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      具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭的制作方法

      文檔序號:6882760閱讀:118來源:國知局
      專利名稱:具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭的制作方法
      技術(shù)領域
      本實用新型涉及的是一種取放頭,尤其是指 一種利用固定磁力以穩(wěn)定取放頭 的位置的 一 種具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭。
      背景技術(shù)
      傳統(tǒng)IC取放頭(Pick&Place Head)為避免IC壓傷,通常具有取放緩沖的設計, 以避免在IC取放過程中造成壓傷,在成本考慮下,大都采彈簧設計以達到緩沖機制。請參閱圖1A至圖1D所示,所述的圖為現(xiàn)有的取放頭裝置的動作示意圖?,F(xiàn) 有的取放頭裝置如圖1A所示,所述的取放頭裝置1具有一取放頭本體10,本體 之內(nèi)具有一軸體11,軸體11的前端具有一取放頭12,所述的軸體11的另一端與 一緩沖部13 (如彈簧)相連接,通過所述的緩沖部13來提供所述的取放頭本體 10的運動速度。接下來如圖1B所示,頂針3頂出晶圓2( Wafer )上的芯片20(Chip), 在此同時取放頭12接觸所述的芯片20。然后如圖1C所示,取放頭12吸取芯片 20,并與頂針3同步頂出。最后,取放頭12離開頂針3。在所述的取放頭12離 開頂針3時,由于高速運動的故,緩沖部13會產(chǎn)生震蕩,需以取放延遲時間(Delay Time)克服,造成IC取放速度無法有效提升。綜合上述的問題,因此亟需一種具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭來解決現(xiàn)有 技術(shù)所發(fā)生的問題。發(fā)明內(nèi)容本實用新型的主要目的是提供一種具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,用以克 服上述缺陷。為了達到上述的目的,本實用新型提供一種具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭, 包括 一取放頭本體,其是可提供吸取一芯片; 一緩沖部,其是與所述的取放頭 本體相連接;以及一電磁穩(wěn)定部,其是設置在所述的取放頭本體的一側(cè),所述的 電磁穩(wěn)定部可提供一磁力作用在所述的取放頭本體上,以提供固定所述的取放頭本體。較佳的是,所述的取放頭本體還包括有 一座體; 一軸體,其是設置在所述 的座體上,所迷的軸體的一端具有一吸取頭;以及一固定座,其是與所迷的座體 相連接,所述的固定座可提供所述的軸體通過。其中所述的軸體在所述的固定座 內(nèi)的側(cè)面上還延伸有一柱體。所述的緩沖部的一端是與所述的固定座相連接,而 所述的緩沖部的另一端則與所述的柱體相連接。所述的電磁穩(wěn)定部還包括有一 結(jié)構(gòu)體,其是連接在所述的座體的一側(cè); 一穩(wěn)定體,其是以一端與所述的軸體的 一端相連接;以及一電磁單元,其是設置在所述的結(jié)構(gòu)體上,所迷的電磁單元可 通過電力的作用產(chǎn)生所述的磁力以吸附所述的穩(wěn)定體的 一 端。其中所述的穩(wěn)定體 還包括有 一導軌,其是設置在所述的結(jié)構(gòu)體上; 一滑動件,其是設置在所述的 導軌上,所述的滑動件的一端是與軸體的一端相連接;以及一固定片,其是以一 端與所述的滑動件相連接,所迷的固定片的另一端可通過所述的磁力的作用而吸 附在所述的電萬茲單元上。較佳的是,所述的電磁穩(wěn)定部還包括有 一結(jié)構(gòu)體,其是連接在所述的取放 頭本體的一側(cè); 一穩(wěn)定體,其是以一端與所迷的取放頭本體相連接;以及一電磁 單元,其是設置在所述的結(jié)構(gòu)體上,所述的電磁單元可通過電力的作用產(chǎn)生所述 的磁力以吸附所述的穩(wěn)定體的一端。其中所述的穩(wěn)定體還包括有 一導軌,其是 設置在所述的結(jié)構(gòu)體上; 一滑動件,其是設置在所迷的導軌上,所迷的滑動件的 一端是與所述的取放頭本體相連接;以及一固定片,其是以一端與所述的滑動件 相連接,所述的固定片的另一端可通過所述的^f茲力的作用而吸附在所述的電》茲單 元上。較佳的是,所述的緩沖部為一彈性體。所述的彈性體為一彈簧。 與現(xiàn)有技術(shù)比較本實用新型的有益效果在于,通過所述的電磁穩(wěn)定部的設計,可以克服所述的緩沖部因震蕩而產(chǎn)生的延遲時間,以確保所述的取放頭本體的位置,有效提升芯片取放的速度。


      圖1A至圖1D分別為現(xiàn)有的取放頭裝置的動作示意圖;圖2為本實用新型具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭的較佳實施例示意圖;圖3A以及圖3B為本實用新型電磁穩(wěn)定部的動作示意圖;圖4A至圖4D為本實用新型具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭的動作示意圖。附圖標記說明l-取放頭裝置;10-取放頭本體;ll-軸體;12-取放頭;13-緩 沖部;2-晶圓;20-芯片;3-頂針;4-取放頭裝置;40-取放頭本體;401-座體;402-固定座;4020-第一板體;4021-柱體;4022-第二板體;41-軸體;410-柱體;42-取it頭;434£沖部;44-電^茲秀急定部;440-結(jié)4勾體;441-詳急定體;4410-導4九;4411-滑動件;4412-電石茲單元;4413-固定片;45-端部;90-上下位移。
      具體實施方式

      以下結(jié)合附圖,對本新型上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點作更詳細的說明。請參閱圖2所示,所述的圖為本實用新型具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭的 較佳實施例示意圖。所述的取放頭裝置4包括有一取放頭本體40、 一軸體41、 一 緩沖部43以及一電磁穩(wěn)定部44。所述的取放頭本體40可提供吸取芯片。所述的 緩沖部43,其是與所述的取放頭本體40相連接。所述的電磁穩(wěn)定部44,其是設 置在所述的取j改頭本體40的一側(cè),所述的電》茲穩(wěn)定部44可提供一磁力作用在所 述的取放頭本體40上,以提供固定所述的取放頭本體40。所述的取j文頭本體40是由一座體401以及一固定座402所組成,所述的固定 座402是由一第一才反體4020、復數(shù)個柱體4021以及一第二板體4022所構(gòu)成。所 述的第一板體4021是與所述的座體401的一側(cè)相連接,所述的第二板體4022是 相對于所述的第一寺反體4020的一側(cè),所述的第一板體4020與第二板體4022之間 以所述的復數(shù)個柱體4021做為支撐。所述的軸體41是通過所述的第一板體4020 與所述的第二板體4022而設置在所述的座體401內(nèi),且凸出一端部45在所述的 座體401的一側(cè)。所述的軸體41在所述的固定座402內(nèi)的側(cè)面上延伸有兩柱體 410。所述的緩沖部43的一端是分別與所述的柱體410相連接,而另一端則與所 述的第二板體4022相連接。在本實施例中,所述的緩沖部43為一彈性體,如彈 簧等緩沖組件,但不在此限。所述的軸體41的一端,設置有一取放頭42,以提 供吸取或放置芯片。在本實施例中,所述的電磁穩(wěn)定部44具有一結(jié)構(gòu)體440以及一穩(wěn)定體441。 所述的結(jié)構(gòu)體440是固定在所述的座體401的一側(cè)面上。所述的穩(wěn)定體441還具 有一導軌4410、 一滑動件4411、 一固定片4412以及一電磁單元4413。所述的導 軌4410與所述的結(jié)構(gòu)體440相連接,所述的滑動件4411則設置在所述的導軌4410 上,以在所述的導軌4410上進行上下滑動。所述的滑動件4411的一端與所述的軸體41的端部45相連接。在本實施例中,所述的滑動件4411為一L型滑塊。所 述的滑動件4411的另一側(cè)面上連4妄有所述的固定片4412。所述的電石茲單元4413 則-沒置在所述的結(jié)構(gòu)體440上,所述的電;茲單元4413的一側(cè)面與所述的固定片 4412相對應。請參閱圖3A以及圖3B所示,所述的圖為本實用新型電磁穩(wěn)定部的動作示意 圖。如圖3A所示,由于所述的滑動件4411的一端與所述的軸體41相連接,因 此當電磁單元4413尚未作動時,由于緩沖部43的故,所述的軸體41會上下振蕩, 進而帶動所述的滑動件4411在所述的導軌4410上進行上下位移90運動。如圖3 B所示,為了加速穩(wěn)定所述的軸體41,所述的電磁單元4413作動時會產(chǎn)生一磁 力作用在所述的固定片4412上,磁力吸附所述的固定片4412,使得所述的軸體 41的振蕩力快速被所述的磁力所抵消,進而使得所述的取放頭42可以穩(wěn)定下來。請參閱圖4A至圖4D所示,所述的圖為本實用新型具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的 取放頭的動作示意圖。如圖4A以及四B所示,所述的取放頭42在進行芯片取放 時,頂針3頂出晶圓2上的芯片20,同時取放頭42接觸所述的芯片20。接下來 如圖4C所示,取放頭42吸取芯片20,并與頂針3同步頂出。在此時所述的電磁 穩(wěn)定部44并不作用,緩沖部43的緩沖機制可避免芯片20被壓傷。如圖4D所示, 但當取放頭42高速運動時,電磁穩(wěn)定部44所產(chǎn)生的磁力作用將完全取代緩沖部 43的功能,使取放頭42的位置確實可靠,如此可將取放延遲時間(Delay Time)縮 短,有效提升IC取放速度。綜合上述,本實用新型的具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭可以提供克服所述 的緩沖部因震蕩而產(chǎn)生的延遲時間,以確保所述的取放頭本體的位置,有效提升 芯片取放的速度。因此可以滿足業(yè)界的需求,進而提高所述的產(chǎn)業(yè)的竟爭力,誠 已符合實用新型專利法所規(guī)定申請實用新型所需具備的要件,故依法呈提實用新 型專利的申請。唯以上所述者,僅為本實用新型的較佳實施例,當不能以的限制本實用新型 范圍。即大凡依本實用新型權(quán)利要求所做的均等變化與修飾,仍將不失本實用新 型的要義所在,也不脫離本實用新型的精神和范圍,故都應視為本實用新型的進 一步實施狀況。
      權(quán)利要求1. 一種具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,其特征在于其包括一取放頭本體,用以吸取一芯片;一緩沖部,其與所述的取放頭本體相連接;以及一電磁穩(wěn)定部,其設置在所述的取放頭本體的一側(cè),固定所述的取放頭本體,所述的電磁穩(wěn)定部提供一磁力作用在所述的取放頭本體上。
      2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,其特征在于所 述的取放頭本體還包括有一座體;一軸體,其設置在所述的座體上,所述的軸體的一端具有一吸取頭;以及 一固定座,其與所述的座體相連接,所述的固定座提供所述的軸體穿過。
      3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,其特征在于所 述的軸體在所述的固定座內(nèi)的側(cè)面上還延伸有一柱體。
      4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,其特征在于所 述的緩沖部的一端與所述的固定座相連接,所述的緩沖部的另 一端則與所述的柱 體相連接。
      5、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,其特征在于所 述的電磁穩(wěn)定部還包括有一結(jié)構(gòu)體,其連接在所述的座體的一側(cè);一穩(wěn)定體,其一端與所述的軸體的一端相連接;以及一電磁單元,其設置在所述的結(jié)構(gòu)體上,所述的電磁單元吸附在所述的穩(wěn)定 體的一端。
      6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,其特征在于所 述的穩(wěn)定體還包括有一導軌,其設置在所述的結(jié)構(gòu)體上;一滑動件,其設置在所述的導軌上,所述的滑動件的一端是與軸體的一端相 連接;以及一固定片,其一端與所述的滑動件相連接,所述的固定片的另一端吸附在所 述的電磁單元上。
      7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,其特征在于所述的電^f茲穩(wěn)定部還包括有一結(jié)構(gòu)體,其連接在所述的取放頭本體的一側(cè); 一穩(wěn)定體,其一端與所述的取放頭本體相連接;以及一電磁單元,其設置在所述的結(jié)構(gòu)體上,所述的電磁單元吸附在所述的穩(wěn)定 體的一端。
      8、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,其特征在于所 述的穩(wěn)定體還包括有一導軌,其設置在所述的結(jié)構(gòu)體上;一滑動件,其設置在所述的導軌上,所述的滑動件的一端與所述的取放頭本 體相連4姿;以及一固定片,其一端與所述的滑動件相連接,所述的固定片的另一端吸附在所 述的電磁單元上。
      9、 根據(jù)權(quán)利要求6或8所述的具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,其特征在于 所述的滑動件為一 L型滑塊。
      10、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,其特征在于 所述的緩沖部為一彈性體。
      專利摘要本實用新型為具有磁力輔助穩(wěn)定裝置的取放頭,其是包括一取放頭本體、一緩沖部以及一電磁穩(wěn)定部。所述的取放頭本體,其是可提供吸取一芯片。所述的緩沖部,其是與所述的取放頭本體相連接。所述的電磁穩(wěn)定部,其是設置在所述的取放頭本體的一側(cè),所述的電磁穩(wěn)定部可提供一磁力作用在所述的取放頭本體上,以提供固定所述的取放頭本體。透過所述的電磁穩(wěn)定部的設計,可以克服所述的緩沖部因震蕩而產(chǎn)生的延遲時間,以確保所述的取放頭本體的位置,有效提升芯片取放的速度。
      文檔編號H01L21/683GK201087903SQ20072014828
      公開日2008年7月16日 申請日期2007年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月15日
      發(fā)明者劉醇宙, 楊育峰 申請人:均豪精密工業(yè)股份有限公司
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