專利名稱：蓋體以及基板收納容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種收納由半導(dǎo)體晶片等構(gòu)成的基板的容器本體的蓋體以瓦基板收納容器。
背景技術(shù)：
以往的基板收納容器未圖示，構(gòu)成為具備容器本體，整列收納由半導(dǎo)體晶片構(gòu)成的多張的基板；蓋體，拆裝自如地嵌入到該容器本體的開口正面部上。該基板收納容器在半導(dǎo)體部件的量產(chǎn)工序中被設(shè)置在半導(dǎo)體晶片的加工裝置中，鑒于清潔化的要求，利用加工裝置的蓋體開閉裝置自動地開閉蓋體(參照專利文獻(xiàn)l、 2)。
基板收納容器基本上通過加工裝置的蓋體開閉裝置來自動地開閉蓋體，但是在故障產(chǎn)生時及試驗時，通過作業(yè)者用手動來開閉蓋體.在該情況下，作業(yè)者使用專用的小型夾具將蓋體從容器本體卸下，或者擺動操作下。
專利文獻(xiàn)l:特開平11-91864號公報專利文獻(xiàn)2:特開2003-174081號公報
以往的基板收納容器，如上所述地構(gòu)成，使用專用的小型夾具或手動操作用的開閉手柄而通過手動從容器本體卸下蓋體，但是在使用專用的家具的情況下，必須對各工序準(zhǔn)備夾具，且由于小型所以存在丟失的危險。此外，在使用開閉手柄的情況下，必須使開閉手柄事先軸支在蓋體的表面上，因此操作費工時，而且存在結(jié)構(gòu)煩雜的問題，
此外，開閉手柄是可動的，因此存在由于搬送時的振動及沖擊易于在滑動部易于產(chǎn)生顆粒的問題。進(jìn)而，在蓋體的清洗時清洗水易于殘留在開閉手柄的軸支部及操作用的空隙部，因此清洗后的干燥作業(yè)需要長時間的危險可能大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種蓋體以及J4SL收納容器，即使在用手動開閉的情況下部件及附屬品等的丟失的危險也較少，即便在搬動時的振動及沖擊下也不易產(chǎn)生顆粒，而且，清洗后的干燥作業(yè)不需要長時間。
在本發(fā)明中為了解決上述問題，提供一種拆裝自如地嵌入在收納M的容器本體的開口部的蓋體，其特征在于，
包含框體，嵌入在容器本體的開口部上；鎖止機(jī)構(gòu)，配設(shè)在該框體上，使能夠基于旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)從框體的周壁進(jìn)出地突出的卡止體與容器本體的開口部內(nèi)周干涉，從而將框體鎖止；軍，覆蓋該鎖止機(jī)構(gòu)；操作窗，形成在該革上而與旋轉(zhuǎn)體對置。
另外，鎖止機(jī)構(gòu)可包含旋轉(zhuǎn)體，能夠旋轉(zhuǎn)地支承在蓋體的框體上而被從外部操作；多個的連結(jié)體，支承在框體上，隨著旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)而沿框體的內(nèi)外方向往復(fù)運動；多個的卡止體，與各連結(jié)體連結(jié)，通過該連結(jié)體的往復(fù)運動而從框體的周壁的貫通口進(jìn)出。
此外，優(yōu)選在鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體的與操作窗的對置部上具備手動操作機(jī)構(gòu)。
此外，能夠令手動操作機(jī)構(gòu)為設(shè)置在鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體上的手指插入孔。
此外，能夠在旋轉(zhuǎn)體的手指插入孔的周圍形成手指卡合片。此外，能夠令手動操作機(jī)構(gòu)為設(shè)置在鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體上而從操作窗露出的操作桿。
此外，能夠令手動操作機(jī)構(gòu)為形成在鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體上的滾花。此外，在本發(fā)明中為了解決上述問題，其特征在于，在收納基板的容
器本體的開口部上拆裝自如地嵌入技術(shù)方案1至6的任意一項所述的蓋
體，
另外，能夠在容器本體的開口部的內(nèi)周緣上形成與鎖止機(jī)構(gòu)的卡止體干涉的多個卡止孔。
在此，技術(shù)方案的基板至少包含口徑200mm、 300咖、450,的半導(dǎo)體晶體、再生晶體、玻璃晶體等的單個或多個。不特別地考慮容器本體及基板收納容器是透明、不透明、半透明的頂部開放盒型、前部開放盒型、底部開放盒型、工序內(nèi)用、運輸用等。
鎖止機(jī)構(gòu)不特別地考慮單個或多個及拆裝。在該鎖止機(jī)構(gòu)的卡止體上
包含爪或輥等。操作窗不特別地考慮單個或多個及形狀。例如，能夠令操作窗為圓弧形、圓形、矩形、多邊形、或者橢圃形等。進(jìn)而，手動操作機(jī)構(gòu)的手指插入孔(不考慮底的有無)、指卡合片、操作桿(包含手柄等)不考慮單個或多個及形狀.
根據(jù)本發(fā)明，在通過手動開閉收納基板的容器本體的蓋體的情況下，將手指及桿等插入軍的操作窗，使鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動，則鎖止機(jī)構(gòu)動作而能夠通過手動開閉蓋體。
根據(jù)本發(fā)明，具有下述效果即使在用手動開閉蓋體的情況下，部件、附屬品、專用品的丟失的危險較少，即便在搬送時的振動及沖擊等下也能夠抑制或者防止產(chǎn)生顆粒。此外，能夠謀求清洗的蓋體的干燥作業(yè)的迅速化。
此外，若作為手動操作機(jī)構(gòu)而使用手指插入孔，則能夠適當(dāng)?shù)貙⑹种傅茹^掛在鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體上，因此手動搮作容易。
此外，若在作為手動操作機(jī)構(gòu)的手指插入孔上形成有指卡合片，則能夠?qū)⑹种傅鹊牟僮髁煽康叵蜴i止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體傳遞。
進(jìn)而，若令手動操作機(jī)構(gòu)為形成在鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體上的滾花，則在操作鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體時，能夠用簡單的結(jié)構(gòu)防止手指等的打滑.


圖1是示意地表示本發(fā)明的蓋體以瓦基板收納容器的實施方式的整體立體說明圖。
圖2是示意地表示本發(fā)明的蓋體以; L&板收納容器的實施方式的主視說明圖。
圖3是示意地表示將軍從圖2的蓋體卸下的蓋體的主視說明圖，
圖4是示意地表示圖3的旋轉(zhuǎn)板90。旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)的主視說明圖.
圖5是示意地表示本發(fā)明的蓋體以及基板收納容器的實施方式的鎖
止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)板的主視說明圖。
圖6是示意地表示圖5的旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)的主視說明圖。圖7是示意地表示圖6的旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)的主視說明圖。圖8是示意地表示本發(fā)明的蓋體以瓦基板收納容器的實施方式的軍
的主視說明圖。
圖9是示意地表示本發(fā)明的蓋體以瓦基板收納容器的第二實施方式的鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)板的立體說明圖。圖10是示意地表示本發(fā)明的蓋體以l基板收納容器的第二實施方式
的鎖止機(jī)構(gòu)的立體i兌明圖。
圖ll是示意地表示本發(fā)明的蓋體以瓦基板收納容器的第三實施方式的鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)板的立體說明圖。
圖12是示意地表示本發(fā)明的蓋體以瓦基板收納容器的笫三實施方式的鎖止機(jī)構(gòu)的立體說明圖。
圖13是示意地表示本發(fā)明的蓋體以及基板收納容器的第四實施方式的鎖止機(jī)構(gòu)的立體說明圖。
附圖標(biāo)記說明1…容器本體
2…開口正面部(開口部)
10…蓋體
11…框體
14…鎖止機(jī)構(gòu)
15...旋轉(zhuǎn)板(旋轉(zhuǎn)體)
16…搮作孔
19...連結(jié)板
21…卡止爪(卡止體)
22…罩板(罩)
24…操作口
30..，操作窗
40…手動操作機(jī)構(gòu)
41...手指插入孔
42…手指卡合肋
43…操作桿
43A…操作桿
44…滾花
具體實施例方式
以下，參照

本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式，本實施方式的基板收納容器如圖1至圖8所示，具備容器本體l，收納多張的基板；蓋體IO，以密封狀態(tài)拆裝自如地嵌入在該容器本體1的開口正面部2上，該蓋體 10包括框體ll，拆裝自如地嵌入在容器本體1的開口正面部2上；多 個的鎖止機(jī)構(gòu)14，設(shè)置在該框體11的表面，使能夠基于各旋轉(zhuǎn)板15的 旋轉(zhuǎn)而從框體ll的周壁進(jìn)出地突出的多個的卡止爪21與容器本體1的開 口正面部2內(nèi)周卡止，從而將框體ll鎖止關(guān)閉；多個軍板22，安裝在框 體11的表面上而覆蓋各鎖止機(jī)構(gòu)14;多個的操作窗30，形成在各軍板 22上而與各旋轉(zhuǎn)板15局部地對置，在各鎖止機(jī)構(gòu)14的旋轉(zhuǎn)板15的與操 作窗30的對置部上具備手動操作機(jī)構(gòu)40。
基板未圖示，由例如口徑300mm的薄圓形半導(dǎo)體晶片(硅晶片等)構(gòu)
成，為了半導(dǎo)體晶片的結(jié)晶方位的判別及位置對合，選擇地且直線地切去 周緣部的一部分而作為定向平面，或者大致細(xì)槽型地切去周緣部的一部分 而形成凹槽，在容器本體1內(nèi)整列收納1至25張，或者1至26張，
容器本體l如圖1所示，使用既定的成形材料而注射模塑成形為正面 開口的前部開放盒型。作為該容器本體l的成形材料，列舉了例如聚碳酸 酯、環(huán)烯聚合物、聚醚酰亞胺、聚醚磺、聚醚醚酮等的熱塑性樹脂，在該 熱塑性樹脂中可以適當(dāng)添加有由導(dǎo)電性碳、導(dǎo)電纖維、金屬纖維、導(dǎo)電性 高分子等構(gòu)成的導(dǎo)電劑、各種的帶電防止劑、紫外線吸收劑等。
容器本體1其內(nèi)部背面上突出形成有水平地嵌合保持基板的后部周 緣的左右一對后部保持器，該一對后部保持器以既定的間隔沿上下方向并 設(shè)。此外，在容器本體l的內(nèi)部兩側(cè)突出形成有水平地支承J4l的側(cè)部周 緣的左右一對齒，該相對置的左右一對齒以既定的間隔沿上下方向并設(shè)。
在容器本體1的底面上拆裝自如地安裝有俯視大致Y字型、多邊形、 或者三角形等的底板，在該底板上配列而安裝有對于未圖示的加工裝置的 截面大致V字型的多個的定位件，在容器本體l的頂板中央部上拆裝自如 地安裝有被搬送機(jī)器人把持的俯視大致矩形的凸緣。此外，容器本體l的 開口正面部2如圖l及圖2所示，帶有階梯差而彎曲形成為向外方向伸出， 該階梯差的平坦的階梯差面作為蓋體10用的密封形成面而起作用.
在容器本體1的開口正面部2的內(nèi)周緣上下以既定的間隔凹陷形成有 與鎖止機(jī)構(gòu)14的卡止爪21嵌合的左右一對卡止孔，在容器本體1的左右柄。
使用與容器本體1相同的成形材料成形蓋體10的框體11、多個鎖止機(jī)構(gòu)14、多個罩板24以及手動操作機(jī)構(gòu)40?？蝮wll如圖l至圖4所示， 基本地形成為截面呈大致盤型的正面橫長的長方形，中央部12向表面?zhèn)?(正面?zhèn)?隆起為大致矩形從而左右的兩側(cè)部相對地凹陷形成，并且在該 凹陷的左右兩側(cè)部內(nèi)分別設(shè)置有鎖止機(jī)構(gòu)14，矩形的貫通口分別穿孔在 周壁的上下兩側(cè)，
框體ll的中夾部12如同圖所示，在表面的上下兩側(cè)并設(shè)有吸附在加 工裝置的蓋體開閉裝置上的圓形的吸附區(qū)域13，在凹陷的內(nèi)表面拆裝自
在框體ii的內(nèi)表面的周緣部上，截'面大f致u字型的嵌合保持槽形成為環(huán)
狀的框架，在該嵌合保持槽上嵌入有與容器本體1的密封形成面壓接的能 夠彈性變形的密封墊片。該密封墊片例如使用硅橡膠及氟橡膠等成形為環(huán) 狀。
各鎖止機(jī)構(gòu)14如圖3至圖7所示，能夠旋轉(zhuǎn)地軸支在框體11的表面， 具備旋轉(zhuǎn)板15，從蓋體10的外部被加工裝置的蓋體開閉裝置旋轉(zhuǎn)操作； 一對連結(jié)板19，經(jīng)由多個引導(dǎo)銷及導(dǎo)件而能夠滑動地支承在框體ll的表 面上，隨著旋轉(zhuǎn)板15的旋轉(zhuǎn)沿框體11的上下內(nèi)外方向滑動； 一對卡止爪 21，軸支在框體ll的周壁的貫通口附近，并且與各連結(jié)板19的頂端部連 結(jié)軸支，通過連結(jié)板19的滑動而從框體11的周壁的貫通口進(jìn)出。
各旋轉(zhuǎn)板15形成為截面大致凸字型，向表面?zhèn)韧怀龅膱A形的中心部 上俯視矩形地凹陷形成有外部操作用的操作孔16。該旋轉(zhuǎn)板15在其外周 部上以大致180。的間隔分別穿孔有一對圓弧槽，在周緣部上以大致180 °的間隔附設(shè)有具有撓性的一對彎曲片18。
各連結(jié)板19作為連結(jié)體形成為長方形的平板，其表面末端部的圓柱 形的連結(jié)銷20嵌入而連結(jié)于旋轉(zhuǎn)板15的圓弧槽17。若旋轉(zhuǎn)板15向一個 方向旋轉(zhuǎn)，則這樣的連結(jié)板19向框體11的上下外方向滑動而從周壁的貫 通口使與容器本體1的卡止孔嵌合的卡止爪21突出，若旋轉(zhuǎn)板15向另一 方向旋轉(zhuǎn)，則連結(jié)板19向框體11的上下內(nèi)方向滑動而使卡止爪21回到 原來的位置。
各革板22如圖1、圖2、圖8所示，以與框體11的各側(cè)部對應(yīng)的方 式形成為縱長，在中央部上方及側(cè)部處突出形成有多個與框體11及其中 央部側(cè)面拆裝自如地卡合的撓性的卡合片23。在該革板22上穿孔有與旋 轉(zhuǎn)板15的操作孔16對置而連通的俯視矩形的操作口 24，貫通該操作口
824的蓋體開閉裝置的操作鍵插入到旋轉(zhuǎn)板15的操作口 16中而旋轉(zhuǎn)，從 而從外部操作各鎖止機(jī)構(gòu)。
多個的操作窗30如圖1、圖2、圖8所示，形成在各軍板22的大致 中央部而在操作口 24的左右排列而配列為一對，各操作窗被穿孔為俯視 大致圓弧形，以與旋轉(zhuǎn)板15的表面局部地對置而容許從外部的手動操作 的方式起作用。
手動操作機(jī)構(gòu)40如圖5至圖7所示，形成為具備 一對手指插入孔 41，在與操作窗30對置的旋轉(zhuǎn)板15的對置部上以180°的間隔穿孔為俯 視大致扇形；手指卡合肋42，突出形成在各手指插入孔41的周緣部的一 部分上。使用與容器本體l相同的成形材料成形該手動操作機(jī)構(gòu)40。
另夕卜，優(yōu)選操作窗30和手指插入孔41形成為例如依據(jù)SEMI規(guī)格S8 (半導(dǎo)體制造裝置的人體工學(xué)工程)的尺寸。
在上述中，在通過手動從容器本體1卸下蓋體10的情況下，將手指 插入各罩板22的操作窗30內(nèi)，并且使手指插入手動操作機(jī)構(gòu)40的手指 插入孔41內(nèi)而與手指卡合肋42卡合，將旋轉(zhuǎn)板15向任意的方向轉(zhuǎn)動， 則鎖止機(jī)構(gòu)14動作而能夠通過手動卸下與容器本體1的開口正面部2嵌 合的蓋體10。
根據(jù)上述，即使不使用專用的小型的夾具，只要使用手動操作機(jī)構(gòu) 40的手指插入孔41和手指卡合肋42，也能夠更簡單地通過手動從容器本 體1卸下蓋體10，因此完全不需要對各工序事先準(zhǔn)備夾具，并且，夾具 丟失的危險也不存在。此外，不需要在蓋體10的表面事先軸支開閉手柄， 因此能夠謀求蓋體10的開閉作業(yè)的順利化、簡易化、迅速化、容易化， 另一方面能夠使蓋體10的結(jié)構(gòu)變得簡單。此外，能夠省略開閉手柄，因 此不會由于搬送時的振動及沖擊而在滑動部產(chǎn)生顆粒。
此外，隨著開閉手柄的省略，不會在開閉手柄的軸支部及操作用的空 隙部殘留清洗水，因此能夠謀求清洗后的干燥作業(yè)的迅速化。此外，在與 操作窗30對置的旋轉(zhuǎn)板15的對置部上配設(shè)有手指插入孔41和手指卡合 肋42，因此手指的插入變得容易，給手動操作帶來障礙的情況較少。此 外，只要使用手動操作機(jī)構(gòu)40的手指插入孔41，能夠適當(dāng)?shù)乜ㄖ故种福?因此手動操作變得容易，進(jìn)而，若使用手指卡合肋42，則能夠可靠地向 旋轉(zhuǎn)板15傳遞手指的操作力。
接著，圖9、圖10表示本發(fā)明的第二實施方式，在該情況下，令手動操作機(jī)構(gòu)40為一對操作桿43，所述操作桿43向各旋轉(zhuǎn)板15的表面突 出形成，從各軍板22的操作窗30露出。
各操作桿43形成為直線性的且較短的長方形片或者正方形片，^t接 近配置在各圓弧槽17的端部，通過作業(yè)者的手指的干涉使旋轉(zhuǎn)板15旋轉(zhuǎn)。 關(guān)于其他的部分與上述實施方式相同因此省略說明。
在本實施方式中也能夠期待與上述實施方式相同的作用效果，而且， 操作桿43從軍板22的各操作窗30突出，因此顯然能夠在手動操作時使 手指的插入量減少。此外，能夠謀求手動操作機(jī)構(gòu)40的形狀及構(gòu)造的多 樣化。
接著，圖11、圖12表示本發(fā)明的第三實施方式，在該情況下，令手 動操作機(jī)構(gòu)40為一對操作桿43A，所述操作桿43A在各旋轉(zhuǎn)板15的表面 中心部以180。的間隔而形成，從各罩板22的呈圓形的操作窗30露出。
各操作桿43A彎曲形成為比操作桿43大且長的大致〈字型，形成為 從各旋轉(zhuǎn)板15的表面中心部向半徑外方向伸長，通過作業(yè)者的手指的干 涉使旋轉(zhuǎn)板15旋轉(zhuǎn)。關(guān)于其他的部分與上述實施方式相同因此省略說明。
在本實施方式中也能夠期待與上述實施方式相同的作用效果，而且， 各操作桿43A比操作桿43大且長，顯然操作性進(jìn)一步提高。
接著，圖13表示本發(fā)明的第四實施方式，在該情況下，將手動操作 機(jī)構(gòu)40為防滑用的滾花(knurling) 44，所述滾花44在各旋轉(zhuǎn)板15的 周面上多個并列地刻設(shè)為橫向或者斜向，分別從各革板22的呈矩形的多 個的操作窗30露出。關(guān)于其他的部分與上述實施方式相同因此省略說明。
在上述中，在通過手動從容器本體1卸下蓋體10的情況下，將手指 插入各罩板22的操作窗30內(nèi)，將手指與手動操作機(jī)構(gòu)40的鋸齒狀的滾 花44緊貼，使旋轉(zhuǎn)板15向任意的方向轉(zhuǎn)動，則旋轉(zhuǎn)板15不會滑動而順 利地旋轉(zhuǎn)。
在本實施方式中也能夠期待與上述實施方式相同的作用效果，而且， 完全無需在旋轉(zhuǎn)板15上新設(shè)置多個的操作桿43，因此能夠謀求旋轉(zhuǎn)板15 的結(jié)構(gòu)的簡單化。
權(quán)利要求
1. 一種蓋體，拆裝自如地嵌入在收納基板的容器本體的開口部上，其特征在于，包含框體，嵌入在容器本體的開口部上；鎖止機(jī)構(gòu)，配設(shè)在該框體上，使能夠基于旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)而從框體的周壁進(jìn)出地突出的卡止體與容器本體的開口部內(nèi)周干涉，從而將框體鎖止；罩，覆蓋該鎖止機(jī)構(gòu)；操作窗，形成在該罩上而與旋轉(zhuǎn)體對置。
2. 如權(quán)利要求1所述的蓋體，其特征在于，在鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體的與操作窗的對置部上具備手動操作機(jī)構(gòu)。
3. 如權(quán)利要求2所述的蓋體，其特征在于，令手動操作機(jī)構(gòu)為設(shè)置在鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體上的手指插入孔。
4. 如權(quán)利要求3所述的蓋體，其特征在于，在旋轉(zhuǎn)體的手指插入孔的周圍形成手指卡合片。
5. 如權(quán)利要求2所述的蓋體，其特征在于，令手動操作機(jī)構(gòu)為設(shè)置在鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體上而從操作窗露出的操作桿。
6. 如權(quán)利要求2所述的蓋體，其特征在于，手動操作機(jī)構(gòu)為形成在鎖止機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體上的滾花。
7. —種基板收納容器，其特征在于，在收納基板的容器本體的開口部上拆裝自如地嵌入權(quán)利要求1至6任意一項所述的蓋體。
全文摘要
一種蓋體及基板收納容器，即使在用手動開閉的情況下部件及附屬品等的丟失的危險也較少，搬動時的振動及沖擊不易產(chǎn)生顆粒，而且，對清洗后的干燥作業(yè)不需要長時間。具備收納基板的容器本體(1)、拆裝自如地嵌入在容器本體(1)的開口正面部(2)上的蓋體(10)。蓋體(10)包括框體，拆裝自如地嵌入在容器本體(1)的開口部正面部(2)上；鎖止機(jī)構(gòu)(14)，配設(shè)在框體的表面，使基于旋轉(zhuǎn)板(15)的旋轉(zhuǎn)能夠從框體的周壁進(jìn)出地突出的卡止爪與容器本體(1)的開口正面部(2)內(nèi)周卡止從而將框體鎖止；罩板(22)，覆蓋安裝在框體表面的鎖止機(jī)構(gòu)；操作窗，形成在罩板(22)上而與旋轉(zhuǎn)板(15)部分地對置。在與鎖止機(jī)構(gòu)(14)的旋轉(zhuǎn)板(15)的操作窗(30)的對置部上具備手動操作機(jī)構(gòu)。
文檔編號H01L21/673GK101523589SQ20078003752
公開日2009年9月2日 申請日期2007年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月6日
發(fā)明者戶田順也, 長谷川晃裕 申請人:信越聚合物株式會社