專利名稱：顯示裝置的制造方法及制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示裝置的制造方法及用于實(shí)施該制造方法的制造裝置， 特別涉及具備顯示像素的顯示裝置的制造方法及制造裝置，所述顯示像素 具有有機(jī)電致發(fā)光元件等發(fā)光元件。
背景技術(shù)：
近年來，作為便攜電話、便攜音樂播放器等電子設(shè)備的顯示設(shè)備，公
知的有采用了把有機(jī)電致發(fā)光元件(下面簡(jiǎn)稱為"有機(jī)EL元件")二維排 列的顯示面板(有機(jī)EL顯示面板)的顯示設(shè)備。尤其是，采用有源矩陣驅(qū) 動(dòng)方式的有機(jī)EL顯示面板與已經(jīng)廣泛普及的液晶顯示裝置相比，具有顯示 相應(yīng)速度快、視場(chǎng)角依賴性也較小的優(yōu)良的顯示特性，并且還具有像液晶 顯示裝置那樣的不需要背光和/或?qū)Ч獍宓难b置結(jié)構(gòu)特性。因此，十分期待 今后應(yīng)用到各種電子設(shè)備中。
眾所周知，有機(jī)EL元件大致具有在玻璃基板等基板的一面?zhèn)纫来螌盈B 了陽極電極、有機(jī)EL層(發(fā)光功能層)、陰極電極的像素結(jié)構(gòu)，通過以使 有機(jī)EL層具有超過發(fā)光閾值的方式向陽極電極施加正電壓，向陰極電極施 加負(fù)電壓，從而基于向有機(jī)EL層內(nèi)注入的空穴和電子再結(jié)合時(shí)所產(chǎn)生的能 量來發(fā)射光(激勵(lì)光)。
在此，在基板的一面?zhèn)刃纬捎杏袡C(jī)EL元件(發(fā)光元件)的顯示面板， 已知有如下的發(fā)光結(jié)構(gòu)將隔著上述有機(jī)EL層而相對(duì)置地形成的一對(duì)電極 中的一個(gè)(陽極電極，陰極電極)，由具有透光性的電極材料來形成，另一 個(gè)則由具有反光性的電極材料來形成，從而形成向基板的一面?zhèn)劝l(fā)射光的 頂部發(fā)射型的發(fā)光結(jié)構(gòu)，以及向基板的另一面?zhèn)劝l(fā)射光的底部發(fā)射型的發(fā) 光結(jié)構(gòu)。頂部發(fā)射型的顯示面板，具有由設(shè)在一面?zhèn)鹊陌l(fā)光元件所發(fā)出的 光不透過基板而被反射并發(fā)射到一面?zhèn)鹊陌l(fā)光結(jié)構(gòu)。此外，底部發(fā)射型顯示面板，具有由發(fā)光元件所發(fā)出的光透過基板而發(fā)射到另一面?zhèn)鹊陌l(fā)光結(jié) 構(gòu)。
但是，在具有上述的發(fā)光結(jié)構(gòu)的顯示面板中，發(fā)光層所發(fā)出的光經(jīng)由 具有透光性的電極而直接發(fā)射到視場(chǎng)側(cè)(基板的一面?zhèn)然蛄硪幻鎮(zhèn)?，并在 具有反光性的電極反射，該反射的光經(jīng)由發(fā)光層及具有透光性的電極而發(fā) 射到上述視場(chǎng)側(cè)。從而，在直接發(fā)射到視場(chǎng)側(cè)的發(fā)射光和在具有反光性的 電極反射后發(fā)射到視場(chǎng)側(cè)的發(fā)射光之間，產(chǎn)生膜厚大小的光程差。并且， 該光程差的干涉效果導(dǎo)致色度偏差和/或發(fā)光亮度(發(fā)光強(qiáng)度)的不均勻， 產(chǎn)生圖像的污點(diǎn)或模糊等顯示特性的惡化。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及具有包括發(fā)光元件的顯示像素的顯示裝置的制造方法及用 于實(shí)施該制造方法的制造裝置，具有能夠制造抑制了色度偏差和/或發(fā)光亮 度的不均勻、圖像沒有污點(diǎn)和/或模糊的顯示特性優(yōu)良的顯示裝置的優(yōu)點(diǎn)。
為了得到上述優(yōu)點(diǎn)的本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，在該顯示裝置中， 多個(gè)顯示像素沿著基板上的多個(gè)行和多個(gè)列排列，所述多個(gè)顯示像素具有 發(fā)光元件，該發(fā)光元件具有進(jìn)行彩色顯示的多個(gè)發(fā)光色中某個(gè)發(fā)光色，該 顯示裝置的制造方法的特征在于，包括涂敷工序，該涂敷工序?qū)⒂糜谛纬?上述各發(fā)光色的上述發(fā)光元件的發(fā)光功能層的發(fā)光材料溶液，涂敷在上述 基板上的多個(gè)列的用于形成上述發(fā)光元件的發(fā)光元件形成區(qū)域，上述涂敷 工序包括如下工序?qū)ι鲜龆鄠€(gè)列中相鄰列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域，以 與上述各發(fā)光色對(duì)應(yīng)地設(shè)定的涂敷量按不連續(xù)涂敷上述發(fā)光材料溶液的順 序涂敷上述發(fā)光材料溶液。
為了得到上述優(yōu)點(diǎn)的本發(fā)明的制造裝置，在該顯示裝置中，多個(gè)顯示 像素沿著基板上的多個(gè)行及多個(gè)列排列，所述多個(gè)顯示像素具有發(fā)光元件， 該發(fā)光元件具有進(jìn)行彩色顯示的多個(gè)發(fā)光色中某個(gè)發(fā)光色，其特征在于， 包括涂敷裝置，至少具有一個(gè)用于吐出發(fā)光材料溶液的噴嘴，該發(fā)光材 料溶液用于形成上述各發(fā)光色的發(fā)光元件的發(fā)光功能層；以及移動(dòng)裝置， 使上述涂敷裝置或上述基板這兩者中某一個(gè)沿著上述基板的行及列方向移動(dòng)，上述移動(dòng)裝置使上述涂敷裝置在行方向上移動(dòng)，以使上述涂敷裝置相 對(duì)于上述基板上的上述多個(gè)列中相離的各個(gè)列移動(dòng)，并沿著各列的延伸方 向移動(dòng)，上述涂敷裝置在通過上述移動(dòng)裝置沿著各列的延伸方向移動(dòng)時(shí)， 從上述噴嘴吐出與上述各發(fā)光色對(duì)應(yīng)地設(shè)定的吐出量的上述發(fā)光材料溶 液，按規(guī)定的涂敷順序在上述基板上的各列的用于形成上述發(fā)光元件的發(fā) 光元件形成區(qū)域涂敷上述發(fā)光材料溶液，上述涂敷順序被設(shè)定為，對(duì)上述 多個(gè)列中鄰接列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域不連續(xù)涂敷上述發(fā)光材料溶液的
通過下面的詳細(xì)說明和附圖能夠充分理解本發(fā)明，但是下面的詳細(xì)說 明和附圖僅僅是用于說明的而非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。
圖1是表示本發(fā)明的顯示裝置中所適用的顯示面板的像素排列狀態(tài)的 一例的示意平面圖。
圖2是表示在本發(fā)明的顯示裝置的顯示面板上2維排列的各顯示像素 的電路結(jié)構(gòu)例的等效電路圖。
圖3是表示本發(fā)明的顯示裝置(顯示面板)上可適用的顯示像素的平 面布局的一例的圖。
圖4是表示沿圖3的IVA-IVA線的截面的截面圖。
圖5A、圖5B是沿圖3的VB-VB線、VC-VC線的截面的截面圖。
圖6A、圖6B、圖6C是示出本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)的制 造方法的一例的工序中的截面圖(其l)。
圖7A、圖7B是示出本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)的制造方法 的一例的工序中的截面圖(其2)。
圖8A、圖8B是示出本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)的制造方法 的一例的工序中的截面圖(其3)。
圖9是示出本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)的制造方法的一例的 工序中的截面圖(其4)。
圖IO是示出本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)的制造方法的一例的工序中的截面圖(其5)。 ■
圖IIA、圖11B是用于說明本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)的制 造方法中的、第一結(jié)構(gòu)的成膜工序及制造裝置的正空穴輸送層的成膜工序
圖12A、圖12B是示出用于實(shí)施本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板) 的制造方法的第一結(jié)構(gòu)的制造裝置的結(jié)構(gòu)的一例的圖。
圖13A、圖13B是用于說明本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)的制 造方法中的、第一結(jié)構(gòu)的成膜工序及制造裝置的正空穴輸送層的成膜工序 的圖(其2)。
圖14A、圖14B是用于說明本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)的制 造方法中的、第一結(jié)構(gòu)的成膜工序及制造裝置的電子輸送性發(fā)光層的成膜 工序的圖(其l)。
圖15A、圖15B是用于說明本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)的制 造方法中的、第一結(jié)構(gòu)的成膜工序及制造裝置的電子輸送性發(fā)光層的成膜 工序的圖(其2)。
圖16A、圖16B是用于說明本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)的制 造方法中的、第二結(jié)構(gòu)的成膜工序及制造裝置的正空穴輸送層的成膜工序 的圖。
圖17A、圖17B是示出用于實(shí)施本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板) 的制造方法的第二結(jié)構(gòu)的制造裝置的結(jié)構(gòu)的一例的圖。
圖18A、圖18B是示出本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)的制造方 法(有機(jī)EL層的成膜工序)的作用效果的檢驗(yàn)結(jié)果的示意圖。
圖19A、圖19B是表示在本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)上所形 成的有機(jī)EL元件的像素結(jié)構(gòu)的一例(實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｐ?的模式圖，以及用于說明 干涉效果的圖。
圖20A、圖20B是表示本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)上所形成 的發(fā)出藍(lán)光的有機(jī)EL元件中的、正空穴輸送層的膜厚和色度的關(guān)系的色度 圖(其l)。
圖21A、圖21B是表示本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)上所形成的發(fā)出藍(lán)光的有機(jī)EL元件中的、正空穴輸送層的膜厚和色度的關(guān)系的色度 圖(其2)。
圖22A、 B是表示本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)上所形成的發(fā) 出綠光和紅光的有機(jī)EL元件中的、正空穴輸送層的膜厚和色度的關(guān)系的色 度圖。
圖23是表示在本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)上所形成的有機(jī) EL元件中的、正空穴輸送層的膜厚和發(fā)光色度的關(guān)系的色度圖。
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)附圖所示的實(shí)施方式，詳細(xì)說明本發(fā)明的顯示裝置及其制 造方法。
<顯示面板>
首先，對(duì)適用于本發(fā)明的顯示裝置的顯示面板(有機(jī)EL顯示面板)及 顯示像素進(jìn)行說明。
圖1是表示本發(fā)明的顯示裝置中所適用的顯示面板的像素排列狀態(tài)的 一例的示意平面圖。
圖2是表示在本發(fā)明的顯示裝置的顯示面板上2維排列的各顯示像素 的電路結(jié)構(gòu)例的等效電路圖。
此外，在圖1所示的平面圖中，為了便于說明，僅示出了從視場(chǎng)側(cè)(一 面?zhèn)扔袡C(jī)EL元件的形成側(cè))觀察顯示面板的、設(shè)在各顯示像素上的像素 電極的配置和各布線層的配設(shè)結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系，以及與用于劃分各顯示像 素的形成區(qū)域的隔壁之間的配置關(guān)系，而省略了圖2所示的顯示驅(qū)動(dòng)電路 內(nèi)的晶體管等的顯示，該顯示驅(qū)動(dòng)電路是為了對(duì)各顯示像素的有機(jī)EL元件 進(jìn)行發(fā)光驅(qū)動(dòng)而設(shè)在各顯示像素上的。
此外，在圖1中，為了明確表現(xiàn)像素電極及各布線層、隔壁的配置， 用陰影線表示。
如圖1所示，本發(fā)明的顯示裝置(顯示面板10)，在玻璃基板等的絕緣 性基板ll的一面?zhèn)?，具備在行方?圖的左右側(cè)向)上配設(shè)的多個(gè)選擇 線Ls;與該選擇線Ls并行地在行方向上配設(shè)的多個(gè)電源電壓線(例如陽極線)Lv;在與選擇線Ls及電源電壓線Lv正交的列方向(圖的上下方向) 上配設(shè)的多個(gè)數(shù)據(jù)線Ld。此外，在包含選擇線Ls和數(shù)據(jù)線Ld的各交點(diǎn)的 區(qū)域，配置有各顯示像素PIX (子像素PXr、 PXg、 PXb)。
在此，具備上述顯示面板10的顯示裝置用于進(jìn)行彩色顯示。在該情況 下，如圖1所示，例如，紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)三色的各子像素(下 面，簡(jiǎn)單記作"色像素"。)PXr、 PXg、 PXb在行方向(圖的左右側(cè)向)上重 復(fù)排列，并且，在列方向(圖的上下方向)上排列了多個(gè)同一顏色的色像 素PXr、 PXg、 PXb。在該情況下，以在行方向(圖的左右側(cè)向)上鄰接的 RGB3色的色像素PXr、 PXg、 PXb為一組，作為一個(gè)顯示像素PIX。
此外，在圖1所示的顯示面板10中具有隔壁17，該隔壁17配設(shè)為從 絕緣性基板ll的一面?zhèn)韧怀?，具有柵狀或格子狀的平面圖案。由該隔壁17 劃分在列方向上排列的同一顏色的多個(gè)色像素PXr、 PXg或PXb的像素形 成區(qū)域(更具體而言，各色像素的有機(jī)EL元件的形成區(qū)域)。此外，在各 色像素PXr、 PXg或PXb的像素形成區(qū)域，形成由像素電極(例如陽極電 極，第一電極)15。
如圖2所示，顯示像素PIX的各色像素PXr、 PXg或PXb具有如下電 路結(jié)構(gòu)，具備像素驅(qū)動(dòng)電路DC，在絕緣性基板ll上具有多個(gè)晶體管(例 如非晶硅薄膜晶體管等)；以及有機(jī)EL元件(發(fā)光元件)OLED，該像素驅(qū) 動(dòng)電路DC生成的發(fā)光驅(qū)動(dòng)電流供給上述像素電極15而進(jìn)行發(fā)光動(dòng)作。
像素驅(qū)動(dòng)電路DC具體如圖2所示，具備晶體管(選擇晶體管)Trll， 柵極端子連接在選擇線Ls上，漏極端子連接在數(shù)據(jù)線Ld上，源極端子連 接在接點(diǎn)Nll上；晶體管(驅(qū)動(dòng)晶體管)Trl2，柵極端子連接在接點(diǎn)Nll 上，漏極端子連接在電源電壓線Lv上，源極端子連接在接點(diǎn)N12上；以及 電容Cs，連接在晶體管Trl2的柵極端子及源極端子之間。
在此，作為晶體管Trll、 Trl2，均可以應(yīng)用n隧道型的場(chǎng)效應(yīng)型晶體 管(薄膜晶體管)。晶體管Trll、 Trl2也可以是p隧道型，在該情況下，源 極端子和漏極端子相互調(diào)換。
此外，電容Cs是形成在晶體管Trl2的柵極一源極之間的寄生電容， 或者是附加設(shè)置在該柵極一源極之間的輔助電容，或者是由這些寄生電容和輔助電容構(gòu)成的電容成分。在晶體管Trl2為P隧道型的情況下，電容Cs 的一端連接在電源電壓線Lv側(cè)。
有機(jī)EL元件OLED的陽極端子(作為陽極電極的像素電極15)連接 在上述像素驅(qū)動(dòng)電路DC的接點(diǎn)N12上，陰極端子(陰極電極)與對(duì)置電 極19一體地形成并與規(guī)定的基準(zhǔn)電壓Vcom (例如接地電位Vgnd)直接或 間接連接。在此，對(duì)置電極19由單一的電極層(固體電極(^t電極)) 形成，以便與多個(gè)顯示像素PIX的像素電極15共同對(duì)置，多個(gè)顯示像素 PIX在絕緣性基板11上2維排列。由此，向多個(gè)顯示像素PIX共同施加上 述基準(zhǔn)電壓Vcom。
此外，圖1和圖2所示的選擇線Ls連接在省略圖示的選擇驅(qū)動(dòng)器上， 以規(guī)定的定時(shí)被施加選擇信號(hào)Ssel，該選擇信號(hào)Ssd用于將在顯示面板10 的行方向上排列的多個(gè)顯示像素PIX (色像素PXr、 PXg或PXb)設(shè)定為選 擇狀態(tài)。此外，數(shù)據(jù)線Ld連接在省略圖示的數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器上，以便以與上述 顯示像素PIX的選擇狀態(tài)同步的定時(shí)被施加對(duì)應(yīng)于顯示數(shù)據(jù)的灰度等級(jí)信 號(hào)Vpix。在此，灰度等級(jí)信號(hào)Vpix是設(shè)定有機(jī)EL元件OLED的發(fā)光亮度 等級(jí)的電壓信號(hào)。
此外，電源電壓線Lv直接或間接地連接在例如規(guī)定的高電位電源上， 被施加規(guī)定的高電壓(電源電壓Vdd)，該規(guī)定的高電壓用于對(duì)設(shè)在各顯示 像素PIX (色像素PXr、 PXg或PXb)上的有機(jī)EL元件OLED的像素電極 15流通對(duì)應(yīng)于顯示數(shù)據(jù)的發(fā)光驅(qū)動(dòng)電流，并且該規(guī)定的高電壓的電位比施 加到有機(jī)EL元件OLED的對(duì)置電極19上的基準(zhǔn)電壓Vcom高。
艮P，在圖2所示的像素驅(qū)動(dòng)電路DC中，對(duì)在各顯示像素PIX上串聯(lián) 連接的晶體管Trl2和有機(jī)EL元件OLED的組的兩端(晶體管Trl2的漏極 端子和有機(jī)EL元件OLED的陰極端子)分別施加電源電壓Vdd和基準(zhǔn)電 壓Vcom，對(duì)有機(jī)EL元件OLED賦予正偏壓，以使有機(jī)EL元件OLED成 為能夠發(fā)光的狀態(tài)。此外，根據(jù)灰度等級(jí)信號(hào)Vpix，控制流向有機(jī)EL元 件OLED的發(fā)光驅(qū)動(dòng)電流的電流值。
此外，具有這樣的電路結(jié)構(gòu)的顯示像素PIX的驅(qū)動(dòng)控制動(dòng)作，首先， 由選擇驅(qū)動(dòng)器在規(guī)定的選擇期間對(duì)選擇線Ls施加選擇電平(接通電平，例如高電平)的選擇信號(hào)Ssd，從而使晶體管Trll進(jìn)行接通動(dòng)作而被設(shè)定為 選擇狀態(tài)。之后，控制為如下與該定時(shí)同步地，由數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器對(duì)數(shù)據(jù)線 Ld施加具有與顯示數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的電壓值的灰度等級(jí)信號(hào)Vpk。從而，與灰度
等級(jí)信號(hào)Vpix對(duì)應(yīng)的電位通過晶體管Trll被施加到接點(diǎn)Nll (g卩，晶體管 Trl2的柵極端子)上。
在具有圖2所示的電路結(jié)構(gòu)的像素驅(qū)動(dòng)電路DC中，由漏極-源極間的 電位差及柵極-源極間的電位差，來決定晶體管Trl2的漏極-源極間電流(即， 流向有機(jī)EL元件OLED的發(fā)光驅(qū)動(dòng)電流)的電流值。在此，施加到晶體管 Trl2的漏極端子(漏極電極)上的電源電壓Vdd和被施加到有機(jī)EL元件 OLED的陰極端子(陰極電極)上的基準(zhǔn)電壓Vcom是固定值，因此，由電 源電壓Vdd和基準(zhǔn)電壓Vcom來預(yù)先確定晶體管Trl2的漏極-源極間的電 位差。并且，由灰度等級(jí)信號(hào)Vpix的電位來唯一地確定晶體管Trl2的柵 極-源極間的電位差。從而，能夠用灰度等級(jí)信號(hào)Vpix來控制晶體管Trl2 的漏極-源極間流通的電流的電流值。
這樣，晶體管Trl2以對(duì)應(yīng)于接點(diǎn)Nll的電位的導(dǎo)通狀態(tài)(g卩，對(duì)應(yīng)于 灰度等級(jí)信號(hào)Vpix的導(dǎo)通狀態(tài))進(jìn)行導(dǎo)通動(dòng)作，從高電位側(cè)的電源電壓 Vdd經(jīng)由晶體管Trl2及有機(jī)EL元件OLED，向低電位側(cè)的基準(zhǔn)電壓Vcom (接地電位Vgnd)流通具有規(guī)定的電流值的發(fā)光驅(qū)動(dòng)電流，從而有機(jī)EL元 件OLED以與灰度等級(jí)信號(hào)Vpix(即顯示數(shù)據(jù))對(duì)應(yīng)的亮度等級(jí)進(jìn)行發(fā)光動(dòng) 作。此外，此時(shí)，基于施加到接點(diǎn)Nil上的灰度等級(jí)信號(hào)Vpix，晶體管Td2 的柵極-源極間的電容Cs中被蓄積(充電)電荷。
接著，在上述選擇期間結(jié)束后的非選擇期間，通過對(duì)選擇線Ls施加非 選擇電平(截止電平；例如低電平)的選擇信號(hào)Ssel，顯示像素PIX的晶 體管Trll進(jìn)行截止動(dòng)作而被設(shè)定為非選擇狀態(tài)。從而，數(shù)據(jù)線Ld和像素 驅(qū)動(dòng)電路DC (具體是接點(diǎn)Nll)被切斷電連接。此時(shí)，通過保持上述電容 Cs中所蓄積的電荷，成為在晶體管Tr12的柵極端子上保持與灰度等級(jí)信號(hào) Vpk相應(yīng)的電壓的(即，保持柵極-源極間的電位差)狀態(tài)。
從而，與上述選擇狀態(tài)中的發(fā)光動(dòng)作同樣，從電源電壓Vdd經(jīng)由晶體 管Trl2向有機(jī)EL元件OLED流過規(guī)定的發(fā)光驅(qū)動(dòng)電流，持續(xù)發(fā)光動(dòng)作狀態(tài)。
該發(fā)光動(dòng)作狀態(tài)被控制為一直持續(xù)到下一次施加(寫入)灰度等級(jí)信號(hào) Vpix為止，例如，持續(xù)l個(gè)幀期間。并且，通過對(duì)在顯示面板10上2維排
列的所有的顯示像素PIX (各色像素PXr、 PXg、 PXb)，例如對(duì)每一行依次 執(zhí)行這樣的驅(qū)動(dòng)控制動(dòng)作，能夠?qū)崿F(xiàn)顯示所希望的像素信息的圖像顯示動(dòng) 作。
此外，在圖2中，作為設(shè)在顯示像素PIX上的像素驅(qū)動(dòng)電路DC，示出
了對(duì)應(yīng)于如下的電壓指定型的灰度等級(jí)控制方式的電路結(jié)構(gòu)通過根據(jù)顯
示數(shù)據(jù)來調(diào)整寫入到各顯示像素PIX (具體而言，像素驅(qū)動(dòng)電路DC的晶體 管Trl2的柵極端子；接點(diǎn)Nll)的灰度等級(jí)信號(hào)Vpix的電壓值(指定)， 由此控制流到有機(jī)EL元件OLED的發(fā)光驅(qū)動(dòng)電流的電流值，從而以所希望 的亮度灰度等級(jí)進(jìn)行發(fā)光動(dòng)作。但是，也可以是具有如下的電流指定型的 灰度等級(jí)控制方式的電路結(jié)構(gòu)通過根據(jù)顯示數(shù)據(jù)來調(diào)整(指定)向各顯 示像素PIX供給的(寫入)電流的電流值，來控制流向有機(jī)EL元件OLED 的發(fā)光驅(qū)動(dòng)電流的電流值，從而以所希望的亮度灰度等級(jí)進(jìn)行發(fā)光動(dòng)作。
此外，在圖2所示的像素驅(qū)動(dòng)電路DC中，示出使用了2個(gè)n隧道型晶 體管TYll、 Trl2的電路結(jié)構(gòu)。但是，本發(fā)明的顯示面板不限定于此，也可 以是具有使用了 3個(gè)以上的晶體管的其它電路結(jié)構(gòu)。此外，也可以是作為 電路元件只使用了 p隧道型晶體管的電路結(jié)構(gòu)，或者，也可以是混合了 n 隧道型及p隧道型的雙方的隧道極性的晶體管的電路結(jié)構(gòu)。在此，如圖2 所示，在作為像素驅(qū)動(dòng)電路DC而只使用了n隧道型的晶體管的情況下，能 夠采用已經(jīng)確立制造技術(shù)的非晶硅半導(dǎo)體制造技術(shù)，能夠簡(jiǎn)單地制造動(dòng)作 特性穩(wěn)定的晶體管，能夠?qū)崿F(xiàn)抑制了上述顯示像素的發(fā)光特性的不均勻的 像素驅(qū)動(dòng)電路。
<顯示像素的設(shè)備結(jié)構(gòu)〉
接著，對(duì)具有如上所述的電路結(jié)構(gòu)的顯示像素(像素驅(qū)動(dòng)電路及有機(jī) EL元件)的具體的設(shè)備結(jié)構(gòu)(平面布局以及截面結(jié)構(gòu))進(jìn)行說明。
在此，對(duì)采用具有頂部發(fā)射型的發(fā)光結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL元件的情況的設(shè)備 結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖3是表示本發(fā)明的顯示裝置(顯示面板)中能夠使用的顯示像素的平 面布局的一例的圖。
在此，示出圖1所示的顯示像素PIX的紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)各色像 素PXr、 PXg、 PXb中的特定的一個(gè)色像素的平面布局。
此外，圖3中，以像素驅(qū)動(dòng)電路DC的各晶體管及布線層等所形成的層 為中心示出，為了使各布線層及各電極的配置和平面形狀清晰，簡(jiǎn)單地用 斜線來表示。
此外，圖4是示出具有圖3所示的平面布局的顯示像素中的沿IVA-IVA 線(本說明書中，作為與圖3中所示的羅馬數(shù)字"4"對(duì)應(yīng)的記號(hào)，簡(jiǎn)單地使 用"IV")的截面的截面圖。
圖5A及圖5B分別是示出具有圖3所示的平面布局的顯示像素中的沿 VB-VB線(本說明書中，作為與圖3中所示的羅馬數(shù)字"5"對(duì)應(yīng)的記號(hào)，簡(jiǎn) 單地使用"V")、 VC-VC線的截面的截面圖。
具體而言，圖2所示的顯示像素(色像素)PIX如圖3所示，在絕緣性 基板11的一面?zhèn)仍O(shè)定的像素形成區(qū)域Rpx中，在圖的上方及下方的邊緣區(qū) 域，在行方向(圖的左右側(cè)向)上分別延伸配設(shè)選擇線Ls及電源電壓線Lv。 此外，以與這些線Ls、 Lv正交的方式，在上述圖的左方的邊緣區(qū)域，在列 方向(圖的上下方向)上延伸地配設(shè)數(shù)據(jù)線Ld。并且，在上述平面布局的 右側(cè)的邊緣區(qū)域，對(duì)所有右側(cè)鄰接的顯示像素(色像素)，在列方向(圖的 上下方向)上延伸配設(shè)隔壁17。
在此，例如圖3 圖5A、圖5B所示，數(shù)據(jù)線Ld設(shè)在選擇線Ls及電源 電壓線Lv的下層側(cè)(絕緣性基板ll側(cè))，通過構(gòu)圖柵極金屬層，在同一個(gè) 工序中形成該柵極電極Trllg和Trl2g，所述柵極金屬層用于形成晶體管 Trll、 Trl2的柵極電極Trllg、 Trl2g。
此外，數(shù)據(jù)線Ld通過設(shè)在柵極絕緣膜12上的連接孔CH11，連接到晶 體管Tdl的漏極電極Trlld，所述柵極絕緣膜12形成為覆蓋該數(shù)據(jù)線Ld 的上面。
選擇線Ls及電源電壓線Lv設(shè)在比數(shù)據(jù)線Ld及柵極電極Trllg、Trl2g 更靠上層側(cè)。通過構(gòu)圖源極、漏極金屬層，形成選擇線Ls及電源電壓線Lv，所述源極、漏極金屬層用于形成晶體管Trll、 Trl2的源極電極Trlls、 Trl2s 及漏極電極Trlld、 Trl2d。從而在與該源極電極Trlls、 Trl2s及漏極電極 Trlld、 Trl2d相同的工序，形成選擇線Ls及電源電壓線Lv。
在此，在電源電壓線Lv所延伸的線方向上，除了在平面上(俯視時(shí)) 與數(shù)據(jù)線Ld重疊的區(qū)域之外，在柵極絕緣膜12上設(shè)有連接孔CH15。
選擇線Ls通過位于晶體管Trll的柵極電極Trllg的兩端的柵極絕緣膜 12上所設(shè)置的連接孔CH12，連接到柵極電極Trllg。此外，電源電壓線Lv 與晶體管Trl2的漏極電極Trl2d形成為一體。
在此，例如圖5A、圖5B所示，選擇線Ls及電源電壓線Lv也可以具 有層疊了下層布線層Lsl、 Lvl和上層布線層Ls2、 Lv2的布線結(jié)構(gòu)，以謀 求低電阻化。例如下層布線層Lsl、 Lvl與晶體管Trll、 Td2的柵極電極 Trllg、 Trl2g位于同層，并且，通過構(gòu)圖用于形成該柵極電極Trllg、 Trl2g 的柵極金屬層，在與該柵極電極Trllg、 Trl2g相同的工序形成選擇線Ls 及電源電壓線Lv。
此外，如上所述，上層布線層Ls2、 Lv2均與晶體管Tr11、 TH2的源極 電極Trlls、 Trl2s及漏極電極Trlld、 Trl2d同層，并且，通過構(gòu)圖用于形 成該源極電極Trll s、 Trl2s及漏極電極Trlld、 Trl2d的源極、漏極金屬層， 在與形成該源極電極Trlls、 Trl2s以及漏極電極Trlld、 Trl2d相同的工序， 形成上層布線層Ls2、 Lv2。
再有，下層布線層Lsl， Lvl既可以是由鋁單體(Al)或鋁-鈦(AlTi)， 鋁-釹-鈦(AlNdTi)等的鋁合金、銅(Cu)等用于減小布線電阻的低電阻 金屬的單層或合金層形成，也可以具有由鉻(Cr)或鈦(Ti)等用于減小遷 移的遷移金屬層設(shè)在上述低電阻金屬層的下層的層疊結(jié)構(gòu)。
此外，上層布線層Ls2、 Lv2也可以具有如下的層疊結(jié)構(gòu)設(shè)有鉻(Cr) 或鈦(T i)等用于減小遷移的遷移金屬層，以及在該遷移金屬層的下層設(shè) 有鋁單體或鋁合金等用于減小布線電阻的低電阻金屬層。
此外，像素驅(qū)動(dòng)電路DC更具體而言，例如圖3所示，圖2所示的晶體 管Trll在行方向上延伸配置，并且，晶體管Trl2沿著列方向延伸配置。在 此，各晶體管Trll、 Trl2具有眾所周知的場(chǎng)效應(yīng)型薄膜晶體管結(jié)構(gòu)。艮口，各晶體管Trll、 Trl2分別具有如下的反交錯(cuò)結(jié)構(gòu)，例如具有柵極電極 Trllg、 Trl2g，形成在絕緣性基板11上；半導(dǎo)體層SMC，隔著柵極絕緣 膜12形成在與各柵極電極Trllg、 Trl2g對(duì)應(yīng)的區(qū)域，所述柵極絕緣膜12 形成為被覆該柵極電極Trllg、 Trl2g之上；源極電極Trlls、 Trl2s以及漏 極電極Trlld、 Trl2d，在該半導(dǎo)體層SMC的隧道的兩側(cè)部延伸形成。
再有，在半導(dǎo)體層SMC的隧道上，形成氧化硅或氮化硅等隧道保護(hù)層 (阻塞層)BL，在半導(dǎo)體層SMC的兩端部對(duì)置地配置有各晶體管Tdl、Tr12 的源極電極Trlls、 Trl2s和漏極電極Trl]d、 Trl2d，所述隧道保護(hù)層(阻 塞層)BL用于防止在制造工序中蝕刻破壞該半導(dǎo)體層SMC。此外，在源極 電極Trlls、 Trl2s及漏極電極Trlld、 Trl2d所接觸的半導(dǎo)體層SMC的隧 道的兩端部上，形成有雜質(zhì)層OHM，該雜質(zhì)層OHM用于實(shí)現(xiàn)該半導(dǎo)體層 SMC與源極電極Trlls、 Trl2s及漏極電極Trlld、 Trl2d之間的歐姆接続。
此外，如圖3所示，在晶體管Tdl中，柵極電極Trllg通過柵極絕緣 膜12上所設(shè)置的連接孔CH12，連接到選擇線Ls，以便對(duì)應(yīng)于圖2所示的 像素驅(qū)動(dòng)電路DC的電路結(jié)構(gòu)。此外，該漏極電極Trlld通過設(shè)在柵極絕緣 膜12上的連接孔CHll，連接到數(shù)據(jù)線Ld。
如圖3、圖4所示，在晶體管Td2中，柵極電極Trl2g通過設(shè)在柵極絕 緣膜12上的連接孔CH13，連接到上述晶體管Trll的源極電極Trlls。此 夕卜，漏極電極Trl2d與電源電壓線Lv形成為一體。源極電極Trl2s通過設(shè) 在保護(hù)絕緣膜13及平坦化膜14上的連接孔CH14，連接到有機(jī)EL元件 OLED的像素電極15。
此外，如圖3、圖4所示，在電容Cs中，電極Eca和電極Ecb隔著柵 極絕緣膜12對(duì)置地設(shè)置，其中，電極Eca在絕緣性基板11上與晶體管Tr12 的柵極電極Trl2g —體地形成，電極Ecb在柵極絕緣膜12上與晶體管Trl2 的源極電極Td2s —體地形成。
此外，如上所述，在電極Ecb上的保護(hù)絕緣膜13及平坦化膜14上設(shè)有 連接孔CH14，通過該連接孔CH14，與有機(jī)EL元件OLED的像素電極15 連接。
如圖3 圖5A、圖5B所示，有機(jī)EL元件OLED設(shè)置在保護(hù)絕緣膜13及平坦化膜14的上面，該保護(hù)絕緣膜13形成為被覆上述晶體管Trll、Tr12。 此外，通過依次層疊像素電極(例如陽極電極)15、有機(jī)EL層(發(fā)光功能 層)18和對(duì)置電極(例如陰極電極)19，來形成有機(jī)EL元件OLED。
像素電極15由具有反光特性的材料構(gòu)成，通過貫通保護(hù)絕緣膜13以及 平坦化膜14而設(shè)置的連接孔CH14，與晶體管Trl2的源極電極Trl2s連接， 被供給規(guī)定的發(fā)光驅(qū)動(dòng)電流。
有機(jī)EL層18包括層間絕緣膜16，在上述平坦化膜14上，形成在鄰 接的顯示像素PIX的像素電極15之間的區(qū)域(邊界區(qū)域)；以及，EL元件 形成區(qū)域Rel上形成的如正空穴輸送層18a及電子輸送性發(fā)光層18b，該E L元件形成區(qū)域Rel由在該層間絕緣膜l 6上連續(xù)突出地配設(shè)的隔壁17劃 分(由隔壁17包圍的區(qū)域)。
對(duì)置電極19由具有透光特性的材料形成的單一的電極層(固體電極(^ t電極))構(gòu)成，設(shè)置成與在絕緣性基板11上2維排列的各顯示像素PIX 的像素電極15共同對(duì)置。
在此，對(duì)置電極19不僅設(shè)置在各EL元件形成區(qū)域Rel上，還延伸設(shè) 置到用于劃分該EL元件形成區(qū)域Rel的隔壁17上。
此外，在EL元件形成區(qū)域Rel的周囲，在圖3所示的平面布局的左右 側(cè)鄰接的顯示像素(色像素)PIX的EL元件形成區(qū)域Rel之間的邊界區(qū)域， 形成有隔壁17。此外，選擇線Ls及電源電壓線Lv的一部分和晶體管Trll、 Trl2，在平面上(俯視時(shí))與隔壁17重疊。因此，隔壁17緩解該隔壁17 上所形成的上述對(duì)置電極19的寄生電容的影響。在此，對(duì)于數(shù)據(jù)線Ld，也 可以以同樣的目的，在隔壁17的下方配置數(shù)據(jù)線Ld。
此外，在圖3 圖5A、圖5B所示的面板結(jié)構(gòu)中，將選擇線Ls及電源 電壓線Lv設(shè)成層疊布線結(jié)構(gòu)，通過構(gòu)圖源極、漏極金屬層，形成上層布線 層Ls2、 Lv2，所述源極、漏極金屬層用于形成晶體管Trll、 Trl2的源極電 極Trlls、 Trl2s及漏極電極Trlld、 Trl2d。此外，將選擇線Ls通過連接孔 CH12，連接到晶體管Trll的柵極電極Trllg;將電源電壓線Lv與晶體管 Trl2的漏極電極Trl2d —體形成。此外，通過構(gòu)圖柵極金屬層，形成數(shù)據(jù) 線Ld，所述柵極金屬層用于形成晶體管Trll、Trl2的柵極電極Trllg、Trl2g。此外，把數(shù)據(jù)線Ld通過連接孔CHll連接到晶體管Trll的漏極電極Trlld。
在此，在選擇線Ls的延伸方向上，除了設(shè)有晶體管Trll的柵極電極 Trllg的區(qū)域及設(shè)有數(shù)據(jù)線Ld的區(qū)域之外，設(shè)有連接孔CH12。因此，圖 5A、圖5B所示，在具有連接孔CH12的區(qū)域，選擇線Ls由下層布線層Lsl 及上層布線層Ls2構(gòu)成，在與數(shù)據(jù)線Ld重疊的區(qū)域，選擇線Ls僅由上層 布線層Ls2構(gòu)成，在設(shè)有柵極電極Trllg的區(qū)域，沒有形成選擇線Ls，并 且，該選擇線Ls與晶體管Trll的柵極電極Trllg的兩端連接。
此外，在電源電壓線Lv的延伸方向上，在除了設(shè)有數(shù)據(jù)線Ld的區(qū)域, 設(shè)有連接孔CH15。
因此，如圖5A，圖5B所示，在具有連接孔CH15的區(qū)域，電源電壓線 Lv由下層布線層Lvl及上層布線層Lv2構(gòu)成，在與數(shù)據(jù)線Ld重疊的區(qū)域， 電源電壓線Lv僅由上層布線層Lv2構(gòu)成。
再有，選擇線Ls及電源電壓線Lv的布線結(jié)構(gòu)不需要限定于上述結(jié)構(gòu)。 例如，通過構(gòu)圖上述柵極金屬層，形成在柵極絕緣膜12的下層，并通過構(gòu) 圖上述源極、漏極金屬層來把數(shù)據(jù)線Ld形成在柵極絕緣膜12的上層，由 此，可以在不設(shè)置連接孔CH11及CH12的情況下，將選擇線Ls和柵極電 極Trllg—體地設(shè)置，并且，將數(shù)據(jù)線Ld和漏極電極Trlld—體地設(shè)置。
此外，作為將像素電極15和像素驅(qū)動(dòng)電路DC的晶體管Trl2的源極電 極Trl2s (或，電容Cs的另一側(cè)的電極Ecb)電連接的結(jié)構(gòu)，也可以如圖4 所示，在貫通保護(hù)絕緣膜13及平坦化膜14而設(shè)置的連接孔CH14中，埋入 用于形成像素電極15的電極材料，從而直接連接像素電極15和源極電極 Trl2s。
此外，也可以向連接孔CH14埋入由不同于像素電極15的導(dǎo)電性材料 構(gòu)成的接點(diǎn)金屬(省略圖示)，從而通過該接點(diǎn)金屬連接像素電極15和源 極電極Trl2s。
隔壁17是在顯示面板10上2維排列的多個(gè)顯示像素(色像素)PIX相 互間的邊界區(qū)域(具體而言，各像素電極15間的區(qū)域)，配設(shè)在顯示面板 10的列方向上(在整個(gè)顯示面板10中，具有包圍圖1所示的多個(gè)像素電極 15的柵狀，或包圍各像素電極15的格子狀的平面圖案)。在此，如圖3、圖4所示，在上述邊界區(qū)域中，在顯示面板10(絕緣性
基板11)的列方向上延伸形成有上述晶體管Tr12，隔壁17大致被覆例如該 晶體管Trl2，在各像素形成區(qū)域Rpx的像素電極15間形成的層間絕緣膜1 6上，形成為從絕緣性基板11表面向高度方向連續(xù)突出。從而，由隔壁17 包圍的區(qū)域，即包含排列在列方向(圖1的上下方向)上的多個(gè)顯示像素 PIX的像素電極15的區(qū)域，在后述的制造方法中，被規(guī)定為形成有機(jī)EL 層18 (例如正空穴輸送層18a及電子輸送性發(fā)光層18b)時(shí)的、含有有機(jī) 化合物材料的溶液或懸濁液的溶媒(有機(jī)化合物含有液)的涂敷區(qū)域(即， EL元件形成區(qū)域Rel)。
此外，例如使用感光性的樹脂材料來形成隔壁17，在形成上述有機(jī)EL 層18時(shí)，至少其表面(側(cè)面以及上面)被實(shí)施表面處理，以便對(duì)涂敷在EL 元件形成區(qū)域Rel上的有機(jī)化合物含有液具有疏液(撥液)性。
此外，在形成有上述像素驅(qū)動(dòng)電路DC、有機(jī)EL元件OLED以及隔壁 17的絕緣性基板11的一面?zhèn)鹊恼麄€(gè)區(qū)域，如圖4、圖5A、圖5B所示，具 有作為保護(hù)絕緣膜(鈍化膜)的功能的密封層20形成為覆蓋絕緣性基板11 的一面?zhèn)鹊恼麄€(gè)區(qū)域。并且，也可以是接合有由未圖示的玻璃基板等構(gòu)成 的密封基板并與絕緣性基板11對(duì)置的結(jié)構(gòu)。
此外，在本實(shí)施方式的顯示面板中，特別是其特征在于，在EL元件 形成區(qū)域Rel的像素電極15上所形成的有機(jī)EL層18中，針對(duì)R、 G、 B 的各色像素PXr、 PXg、 PXb，以不同的特定的厚度形成了正空穴輸送層18a 的膜厚。
具體而言，作為有機(jī)EL層(發(fā)光功能層)18，在上述的正空穴輸送層 18a和電子輸送性發(fā)光層18b的基礎(chǔ)上，在正空穴輸送層18a和電子輸送性 發(fā)光層18b之間設(shè)有夾層的層結(jié)構(gòu)中，作為各色像素PXr、 PXg、 PXb共通 的層結(jié)構(gòu)，形成了10nm的夾層，以及70nm膜厚的電子輸送性發(fā)光層18b 的情況下，在具有紅(R)色發(fā)光色的色像素PXr中，把正空穴輸送層18a 的膜厚大致設(shè)定為15nm士10nm，在具有綠(G)色的發(fā)光色的色像素PX g中，把正空穴輸送層18a的膜厚設(shè)定為大致95nm士20腿，在具有藍(lán)(B) 色的發(fā)光色的色像素PXb中，把正空穴輸送層18a的膜厚設(shè)定為大致90nm士20nm。
在這樣的顯示面板IO (顯示像素PIX)中，根據(jù)與經(jīng)由數(shù)據(jù)線Ld供給 的顯示數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的灰度等級(jí)信號(hào)Vpix，具有規(guī)定的電流值的發(fā)光驅(qū)動(dòng)電流 流過晶體管Trl2的源極一漏極間，通過供給有機(jī)EL元件OLED的像素電 極15，各顯示像素(色像素)PIX的有機(jī)EL元件OLED以與上述顯示數(shù) 據(jù)對(duì)應(yīng)的所希望的亮度灰度等級(jí)進(jìn)行發(fā)光動(dòng)作。
在此，在本實(shí)施方式的顯示面板10中，通過像素電極15具有反光特 性(相對(duì)于可見光高的反射率)，并且，對(duì)置電極19具有透光特性(相對(duì) 于可見光高的透射率)，能夠?qū)崿F(xiàn)如下的頂部發(fā)射型的發(fā)光結(jié)構(gòu)在各顯示 像素PIX的有機(jī)EL層18發(fā)出的光，通過具有透光特性的對(duì)置電極19直接 射出到視場(chǎng)側(cè)(圖4、圖5A、圖5B的上方)，并且在具有反光特性的像素 電極15反射，經(jīng)由對(duì)置電極19射出到視場(chǎng)側(cè)。
在該發(fā)光結(jié)構(gòu)中，電子輸送性發(fā)光層18b發(fā)出的光經(jīng)由對(duì)置電極19直 接射出到視場(chǎng)側(cè)，并且，通過夾層及具有特定厚度的正空穴輸送層18a，在 具有反光特性的像素電極15的表面反射，再通過上述正空穴輸送層18a、 夾層、電子輸送性發(fā)光層18b和對(duì)置電極19射出到視場(chǎng)側(cè)。此時(shí)，如上所 述，通過把在R、 G、 B的各色像素PXr、 PXg、 PXb的EL元件形成區(qū)域 Rel上所形成的有機(jī)EL層18 (正空穴輸送層18a)的膜厚，設(shè)定為對(duì)應(yīng)于 R、 G、 B各色而不同的特定厚度，利用電子輸送性發(fā)光層1Sb發(fā)出的光直 接射出到視場(chǎng)側(cè)的光和在具有反光特性的像素電極15的表面反射后射出到 視場(chǎng)側(cè)的光之間的光干涉効果，能夠調(diào)節(jié)色度和發(fā)光強(qiáng)度，抑制色度偏差 和亮度的不均勻，能夠?qū)崿F(xiàn)沒有像素的污點(diǎn)和模糊等的良好的顯示特性。
此外，由于本實(shí)施方式的顯示面板10具有頂部發(fā)射型的發(fā)光結(jié)構(gòu)，所 以能夠把形成在絕緣性基板11上的像素驅(qū)動(dòng)電路DC的各電路元件和布線 層，配置成在平面上與形成在保護(hù)絕緣膜13及平坦化膜14上的有機(jī)EL元 件OLED相重疊，從而能夠提高像素?cái)?shù)值孔徑，能夠減少耗電量并實(shí)現(xiàn)面 板壽命長期化，并且能夠提高像素電路的布線設(shè)計(jì)的自由度。
<顯示面板的制造方怯>
接著，對(duì)本實(shí)施方式的顯示面板的制造方法進(jìn)行說明。圖6A、圖6B、圖6C 圖IO是示出本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)
的制造方法的一例的工序截面圖。
在此，以從圖4、圖5A所示的沿IVA-IVA線及VB-VB線的顯示面板 的截面結(jié)構(gòu)中，簡(jiǎn)單除去各一部分(晶體管Trl2，電容Cs，有機(jī)EL元件 OLED，選擇線Ls，電源電壓線Lv等)的結(jié)構(gòu)為例，說明上述的顯示面板 的制造方法的概要內(nèi)容。
上述的顯示面板的制造方法，首先，如圖6A所示，在顯示像素(色像 素)PIX的像素形成區(qū)域Rpx，形成了像素驅(qū)動(dòng)電路DC的晶體管Tdl、Tr12， 電容Cs，數(shù)據(jù)線Ld，選擇線Ls，電源電壓線Lv等布線層(參照?qǐng)D3~圖 5A、圖5B)。所述顯示像素(色像素)PIX設(shè)在玻璃基板等絕緣性基板11 的一面?zhèn)?圖的上面?zhèn)?。
具體而言，在絕緣性基板11上，通過構(gòu)圖同一柵極金屬層，同時(shí)形成 柵極電極Trllg、 Trl2g，以及與該柵極電極Trl2g—體地形成的電容Cs的 一方側(cè)的電極Eca、數(shù)據(jù)線Ld、選擇線Ls的下層布線層Lsl、電源電壓線 Lv的下層布線層Lvl。其后，柵極絕緣膜12形成為被覆絕緣性基板11的 整個(gè)區(qū)域。
再有，如圖3所示，在數(shù)據(jù)線Ld與選擇線Ls及電源電壓線Lv交差的 區(qū)域，例如不形成選擇線Ls的下層布線層Lsl及電源電壓線Lv的下層布 線層Lvl，以使它們不會(huì)相互電連接(絕緣)。
接著，在上述數(shù)據(jù)線Ld上的柵極絕緣膜12的規(guī)定區(qū)域，形成連接孔 CHll。此外，在選擇線Ls的下層布線層Lsl上的柵極絕緣膜12上，形成 連接孔CH12。在電源電壓線Lv的下層布線層Lvl上的柵極絕緣膜12上， 形成連接孔CH15。在晶體管Trl2的柵極電極Trl2g上的柵極絕緣膜12的 規(guī)定區(qū)域，形成連接孔CH13。
接著，在柵極絕緣膜12上的與各柵極電極Trllg、 Trl2g對(duì)應(yīng)的區(qū)域， 例如形成由非晶硅和/或多晶硅等構(gòu)成的半導(dǎo)體層SMC及由氮化硅等構(gòu)成 的隧道保護(hù)層BL，在半導(dǎo)體層SMC (隧道)的兩端部，隔著用于歐姆連接 的雜質(zhì)層OHM形成源極電極Trlls、 Trl2s以及漏極電極Trll d、 Trl2d。
在此，如圖2、圖3所示，晶體管Trll的漏極電極Trlld通過形成在柵極絕緣膜12上的連接孔CH11，連接到數(shù)據(jù)線Ld。此外，源極電極Trlls 通過形成在柵極絕緣膜12上的連接孔CH13，連接到晶體管Trl2的柵極電 極Trl2g。
此外，此時(shí)，通過構(gòu)圖同一個(gè)源極、漏極金屬層，同時(shí)形成與源極電極 Trl2s連接的電容Cs的另一側(cè)的電極Ecb、上述選擇線Ls的上層布線層Ls2 以及電源電壓線Lv的上層布線層Lv2。
在此，選擇線Ls的上層布線層LsZ形成為，通過柵極絕緣膜12上所形 成的溝狀的連接孔(開口部)CH12，連接到上述選擇線Ls的下層布線層 Lsl。此外，電源電壓線Lv的上層布線層Lv2，通過柵極絕緣膜12上所形 成的溝狀的連接孔(開口部)CH15，電連接到上述電源電壓線Lv的下層 布線層Lvl。由此形成選擇線Ls及電源電壓線Lv，該選擇線Ls具有由上 層布線層Ls2和下層布線層Lsl構(gòu)成的層疊布線結(jié)構(gòu)，該電源電壓線Lv具 有由上層布線層Lv2和下層布線層Lvl構(gòu)成的層疊布線結(jié)構(gòu)。
再有，為了降低布線電阻，并且減少遷移，上述的晶體管Trll、 TV12 的源極電極Trlls、 Trl2s、漏極電極Trlld、 Trl2d、電容Cs的另一側(cè)的電 極Ecb、選擇線Ls的上層布線層Ls2、電源電壓線Lv的上層布線層Lv2， 也可以具有例如由鋁-鈦(AlTi)和鋁-釹-鈦(AlNdTi)等的鋁合金層和鉻 (C r )等遷移金屬層構(gòu)成的層疊布線結(jié)構(gòu)。
接著，圖6B所示，以被覆絕緣性基板ll的一面?zhèn)热珔^(qū)域的方式，形 成由氮化硅(SiN)等構(gòu)成的保護(hù)絕緣膜13，并且在其上層疊形成平坦化 膜14，所述絕緣性基板ll的一面?zhèn)热珔^(qū)域包含上述晶體管Trll、 Trl2、電 容Cs、選擇線Ls的上層布線層Ls2以及電源電壓線Lv的上層布線層Lv2。 在此，平坦化膜14使得絕緣性基板11上形成的上述像素驅(qū)動(dòng)電路DC的晶 體管Trll、 Trl2及/或布線層造成的表面段差變緩和，膜材料和/或其厚度適 當(dāng)設(shè)定為可提高該平坦化膜14表面的平坦性。作為適用于本實(shí)施方式的平 坦化膜材料，具體而言，能夠良好地適用具有熱固化性的有機(jī)材料(例如 丙烯酸類樹脂，環(huán)氧類樹脂，聚酰亞胺類樹脂等)。
接著，如圖6C所示，利用光刻法對(duì)上述平坦化膜14及保護(hù)絕緣膜13 進(jìn)行蝕刻，形成連接孔CH14，在該連接孔CH14中至少露出晶體管Tr 12的源極電極Trl2s (或電容Cs的另一側(cè)的電極Ecb)的上表面。
接著，在包含上述連接孔CH14的平坦化膜14上，利用濺射法等，形 成具有反光特性(更具體而言，具有相對(duì)于可見光域高的反射率)的金屬 薄膜，該金屬薄膜由銀(Ag)、鋁(Al)等金屬材料，或者鋁-釹-鈦(.AlNdTi) 等合金材料構(gòu)成。其后，如圖7A所示，構(gòu)圖該金屬薄膜來形成反射層15a， 該反射層15a在連接孔CH14內(nèi)部，與晶體管Trl2的源極電極Trl2s電連 接，并且，該反射層15a具有與各顯示像素PIX的E L元件形成區(qū)域Rel 對(duì)應(yīng)的平面形狀，并在平坦化膜14之上延伸。
接著，利用濺射法等，在包含上述反射層15a的平坦化膜14上，形成 由氧化銦錫(Indium Tin Oxide; ITO)，氧化銦鋅(Indium Zinc Oxide; IZO)， 氧化銦鴇(Indium Tungsten Oxide: IWO)，氧化銦鎢鋅(Indium Tungsten Zinc Oxide; IWZO)等透明電極材料構(gòu)成的(具有透光特性)導(dǎo)電性氧化金屬層。 其后，如圖7B所示，構(gòu)圖該導(dǎo)電性氧化金屬層來形成透明電極層15b，該 透明電極層15b至少被覆上述反射層15a的上表面以及端面(側(cè)面)，具有 與各E L元件形成區(qū)域Rel對(duì)應(yīng)的平面形狀。
從而，形成具有層疊電極結(jié)構(gòu)的像素電極15，該像素電極15具有反射 層15a及透明電極層15b，并通過連通孔CH14電連接到晶體管Trl2的源 極電極Trl2s。
在該像素電極15的形成工序中，在各EL元件形成區(qū)域Rel上所形成 的反射層15a的上表面及側(cè)面被成為透明電極層15b的導(dǎo)電性氧化金屬層 完全被覆而不露出的狀態(tài)下，通過對(duì)該導(dǎo)電性氧化金屬層進(jìn)行蝕刻來構(gòu)圖 透明電極層15b，因此能夠防止在導(dǎo)電性氧化金屬層(ITO等)和反射層 15a之間產(chǎn)生電池反應(yīng)，并且，能夠防止反射層15a被過蝕刻或受到蝕刻損 壞。
接著，在包含上述像素電極15的平坦化膜14上，利用化學(xué)氣相成長法 (CVD法)等，例如在形成絕緣層后進(jìn)行構(gòu)圖(所述絕緣層由氧化硅膜和/ 或氮化硅膜等無機(jī)絕緣性材料構(gòu)成)，從而如圖4以及圖8A所示，形成層 間絕緣膜16，該層間絕緣膜1 6被覆與鄰接的顯示像素(色像素)PIX之間 的邊界區(qū)域(即，鄰接的像素電極15間的區(qū)域)，并在各像素形成區(qū)域Rpx具有用于露出像素電極15的上表面的開口部。
接著，如圖8B所示，在鄰接的顯示像素PIX (像素電極15)間的邊界
區(qū)域所形成的上述層間絕緣膜16上，形成例如由聚酰亞胺類和/或丙烯酸類 等感光性樹脂材料構(gòu)成的隔壁17。具體而言，通過構(gòu)圖感光性樹脂層，如 圖1所示，形成隔壁(隔壁)17。所述感光性樹脂層形成為對(duì)包含上述層 間絕緣膜16及像素電極15的絕緣性基板11的一面?zhèn)鹊娜珔^(qū)域進(jìn)行被覆。 所述隔壁17是在行方向上鄰接的顯示像素PIX間的邊界區(qū)域，具有包含在 顯示面板10的列方向上延伸的區(qū)域的柵狀的平面形狀，并且在高度方向上 連續(xù)突出。從而，在顯示面板10的列方向上排列的同一色的多個(gè)顯示像素 (色像素)PIX的EL元件形成區(qū)域Rel，被隔壁17及層間絕緣膜16包圍 而被劃分，并在該EL元件形成區(qū)域Rel內(nèi)，露出各顯示像素PIX的像素 電極15的上表面。
接著，在用純水洗凈絕緣性基板ll之后，例如通過實(shí)施氧等離子處理 和/或UV臭氧處理等，對(duì)露出到EL元件形成區(qū)域Rel的各像素電極15的 表面實(shí)施親液化處理，該親液化處理使各像素電極15的表面對(duì)后述的正空 穴輸送材料和/或電子輸送性發(fā)光材料的有機(jī)化合物含有液具有親液性。接 著，對(duì)隔壁17的表面進(jìn)行CF4等離子處理，對(duì)隔壁17的表面實(shí)施使其對(duì) 有機(jī)化合物含有液疏液化的處理。再有，若形成隔壁17的樹脂材料本身預(yù) 先含氟原子，則可以不一定進(jìn)行上述疏液化處理。
從而，在同一個(gè)絕緣性基板11上，僅隔壁17的表面被實(shí)施疏液化處理， 被該隔壁17劃分的各像素形成區(qū)域Rpx上所露出的像素電極15的表面則 保持未被疏液化的狀態(tài)(親液性)。從而，即使在涂敷有機(jī)化合物含有液來 形成有機(jī)EL層18 (電子輸送性發(fā)光層18b)的情況下，也能夠防止有機(jī)化 合物含有液漏或越到鄰接的EL元件形成區(qū)域Rel ，抑制鄰接像素相互的混 色，能夠分別涂敷紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)色。
再有，在本實(shí)施方式中使用的"疏液性"規(guī)定為，在把成為后述的正空 穴輸送層18a的含有正空穴輸送材料的有機(jī)化合物含有液、成為電子輸送 性發(fā)光層18b的含有電子輸送性發(fā)光材料的有機(jī)化合物含有液，或者用于 這些溶液的有機(jī)溶媒，滴在基板上等之后，測(cè)量接觸角的情況下，該接觸角成為50°以上的狀態(tài)。此外，在本實(shí)施方式中，把與「疏液性」相反的 「親液性」規(guī)定為上述接觸角成為40°以下，優(yōu)選10°以下的狀態(tài)。
接著，對(duì)由上述隔壁17包圍(劃分)的各色EL元件形成區(qū)域Rel，使 用工序控制性和/或生產(chǎn)率優(yōu)良的注射法和/或噴嘴打印法等，涂敷由高分子 類的有機(jī)材料構(gòu)成的正空穴輸送材料的溶液或分散液。其后，通過加熱干 燥，對(duì)每一個(gè)R、 G、 B的各色像素PXr、 PXg、 PXb形成不同的特定厚度 的正空穴輸送層18a。接著，對(duì)各色像素PXr、 PXg、 PXb的每一個(gè)，在上 述正空穴輸送層18a上，涂敷由與R、 G、 B發(fā)光色對(duì)應(yīng)的高分子類的有機(jī) 材料構(gòu)成的電子輸送性發(fā)光材料的溶液或分散液。其后，通過加熱干燥， 形成電子輸送性發(fā)光層18b。從而，如圖9所示，在像素電極15上層疊形 成至少具有正空穴輸送層18a及電子輸送性發(fā)光層18b的有機(jī)EL層18。 再有，后面詳述有機(jī)EL層18的成膜工序。
其后，如圖10所示，在至少包含各顯示像素PIX的EL元件形成區(qū)域 Rel的絕緣性基板11上，形成具有透光性的導(dǎo)電層(透明電極層)，并形成 共同對(duì)置電極(例如陰極電極)19，該共同對(duì)置電極19隔著上述有機(jī)EL 層18 (正空穴輸送層18a及電子輸送性發(fā)光層18b)，與各顯示像素PIX的 像素電極15對(duì)置。
具體而言，對(duì)置電極19可以采用在厚度方向上透明的膜結(jié)構(gòu)，該透明 的膜結(jié)構(gòu)是在通過例如蒸鍍法等形成了作為電子注入層和的鋇、鎂、鋰等 金屬材料構(gòu)成的薄膜后，在其上層，通過濺射法等層疊形成ITO等透明電 極層。在此，對(duì)置電極19形成為單一的導(dǎo)電層(固體電極(^t電極))， 其不僅形成在與上述像素電極15對(duì)置的區(qū)域上，還延伸形成在劃分各EL 元件形成區(qū)域Rel的隔壁17上。
接著，形成上述對(duì)置電極19后，通過CVD法等，在絕緣性基板ll的 一面?zhèn)热珔^(qū)域，形成由氧化硅膜和/或氮化硅膜等構(gòu)成的密封層20，作為保 護(hù)絕緣膜(鈍化膜)。從而完成具有圖4、圖5A、圖5B所示的截面結(jié)構(gòu)的 顯示面板IO。再有，雖然省略了圖示，但也可以在圖4、圖5A、圖5B所 示的面板結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步以與絕緣性基板11對(duì)置的方式接合由玻璃 基板等構(gòu)成的密封蓋和/或密封基板。<發(fā)光功能層的成膜工序、制造裝置〉
接著，在上述的顯示面板的制造方法中，對(duì)有機(jī)EL層18(發(fā)光功能層) 的成膜工序以及用于實(shí)施其的制造裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。 (成膜工序、制造裝置的第一結(jié)構(gòu))
圖11A、圖11B、圖13A、圖13B是用于說明本實(shí)施方式的顯示裝置 (顯示面板)的制造方法的、第一結(jié)構(gòu)的成膜工序及制造裝置的正空穴輸送 層的成膜工序的圖。
圖12A、圖12B是示出用于實(shí)施本實(shí)施方式的顯示裝置的制造方法的 第一結(jié)構(gòu)的制造裝置的結(jié)構(gòu)的 一例的圖。
圖14A、圖14 B、圖15A、圖15B是用于說明本實(shí)施方式的顯示裝置 (顯示面板)的制造方法中的、第一結(jié)構(gòu)的成膜工序及制造裝置的電子輸送 性發(fā)光層的成膜工序的圖。在此，為了使圖示明確，對(duì)執(zhí)行了墨涂敷處理 的各條線(line)(列)畫了陰影線。
本結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL層的成膜工序，在上述的顯示面板的制造方法中如 下在露出于由隔壁17劃分的EL元件形成區(qū)域Rel上的像素電極15 (透 明電極層15b)上，首先，利用噴嘴打印成膜裝置涂敷例如聚乙烯二氧噻吩 (ethylenedioxythiophene) /聚對(duì)苯乙烯磺酸水溶液(PEDOT/PSS;把作為 導(dǎo)電性聚合體的聚乙烯二氧噻吩PEDOT和作為攙雜劑的聚對(duì)苯乙烯磺酸 PSS分散到水溶媒中的分散液)，作為含有有機(jī)高分子類的正空穴輸送材料 的有機(jī)化合物含有液。其后，進(jìn)行加熱干燥處理來除去溶媒。從而，在該 像素電極15上固定有機(jī)高分子類的正空穴輸送材料，形成具有規(guī)定膜厚的 載體輸送層即正空穴輸送層18a。
如圖11A等所示，本結(jié)構(gòu)的制造裝置包括噴嘴打印成膜裝置，具有 1個(gè)打印頭PH;以及移動(dòng)裝置，把噴嘴打印成膜裝置的打印頭PH或基板 11的某個(gè)在基板ll的列方向及行方向上移動(dòng)。并且，該制造裝置用打印頭 PH，對(duì)各列按規(guī)定順序進(jìn)行涂敷。
用于實(shí)施該第一結(jié)構(gòu)的成膜工序的制造裝置，具體而言，構(gòu)成為如圖 12A或圖12B所示。
圖12A所示的制造裝置具有載置基板11的基板臺(tái)20;能夠把該基板臺(tái)20在XY方向(XY方向是指與基板臺(tái)20的載置面平行的方向)上移 動(dòng)的臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)部21;具備一個(gè)打印頭PH的打印頭部22;以及控制部23。 此外，控制部23通過基板臺(tái)移動(dòng)控制部24，控制基板臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)部21移 動(dòng)基板臺(tái)20的移動(dòng)方向、移動(dòng)量、移動(dòng)速度等。此外，制造裝置例如具有 用于檢測(cè)設(shè)在基板11上的定位標(biāo)記的定位檢測(cè)部25，控制部23根據(jù)定位 檢測(cè)部25的檢測(cè)結(jié)果，控制基板臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)部21移動(dòng)基板臺(tái)20的移動(dòng)量 等。此外，控制部23控制從打印頭部22的打印頭PH吐出的流體的量。在 此，打印頭部22和控制部23構(gòu)成噴嘴打印成膜裝置，基板臺(tái)20、控制部 23、基板臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)部21、基板臺(tái)移動(dòng)控制部24、定位檢測(cè)部25構(gòu)成移 動(dòng)裝置。
此外，圖12B所示的制造裝置具備載置基板11的基板臺(tái)20;具備 一個(gè)打印頭PH的打印頭部22;能夠把該打印頭部22在XY方向(XY方 向是與基板臺(tái)20的載置面平行的方向)上移動(dòng)的打印頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)部26;以 及控制部23。此外，控制部23通過打印頭移動(dòng)控制部27，控制打印頭移 動(dòng)機(jī)構(gòu)部26移動(dòng)打印頭部22的移動(dòng)方向、移動(dòng)量、移動(dòng)速度等。此外， 具備與圖12 A同樣的定位檢測(cè)部25，控制部23根據(jù)定位檢測(cè)部25的檢測(cè) 結(jié)果，控制打印頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)部26移動(dòng)打印頭部22的移動(dòng)量等。在此，打 印頭部22構(gòu)成噴嘴打印成膜裝置，基板臺(tái)20、控制部23、打印頭移動(dòng)機(jī) 構(gòu)部26、打印頭移動(dòng)控制部27、定位檢測(cè)部25構(gòu)成本發(fā)明的移動(dòng)裝置。
在圖12A、圖12B中的任一個(gè)結(jié)構(gòu)中，該制造裝置夠能夠使打印頭PH 相對(duì)于基板ll相對(duì)移動(dòng)規(guī)定的位置，通過使打印頭PH吐出流體的同時(shí)移 動(dòng)，能夠在基板ll上的規(guī)定位置涂敷流體。
該制造裝置的含有正空穴輸送材料的有機(jī)化合物含有液的涂敷方法如 下從噴嘴打印成膜裝置的打印頭PH的吐出口，以液流狀吐出規(guī)定量的上 述PEDOT/PSS，利用基板臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)部21或打印頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)部26，對(duì)排 列有同一色的色像素(例如紅(R)色的色像素PXr)的列的EL元件形成 區(qū)域Rel，使該打印頭PH以規(guī)定的速度依次邊移動(dòng)(掃描)邊進(jìn)行涂敷。 此時(shí)，如上所述，隔壁17的表面被實(shí)施了疏液化處理，因此涂敷到EL元 件形成區(qū)域Rel的PEDOT/P SS的液流，即使滴在隔壁17上，也會(huì)彈起，而在實(shí)施/親液化處理的各像素電極15上則浸透擴(kuò)散。
再有，控制部23控制從打印頭PH吐出的PEDOT/PSS的流量，可以 是例如通過控制噴嘴打印成膜裝置的吐出泵的轉(zhuǎn)速(吐出量)來調(diào)整，也 可以通過改變打印頭PH的吐出口的大小(噴嘴直徑)來調(diào)整。
以下，對(duì)本結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL層的成膜工序進(jìn)行說明，在下面的說明中， 由控制部23控制構(gòu)成制造裝置的各部的動(dòng)作。
本結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL層的成膜工序，具體而言，首先，如圖11A所示， 對(duì)噴嘴打印成膜裝置的基板臺(tái)20上所載置的絕緣性基板11，使打印頭PH 沿著顯示面板10排列有例如第1列的紅(R)色的色像素PXr的第1條線 Ll,相對(duì)地沿列方向(圖1所示的顯示面板10中，圖的上下方向，在圖IIA、 圖11B的圖示中，圖的左右側(cè)向)進(jìn)行掃描，同時(shí)以第一流量液流狀地吐 出PEDOT/PSS，由此在第1條線Ll的EL元件形成區(qū)域Rel連續(xù)涂敷(以 下，簡(jiǎn)單記作"正空穴層(紅)第1掃描")。
接著，如圖11B所示，使基板臺(tái)20 (絕緣性基板11 )向與打印頭PH 的掃描方向(列方向)正交的方向(行方向；圖的上方)相對(duì)移動(dòng)3條線 (3列)。在把打印頭PH移動(dòng)到與顯示面板10的第4列紅(R)色的色像素 PXr所排列的第4條線L4對(duì)應(yīng)的位置之后，與上述正空穴層(紅)第1掃 描同樣，使打印頭PH相對(duì)地沿列方向進(jìn)行掃描，同時(shí)以第一流量液流狀地 吐出PEDOT/PSS，由此在第4條線L4的EL元件形成區(qū)域Rel連續(xù)涂敷(以 下，簡(jiǎn)單記作"正空穴層(紅)第2掃描")。
在使這樣的打印頭PH沿列方向掃描的同時(shí)涂敷PEDOT/PSS后，如圖 IIB所示，使打印頭PH沿行方向移動(dòng)規(guī)定間隔(3條線)，依次重復(fù)涂敷 PEDOT/PSS的一系列動(dòng)作，對(duì)第7條線(第7列)L7，第10條線(第10 列)LIO，第13條線(第13歹1」)L13，...的紅(R)色的色像素PXr所排列 的EL元件形成區(qū)域Rel，也涂敷PEDOT/PSS(正空穴層(紅)第3掃描 )。
接著，如圖13A所示，使基板臺(tái)20 (絕緣性基板ll)相對(duì)于打印頭PH 在行方向上相對(duì)移動(dòng)，以使打印頭PH相對(duì)于絕緣性基板11，移動(dòng)到與顯 示面板10的第2列綠(G)色的色像素PXg所排列的第2條線L2對(duì)應(yīng)的 位置。其后，使打印頭PH相對(duì)地在列方向上進(jìn)行掃描，同時(shí)以第2流量液流狀地吐出PEDOT/PSS，從而在第2條線L2的EL元件形成區(qū)域Rel連續(xù) 涂敷(以下，簡(jiǎn)單記作"正空穴層(綠)第l掃描")。
此時(shí)，在通過上述正空穴層(紅)第1掃描來涂敷在顯示面板10 (絕 緣性基板11 )的第一條線(第1歹U) Ll的EL元件形成區(qū)域Rel的PEDOT / PSS，通過把載置于絕緣性基板11上的基板臺(tái)20加熱控制到規(guī)定的溫度， 在執(zhí)行上述的正空穴層(紅)第2掃描以后的涂敷動(dòng)作的時(shí)間內(nèi)，充分進(jìn) 行加熱干燥，從而在包括像素電極15 (透明電極層15b)之上的紅(R)色 的色像素PXr的EL元件形成區(qū)域Rel內(nèi)，形成正空穴輸送材料固定成薄 膜狀的正空穴輸送層18a。在此，在把上述打印頭PH的掃描速度(涂敷速 度)和/或基板臺(tái)20的加熱溫度等各條件設(shè)定為特定的固定值，只把 PEDOT/PSS的流量設(shè)定為任意的情況下，依據(jù)從打印頭PH吐出的 PEDOT/PSS的流量(第一流量；對(duì)應(yīng)于涂敷量)，來決定紅(R)色的色像 素PXr的像素電極15 (透明電極層15b)上所形成的正空穴輸送層18a的 膜厚，例如形成數(shù)十nm級(jí)(order)的膜厚。
接著，與上述的正空穴層(紅)第2掃描同樣，使基板臺(tái)20 (絕緣性 基板11)在與打印頭PH的掃描方向(列方向)正交的方向(行方向)上 相對(duì)移動(dòng)3條線(3列)。此外，在使打印頭PH移動(dòng)到與顯示面板10的第 5列的綠(G)色的色像素PXg所排列的第5條線L5對(duì)應(yīng)的位置之后，與 上述正空穴層(綠)第1掃描同樣，使打印頭PH相對(duì)地在列方向上進(jìn)行掃 描，同時(shí)以上述第2流量液流狀地吐出PEDOT/PSS，來在第5條線L5的 EL元件形成區(qū)域Rel連續(xù)涂敷(以下，簡(jiǎn)單記作"正空穴層(綠)第2掃 描")。
以下，與上述的正空穴層(紅)第3掃描以后的動(dòng)作同樣，使打印頭 PH沿列方向掃描的同時(shí)涂敷PEDOT/PSS。其后，使打印頭PH在行方向上 移動(dòng)規(guī)定的間隔(3條線)，依次重復(fù)涂敷PEDOT/PSS的一系列動(dòng)作，在 第8條線(第8列)L8，第ll條線的(第ll列)Lll，第14條線的(第 14歹lj)L14，...的綠(G)色的色像素PXg所排列的EL元件形成區(qū)域Rel， 也涂敷PEDOT/PSS (正空穴層(綠)第3掃描 )。
并且，如圖13B所示，對(duì)藍(lán)(B)色的色像素PXb所排列的各條線，即，第3條線(第3列)L3、第6條線(第6列)L6、第9條線(第9歹U) L 9、...，也與上述的紅(R)、綠(G)色的色像素PXr、 PXg所排列的EL 元件形成區(qū)域Rd同様，使打印頭PH在列方向上掃描的同時(shí)以第3流量液 流狀地吐出并涂敷PEDOT/PSS。其后，使打印頭PH在行方向上移動(dòng)規(guī)定 的間隔(3條線)，依次重復(fù)涂敷PEDOT/PSS的一系列動(dòng)作，在藍(lán)(B)色 的色像素PXb所排列的EL元件形成區(qū)域Rel也涂敷PEDOT/PSS (正空穴 層(藍(lán))第1掃描 )。
從而，在綠(G)色的色像素PXg及藍(lán)(B)色的色像素PXb所排列 的各EL元件形成區(qū)域Rel上所露出的像素電極15 (透明電極層15b)上， 按照從打印頭PH吐出的PEDOT/PSS的流量，艮卩，第2流量及第3的流量， 形成具有規(guī)定膜厚的正空穴輸送層18a。在此，形成于綠(G)色的色像素 PXg及藍(lán)(B)色的色像素PXb的像素電極15上的正空穴輸送層18a，均形 成為例如數(shù)十 100nm左右的膜厚。
接著，按各色像素PXr、 PXg、 PXb，在形成有正空穴輸送層18a的EL 元件形成區(qū)域Rel，在上述正空穴輸送層18a上，涂敷例如把含有聚對(duì)苯乙 炔(Poly(p-Phenylene Vinylene), PPV)類和/或苑類等的共軛二重鍵聚合體 的對(duì)應(yīng)于紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)的各發(fā)光色的發(fā)光材料溶解在萘滿、 四甲基苯(tetramethylbenzene)、莢(三甲苯)、二甲苯等的有機(jī)溶媒或水中 的溶液(以下，記作"發(fā)光材料溶液")，作為含有有機(jī)高分子類的電子輸 送性發(fā)光材料的有機(jī)化合物含有液。其后，通過進(jìn)行加熱干燥處理來除去 溶媒，在上述正空穴輸送層18a上固定有機(jī)高分子類的電子輸送性發(fā)光材 料，形成既是載體輸送層又是發(fā)光層的電子輸送性發(fā)光層18b。
在此，含有電子輸送性發(fā)光材料的有機(jī)化合物含有液的涂敷方法如下 與上述的形成正空穴輸送層18a時(shí)的PEDOT/PSS (含有正空穴輸送材料的 有機(jī)化合物含有液)的涂敷方法同樣，從噴嘴打印成膜裝置的打印頭的吐 出'口液流狀地吐出對(duì)應(yīng)于各發(fā)光色的發(fā)光材料溶液，對(duì)同一色的色像素(例 如紅(R)色的色像素PXr)所排列的列的EL元件形成區(qū)域Rel，依次掃 描該打印頭的同時(shí)進(jìn)行涂敷。此時(shí)，如上所述，隔壁17的表面被實(shí)施了疏 液化處理，所以涂敷到EL元件形成區(qū)域Rel上的發(fā)光材料溶液的液流被滴到隔壁17上的情況下也會(huì)彈起，而在具有親液性的上述正空穴輸送層18a
上則滲透擴(kuò)散。
具體而言，如圖14A所示，首先，對(duì)在噴嘴打印成膜裝置的基板臺(tái)20 上所載置的絕緣性基板11，在使吐出與紅(R)色的發(fā)光色對(duì)應(yīng)的發(fā)光材料 溶液的打印頭PEr，沿著表示面板10的第1列紅(R)色的色像素PXr所 排列的第1條線L1，相對(duì)地在列方向(圖的左右側(cè)向)上進(jìn)行掃描的同時(shí) 以規(guī)定的流量液流狀地吐出發(fā)光材料溶液，在第1條線Ll的EL元件形成 區(qū)域Rel連續(xù)涂敷(以下，簡(jiǎn)單記作"發(fā)光層(紅)第l掃描")。
接著，使基板臺(tái)20 (絕緣性基板ll)在與打印頭PEr的掃描方向(列 方向)正交的方向(行方向；圖的上方)上，相對(duì)地移動(dòng)3條線(3列)。 在使打印頭PEr移動(dòng)到顯示面板10的第4列紅(R)色的色像素PXr所排 列的第4條線L4對(duì)應(yīng)的位置之后，與上述發(fā)光層(紅)第1掃描同樣，使 打印頭PEr相對(duì)地在列方向上進(jìn)行掃描，同時(shí)以上述規(guī)定的流量液流狀地 吐出發(fā)光材料溶液，在第4條線的L4的E L元件形成區(qū)域Rel連續(xù)涂敷 (發(fā)光層(紅)第2掃描)。
之后，同樣如圖14B所示，使打印頭PEr沿著表示面板10的第7、 10、 13...列的線進(jìn)行掃描，同時(shí)在該各條線的EL元件形成區(qū)域Rel依次涂敷發(fā) 光材料溶液(發(fā)光層(紅)第3掃描 )。即，在成為同色的每隔3條線的 EL元件形成區(qū)域Rel，涂敷發(fā)光材料溶液。
接著，如圖15A所示，使打印頭PEg相對(duì)于絕緣性基板ll，移動(dòng)到與 顯示面板10的第2列的綠(G)色的色像素PXg所排列的第2條線L2對(duì) 應(yīng)的位置。其后，與上述的發(fā)光層(紅)第1掃描之后的動(dòng)作同樣，使打 印頭PEg在列方向上掃描的同時(shí)涂敷發(fā)光材料溶液。其后，使打印頭PEg 在行方向上移動(dòng)規(guī)定的間隔(3條線)，依次重復(fù)涂敷發(fā)光材料溶液的一系 列動(dòng)作，對(duì)第2條線(第2列)L2、第5條線(第5列)L5、第8條線 (第8列)L S,...的綠(G)色的色像素PXg所排列的E L元件形成區(qū)域Rel，
依次涂敷發(fā)光材料溶液(發(fā)光層(綠)第1掃描 )。
并且，如圖15B所示，對(duì)顯示面板10的藍(lán)(B)色的色像素PXb排列的 第3條線(第3列)L3、第6條線(第6列)L6、第9條線(第9列)L9、...的EL元件形成區(qū)域Rel，也與上述的發(fā)光層(紅)第l掃描之后的 動(dòng)作同樣，使打印頭PEb在列方向上掃描的同時(shí)涂敷發(fā)光材料溶液。其后， 使打印頭PEb在行方向上移動(dòng)規(guī)定的間隔(3條線)，依次重復(fù)涂敷發(fā)光材 料溶液的一系列動(dòng)作。
從而，在紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)色的各色像素PXr、 PXg、 PXb所 排列的各EL元件形成區(qū)域Rel的正空穴輸送層18a上，形成具有規(guī)定的膜 厚的電子輸送性發(fā)光層18b。在此，形成在各色的色像素PXr、 PXg、 PXb 上的電子輸送性發(fā)光層18b，均形成為例如數(shù)十 100nm左右的膜厚。
因此，通過這樣的有機(jī)EL層的成膜工序，如圖4、圖5A、圖5 B 、 圖9所示，在顯示面板10的各色像素PXr、 PXg、 PXb所排列的EL元件 形成區(qū)域Rel上，形成有機(jī)EL層18，該有機(jī)EL層18至少包括正空穴輸 送層18a和電子輸送性發(fā)光層18b，該正空穴輸送層18a針對(duì)紅(R)、綠(G)、 藍(lán)(B)的各色具有不同的膜厚，該電子輸送性發(fā)光層18b具有與紅(R)、 綠(G)、藍(lán)(B)的各發(fā)光色對(duì)應(yīng)的規(guī)定的膜厚。
〔成膜工序，制造裝置的第二結(jié)構(gòu))
圖16A、圖16B是用于說明本實(shí)施方式的顯示裝置的制造方法的、第 2結(jié)構(gòu)的成膜工序及制造裝置的正空穴輸送層的成膜工序的圖。
圖17A、圖17B是示出用于實(shí)施本實(shí)施方式的顯示裝置的制造方法的 第二結(jié)構(gòu)的制造裝置的結(jié)構(gòu)的 一例的圖。
在上述的成膜工序及制造裝置的第一結(jié)構(gòu)中，噴嘴打印成膜裝置具有 一個(gè)打印頭PH，根據(jù)基板ll的RGB各色的排列，使打印頭PH每次移動(dòng) 3條線(列)，顯示面板10的每隔3條線進(jìn)行涂敷。相對(duì)于此，第2結(jié)構(gòu) 的成膜工序及制造裝置的不同點(diǎn)在于，噴嘴打印成膜裝置具有2個(gè)或2個(gè) 以上的多個(gè)打印頭PH，對(duì)排列有相同色的色像素的多個(gè)條線(列)同時(shí)進(jìn) 行涂敷。
如圖16A所示，在本結(jié)構(gòu)的制造裝置中，噴嘴打印成膜裝置例如具有 兩個(gè)打印頭PH，該兩個(gè)打印頭PH與顯示面板10的每隔2條線(列)的2 條線(列)對(duì)應(yīng)地設(shè)置。從而，能夠?qū)︼@示面板10的排列相同顏色的色像 素的2條線(列)同時(shí)進(jìn)行涂敷。該第2結(jié)構(gòu)的成膜工序用于實(shí)施制造裝置，具體而言，例如構(gòu)成為圖
17A或圖17B所示。
圖17A、圖17B所示的結(jié)構(gòu)相對(duì)于上述圖12A、圖12B所示的結(jié)構(gòu)， 不同點(diǎn)在于，打印頭部22具有2個(gè)打印頭PH，控制部23控制從各打印頭 PH吐出的流體的量。其他結(jié)構(gòu)與上述圖12A、圖12B所示的結(jié)構(gòu)相同，因 此省略其說明。
該制造裝置在圖17A、圖17B中的任一結(jié)構(gòu)中，均能夠使兩個(gè)打印頭 PH相對(duì)于基板11相對(duì)地移動(dòng)到規(guī)定的位置，通過從兩個(gè)打印頭PH吐出流 體的同時(shí)移動(dòng)，由此能夠在基板11上的規(guī)定的兩個(gè)位置同時(shí)涂敷流體。
再有，在圖16A、圖16B、圖17A、圖17B中，噴嘴打印成膜裝置的 打印頭部22具有兩個(gè)打印頭PH，但本發(fā)明不限定于此，打印頭部22具有 多于2個(gè)的多個(gè)打印頭PH，能夠?qū)εc打印頭部22的打印頭PH的個(gè)數(shù)相同 的個(gè)數(shù)的多條線(列)同時(shí)進(jìn)行涂敷。
以下，對(duì)本結(jié)構(gòu)的噴嘴打印成膜裝置結(jié)構(gòu)的有機(jī)化合物含有液的涂敷 方法進(jìn)行了說明，由控制部23對(duì)構(gòu)成制造裝置的各部的動(dòng)作進(jìn)行控制。
本結(jié)構(gòu)的噴嘴打印成膜裝置結(jié)構(gòu)的有機(jī)化合物含有液的涂敷方法如 下首先，如圖16A、圖16B所示，使兩個(gè)打印頭PH相對(duì)于噴嘴打印成 膜裝置的基板臺(tái)20上所載置的絕緣性基板11，沿著顯示面板10的例如紅 (R)色的色像素PXr所排列的第1條線Ll和第4條線L4，相對(duì)地在列方 向上進(jìn)行掃描，同時(shí)以第一流量液流狀地吐出PEDOT/PSS，從而對(duì)第l條 線Ll及第4條線L4的EL元件形成區(qū)域Rel同時(shí)連續(xù)進(jìn)行涂敷(第1掃 描)。
接著，如圖16B所示，使基板臺(tái)20 (絕緣性基板11 )在與打印頭PH 的掃描方向(列方向)正交的方向(行方向；圖的上方)上相對(duì)地移動(dòng)3 條線(3列)。從而使兩個(gè)打印頭PH移動(dòng)到與顯示面板IO的紅(R)色的 色像素PXr所排列的第7條線L7及第10條線LI0對(duì)應(yīng)的位置。其后，與 上述第1掃描同樣，使兩個(gè)打印頭PH相對(duì)地在列方向上進(jìn)行掃描的同時(shí)以 上述第1流量液流狀地吐出PEDOT/PSS，從而在顯示面板10的第7條線 L7及第10條線L10的EL元件形成區(qū)域Rel同時(shí)連續(xù)進(jìn)行涂敷(第2掃描)。重復(fù)這樣的一系列動(dòng)作，在顯示面板10的紅(R)色的色像素PXr所 排列的各列的E L元件形成區(qū)域Rel涂敷PEDOT/PSS。
以下，與上述第1掃描及第2掃描同樣，使各打印頭PH對(duì)顯示面板 10的綠(G)色的色像素PXg所排列的各條線(列)進(jìn)行掃描，從各打印 頭PH以第2流量液流狀地吐出PEDOT/PSS，從而在E L元件形成區(qū)域Rel 連續(xù)進(jìn)行涂敷。接著，使各打印頭PH對(duì)顯示面板10的藍(lán)(B)色的色像 素PXb所排列的各條線(列)進(jìn)行掃描，從各打印頭PH以第3的流量液 流狀地吐出PEDOT/PSS，以對(duì)E L元件形成區(qū)域Rel連續(xù)進(jìn)行涂敷。
接著，與上述圖14A、圖14B及圖15A、圖15B同樣，通過各打印頭 PH，對(duì)顯示面板10的各色像素PXr、 PXg、 PXb所排列的各列的正空穴輸 送層18a所形成的E L元件形成區(qū)域Rel ，涂敷含有對(duì)應(yīng)的色的電子輸送性 發(fā)光材料的有機(jī)化合物含有液。
從而，與上述第1實(shí)施方式的成膜工序的情況同樣，在顯示面板10的 各色像素PXr、 PXg、 PXb所排列的EL元件形成區(qū)域Rel，形成有機(jī)EL 層18，該有機(jī)EL層18至少包括正空穴輸送層18a和電子輸送性發(fā)光層18b， 該正空穴輸送層18a針對(duì)紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)的各色具有不同的膜 厚，該電子輸送性發(fā)光層18b具有與紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)的各發(fā)光 色對(duì)應(yīng)的規(guī)定的膜厚。
在本實(shí)施方式中，噴嘴打印成膜裝置具有多個(gè)打印頭PH，能夠?qū)︼@示 面板10的相同顏色的多條線(列)同時(shí)進(jìn)行涂敷，從而相對(duì)于具有l(wèi)個(gè)打 印頭PH的第1實(shí)施方式的情況，能夠縮短對(duì)顯示面板10的所有行進(jìn)行涂 敷所需的時(shí)間。
<制造方怯的檢驗(yàn)>
在此，示出實(shí)驗(yàn)結(jié)果來詳細(xì)說明上述的成膜工序的作用效果。 圖18A、圖18 B是示出本實(shí)施方式的顯示裝置的制造方法(有機(jī)EL 層的成膜工序)的作用效果的檢驗(yàn)結(jié)果的示意圖。
在此，圖18A是對(duì)面板基板涂敷墨的方法的概略平面圖。圖18B是表 示圖18A所示的平面圖的沿XVB -XVB線及XVC -XVC線(作為與本說明 書中圖18A/圖18B所示的羅馬數(shù)字的"15"對(duì)應(yīng)的記號(hào)，簡(jiǎn)單記作"XV")的截面的概略截面形狀圖。此外，在圖18A中，為了使圖示明確，對(duì)執(zhí)行
有機(jī)化合物含有液的涂敷處理的線(line)畫了陰影線。
在此，作為與上述的實(shí)施方式所示的顯示裝置(顯示面板)對(duì)應(yīng)的實(shí) 驗(yàn)?zāi)Ｐ?，如圖18A所示，在噴嘴打印成膜裝置的基板臺(tái)STG上載置并固定 的面板基板PSB (與上述絕緣性基板11對(duì)應(yīng))的一面?zhèn)?，設(shè)定了各色的 EL元件形成區(qū)域Rel，當(dāng)對(duì)在包含該各色的EL元件形成區(qū)域Rel的線(列) 中相互鄰接的線(line)，例如從圖的上側(cè)的線開始向圖的下方連續(xù)依次執(zhí) 行高分子類的有機(jī)化合物含有液(對(duì)應(yīng)于上述PEDOT / PSS和/或發(fā)光材料 溶液)的涂敷處理的情況(圖中EX1)下，以及僅對(duì)特定的1條線進(jìn)行上 述有機(jī)化合物含有液的涂敷處理，對(duì)鄰接的線不進(jìn)行涂敷處理的情況(圖 中EX2)下，對(duì)所形成的膜厚及膜截面的形狀(輪廓)進(jìn)行檢驗(yàn)。
此外，作為實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｐ停捎迷O(shè)像素密度為80 ppi (pixels per inch)，要涂 敷上述有機(jī)化合物含有液的線數(shù)為420條，線間間距為318 " m的顯示面板， 對(duì)加熱到4(TC的基板臺(tái)STG上所載置的面板基板PSB，采用上述的成膜工 序所示的涂敷方法涂敷有機(jī)化合物含有液，對(duì)該情況進(jìn)行了檢驗(yàn)。
在前者的涂敷處理(EX1)中，在各條線的EL元件形成區(qū)域Rd上成 膜的有機(jī)膜(對(duì)應(yīng)于上述正空穴輸送層18a或電子輸送性發(fā)光層18b)的膜 厚及膜截面的形狀，如圖18B中用點(diǎn)線表示XVB-XVB截面那樣，在未圖 示的圖18B所示的線的左側(cè)線涂敷有機(jī)化合物含有液后，對(duì)圖18B所示的 線連續(xù)涂敷有機(jī)化合物含有液，由此，使被先涂敷的線的有機(jī)化合物含有 液和之后被涂敷的線的有機(jī)化合物含有液干燥所需的時(shí)間不同，由此所產(chǎn) 生的鄰接的線方向(圖18B的左方向)上的局部溶媒氛圍的不均勻性對(duì)有 機(jī)化合物含有液的干燥特性造成影響，有機(jī)化合物含有液的堆積物的鄰接 的線方向上的膜厚不均一。即，在被先涂敷的線側(cè)的隔壁側(cè)(圖18B的左 方側(cè))，膜表面向壁面爬起較高，在另一隔壁側(cè)(同圖右側(cè))向壁面的被抑 制為較小，從而能夠確認(rèn)膜截面的形狀偏斜較大的現(xiàn)象。
相對(duì)于此，后者的涂敷處理(EX2)的有機(jī)膜的膜厚及膜截面的形狀， 如圖18B中用實(shí)線示出的XVC-XVC截面，在對(duì)特定的線涂敷有機(jī)化合物 含有液后，不對(duì)鄰接的線進(jìn)行涂敷處理。因此，消除了對(duì)有機(jī)化合物含有液的干燥特性的影響，使上述特定的線上所涂敷的有機(jī)化合物含有液充分 乾操，以使膜厚成為大體均勻，并且能夠使膜截面的形狀大體均等。
艮口，把制造條件設(shè)定為如下使特定的條線(列)和在對(duì)該線涂敷處 理有機(jī)化合物含有液之后接著執(zhí)行涂敷處理的線之間，具有不影響有機(jī)化 合物含有液的干燥特性的程度的隔開距離，并且，在對(duì)與特定的線鄰接的 線進(jìn)行涂敷處理時(shí)，已經(jīng)經(jīng)過了使得涂敷在上述特定的線上的有機(jī)化合物 含有液充分干燥的程度的時(shí)間。由此，能夠提高形成在顯示像素的EL元件
區(qū)域Rel的有機(jī)膜(正空穴輸送層18a和電子輸送性發(fā)光層18b)的膜厚和 /或膜截面形狀的均勻性。
特別是，通過采用這樣的制造方法，在涂敷高分子類的有機(jī)化合物含 有液來形成了有機(jī)EL層18的有機(jī)EL元件OLED的顯示裝置(顯示面板) 中，能夠把RGB的各色的正空穴輸送層18a形成為具有均勻的膜厚和良好 的平坦性，并且通過控制涂敷量，能夠正確控制其膜厚來設(shè)定為所希望的 值。
再有，上述的實(shí)施方式所示的制造方法(有機(jī)EL層的成膜工序)中， 說明了如下的情況根據(jù)RGB各色的排列，每隔3條線(列)涂敷PEDOT /PSS和/或發(fā)光材料溶液等的有機(jī)化合物含有液。但是，本發(fā)明不限定于 此，也可以根據(jù)所涂敷的有機(jī)化合物含有液的容易干燥的程度和/或上述成 膜工序中的面板基板的溫度等制造條件，在成為3的整數(shù)倍的任意的線(例 如每6條線和/或每12條線)上涂敷上述有機(jī)化合物含有液。
此外，在上述的成膜工序中，說明了根據(jù)從打印頭吐出的有機(jī)化合物 含有液(PEDOT/PSS和/或發(fā)光材料溶液)的流量來調(diào)整(控制)正空穴輸 送層和/或電子輸送性發(fā)光層的膜厚的情況，但本發(fā)明并不限定于此。
例如，也可以通過在上述流量一定的狀態(tài)下，改變打印頭的掃描速度 (相對(duì)于基板臺(tái)STG的相對(duì)移動(dòng)速度，對(duì)應(yīng)于涂敷速度)來調(diào)整膜厚。
也可以通過設(shè)定上述流量和掃描速度的雙方來調(diào)整膜厚。
此外，也可以把例如上述流量和/或掃描速度設(shè)定為一定，改變對(duì)各條 線涂敷的次數(shù)(打印頭的掃描次數(shù))(即，2次涂敷，3次涂敷等)來調(diào)整 膜厚。此外，也可以組合這些來使用。 <顯示裝置的檢驗(yàn)〉
接著，示出實(shí)驗(yàn)結(jié)果來檢驗(yàn)使用上述制造方法制造的顯示裝置(顯示 面板)的作用效果。
圖19A、圖19B是示出本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)上所形成
的有機(jī)EL元件的元件結(jié)構(gòu)的一例(實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｐ?的模式圖，和用于說明干涉 効果的圖。在此，作為實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｐ褪境隽税l(fā)出藍(lán)色光的有機(jī)EL元件的元件結(jié) 構(gòu)。
圖20A、圖20B、圖21A、圖21B是示出本實(shí)施方式的顯示裝置(顯 示面板)上所形成的發(fā)出藍(lán)色光的有機(jī)EL元件的、正空穴輸送層的膜厚和 色度和的關(guān)系的色度圖。
在此，關(guān)于改變正空穴輸送層的膜厚時(shí)的色度，示出了實(shí)際制造具有 圖19A所示的元件結(jié)構(gòu)的齋機(jī)EL元件來觀測(cè)的結(jié)果(觀測(cè)結(jié)果；圖中用 黑圈表示)，以及基于該元件結(jié)構(gòu)的各種參數(shù)的模擬實(shí)驗(yàn)的結(jié)果(模擬結(jié)果； 圖中用白圈表示)的雙方。
此外，圖22A、圖22B是示出本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)上 所形成的發(fā)出綠色光以及紅色光的有機(jī)EL元件的、正空穴輸送層的膜厚和 色度和的關(guān)系的色度圖。
圖23A是本實(shí)施方式的顯示裝置(顯示面板)上所形成的有機(jī)EL元 件的、正空穴輸送層的膜厚和發(fā)光色度之間的關(guān)系的色度圖。
在此，關(guān)于改變正空穴輸送層的膜厚時(shí)的色度，示出了基于圖19A所 示的有機(jī)EL元件的元件結(jié)構(gòu)的各種參數(shù)的模擬試驗(yàn)結(jié)果(模擬結(jié)果)。
在上述的實(shí)施方式的顯示裝置的作用效果的檢驗(yàn)中，作為實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｐ停?采用了具有如下元件結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL元件OLED，如圖19A所示，在由氮化 膜構(gòu)成的平坦化膜14上，依次層疊了像素電極15，包括由鋁(Al)及 銀(Ag)構(gòu)成的反射層15a，以及由被覆該反射層15a的ITO構(gòu)成的透明 電極層15b;涂敷PEDOT/PSS來形成的正空穴輸送層18a;具有電子阻擋 性的夾層18c;涂敷與藍(lán)色發(fā)光對(duì)應(yīng)的發(fā)光材料溶液來形成的發(fā)光層(或電 子輸送性發(fā)光層)18b;由鈣(Ca)的薄膜構(gòu)成的電子注入層19a;由ITO構(gòu)成的透明電極層19b;由氮化硅膜構(gòu)成的密封膜(鈍化膜)20。并且，對(duì)
發(fā)光動(dòng)作時(shí)射出的光的色度進(jìn)行了觀測(cè)。
在此，大體上通過以下的制造工序制作圖19A所示的實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｐ汀?首先，在省略圖示的絕緣性基板(絕緣性基板11)上形成由硅氮化膜
構(gòu)成的平坦化膜14，在其上面形成鋁(Al)薄膜后，對(duì)該鋁薄膜的表面進(jìn) 行氧(〇2)等離子洗凈，在其上真空蒸鍍100nm的膜厚的銀(Ag)。從而 形成表面具有銀金屬光澤(即反光特性)的反射層15a。
接著，在上述反射層15a上，通過對(duì)置目標(biāo)濺射法，形成25nm的膜厚 的ITO膜，來形成被覆反射層15a的表面的透明導(dǎo)電層15b。
接著，在對(duì)上述透明電極層15b的表面實(shí)施UV臭氧洗凈來使其親液 化之后，通過旋涂法涂敷PEDOT/PSS，并使其干燥，形成膜厚按各色不同 的正空穴輸送層18a的膜。
再有，在上述的實(shí)施方式中，在絕緣性基板ll的一面?zhèn)仍O(shè)定有多個(gè)涂 敷線(對(duì)應(yīng)于由被隔壁17包圍的多個(gè)EL元件形成區(qū)域Rel構(gòu)成的區(qū)域) 的情況下，如上所述，由噴嘴打印成膜裝置把有機(jī)化合物含有液連續(xù)以液 流狀進(jìn)行涂敷，從而形成正空穴輸送層18a的膜。但是，在此示出如下的 情況作為實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｐ?，通過旋涂法涂敷PEDOT/PSS，按各色形成具有任意 的膜厚的正空穴輸送層18a的膜。
具體而言，在圖19A所示的有機(jī)EL元件OLED中，把用于形成25nm 膜厚的正空穴輸送層18a的成膜條件設(shè)定為，PEDOT/PSS的固體含量為1.4 %，基板轉(zhuǎn)速800rpm下5sec，以及轉(zhuǎn)速4500rpm下20sec。此外，把用于 形成膜厚50nm的正空穴輸送層18a的成膜條件設(shè)定為，PEDOT/PSS的固 體含量為1. 4%，基板轉(zhuǎn)速800rpm下5sec，以及轉(zhuǎn)速2000rpm下20sec。 此外，把用于形成膜厚90nm的正空穴輸送層18a的成膜條件設(shè)定為， PEDOT/PSS的固體含量為2.8%，基板轉(zhuǎn)速800rpm下5sec ，以及轉(zhuǎn)速 3000rpm下20sec。此外，用于形成膜厚110nm的正空穴輸送層18a的成膜 條件設(shè)定為，PEDOT/PSS的固體含量為2. 8%，基板的轉(zhuǎn)速為800rpm 下5sec ,并且轉(zhuǎn)速2000rpm下20sec。
接著，通過旋涂法，把濃度0.5wt^的二甲苯溶液滴在正空穴輸送層18a上，并在轉(zhuǎn)速800rpm下5sec，以及轉(zhuǎn)速2000rpm下20sec的成膜條件下， 成膜膜厚10nm的夾層18c。
接著，通過旋涂法，把濃度LOwt^的二甲苯溶液滴在夾層18c上，并 在轉(zhuǎn)速800rpm下5sec的成膜條件，以及轉(zhuǎn)速2000rpm下20sec的成膜條 件下，成膜膜厚70nm的藍(lán)色發(fā)光層(或電子輸送性發(fā)光層)18b。
接著，通過真空蒸鍍法，在上述藍(lán)色發(fā)光層18b上，成膜15nm膜厚的 鈣(Ca)來形成電子注入層19a后，通過對(duì)置目標(biāo)濺射(対向夕一^:y卜7 八。:y夕)法，成膜50nm膜厚的ITO來形成透明電極層19b。
此外，通過對(duì)置目標(biāo)濺射法，成膜600nm膜厚的氮化硅來形成密封層 20，作為鈍化膜。
研究具有如上所述的膜厚的各層層疊的有機(jī)EL元件發(fā)光時(shí)的色度特 性(色度坐標(biāo))。在把正空穴輸送層18a的膜厚設(shè)為25nm的情況下，如圖20A所示， 觀測(cè)結(jié)果的C正(Commission International de 1 'Eclairage ;國際照明委員會(huì)) xy色度坐標(biāo)為CIE (0.207,0.38)，模擬結(jié)果的CIExy色度坐標(biāo)為 CIE(0.163,0.392)。
此外，在把正空穴輸送層18a的膜厚設(shè)為50nm的情況下，如圖20B 所示，觀測(cè)結(jié)果的CIExy色度坐標(biāo)為C正(0.230,0.452)，模擬結(jié)果的C正xy 色度坐標(biāo)為CIE (0.186,0.474)。
艮口，判明了在把正空穴輸送層18a的膜厚設(shè)為25nm、 50nm的任一種 情況下，發(fā)光色度從藍(lán)(B)色的色度區(qū)域偏離均較大，不能進(jìn)行良好的藍(lán) 色發(fā)光。
此外，在把正空穴輸送層18a的膜厚設(shè)為90nm的情況下，如圖21A 所示，觀測(cè)結(jié)果的C正xy色度坐標(biāo)為CIE(0.145, 0.085)，模擬結(jié)果的CIExy 色度坐標(biāo)為CIE (0.133,0.083)。
此外，在把正空穴輸送層18a的膜厚設(shè)為110nm的情況下，如圖21 B 所示，觀測(cè)結(jié)果的C正xy色度坐標(biāo)為CIE(0.138,0.101)，模擬結(jié)果的CIExy 色度坐標(biāo)為CIE (0.128,0.103)。
艮卩，判明了在把正空穴輸送層lSa的膜厚設(shè)定為90nm、 110nm的任何一種情況下，在藍(lán)(B)色的色度區(qū)域內(nèi)的表示鮮明的藍(lán)色的坐標(biāo)上能夠進(jìn) 行良好的藍(lán)色發(fā)光。
這樣的基于正空穴輸送層18a的膜厚的發(fā)光色度的變化，是在圖19A 所示的元件結(jié)構(gòu)中，基于圖19B所示的光RY1和光RY2的光路差(光學(xué)長 度不同)所引起的干渉効果來發(fā)生的。在此，光RY1是不通過正空穴輸送 層18a而射出的光，是在藍(lán)色發(fā)光層(電子輸送性發(fā)光層)18b內(nèi)的發(fā)光點(diǎn) 發(fā)光，并透過由在厚度方向上透明的電子注入層19a及透明電極層19b構(gòu) 成的對(duì)置電極19，直接射出到視場(chǎng)側(cè)(圖的上方)。此外，光RY2是透過 改變膜厚的正空穴輸送層18a而射出的光，是在發(fā)光點(diǎn)上方的對(duì)置電極19 表面，密封層20表面，發(fā)光點(diǎn)下方的像素電極15的透明電極層15b表面， 以及反射層15a表面反復(fù)反射之(多重反射)后，射出到視場(chǎng)側(cè)(圖的上 方)的光。因此，通過適當(dāng)調(diào)整正空穴輸送層18a的膜厚，能夠在CIE色 度圖上設(shè)定最佳的發(fā)光色度。
此外，如圖20A、圖20B、圖21A、圖21 B所示，判明了在使正空穴 輸送層18a的膜厚在25 110誰的范圍內(nèi)變化的情況下的CIExy色度坐標(biāo)， 其實(shí)際制造有機(jī)EL元件的情況下的觀測(cè)結(jié)果和基于該有機(jī)EL元件的各種 參數(shù)的模擬結(jié)果極為接近。據(jù)此判明了，根據(jù)有機(jī)EL元件的各種參數(shù)，能 夠以較高的精度確定發(fā)光時(shí)的色度特性(色度坐標(biāo))。
以下，關(guān)于發(fā)出綠色光及紅色光的有機(jī)EL元件發(fā)光時(shí)的色度特性(色 度坐標(biāo))，僅以基于各種參數(shù)的模擬結(jié)果為例進(jìn)行說明。在此，與上述的發(fā) 出藍(lán)色光的有機(jī)EL元件的情況同樣，設(shè)為具有如圖19A所示的元件結(jié)構(gòu)。
對(duì)發(fā)出綠色光的有機(jī)EL元件研究其發(fā)光時(shí)的色度特性(模擬結(jié)果)， 則如圖2 2 A所示，在把正空穴輸送層18a的膜厚設(shè)為25nm時(shí)，CIExy色 度坐標(biāo)為CIE(0.439,0.551)，在把膜厚設(shè)為110nm時(shí)，則為C正(0.241,0.711 )。
此外，如圖22B所示，研究發(fā)出紅色光的有機(jī)EL元件發(fā)光時(shí)的色度 特性(模擬結(jié)果)，則在把正空穴輸送層18a的膜厚設(shè)定為25nm的情況下， C正xy色度坐標(biāo)為C正(0.688, 0.310)，在把膜厚設(shè)為110nm時(shí)，則為 CIE(0.426， 0.288)。
這樣，判明了在發(fā)出綠色光及紅色光的有機(jī)EL元件中，與上述的發(fā)出藍(lán)色光的有機(jī)EL元件的情況同樣，發(fā)光色度根據(jù)正空穴輸送層18a的膜厚
而發(fā)生變化。
據(jù)此，在具有上述圖19A所示的元件結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL元件中，通過適 當(dāng)調(diào)整正空穴輸送層18a的膜厚，如圖23所示，能夠在C正色度圖上設(shè)定 藍(lán)色光、綠色光以及紅色光的最佳發(fā)光色度。
具體而言，作為正空穴輸送層18a的膜厚的一例，在發(fā)出藍(lán)色光的有 機(jī)EL元件中，通過設(shè)定為90nm，能夠把色度坐標(biāo)設(shè)定為CIE (0.133,0.083)。 在發(fā)出綠色光的有機(jī)EL元件中，通過設(shè)定為95nm，能夠把色度坐標(biāo)設(shè)定 為CIE(0.179, 0.744)。在發(fā)出紅色光的有機(jī)EL元件中，通過設(shè)定為15nm， 能夠把色度坐標(biāo)設(shè)定為CIE(0.691, 0.307)。據(jù)此判明了，分別在表示藍(lán)(B) 色、綠(G)色以及紅(R)色的各色度區(qū)域內(nèi)的鮮明的發(fā)光色的坐標(biāo)，能夠 良好地進(jìn)行藍(lán)色發(fā)光、綠色發(fā)光以及紅色發(fā)光。
這樣，根據(jù)本實(shí)施方式的顯示裝置及其制造方法，能夠把正空穴輸送 層按各發(fā)光色設(shè)定為任意的膜厚，并且，把該正空穴輸送層形成為以均勻 的膜厚具有良好的平坦性，因此，能夠?qū)陌l(fā)光點(diǎn)射出的光的光學(xué)波長按 各發(fā)光色調(diào)整為最佳，抑制基于干涉作用的色度偏差或發(fā)光亮度的不均勻， 能夠簡(jiǎn)單地調(diào)整發(fā)光色的色度調(diào)節(jié)或/和發(fā)光強(qiáng)度。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)沒有像 素污點(diǎn)或模糊的顯示特性優(yōu)良的顯示裝置。
此外，如圖19A、 B-圖22A、 B所示，通過改變用于形成有機(jī)E L層 18的特定層(正空穴輸送層)的膜厚，能夠?qū)崿F(xiàn)CIE色度圖上的任意坐標(biāo) 的發(fā)光色，例如，在發(fā)出綠色光的有機(jī)EL元件中，通過調(diào)整正空穴輸送層 的膜厚改變色調(diào)，以使長波長區(qū)域的成分通過千涉効果發(fā)出強(qiáng)紅色光。
或者，在具有特定的發(fā)光色的有機(jī)EL元件，例如發(fā)出白色光的有機(jī) EL元件中，通過調(diào)整正空穴輸送層的膜厚，能夠使具有同一色的發(fā)光層的 有機(jī)EL元件改變色調(diào)，以使其發(fā)出紅色光、綠色光、藍(lán)色光、。
再有，在上述的實(shí)施方式中，說明了如下的情況由膜厚按RGB的各 色不同的正空穴輸送層18a和具有規(guī)定的膜厚的電子輸送性發(fā)光層18b構(gòu) 成有機(jī)EL層18，把PEDOT/PSS用作用于形成正空穴輸送層18a的有機(jī)化 合物含有液，把含有聚苯撐乙烯撐(phenylenevinylene)類聚合體的發(fā)光材料溶液用作用于形成電子輸送性發(fā)光層18b的有機(jī)化合物含有液。但是， 本發(fā)明并不限定于此。即，膜厚按各色不同的層并不限于上述的正空穴輸 送層18a，如果是從成為發(fā)光點(diǎn)的發(fā)光層發(fā)射的光透過(即位于光路上)的
層，則例如可用于圖19A所示的夾層18c,或者正空穴輸送層18a和夾層 18c的多層。此外，有機(jī)EL層18也可以是例如僅具有膜厚按各色其不同 的正空穴輸送兼電子輸送性發(fā)光層，或者是具有正空穴輸送性發(fā)光層和膜 厚按各色不同的電子輸送層。在各層間也可以適當(dāng)設(shè)有上述的夾層以外的 載體輸送層。并且，用于形成有機(jī)EL層18的有機(jī)化合物含有液，若是含 有正空穴輸送性材料和/或電子輸送性發(fā)光桐料等的溶液且是可涂敷的溶 液，則可以含有其它組成成分。
此外，在上述的實(shí)施方式中，說明了如下情況將像素電極15作為有 機(jī)EL元件的陽極電極，將對(duì)置電極19作為陰極電極，在像素電極15側(cè) 形成有正空穴輸送層18a，并且，在對(duì)置電極19側(cè)形成有電子輸送性發(fā)光 層18b。但是，本發(fā)明不限定于此，也可以將像素電極15作為有機(jī)EL元 件的陰極電極，將對(duì)置電極19作為陽極電極。在該情況下，成為在像素電 極15側(cè)形成電子輸送性發(fā)光層18b，并在對(duì)置電極19側(cè)形成正空穴輸送層 18a的結(jié)構(gòu)。
此外，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)具有頂部發(fā)射型發(fā)光結(jié)構(gòu)的顯示面板 進(jìn)行了說明，該頂部發(fā)射型發(fā)光結(jié)構(gòu)使來自發(fā)光層的光不透過絕緣性基板， 而是射出到絕緣性基板的一面?zhèn)鹊囊晥?chǎng)側(cè)。但是，本發(fā)明不限定于此，也 可以具有底部發(fā)射型的發(fā)光結(jié)構(gòu)，該底部發(fā)射型的發(fā)光結(jié)構(gòu)使來自發(fā)光層 的光透過絕緣性基板，并射出到絕緣性基板的另一面?zhèn)鹊囊晥?chǎng)側(cè)。在該情 況下，只要是像素電極由ITO等具有透光特性的導(dǎo)電性材料形成，對(duì)置電 極由鋁或鉻等具有反光特性的導(dǎo)電性材料形成就可以。
雖然示出各種典型的實(shí)施方式來做了說明，但是本發(fā)明并不限于這些實(shí) 施方式。因此，本發(fā)明的范圍僅由權(quán)利要求書中的技術(shù)方案來限定。
4權(quán)利要求
1、一種顯示裝置的制造方法，在該顯示裝置中，多個(gè)顯示像素沿著基板上的多個(gè)行和多個(gè)列排列，所述多個(gè)顯示像素具有發(fā)光元件，該發(fā)光元件具有進(jìn)行彩色顯示的多個(gè)發(fā)光色中某個(gè)發(fā)光色，該顯示裝置的制造方法的特征在于，包括涂敷工序，該涂敷工序?qū)⒂糜谛纬缮鲜龈靼l(fā)光色的上述發(fā)光元件的發(fā)光功能層的發(fā)光材料溶液，涂敷在上述基板上的多個(gè)列的用于形成上述發(fā)光元件的發(fā)光元件形成區(qū)域，上述涂敷工序包括如下工序?qū)ι鲜龆鄠€(gè)列中相鄰列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域，以與上述各發(fā)光色對(duì)應(yīng)地設(shè)定的涂敷量按不連續(xù)涂敷上述發(fā)光材料溶液的順序涂敷上述發(fā)光材料溶液。
2、 如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，上述涂敷工序包括如下工序?qū)ι鲜龌迳系南嚯x的預(yù)定個(gè)數(shù)列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域，同時(shí)涂敷用于形成相同的上述發(fā)光色的上述發(fā)光元件的發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液。
3、 如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，上述涂敷工序包括如下工序..將用于形成至少兩個(gè)不同發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液的涂敷量，設(shè)定為不同的值。
4、 如權(quán)利要求3所述的制造方法，其特征在于，上述涂敷工序包括如下工序?qū)σ涣猩鲜霭l(fā)光元件形成區(qū)域，沿著該列的延伸方向連續(xù)涂敷上述發(fā)光材料溶液。
5、 如權(quán)利要求4所述的制造方法，其特征在于，上述涂敷工序包括如下的工序在上述各列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域，沿著各列的延伸方向以一定的速度涂敷上述發(fā)光材料溶液，涂敷上述發(fā)光材料溶液的工序包括如下的工序針對(duì)用于形成至少兩個(gè)不同發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液，將所涂敷的上述發(fā)光材料溶液的單位時(shí)間量設(shè)定為不同的值。
6、 如權(quán)利要求4所述的制造方法，其特征在于，上述涂敷工序包括如下工序?qū)⑼糠蟮缴鲜龈髁械纳鲜霭l(fā)光元件形成區(qū)域的上述發(fā)光材料溶液的單位時(shí)間量，設(shè)定為一定的值，并沿著各列的延伸方向涂敷上述發(fā)光材料溶液；涂敷上述發(fā)光材料溶液的工序包括如下的工序針對(duì)用于形成至少兩個(gè)不同發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液，將在各列的延伸方向上涂敷上述發(fā)光材料溶液的速度設(shè)定為不同的速度。
7、 如權(quán)利要求4所述的制造方法，其特征在于，上述涂敷工序包括如下工序?qū)ι鲜龈髁械纳鲜霭l(fā)光元件形成區(qū)域，把用于形成至少兩個(gè)不同發(fā)光色的上述發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液，通過1次或多次不同的次數(shù)重復(fù)涂敷。
8、 如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，上述發(fā)光功能層具有載體輸送層，該載體輸送層由正空穴輸送性層或電子輸送性層中某一種層構(gòu)成，上述涂敷工序包括如下工序把上述發(fā)光材料溶液中的上述載體輸送層形成用液體的涂敷量設(shè)定為，使得至少兩個(gè)不同發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層中的上述載體輸送層的膜厚成為不同的值。
9、 如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，上述發(fā)光功能層包括具有電子阻擋性的夾層，上述涂敷工序包括如下工序把上述發(fā)光材料溶液中的上述夾層形成用液體的涂敷量設(shè)定為，使得至少兩個(gè)不同發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層中的上述夾層的膜厚成為不同的值。
10、 如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，上述多個(gè)列由相離的多個(gè)列構(gòu)成，并被分割為多個(gè)列組，上述涂敷工序包括特定色涂敷工序，在上述基板上的上述多個(gè)列組中某一個(gè)特定列組的各列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域，涂敷用于形成上述多個(gè)發(fā)光色中某一個(gè)特定發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液；以及對(duì)所有的列組重復(fù)以下動(dòng)作的工序在每次通過上述特定色涂敷工序?qū)ι鲜鎏囟薪M的所有列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域涂敷結(jié)束上述發(fā)光材料溶液時(shí)，把上述特定列組變換為其他列組，把上述特定發(fā)光色變換為其他發(fā)光色來執(zhí)行上述特定色涂敷工序。
11、 一種用于制造顯示裝置的制造裝置，在該顯示裝置中，多個(gè)顯示像素沿著基板上的多個(gè)行及多個(gè)列排列，所述多個(gè)顯示像素具有發(fā)光元件，該發(fā)光元件具有進(jìn)行彩色顯示的多個(gè)發(fā)光色中某個(gè)發(fā)光色，其特征在于，包括涂敷裝置，至少具有一個(gè)用于吐出發(fā)光材料溶液的噴嘴，該發(fā)光材料溶液用于形成上述各發(fā)光色的發(fā)光元件的發(fā)光功能層；以及移動(dòng)裝置，使上述涂敷裝置或上述基板這兩者中某一個(gè)沿著上述基板的行及列方向移動(dòng)，上述移動(dòng)裝置使上述涂敷裝置在行方向上移動(dòng)，以使上述涂敷裝置相對(duì)于上述基板上的上述多個(gè)列中相離的各個(gè)列移動(dòng)，并沿著各列的延伸方向移動(dòng)，上述涂敷裝置在通過上述移動(dòng)裝置沿著各列的延伸方向移動(dòng)時(shí)，從上述噴嘴吐出與上述各發(fā)光色對(duì)應(yīng)地設(shè)定的吐出量的上述發(fā)光材料溶液，按規(guī)定的涂敷順序在上述基板上的各列的用于形成上述發(fā)光元件的發(fā)光元件形成區(qū)域涂敷上述發(fā)光材料溶液，上述涂敷順序被設(shè)定為，對(duì)上述多個(gè)列中鄰接列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域不連續(xù)涂敷上述發(fā)光材料溶液的順序。
12、 如權(quán)利要求ll所述的制造裝置，其特征在于，上述涂敷裝置具有2個(gè)或2個(gè)以上的預(yù)先設(shè)定的個(gè)數(shù)的上述噴嘴，該各噴嘴與上述基板上的相離的各列對(duì)應(yīng)地排列，對(duì)上述基板上的上述相離的與上述噴嘴個(gè)數(shù)對(duì)應(yīng)的個(gè)數(shù)的列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域，同時(shí)涂敷用于形成相同的上述發(fā)光色的上述發(fā)光元件的發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液。
13、 如權(quán)利要求ll所述的制造裝置，其特征在于，上述多個(gè)列被分割為由相離的多個(gè)列構(gòu)成的多個(gè)列組，上述移動(dòng)裝置使上述涂敷裝置移動(dòng)到上述基板上的上述多個(gè)列組中某一個(gè)特定列組的各列上，并由上述涂敷裝置對(duì)各列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域，涂敷用于形成上述多個(gè)發(fā)光色中某一個(gè)特定發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液，上述移動(dòng)裝置對(duì)所有的列組重復(fù)如下動(dòng)作在上述涂敷裝置每次對(duì)上述特定列組的所有列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域涂敷結(jié)束上述發(fā)光材料溶液時(shí)，使上述涂敷裝置移動(dòng)到不同于上述特定列組的其他列組，并由上述涂敷裝置對(duì)該其他列組的各列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域，涂敷用于形成與上述特定發(fā)光色不同的其他發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液。
14、如權(quán)利要求ll所述的制造裝置，其特征在于，針對(duì)用于形成至少兩個(gè)不同發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液，把上述涂敷裝置從上述從噴嘴吐出的上述發(fā)光材料溶液的單位時(shí)間量設(shè)定為不同的值，上述移動(dòng)裝置沿著各列的延伸方向移動(dòng)上述涂敷裝置的速度被設(shè)定為一定。
15、如權(quán)利要求ll所述的制造裝置，其特征在于，上述涂敷裝置從上述噴嘴吐出的上述發(fā)光材料溶液的單位量被設(shè)定為一定的值，針對(duì)用于形成至少兩個(gè)不同發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液，把上述移動(dòng)裝置沿著各列的延伸方向移動(dòng)上述涂敷裝置的速度設(shè)定為不同的值。
16、如權(quán)利要求11所述的制造裝置，其特征在于，上述移動(dòng)裝置被設(shè)定為，針對(duì)同一列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域，使上述涂敷裝置移動(dòng)1次或反復(fù)移動(dòng)多次，并對(duì)各列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域涂敷1次或多次上述發(fā)光材料溶液，針對(duì)用于形成至少兩個(gè)不同發(fā)光色的上述發(fā)光元件的上述發(fā)光功能層的上述發(fā)光材料溶液，把對(duì)各列的上述發(fā)光元件形成區(qū)域涂敷上述發(fā)光材料溶液的次數(shù)設(shè)定為不同的值。
全文摘要
本發(fā)明提供一種顯示裝置的制造方法，對(duì)基板上的用于形成多個(gè)列上述發(fā)光元件的發(fā)光元件形成區(qū)域，按在上述多個(gè)列中鄰接的列的發(fā)光元件形成區(qū)域不連續(xù)涂敷發(fā)光材料溶液的順序，以與上述發(fā)光色對(duì)應(yīng)地設(shè)定的涂敷量涂敷上述發(fā)光材料溶液。其中，上述發(fā)光材料溶液用于形成發(fā)光元件的發(fā)光功能層，該發(fā)光元件在基板上沿多個(gè)行及多個(gè)列排列，并具有用于進(jìn)行彩色顯示的多個(gè)發(fā)光色中某一個(gè)發(fā)光色。
文檔編號(hào)H01L21/82GK101471292SQ20081019022
公開日2009年7月1日 申請(qǐng)日期2008年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月28日
發(fā)明者尾崎朋子, 木津貴志 申請(qǐng)人:卡西歐計(jì)算機(jī)株式會(huì)社