的價值是引人注目的，在傳統(tǒng)的存儲技術(shù)中，需要一個或多個晶體管或其它的特電
的元件與敏單湖關(guān)聯(lián)。在下面，上面所提到的基于簡單結(jié)構(gòu)的存儲器件被稱為“無源存儲器件”。
多個存儲單元可以在公共襯底上并排設(shè)置，每個單元具有如圖1a所示的一般結(jié)構(gòu)，其其中^h單湖電訪問JMM^iMt獻及中^^^^^勢鵬。 取決于鋼，^^fit單元的大小、^t、空f曰T^布和^ii^g可以被； 一些 實例如圖lb—d戶際。圖lb示出了3蚊單元的附iJ， ^h單^^有繊i齡電極 的^ 。 ffilg^^的^^T以有，形式，伊放n^t公辯寸底,鵬墊
上。圖lc示出了梱鵬皿， <砂萬有的底部敏 %^￡~^以便陶疏^^
度。圖ld是變型，其中^h單^a在導(dǎo)^^面上，其形成了m^單元中的公瓶
部電極，并且其中^h單^^^自B^te^a的頂部獻及。這f^B與圖lc
戶;f^j糊以，購圖ib所示的相比，需要較少的連接電路。
本文中的襯底典是柔性的，盡管它不總是牌這種彎曲的狀態(tài)。它們可以是電絕緣的，例如是紙張、塑料箔、玻璃、木板、 ^樹可^^材茅卿復(fù)合材
料?？商鎿Q地，創(chuàng)i'訶以是導(dǎo)電的，例如^c有用以防ih^mn^^凃?qū)拥目棽?br> 在給定襯底Jh^體的存儲單元可以由夕卜部電路通過襯底上的機械接觸焊墊來訪問?？砷可湟?，襯底上可以組合有源電路，或者在襯底本身上就具有有源電路。如果襯底是柔性的，則電路將位于基于硅(非晶的，晶的)或者有機材料(聚合物
魂,)的薄M^柳料中。
^^^1:剤諾單，瞎況下，如圖2a—b戶;f^a5柯尋址6^單對轉(zhuǎn)i將 樹共一種對與蟲單^^于寫入、讀出^^^f^電訪問,單緊湊6^g。
這種剤繊fmsi被稱為^gp機件，這是因為在尋鵬作中TOOT預(yù)嬌
儲單元開和關(guān)的開關(guān)晶膽。辭上，這種剤繊牛具有荊f^r型獻M^—圖 案2，該圖敏于襯底1 ^h并由鐵Wfit浙^:局層3所鶴，戶;M鐵電^t才 料也f^^^， ^±$1/共另一 職4,其包含雕^<^型敏及，但
其方向與第一 1^，隨于形^iE^jwa^。鐵棚諸材料艦以作
為非^^也鵬圖魏頓。第—頓圖案嫩呵以被iA^鵬軻尋址鵬諸
器f糊雜而第二電極圖駒被認為是它^t^在鄉(xiāng)o^a^'、司^m
在剤諸材料層,車中職新諸單元5。 ^# 件#^鄉(xiāng)車的頓3^目
鵬的針剤諸單元。
i
^S^^)S^J^Ali^^面是它ff皿了如圖3 f^^M^部J^！ 疊剤娜例糊幾會。這1B^J以辦^1非常大0W^密度，并且可以在
小占輕間J^贓小懶只中窮鵬^W^肯叻。
電極可以是導(dǎo)蜮特電,才料，其通?？蒳M31T泛6^糊七學的手服 固才^^相働B。導(dǎo)電的和肖電辦才料可以被懸浮^ 以形，水，伊拔瞎于
導(dǎo)^S (例女n^^^斗)、導(dǎo)^kSM、導(dǎo)^M^4fc^、碳黑、肖電6^
氧,吶在導(dǎo)電鵬豐/l^t/ (娜R^^、 PEDOT)。
^fn單元中^^^t才料通常是有機鐵^t才料，例女o^m的聚^，如聚偏氟乙
烯(po一ylidene fluoride) (PYDF)、赫共微臓(偏氟乙膝三氟乙烯) (poly(vinylidaiefluoride"trifluorethylene)) (PVDF誦TrFE)。其他實例是具;^雖極化 e^J^Mj聚溯，女0^條乙烯(polyvinylidene cyanide) (PVCN)?？梢?頓共 繊、三^^^t^混^t)(仔故晦聚甲基丙J^甲酉驢MMA) ^a，TM料^;化。 ^^本發(fā)明，兩個敏廳，iM媳圖案化的電t^I以及鐵電^t層，3CT^ 統(tǒng)的印勵JXS^實現(xiàn)，包括但不限 墨印刷、凹版印刷、絲網(wǎng)印刷、te^印觚
,唰、印記印刷、照相凹版印刷販辦nm)^虹藝?？蒳W剤繊柳所
有圖^lf頓一種印界扛藝，也可以4頓兩中頗多種不同的印界江藝的組合。
印刷的圖案的最小尺寸數(shù)驢;OTf的印刷工藝的限制，還啦含印刷,鞭的最
小尺寸，^:^X面印刷中，印刷附鞭^^前印刷的圖案的頂部te印刷的圖^^6^ftt間的最小距離。最小實際尺寸也由用于寫AI喊出信息的電子控制 單^t^^。信息,A^喊出JiM引^^i^件與適當?shù)碾娮涌貙弿梌ra蟲 來實5MJ，其中該電子鄉(xiāng)俾，于驅(qū)辦P^溯M^單MJ^態(tài)。為了簡41^ 條電子控鵬赴的定位，^Jf鶴要足夠大并且被浙了明顯的距離，以便 最樣電子控鵬赴^# (糊輛準。
在^§本發(fā)明^# 1糊帶臘中，要求在制及、！3^布線、焊體中4頓的 印刷恃甜才購標,理禾W^要求相f拾，以^J見可印布勝。鄉(xiāng)決于^^f中 情況下麟的印布'江藝，^i?？崪p、溶度鄉(xiāng)激爭性，販與赫、毒性 等相關(guān)的問題。洲OT,鵬千激爭W^i^發(fā)性糊艮;^o鵬'Jin:藝中能 謝尋6^M。 ^#在高容釘藝中、伊放0^,糊豕舒琳礎(chǔ)的審賠中是豐
預(yù)是鵬本發(fā)明 ^鄉(xiāng)例鵬 ^0 趣
，一^S例中，鐵Wfi^W^^^^嚇串'^^驟。
賂襯底W^m繊糊層。,^^J層來鶴200mm直^mr日片。 柩 仲，鵬総來自有鵬IJW^偏氟乙膝三氟乙烯(PVDF-TiFe) 51^磁^1。 Wa^M戶中在12(TC下熱Jl火20^中層厚度。^f形成的 襯ah,碟一獻廳。
il3i^襯驗面上噴墨印刷J^船腫包含REDOT-PSS (聚乙^^1 -鄹銶乙烯),孚鵬導(dǎo)頓^M體。噴墨印刷由Xaa]jetAB鵬i鵬印廂鵬 誠。印席,率為200dpi，并且印刷M^0.1m/s。形^i"最/J^iE^寸為170拜 的底部敏及圖案。在印廂i戰(zhàn)，底部敏^^ *5±在100"下退火2併中。
織一敏媚的頂部印刷跌^^I層。1^1Ji^偏氟乙膝三氟乙烯 (PVDF-TrFe)共繊。它纖于竊'MS^ 1.07,00ml,鵬乙酯中。溶液M
臓,^^麟有1::繊:其適^ 微墨印刷。、^ :被印
刷至iJf^一敏MjM/^i:。來自XaagetAB的噴墨印稱關(guān)^t行印刷。印刷MS 是0.1m/s，印刷J^Jf率是200dpi。在印刷卜層^，將雜10CTC下進行15秒,啲 干燥，以^^翻。然后與第1^^l層—樣，印W二鐵^^J層，并 也^^S^相同^B1W。 ^tfc方法^3只110nm的總厚度。
在女鵬成嫩 ±^碟二獻媳。雜離滅鵬糊頂部頓。
il3ffi襯綜恥噴墨印刷J^船K中包含PEDOT-PSS懸m^導(dǎo)W^ 液體。噴墨印刷^XaajjetAB戶賴i,印刷]^^誠。印刷J^Kf率為200dpi，并且印 刷M^0.1nys。形鵬有最d^W^寸為170nm的底部電極圖案。在印稱戰(zhàn)， 底部 ^ 1:在就下退火2併中。
附尋到繊棚W^鄉(xiāng)娜戶中^S就下退火20併中。
實例2
鶴二鄉(xiāng)例中，首先兩層(底部電極禾嗽柳諸層)娜實例1戶/i1^0^ >繊隨。頂部敏Sl在i^l例中M31不同鵬墨印砂仿^im {|^包含不 同的導(dǎo)El^^^才料。W厶^(t墨印席l肌，HPdeskJet980cxi，用于印布順部電極，
其中由導(dǎo)電的^^M體來榭戈柳帆中原配的聊im^。在^M例中，導(dǎo)頓
，液體是商處可用的SPanipol Qyl瞎的名為PanipotW的^K航它包含聚 繊刺吏化爐才料呈鵬導(dǎo)電性艦衡熟但仍舊是可鵬盼溶液。頂部電極
圖^M預(yù)的M7j^來印刷
—Pan^x)l-W ( 10%溶液)10克 一PSSH (5%溶液)5克 一表面活性齊OZonylFS"300 (30%溶液)0.4克 —去離子水15克
印布i戰(zhàn)對m^行千^W，將^t勵0^戶中在驗100。C下干燥30併中。 所印刷的圖案包含具 :徑0.5111111的頂部電^^。 趣
輸三^M例中，鐵繊由柔M印刷(flexoprinting)來^IRo底誠W頁部電 豐廳由上面實例1所 ^^繊1臘。^^部敏BM^， S^4寸底以湖/嗽 ^^m材料。繊棚諸材料包含共^t^偏氟乙膝三氟乙烯(P，-TrFe)， 其具有VDF: TiFe單體的75 : 25的摩爾比率，并溶解于丙二醇甲醚醋酸酯 (prq))denegjycolmonomdhylelheracetate) (PGMEA)中。
離^^W^W00ml 10g翻。I^MMS^3ll^W為止。 W^職IEX細于印砂跌柳斗。紅具J^"種鵬PnntCoatlnstrumentsLtd生 產(chǎn)^RK ESlPROOF^t工具。j頓具有 LS木BSZ于9pm妳S 度的網(wǎng)im (anilox roller)，將聚^)層印刷勝襯肚。聚^l^液!娜咗網(wǎng)鄉(xiāng)的頂部，并招頓
刮刀(doctorblading) ;tB， ^ti^te^^^面上^H，iJiM^h。粘性 ,嬗在網(wǎng)^^刀^Ji，艦將^&A4塑料透mt^W繊繊，然后 招麯:^鵬/^hl^i^部敏及。從而， ^^^ 離合襯底。 俯靜J6^^fe^働P^:戶中在135'C下退火5併中。頂部制及臓上面的實例 l所^^J^繊i臘。女nitt^ 形^^^J成印刷嫩Wft^件。
實例4
綠四^M例中，鐵^MM^凃^3只。第j,在 ^例中的底部甜及 娜^IW l中戶; 6^ 隨。
^，賂襯底以用于游嫩喊
^m材料?？嶋妱堉T材料包含共 氟乙膝三氟乙烯(PVDF-TrFe)， 欺柳F: TrFe單働70: 30的摩爾瞎,并離于丙Zj享甲醚繊旨(PGMEA) 中。,6^MJ^S^則lg翻。
1^席的聚^ 為止。 然后溶漱劍0.45Mm孑獻小的過濾S6m鵬以》# 紅具C^OasOhlsan
牛趣30-6070")戶瀨出^M氣，將聚^^ ^至喊部電1賺面;^±。氮氣的
壓力被纖'J3巴(bar) 0鼓,衞駒產(chǎn)生了激跟，雜然J^^h在5(TC 下干燥30秒。平iffl^TO^被650A， ^A有的最小—^:范圍為550-790A。
為了從凝仲完^fl喿繊，#^高結(jié)晶度，呢尋到的m^t働q^戶中在離
120。C下退火20併中。
頂部電禾^ 丄面^i例i戶;imm^娜'臘。如順萬形^^t^成印刷 的鐵*# 件。
實例5
織五實施例中，鐵^MM^i^^l5游只。第l,在該^M例中的底部 電豐M^M i中所^6^^隨。賂襯底,于源嫩
頓^mt才料。繊糊樹樹包含共W^偏氟乙膝三氟乙烯(PVDF-TrFe)， ^:^VDF: TrFe單鵬70: 30的摩爾比率，并繊于丙Zj享^l^繊旨(PGMEA) 中。離^^^WS^100ml5g凝lJ。 MtMS^有的聚^M 為止。 然蔬游劍0.45Mm^g小斷鵬小艦濾^m ^ ±纖鵬 在襯驗面上鵬。該瀨妨辦,一禾條，1^條戀嫌薄線，以用于粒在 表面上纖働可控的溶液鵬度。斑機^JiR^PrintCoatingLtd所 ^名為 KBar,條。這種^^繊鵬寸驗面上，然后濰條^ 胸， ^體向前，并在該條的后面遺留下控帶M^的駒妳鵬。 f鵬的厚麟由凃
i^上臓的窗，啲。在i^^仲4婉的翻于6cm3/m2 :度6<]^ 。涂 驗髓襯/^ffi以煩0.5m/sa^M^動。戶膽到的^W^圍S^中被干 燥，,艦磡娜戶中^Jt匿下退火20溯。頂部獻^lh面鄉(xiāng)U 所^^J^繊i臘。女Pitt^^fiSM(糊碟卿J繊Wf^l件。
正鵬M6^:人員將容易鄉(xiāng)的鵬本發(fā)日BI^—種用種麟定的無 ^1尋址臓電# (鵬法，其細,法徹職條了傳統(tǒng)的鵬瞎預(yù) m^成像并以嫩呢成甜B(yǎng)^圖案化，而同時通常^a^^^^W機鐵甜才 料盼薄膜^^法。ffi^M^J，方法中，在己M只^WIW^電新諸層上游只 并形鵬部制鵬圖案已證實是非常,的，這是因為對^f^層鵬害駒向是由提
供頂部電WMaii^m由于本發(fā)明敏基于印布'江魏實現(xiàn)鐵^ 件，W:肖^^I方法和^K^才料之間的不兼容性。鵬本發(fā)明所執(zhí)棚印 滯防法已被證明是非常靈活6^r法，它為廣泛<糊適當辦#111(共了機會。而且， fetmi^3層圖案化時，印刷鵬S^teffi于源P^^層，例如電禾廳。有益 地，印席何頓于大、小娜莫的面積J:,并且f^^賣^^弒^^作中M^: 面禾l^成的圖案。3m^易與全局層的^f以、力艱莫的J^相^。另一方面，本 發(fā)明允許同時印刷小嫩莫^E，因此育嫩，至俾一， 的^， ^^完
全相同^^^:的多個小嫩莫鐵電^fiOT^A^^上。雜，ig^本發(fā)明航
法6W^方SM共了一種與傳統(tǒng)鄉(xiāng)見W^r法相比，具， ^、動鵬M3^電
權(quán)利要求
1、一種制造鐵電存儲器件的方法，其中該存儲器件包括鐵電存儲單元陣列，該陣列被限定在鐵電聚合物薄膜的圖案化的或未圖案化的層中；以及與其相對側(cè)的鐵電層接觸設(shè)置的第一和第二組電極，使得該鐵電存儲單元被限定在第一組電極與第二組電極的交叉之間的存儲材料中，由此能夠設(shè)置該存儲單元的極化狀態(tài)，通過將適當?shù)碾妷菏┘拥脚c存儲單元相接觸的電極來切換并檢測一組極化狀態(tài)，其中，該存儲器件形成于絕緣襯底上，并且其中所述方法的特征在于包含連續(xù)的步驟a)將第一印刷墨水施加到第一印刷裝置，并將該第一印刷裝置施加到襯底，以便在其上印刷第一電極層，從而形成第一組電極，b)將第二印刷墨水施加到第二印刷裝置，并將該第二印刷裝置施加到第一電極層，并在其上印刷圖案化的或未圖案化的存儲材料層，以及c)將第三印刷墨水施加到第三印刷裝置，并將該第三印刷裝置施加到存儲層，并且在其上印刷第二電極裝置，由此步驟a)，b)和c)的一個或多個中的印刷通過噴墨印刷、絲網(wǎng)印刷、柔性版印刷、膠版印刷、靜電印刷、軟平版印刷、激光印刷或噴蠟印刷，單獨地或者組合地來執(zhí)行。
2、 ^5l禾腰求1 ^X^法，欺^ffi在于在步跑)一c)中的M^頗^W吏用相同的印布蝶置。
3、 t^^禾腰求irHJ^法，期ME在于在步跑)一c)中^^h^HOT不同 的印刷展置。
4、 Wt又禾腰求l e^J^法，欺fffi在于將相同的印刷敷鵬為第一禾睇三印 刷亂
5、 ^W傻求1齢法，期鞭在于第一禾瞎二印鵬K包含導(dǎo)獻才料。
6、 鵬權(quán)禾鵬5,法，期鞭在于鵬鵬斗鵬為規(guī)導(dǎo)柳料。
7、 職權(quán)禾腰求5,法，欺鞭在于鵬柳料麟為導(dǎo)電有,斗。
8、 職權(quán)禾腰求7艦法，期鞭在于麟電有鵬斗鵬為導(dǎo)^m
9、 t^禾腰求8齢法，欺鞭在于鵬頓^ #為激 (PPy)、 鄹tt^f行生物、1^$、 ^K飾行生物、聚(S^和聚嫩附行生物中^"種， 斜魁 #^也。
10、 鵬又禾腰求9齢法，期鞭在 ^(3，4一乙#=^ ) (PEDOT) 作為聚斷糊勝物。
11、 根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于第二印刷墨水包含有機鐵材料。
12、 根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其特征在于將有機鐵材料選擇為低聚物，共聚物或三元共聚物中的一種，或其混合物或合成物。
13、 根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其特征在于將有機鐵材料選擇為有機鐵電材料。
14、 ^禾鵬1齢法，期鞭在于^1>第一敏廳禾,層力、鵬共 未圖案働功能( ^0
15、 ^W展求14脅法，^E在于將繊^1離為由鍋、鍋 氧微、有機敲辦才料或?qū)^溯中^~種或它們6^餚喊。
16、 ^禾腰求15,法，^E在于將該導(dǎo)頓^W為PEDOT。
17、 |^§權(quán)禾1展求14 0<1^法，^E在于))^g功能tWJl材料麟四印砂嚜 7 倒印刷臓，并將該印刷^l^頃im^微)中印刷麟—制娠，并將功 能Kl印刷至i]i^m—敏S^^i:。
18、 ^禾腰求17 6<1^法，^iE在于將第四印稱Jl7K働倒印刷隨，并 將該印勒，鵬働頃庇步驟)中印刷W^f^層，并將J加勝^印刷至'Ji^
19、 ^禾展求1 fi^"法，期ME在于M^驟)禾fc)至d^次，由雌 二敏廳形^^# ,一電鵬魏勢 ]# 件。全文摘要
在制造鐵電存儲器件的方法中，該存儲器件包括夾在第一和第二組電極之間的存儲層，該存儲層以及這兩組電極都采用適當?shù)挠∷⒎椒ㄔ谠摯鎯ζ骷袑崿F(xiàn)。
文檔編號H01L21/70GK101199021SQ200680021249
公開日2008年6月11日 申請日期2006年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月14日
發(fā)明者G·I·萊斯塔德, G·古斯塔夫森, P·迪雷克勒夫 申請人:薄膜電子有限公司