專利名稱：容器輸送系統(tǒng)和測(cè)量容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種容器輸送系統(tǒng)和測(cè)量容器，用以利用一種氣體氣 氛取代用于凈化室的容器的內(nèi)部以及輸送該容器。
背景技術(shù)：
例如，在其內(nèi)部氣氛被凈化的凈化室中制造半導(dǎo)體元件。當(dāng)在不 同過程之間輸送用于形成元件的半導(dǎo)體基片時(shí)，其中儲(chǔ)存半導(dǎo)體基片 的盒子被存儲(chǔ)于可被輸送的密封容器中以防止灰塵粘附到半導(dǎo)體基 片。密封容器的內(nèi)部氣氛利用一種惰性氣體例如氮?dú)鈦砣〈鷱亩乐?由于半導(dǎo)體基片的自然氧化引起的氧化膜的生長(zhǎng)。
如上所述，盒子被置于充有氮?dú)獾拿芊馊萜髦?，并且密封容器?輸送和存儲(chǔ)。然而，在等待輸送期間和在存儲(chǔ)期間，在密封容器中的 氮?dú)鉂舛扔袝r(shí)變得等于或者小于預(yù)定數(shù)值。在此情形中，具有降低的 氮?dú)鉂舛鹊拿芊馊萜鞅惠斔偷皆O(shè)于凈化室中的氣體供應(yīng)裝置中從而被 再次凈化。然后，密封容器返回到原位置處。
在專利文獻(xiàn)-1中，作為這種類型的氣體供應(yīng)系統(tǒng)，提出一種包括 用于存儲(chǔ)半導(dǎo)體晶片的可輸送密封容器和用于供應(yīng)/排放氣體的氣體供 應(yīng)裝置的系統(tǒng)。在可輸送密封容器中形成用于將內(nèi)部和外部相互連通 的兩個(gè)氣體流通管道。該氣體供應(yīng)裝置包括與一個(gè)氣體流通管道氣密 性連通的氣體供應(yīng)通道和與另一個(gè)氣體流通管道氣密性連通的氣體排 放通道。氣體供應(yīng)通道與用于供應(yīng)氣體的氣體供應(yīng)源連通。氣體排放 通道與用于排放氣體的處理裝置連通。在該氣體供應(yīng)系統(tǒng)中，氣體從 氣體供應(yīng)源經(jīng)由氣體供應(yīng)通道和氣體流通管道被供應(yīng)到可輸送密封容 器。此外，當(dāng)用氮?dú)馓畛涿芊馊萜鞑⑶颐芊馊萜髦械膲毫ψ兊玫扔诨?br> 者大于預(yù)定壓力時(shí)，氣體經(jīng)由氣體排放管道和氣體排放通道被排放到 處理裝置。
近來， 一般設(shè)置多個(gè)這種類型的氣體供應(yīng)裝置并且在該多個(gè)氣體 供應(yīng)裝置的每一個(gè)中對(duì)從氣體供應(yīng)源供應(yīng)的氣體流量進(jìn)行控制。
專利文獻(xiàn)-l:日本專利申請(qǐng)公開No.8-203993 (圖l)。
在氣體供應(yīng)裝置中，由于在該裝置中的控制電路故障和氣體供應(yīng) 管道的堵塞，有時(shí)不能供給所需的氣體流量。因此，提出通過在每一 個(gè)氣體供應(yīng)裝置的氣體供應(yīng)通道中布置流量計(jì)對(duì)氣體流量進(jìn)行測(cè)量以 確認(rèn)氣體流量是否被適當(dāng)?shù)毓?yīng)。
然而，如果在氣體供應(yīng)裝置的每一個(gè)氣體供應(yīng)通道中布置流量計(jì)， 則需要多個(gè)流量計(jì)。因此，成本變高。此外，在氣體供應(yīng)裝置中需要 用于布置流量計(jì)的空間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明被實(shí)現(xiàn)用于解決以上問題。本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一 種能夠降低成本和節(jié)約空間的容器輸送系統(tǒng)和測(cè)量容器。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種容器輸送系統(tǒng)，包括存儲(chǔ)容 器，它具有形成用于存儲(chǔ)基片的空間的外罩和用于使得氣體流入該空 間中的在該外罩中形成的開口；多個(gè)凈化單元，每一個(gè)凈化單元具有
凈化臺(tái)和氣體進(jìn)口，存儲(chǔ)容器放置在凈化臺(tái)上，氣體進(jìn)口用于在存儲(chǔ) 容器被置于凈化臺(tái)上的情況下通過與開口連通而使得用于凈化的氣流
從開口進(jìn)入空間中；測(cè)量容器，它具有在被置于凈化臺(tái)上的情況下與 氣體進(jìn)口連通的氣體通道以及用于測(cè)量經(jīng)過氣體通道從氣體進(jìn)口流入 的氣體流量的流量測(cè)量單元；和輸送單元，用于將存儲(chǔ)容器輸送到凈 化臺(tái)，并且在多個(gè)凈化臺(tái)之間輸送測(cè)量容器。根據(jù)該容器輸送系統(tǒng)，從凈化單元的每一個(gè)流入存儲(chǔ)容器的氣體 流量可以通過利用輸送單元輸送到每一個(gè)凈化臺(tái)上的測(cè)量容器而被測(cè) 量。由此，無需在每一個(gè)凈化單元中布置流量測(cè)量單元。因此，可以 降低成本并且可以節(jié)約空間。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，在容器輸送系統(tǒng)中提供一種測(cè)量容器， 該容器輸送系統(tǒng)包括存儲(chǔ)基片的存儲(chǔ)容器；多個(gè)凈化單元，每一個(gè) 凈化單元具有凈化臺(tái)和氣體進(jìn)口，存儲(chǔ)容器放置在凈化臺(tái)上，氣體進(jìn)
口用于使得氣體流入由存儲(chǔ)容器形成的空間中；以及輸送存儲(chǔ)容器和 測(cè)量容器的輸送單元，所述測(cè)量容器包括在被置于凈化臺(tái)上的情況 下與氣體進(jìn)口連通的氣體通道；和測(cè)量經(jīng)過氣體通道從氣體進(jìn)口流入 的氣體流量的流量測(cè)量單元。
根據(jù)該測(cè)量容器，能夠通過連續(xù)地將測(cè)量容器移動(dòng)到每一個(gè)凈化 臺(tái)上而測(cè)量從每一個(gè)凈化單元流入存儲(chǔ)容器中的氣體流量。由此，無 需在每一個(gè)凈化單元中提供流量測(cè)量單元。因此，可以降低成本并且
可以節(jié)約空間。
優(yōu)選地，該測(cè)量容器還可具有存儲(chǔ)由流量測(cè)量單元測(cè)得的氣體流 量的存儲(chǔ)單元。利用這種構(gòu)造，因?yàn)橛闪髁繙y(cè)量單元測(cè)得的氣體流量 被存儲(chǔ)，能夠在以后掌握氣體流量。
測(cè)量容器還可具有傳送單元，用于將存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)的氣體流量傳 輸?shù)酵獠吭O(shè)備。利用這種構(gòu)造，使用者可以利用外部設(shè)備掌握從凈化 單元流入存儲(chǔ)容器的氣體流量。
此外，測(cè)量容器還可具有顯示由流量測(cè)量單元測(cè)得的氣體流量 的顯示單元；捕捉顯示單元的流量顯示圖像并且將流量顯示圖像轉(zhuǎn)換 成圖像數(shù)據(jù)的圖像轉(zhuǎn)換單元；以及將由圖像轉(zhuǎn)換單元轉(zhuǎn)換的圖像數(shù)據(jù)
傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備的傳送單元。根據(jù)該構(gòu)造，通過基于圖像數(shù)據(jù)顯示從 凈化單元流入的氣體流量的圖像，即使流量測(cè)量單元不具有氣體流量 的存儲(chǔ)單元和氣體流量數(shù)據(jù)的傳送單元，使用者也能夠通過外部設(shè)備
掌握從凈化單元流入存儲(chǔ)容器中的氣體流量。
當(dāng)結(jié)合在下面簡(jiǎn)要描述的附圖閱讀時(shí)，從下面對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí) 施例的詳細(xì)描述，可以更加清楚本發(fā)明的性質(zhì)、用途和其它特征。


圖1是根據(jù)第一實(shí)施例的儲(chǔ)料器的概略透視圖2是根據(jù)第一實(shí)施例的儲(chǔ)料器的概略縱向截面視圖3是存儲(chǔ)FOUP的縱向截面視圖4是根據(jù)第一實(shí)施例的測(cè)量FOUP的縱向截面視圖5是示出根據(jù)第一實(shí)施例的流量計(jì)的電子構(gòu)造的框圖6是根據(jù)第二實(shí)施例的測(cè)量FOUP的縱向截面視圖；和
圖7是示出根據(jù)第二實(shí)施例的流量計(jì)的電子構(gòu)造的框圖。
具體實(shí)施方式
第一實(shí)施例
參考附圖描述本發(fā)明的第一實(shí)施例。首先，參考圖1和圖2對(duì)作 為根據(jù)第一實(shí)施例的容器輸送系統(tǒng)的儲(chǔ)料器進(jìn)行解釋。圖1是根據(jù)第 一實(shí)施例的儲(chǔ)料器的概略透視圖；圖2是根據(jù)第一實(shí)施例的儲(chǔ)料器的 概略縱向截面視圖。
如圖l和圖2所示，儲(chǔ)料器l包括具有帶很多臺(tái)階的存儲(chǔ)擱架40 的外罩IO、多個(gè)凈化單元50和堆垛機(jī)(輸送單元)60。此外，儲(chǔ)料器 1具有控制單元80、個(gè)人計(jì)算機(jī)100、流量控制器150和氮?dú)夤?yīng)源 200。
存儲(chǔ)擱架40沿著高度方向z具有五個(gè)臺(tái)階。在每一個(gè)存儲(chǔ)擱架40
中沿著縱向方向Y (在圖2中的左右方向)形成具有相等間隔的凹部
40a。在各個(gè)凹部40a的上部上，沿著縱向方向Y成直線地放置存儲(chǔ) FOUP (Front Open Unified Pod:前端開口整合盒)(存儲(chǔ)容器)20 。
凈化單元50包括凈化擱架51，凈化擱架51具有沿著縱向方向Y 成直線地布置的多個(gè)凈化臺(tái)54，在其上放置經(jīng)受凈化的多個(gè)存儲(chǔ) FOUP20。每一個(gè)凈化單元50包括供應(yīng)管道52和在凈化臺(tái)54的下部 處的排氣管道53。
通過沿著縱向方向Y排列多個(gè)凈化臺(tái)54而獲得凈化擱架51，并 且凈化擱架51被布置在沿著高度方向Z成直線地排列的存儲(chǔ)擱架40 的下面。類似于存儲(chǔ)擱架40，在凈化擱架51上沿著縱向方向Y形成 具有相等間隔的凹部51a。目卩，在每一個(gè)凈化臺(tái)54上形成凹部51a，并 且存儲(chǔ)FOUP20和測(cè)量FOUP (測(cè)量容器)30被放置在凹部51a的上 部上。
供應(yīng)管道52的一端經(jīng)由流量控制器150與氮?dú)夤?yīng)源200連通， 流量控制器150用于控制作為被供給到存儲(chǔ)FOUP20的氣體的氮?dú)獾?流量。其另一端(氣體進(jìn)口)從凈化臺(tái)54的下表面?zhèn)韧怀龅缴媳砻鎮(zhèn)?之上。由此，從氮?dú)夤?yīng)源200供給的氮?dú)獾牧髁勘涣髁靠刂破?50 控制，并且氮?dú)饨?jīng)由供應(yīng)管道52從凈化臺(tái)54的上表面流出。
排氣管道53的一端從凈化臺(tái)54的下表面?zhèn)韧怀龅缴媳砻鎮(zhèn)戎稀?其另一端與用于排出氮?dú)獾呐艢庋b置(未示出)連通。由此，從凈化 臺(tái)54的上表面流入排氣管道53中的氮?dú)獗慌艢庋b置排出。
堆垛機(jī)60具有機(jī)架61、支柱62、支臺(tái)63和放置臺(tái)64。
機(jī)架61具有在左端和右端上布置的四個(gè)可旋轉(zhuǎn)行輪65。行輪65 在設(shè)于儲(chǔ)料器1的底表面上的導(dǎo)軌66上可旋轉(zhuǎn)地來回行進(jìn)。支柱62
沿著高度方向Z從機(jī)架61的上表面延伸。支臺(tái)63能夠相對(duì)于支柱62 沿著高度方向Z滑動(dòng)，并且由支柱62支撐。放置臺(tái)64能夠沿著圖1 所示的左右方向(X方向)在支臺(tái)63上滑動(dòng)，并且被放置在支臺(tái)63 上。
現(xiàn)在，描述堆垛機(jī)60的操作。首先，堆垛機(jī)60在導(dǎo)軌66上移動(dòng) 到與待輸送的存儲(chǔ)FOUP20相對(duì)的位置處。然后，支臺(tái)63沿著高度方 向Z滑動(dòng)到待輸送的存儲(chǔ)FOUP20的下部附近。接下來，放置臺(tái)64朝 向處于待輸送的存儲(chǔ)FOUP20的下部的凹部40a滑動(dòng)。然后，支臺(tái)63 向上滑動(dòng)。由此，待輸送的存儲(chǔ)FOUP20被放置到放置臺(tái)64上。
當(dāng)待輸送存儲(chǔ)FOUP20被放置在放置臺(tái)64上之后，放置臺(tái)64返 回到其初始位置。接下來，支臺(tái)63滑動(dòng)并移動(dòng)到存儲(chǔ)FOUP20要被輸 送到的存儲(chǔ)擱架40的高度處。然后，堆垛機(jī)60利用行輪65在導(dǎo)軌66 上移動(dòng)，并且存儲(chǔ)FOUP20移動(dòng)到作為輸送地的存儲(chǔ)擱架40的位置處。 放置臺(tái)64滑動(dòng)到作為輸送地的存儲(chǔ)擱架40的凹部40a處，并且支臺(tái) 63向下滑動(dòng)。由此，存儲(chǔ)FOUP20被放置到作為輸送地的存儲(chǔ)擱架40 的位置處。
控制單元80控制堆垛機(jī)60和流量控制器150?？刂茊卧?0控制 堆垛機(jī)60，并且將要求氮?dú)鈨艋拇鎯?chǔ)FOUP20從存儲(chǔ)擱架40輸送到 凈化臺(tái)54。當(dāng)存儲(chǔ)FOUP20被放置于凈化臺(tái)54上時(shí)，控制單元80控 制流量控制器150以將所需流量的氮?dú)夤┙o到存儲(chǔ)FOUP20。當(dāng)對(duì)存儲(chǔ) FOUP20的氮?dú)鈨艋Y(jié)束時(shí)，控制單元80控制堆垛機(jī)60以將存儲(chǔ) FOUP20返回到存儲(chǔ)擱架40?？刂茊卧?0對(duì)每一個(gè)存儲(chǔ)FOUP20執(zhí)行 相同的操作。
此外，控制單元80不僅輸送存儲(chǔ)FOUP20而且還利用堆垛機(jī)60 在凈化臺(tái)54之間輸送測(cè)量FOUP30。然后，控制單元80使得將在下面 描述的流量計(jì)70測(cè)量從每一個(gè)凈化單元50供給的氮?dú)獾牧髁俊．?dāng)經(jīng)由無線通訊接收到由流量計(jì)70測(cè)得的氮?dú)饬髁繑?shù)據(jù)時(shí)，個(gè)人 計(jì)算機(jī)IOO在其顯示器上顯示該流量數(shù)據(jù)。
下面，將參考圖3描述存儲(chǔ)FOUP20。圖3是存儲(chǔ)FOUP的縱向截面視圖。
存儲(chǔ)FOUP20包括形成外罩的頂蓋21和底表面部分22，并且頂 蓋21和底表面部分22形成密封空間23。盒體24設(shè)于密封空間23中， 并且沿著高度方向存儲(chǔ)多個(gè)半導(dǎo)體晶片25。
在底表面部分22的下表面上，在左端和右端附近形成凹部22a和 22b。凹部22a接合凈化單元50的供應(yīng)管道52，并且凹部22b接合凈 化單元50的排氣管道53。具有與供應(yīng)管道52和排氣管道53的內(nèi)徑相 同的直徑的凹部22c和22d在凹部22a和22b的上表面上形成。用于使 得密封空間23和外部相互連通的多個(gè)開口 22e和22f在凹部22c和22d 的上表面上形成。在底表面部分22上，布置兩個(gè)單向閥，即從上表面 覆蓋開口 22e并且使得氣體僅從外部流入密封空間23中的單向閥26 和從下表面覆蓋開口 22f并且使得氣體僅從密封空間23流出到外部的 單向閥27。
僅當(dāng)密封空間23的氣壓以預(yù)定氣壓低于外部氣壓時(shí)，單向閥26 打開并且允許氣體從外部流入密封空間23中。僅當(dāng)外部氣壓以預(yù)定氣 壓低于密封空間23的氣壓時(shí)，單向閥27打開并且允許氣體流出密封 空間23。通過將存儲(chǔ)FOUP20放置在凈化臺(tái)54上，凹部22a和供應(yīng)管 道52相互接合，并且凹部22b和排氣管道53相互接合。當(dāng)在此狀態(tài) 中利用等于或者大于預(yù)定氣壓的氣壓從氮?dú)夤?yīng)源200供應(yīng)氮?dú)鈺r(shí)， 單向閥26被經(jīng)由供應(yīng)管道52供應(yīng)的氮?dú)鈮毫Υ蜷_，并且氮?dú)獗还┙o 到密封空間23。當(dāng)密封空間23利用氮?dú)馓畛洳⑶覂?nèi)部壓力變得等于或 者大于預(yù)定氣壓時(shí)，單向閥27打開，并且由排氣裝置經(jīng)由排氣管道53 排出氮?dú)?。以此方式，通過利用氮?dú)馓畛涿芊饪臻g23，可防止由于半
導(dǎo)體晶片25的自然氧化而使得氧化膜生長(zhǎng)。
下面，參考圖4描述測(cè)量FOUP30。圖4是根據(jù)第一實(shí)施例的測(cè) 量FOUP的縱向截面視圖。
類似于存儲(chǔ)FOUP20，測(cè)量FOUP30具有形成密封空間23的頂蓋 21和底表面部分22。流量計(jì)(流量測(cè)量單元)70被布置在密封空間 23中。
流量計(jì)70具有進(jìn)口 (未示出)和出口 (未示出)。通過使得氣體 從進(jìn)口流入并且使得氣體從出口流出，流量計(jì)70測(cè)量氣體流量。進(jìn)口 與管道32 (氣體通道)的一端連通。管道32的另一端與底表面部分 22的上表面連通以從上表面覆蓋單向閥26。出口與管道33的一端連 通。管道33的另一端與底表面部分22的上表面連通以從上表面覆蓋 單向閥27。因此，當(dāng)測(cè)量FOUP30被放置在凈化臺(tái)54上并且從氮?dú)夤?應(yīng)源200利用等于或者大于預(yù)定壓力的壓力供給氮?dú)鈺r(shí)，單向閥26被 經(jīng)由供應(yīng)管道52供給的氮?dú)獾膲毫Υ蜷_，并且氮?dú)饨?jīng)由管道32流入 流量計(jì)70的進(jìn)口中。當(dāng)從流量計(jì)70的出口流出到管道33的氮?dú)獾膲?力變得等于或者大于預(yù)定壓力時(shí)，單向閥27打開，并且氮?dú)饨?jīng)由排氣 管道53被排放到排氣裝置。由此，能夠測(cè)量從氮?dú)夤?yīng)源200供給的 氮?dú)獾牧髁俊?br> 現(xiàn)在，參考圖5描述流量計(jì)70的電子構(gòu)造。圖5是示出根據(jù)第一 實(shí)施例的流量計(jì)的電子構(gòu)造的框圖。
流量計(jì)70具有控制單元71、電池72和無線通訊單元(傳送單元) 73?？刂茊卧?1具有其中存儲(chǔ)用于控制各種操作的程序和數(shù)據(jù)的硬盤、 執(zhí)行各種計(jì)算以產(chǎn)生用于控制各種操作的信號(hào)的CPU以及暫時(shí)地存儲(chǔ) 數(shù)據(jù)例如CPU中的計(jì)算結(jié)果的RAM。
控制單元71具有流量測(cè)量單元74和流量存儲(chǔ)單元(存儲(chǔ)單元) 75。流量測(cè)量單元74測(cè)量從進(jìn)口流入的氣體流量。流量存儲(chǔ)單元75 存儲(chǔ)由流量測(cè)量單元74測(cè)得的氣體流量。
電池72驅(qū)動(dòng)控制單元71和無線通訊單元73。無線通訊單元73 通過無線通信向個(gè)人計(jì)算機(jī)100傳送在流量存儲(chǔ)單元75中存儲(chǔ)的氣體 流量。
下面，描述測(cè)量FOUP30在儲(chǔ)料器1中的應(yīng)用。被放置在存儲(chǔ)擱 架40上的多個(gè)存儲(chǔ)FOUP20的每一個(gè)的密封空間23利用氮?dú)馓畛洹?然而，氮?dú)鉂舛入S著時(shí)間降低，并且濕氣和銨氣混入密封空間23中。 由此，在存儲(chǔ)FOUP20中的半導(dǎo)體晶片25的表面被氧化，并且發(fā)生分 子污染。為了防止這些不便，需要每隔預(yù)定時(shí)間在存儲(chǔ)FOUP20中執(zhí) 行氮?dú)鈨艋⑶胰コ凉駳夂弯@氣以在存儲(chǔ)FOUP20中填充氮?dú)?。因此?存儲(chǔ)FOUP20利用堆垛機(jī)60按照順序被輸送到凈化單元50，并且在存 儲(chǔ)FOUP20中執(zhí)行氮?dú)鈨艋?br> 此時(shí)，因?yàn)槎鄠€(gè)存儲(chǔ)FOUP20被置于儲(chǔ)料器1中，難以使得單獨(dú) 的凈化單元50按照順序在所有的存儲(chǔ)FOUP20中執(zhí)行氮?dú)鈨艋?。因此?在儲(chǔ)料器1中設(shè)置多個(gè)凈化單元50。通過流量控制器150分別控制每 一個(gè)凈化單元50的氮?dú)夤?yīng)流量。然而，由于流量控制器150的故障 和供應(yīng)管道52的堵塞，可能存在不能供給所需流量的氮?dú)獾膬艋瘑卧?50。在此情形中，因?yàn)榧俣ù嬖诓荒艹浞值貓?zhí)行氮?dú)鈨艋拇鎯?chǔ) FOUP20，需要利用測(cè)量FOUP30測(cè)量從凈化單元50供應(yīng)的氮?dú)饬髁俊?因此，測(cè)量FOUP30利用堆垛機(jī)60被輸送到凈化單元50，并且按照順 序測(cè)量從凈化單元50供給的氮?dú)饬髁?。然后，在每一個(gè)凈化單元50 中測(cè)得的氮?dú)饬髁勘粋魉偷轿挥趦艋彝獠康膫€(gè)人計(jì)算機(jī)100。由此， 可向使用者告知從每一個(gè)凈化單元50供給的氮?dú)饬髁?。利用?chǔ)料器1和測(cè)量FOUP30，通過利用堆垛機(jī)60不時(shí)地將測(cè)量 FOUP30輸送到每一個(gè)凈化臺(tái)54，可以測(cè)量從每一個(gè)凈化單元50供給 的氮?dú)饬髁?。由此，無需在每一個(gè)凈化單元50中設(shè)置流量計(jì)70，并且 可以降低成本。此外，可以節(jié)約空間。
而且，因?yàn)闇y(cè)量FOUP30具有用于將在流量存儲(chǔ)單元75中存儲(chǔ)的 氮?dú)饬髁總魉徒o個(gè)人計(jì)算機(jī)100的無線通訊單元73，使用者能夠利用 個(gè)人計(jì)算機(jī)100掌握從凈化單元50供給的氮?dú)饬髁俊?br> 第二實(shí)施例
下面，參考圖6和圖7描述本發(fā)明的第二實(shí)施例。圖6是根據(jù)第 二實(shí)施例的測(cè)量FOUP的縱向截面視圖。圖7是示出根據(jù)第二實(shí)施例 的流量計(jì)的電子構(gòu)造的框圖。相同參考數(shù)字被賦予與第一實(shí)施例的那 些實(shí)際上相同的操作，并且省略其解釋。
類似于存儲(chǔ)FOUP20，測(cè)量FOUP130具有形成密封空間23的頂 蓋21和底表面部分22。無線照相機(jī)160和流量計(jì)(流量測(cè)量單元)170 被布置在密封空間23中。
無線照相機(jī)160在密封空間23中被布置在頂蓋21的上表面上， 并且捕捉將在以后描述的流量計(jì)170的顯示器173上顯示的氮?dú)饬髁?的圖像以將流量圖片傳送給個(gè)人計(jì)算機(jī)100。
流量計(jì)170在示于圖6中的上表面上具有(顯示單元)顯示器173， 并且在顯示器173上顯示從進(jìn)口流入的氮?dú)饬髁俊Ｆ渌鼧?gòu)造與流量計(jì) 70的那些相同。
下面描述無線照相機(jī)160和流量計(jì)170的電子構(gòu)造。如圖7所示， 無線照相機(jī)160具有圖像轉(zhuǎn)換單元161和無線通訊單元(傳送單元) 162。圖像轉(zhuǎn)換單元161捕捉在顯示器173上顯示的氮?dú)饬髁康膱D像，
并且將該圖像轉(zhuǎn)換成數(shù)字圖像數(shù)據(jù)。無線通訊單元162經(jīng)由無線通訊
向個(gè)人計(jì)算機(jī)100傳送由圖像轉(zhuǎn)換單元161轉(zhuǎn)換的數(shù)字圖像數(shù)據(jù)。
流量計(jì)170具有控制單元171、電池72和顯示器(傳送單元)173。 控制單元171具有其中存儲(chǔ)用于控制各種操作的程序和數(shù)據(jù)的硬盤、 執(zhí)行各種計(jì)算以產(chǎn)生用于控制各種操作的信號(hào)的CPU以及暫時(shí)地存儲(chǔ) 數(shù)據(jù)例如CPU中的計(jì)算結(jié)果的RAM。
控制單元171具有流量測(cè)量單元74和顯示控制單元175。流量測(cè) 量單元74測(cè)量從進(jìn)口流入的氣體流量。顯示控制單元175在顯示器173 上顯示由流量測(cè)量單元74測(cè)得的氮?dú)饬髁俊?br> 以此方式，測(cè)量FOUP130包括用于顯示由流量計(jì)170測(cè)得的氮?dú)?流量的顯示器173、用于捕捉顯示器173的流量顯示圖像并且將顯示圖 像轉(zhuǎn)換成圖像數(shù)據(jù)的圖像轉(zhuǎn)換單元161、以及用于將圖像轉(zhuǎn)換單元161 轉(zhuǎn)換的圖像數(shù)據(jù)傳送到個(gè)人計(jì)算機(jī)100的無線通訊單元162。由此，可 以基于圖像數(shù)據(jù)顯示從凈化單元50流入的氮?dú)饬髁繄D像。因此，即使 流量計(jì)170不具有氮?dú)饬髁看鎯?chǔ)單元和氮?dú)饬髁繑?shù)據(jù)傳送單元，使用 者也能夠利用個(gè)人計(jì)算機(jī)100掌握從凈化單元50流入存儲(chǔ)FOUP20中 的氮?dú)饬髁?。此外，通過基于圖像數(shù)據(jù)顯示從凈化單元50流入的氮?dú)?流量圖像，使用者能夠以可視化方式掌握氮?dú)饬髁俊?br> 對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了描述，但是本發(fā)明并不限于以上實(shí) 施例。即，在權(quán)利要求的范圍內(nèi)可以作出改變。例如，在以上實(shí)施例 中，流量計(jì)70利用無線通訊單元73向個(gè)人計(jì)算機(jī)100傳送在流量存 儲(chǔ)單元75中存儲(chǔ)的氮?dú)饬髁俊Ｈ欢?，使用者可以通過直接地移除流量 計(jì)70使得個(gè)人計(jì)算機(jī)從流量存儲(chǔ)單元75讀出氮?dú)饬髁慷莆樟髁浚?從而無需無線通訊單元73。
根據(jù)以上實(shí)施例的方式，氮?dú)獗挥米髟诖鎯?chǔ)FOUP20的密封空間
23中執(zhí)行凈化的氣體。然而，氣體不限于氮?dú)?。即，可以使用能夠?br> 止氧化和分子污染并且能夠去除濕氣的任何氣體，例如CDA (凈化干
燥空氣)。
而且，雖然在以上實(shí)施例的方式中以儲(chǔ)料器1作為實(shí)例解釋，本
發(fā)明的應(yīng)用不限于此。即使沒有布置存儲(chǔ)擱架40，不像儲(chǔ)料器1，可 以在凈化室中僅僅放置所述的多個(gè)凈化單元50。 S卩，通過將凈化單元 50放置在半導(dǎo)體晶片的制造過程之間的輸送通道中而非用于存儲(chǔ)存儲(chǔ) FOUP20的裝置中，可以在輸送過程中在存儲(chǔ)FOUP20中執(zhí)行氮?dú)鈨艋?br> 根據(jù)以上實(shí)施例的方式，存儲(chǔ)FOUP20包括氮?dú)饬魅肫渲械拈_口 22c以及氮?dú)鈴钠淞鞒龅拈_口 22d。然而，在氮?dú)獗惶峁┯糜趦H僅去除 濕氣或者用于防止壓力在存儲(chǔ)FOUP20中降低的情形中，可以不包括 氮?dú)鈴钠淞鞒龅拈_口 22d。
此外，根據(jù)以上實(shí)施例的方式，半導(dǎo)體晶片25被存儲(chǔ)在存儲(chǔ) FOUP20中。然而，本發(fā)明并不限于半導(dǎo)體晶片25。即，任何物體例 如光盤基片、液晶基片和電子基片可被存儲(chǔ)在存儲(chǔ)FOUP20中。
而且，根據(jù)以上實(shí)施例的方式，存儲(chǔ)FOUP20被用于存儲(chǔ)半導(dǎo)體 晶片25。然而，可以不使用存儲(chǔ)FOUP20而是使用網(wǎng)格盒和SMIF盒 (Standard Manufac ring Interface pod:標(biāo)準(zhǔn)禾幾械介面晶圓盒)。
而且，根據(jù)以上實(shí)施例的方式，包括流量控制器15以控制氮?dú)饬?量。然而，本發(fā)明不限于流量控制器150。即，也可利用針閥控制氮?dú)?流量。
在不背離其基本特征的精神的前提下，本發(fā)明能夠以其它特定形 式實(shí)施。因此本實(shí)施例在所有方面被認(rèn)為是示意性的而非限制性的， 本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而非前面的描述指出，并且因此屬于權(quán)
利要求等同形式的范圍的意義中的所有改變均被包括在權(quán)利要求中。
包括說明書、權(quán)利要求、附圖和摘要的在2006年12月22日提交 的日本專利申請(qǐng)No.2006-345409的全部公開內(nèi)容通過引用而被整體結(jié) 合于此。
權(quán)利要求
1.一種容器輸送系統(tǒng)，包括存儲(chǔ)容器，它包括外罩和開口，該外罩形成用于存儲(chǔ)基片的空間，該開口形成在該外罩中，用于使得氣體流入該空間；多個(gè)凈化單元，每一個(gè)凈化單元包括凈化臺(tái)和氣體進(jìn)口，存儲(chǔ)容器放置在凈化臺(tái)上，氣體進(jìn)口用于在存儲(chǔ)容器被置于凈化臺(tái)上的情況下，通過與開口連通而使得用于凈化的氣流從開口進(jìn)入空間中；測(cè)量容器，它包括在被置于凈化臺(tái)上的情況下與氣體進(jìn)口連通的氣體通道，以及用于測(cè)量經(jīng)過氣體通道從氣體進(jìn)口流入的氣體的流量的流量測(cè)量單元；和輸送單元，用于將存儲(chǔ)容器輸送到凈化臺(tái)，并且在多個(gè)凈化臺(tái)之間輸送測(cè)量容器。
2. —種容器輸送系統(tǒng)中的測(cè)量容器，該容器輸送系統(tǒng)包括存儲(chǔ) 基片的存儲(chǔ)容器；多個(gè)凈化單元，每一個(gè)凈化單元包括凈化臺(tái)和氣體進(jìn)口，存儲(chǔ)容器放置在凈化臺(tái)上，氣體進(jìn)口用于使得氣體流入由存儲(chǔ)容器形成的空間中；以及輸送存儲(chǔ)容器和測(cè)量容器的輸送單元，所述 測(cè)量容器包括在被置于凈化臺(tái)上的情況下與氣體進(jìn)口連通的氣體通道；和 測(cè)量經(jīng)過氣體通道從氣體進(jìn)口流入的氣體的流量的流量測(cè)量單元。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2的測(cè)量容器，還包括存儲(chǔ)由流量測(cè)量單元測(cè)得 的氣體流量的存儲(chǔ)單元。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3的測(cè)量容器，還包括用于將存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)的氣 體流量傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備的傳送單元。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2的測(cè)量容器，還包括:顯示由流量測(cè)量單元測(cè)得的氣體流量的顯示單元； 捕捉顯示單元的流量顯示圖像并且將流量顯示圖像轉(zhuǎn)換成圖像數(shù)據(jù)的圖像轉(zhuǎn)換單元；以及將由圖像轉(zhuǎn)換單元轉(zhuǎn)換的圖像數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備的傳送單元。
全文摘要
儲(chǔ)料器(1)包括存儲(chǔ)FOUP(20)、多個(gè)凈化單元(50)、測(cè)量FOUP(30)和堆垛機(jī)(60)。存儲(chǔ)FOUP(20)在其中存儲(chǔ)半導(dǎo)體晶片。測(cè)量FOUP(30)在其中具有流量計(jì)。凈化單元(50)包括具有用于放置存儲(chǔ)FOUP(20)的多個(gè)凈化臺(tái)(54)的凈化擱架(51)，并且氮?dú)獗还┙o到放置在凈化臺(tái)(54)上的存儲(chǔ)FOUP(20)中。堆垛機(jī)(60)將存儲(chǔ)FOUP(20)輸送到凈化臺(tái)(54)上，并且在多個(gè)凈化臺(tái)(54)之間輸送測(cè)量FOUP(30)。
文檔編號(hào)H01L21/67GK101207059SQ20071016010
公開日2008年6月25日 申請(qǐng)日期2007年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月22日
發(fā)明者前瀧進(jìn), 村田正直 申請(qǐng)人:日本阿西斯特技術(shù)株式會(huì)社