專利名稱：一種噴淋防污染裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及硅材料的酸或堿處理的設備，尤其涉及一種用于硅材料 酸或堿處理設備中的噴淋防污染裝置。
背景技術(shù)：
在硅片、硅料與硅芯的處理中，由于涉及酸或堿處理工序,故需要把酸或堿 處理工作區(qū)與其它處理(水洗/干燥)工作區(qū)分開，以避免酸或堿對后處理工作
區(qū)的污染?，F(xiàn)有避免酸或石成對后處理工作區(qū)的污染的l故法有1、通過酸石威工 段的抽排風系統(tǒng)來避免酸堿氣的漂移。這樣做要求抽風效果要好，且抽風系 統(tǒng)必須連續(xù)工作。2、把設備分成兩部分來做，酸洗做一臺設備，堿洗做一臺 設備；這樣做由于兩臺設備工藝要連著做，就需人為周轉(zhuǎn)，會帶來工藝的二 次污染。

實用新型內(nèi)容
本實用新型為了克服現(xiàn)有避免酸或堿對后處理工作區(qū)污染的方法的處理 難度大、工藝難控制的缺陷，提供一種用于硅材料酸或堿處理設備中的噴淋 防污染裝置。
為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用如下技術(shù)方案 一種設置在酸堿 處理的設備內(nèi)的噴淋防污染裝置，其包括過渡槽、設于過度槽中部上方的噴 淋機構(gòu)、設于該噴淋4幾構(gòu)周邊的隔板，所述的隔板及過渡槽均與所述的設備 內(nèi)壁連接，所述過渡槽內(nèi)部設有傳送機構(gòu)。
其中，所述傳送機構(gòu)為帶傳動機構(gòu)，其傳送起點與終點分別位于過渡槽 內(nèi)兩端。
所述傳送機構(gòu)上設置有工件籃，傳送機構(gòu)與噴淋機構(gòu)下端的距離大于工 件籃高度。
所述設備內(nèi)部的空間被所述的隔板及過渡槽劃分成左、右兩個獨立的工 作區(qū)，而過渡槽沖彰夸這兩個工作區(qū)。
本實用新型在硅材料進行酸或堿處理的設備中，設置一帶有傳送機構(gòu)的 過渡槽，通過設于分區(qū)處(左、右工作區(qū)交界處)上方的噴淋機構(gòu)所噴淋形成的水簾，把左右兩工作區(qū)的空氣有效地隔斷，工件籃的傳送由傳送機構(gòu)實 現(xiàn)，這樣左右兩區(qū)的氣流就大大的減少互通，起到隔離效果，從而減少酸或 堿氣流對后處理工作區(qū)的污染。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型做進一步的說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖1所示一種硅材料的酸或堿處理設備中的噴淋防污染裝置，其設置 在硅材料的酸或堿處理設備內(nèi)部需要隔離的區(qū)域處。本實用新型的優(yōu)選實施 例包括橫向設置的過渡槽l、縱向設于過度槽中部上方的噴淋機構(gòu)9、設于 該噴淋機構(gòu)周邊的隔板5,所述的隔板及過渡槽均與所述的設備內(nèi)壁6緊密連 接。過渡槽內(nèi)部設有一帶傳送機構(gòu)2，其傳送起點與終點分別位于過渡槽內(nèi)左 右兩端。傳送機構(gòu)上設置有工件籃3，傳送機構(gòu)與噴淋機構(gòu)9下端的距離大于 工件籃高度。所述設備是四方框架結(jié)構(gòu)，其內(nèi)部的空間被所述的隔板5及過 渡槽1劃分成兩個獨立的工作區(qū)7、 8。過渡槽l前后側(cè)面的尺寸，若與設備 內(nèi)腔側(cè)壁尺寸正好相匹配，則可將設備內(nèi)腔側(cè)壁部分直接與過渡槽1連接； 若過渡槽1側(cè)面尺寸比設備內(nèi)腔側(cè)壁小，那么其空隙部分設置隔板5隔離。 總之確保設備內(nèi)部空間^皮隔板及過渡槽1隔離成為相互獨立的左工作區(qū)7和 右工作區(qū)8，而過渡槽l橫跨兩個工作區(qū)。
工作時，首先開啟噴淋機構(gòu)9噴淋形成水簾4，然后將工件放入位于傳送 帶上的工件籃3中，再啟動傳送機構(gòu)2將工件籃從一個工作區(qū)傳送到另一個 工作區(qū)。
本實用新型通過噴淋機構(gòu)所噴淋形成的水簾，把左右兩工作區(qū)的空氣有 效地隔斷，工件籃的傳送由傳送機構(gòu)實現(xiàn)，這樣左右兩工作區(qū)的氣流就大大 的減少互通，起到隔離效果，從而減少酸或堿氣流對后處理工作區(qū)的污染。
上述為本實用新型優(yōu)選實施例，凡在此原理上改進，均落入本實用新型 的保護范圍。
權(quán)利要求1、一種噴淋防污染裝置，設置在酸堿處理的設備內(nèi)，其特征在于包括過渡槽(1)、設于過度槽(1)中部的上方的噴淋機構(gòu)(9)、設于該噴淋機構(gòu)周邊的隔板(5)，所述的隔板及過渡槽均與所述的設備內(nèi)壁連接。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋防污染裝置，其特征在于所述過渡槽內(nèi) 部設有傳送機構(gòu)(2)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴淋防污染裝置，其特征在于所述傳送機構(gòu) 為帶傳動機構(gòu)，其傳送起點與終點分別位于過渡槽內(nèi)兩端。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴淋防污染裝置，其特征在于所述傳送機構(gòu) 上設置有工件籃(3),傳送機構(gòu)與噴淋機構(gòu)(9)下端的距離大于工件籃高度。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋防污染裝置，其特征在于所述設備內(nèi)部 的空間被所述的隔板(5)及過渡槽(1)劃分的兩個獨立的工作區(qū)(7、 8)， 而過渡槽(1 )橫跨這兩個工作區(qū)。
專利摘要本實用新型公開了一種用于硅材料進行酸或堿處理設備中的噴淋防污染裝置，公司裝置設置在酸堿處理的設備內(nèi)，其包括過渡槽(1)、設于過度槽(1)中部的上方的噴淋機構(gòu)(9)、設于該噴淋機構(gòu)周邊的隔板(5)，所述的隔板及過渡槽均與所述的設備內(nèi)壁連接。本實用新型通過噴淋機構(gòu)所噴淋形成的水簾，把左右兩工作區(qū)的空氣有效地隔斷，左右兩工作區(qū)的氣流就大大的減少互通，起到隔離效果，從而減少酸或堿氣流對后處理工作區(qū)的污染。
文檔編號H01L21/00GK201243008SQ200820094929
公開日2009年5月20日 申請日期2008年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月20日
發(fā)明者仲 余, 黃進權(quán) 申請人:深圳市捷佳創(chuàng)精密設備有限公司