專利名稱：一種單片清洗機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體清洗裝置，尤其是一種單片清洗機(jī)。
背景技術(shù)：
目前市場上的半導(dǎo)體元件清洗裝置大多采用濕式清洗，其常見的是以噴嘴 噴出清洗液，清洗液不斷的噴灑在半導(dǎo)體元件上，從而完成對(duì)其的清洗。而隨 著集成電路制造工藝的不斷提高，半導(dǎo)體元件的體積也變的越來越小，這也導(dǎo) 致了半導(dǎo)體元件表面的微小顆粒等難以清洗，造成清洗裝置清洗效率低，清洗
潔凈度不高，難以達(dá)到技術(shù)要求等問題。而采用超聲波等其它清洗方法進(jìn)行清 洗，其不僅操作繁瑣，體積笨重，還極大地提高了清洗成本，難以適應(yīng)生產(chǎn)需 求。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種單片清洗機(jī)，以克服現(xiàn)有清洗機(jī)操作繁瑣、 體積笨重，清洗效率低、效果差的不足。
本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)
一種單片清洗機(jī)，包括架體、噴管、旋轉(zhuǎn)真空密封器、吸盤、密封罩和電 機(jī)，所述架體左側(cè)設(shè)有前板，架體右側(cè)設(shè)有后板，前板和后板頂部夾有隔板， 隔板上密封蓋有密封罩，隔板下側(cè)設(shè)有固定在架體上的清洗槽底板，所述清洗 槽底板右部通過密封壓板套接倒L形噴管，噴管底部通過連接器套接在擺動(dòng)裝 置頂端，擺動(dòng)裝置固定在架體中部的隔板右側(cè)，噴管下部水平設(shè)有噴管口，噴 管上部的水平結(jié)構(gòu) 一端套接噴頭；清洗槽底板中部通過螺釘固定軸套上固定座， 軸套上固定座底部套接軸套頂端，軸套底端固定在架體中部的隔板中部，軸套 內(nèi)部通過軸承固定傳動(dòng)軸，傳動(dòng)軸頂端套接清洗槽底板上側(cè)的吸盤，吸盤上方
與噴管上部的噴頭相對(duì)，傳動(dòng)軸底端軸接旋轉(zhuǎn)真空密封器，傳動(dòng)軸下部同步固 定的皮帶輪通過角帶與電機(jī)輸出軸上固定的皮帶輪連接，所述電機(jī)通過螺絲固 定在架體中部的隔板左側(cè)。
所述的旋轉(zhuǎn)真空密封器由軸芯、卡簧、軸承、墊片、O型圈、外密封架、 石密封圈、橡膠密封圈、密封支架、彈簧和彈簧支架，旋轉(zhuǎn)真空密封器中部的 軸芯底部套有彈簧，彈簧頂端套在密封支架底端，所述密封支架內(nèi)套有橡膠密 封圈，橡膠密封圈上側(cè)設(shè)有石密封圈，橡膠密封圈與石密封圏均套在軸芯上，
石密封圏上側(cè)設(shè)有外密封架；所述外密封架套在軸芯外圓中部，外密封架外圓 中部嵌套O型圈，外密封架頂端設(shè)有墊片，所述墊片上側(cè)設(shè)有兩個(gè)軸承，軸承 套在軸芯外圓上部，兩個(gè)軸承之間設(shè)有墊片，上側(cè)的軸承與旋轉(zhuǎn)真空密封器頂 部內(nèi)側(cè)之間設(shè)有卡簧。
本實(shí)用新型所述的單片清洗機(jī)的有益效果為結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便靈活， 清洗效率高，清洗潔凈度好，可一次性達(dá)到技術(shù)要求。


下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。.
圖l是本實(shí)用新型所述的單片清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖2是本實(shí)用新型所述的單片清洗機(jī)的旋轉(zhuǎn)真空密封器的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中
1、架體；2、隔板；3、清洗槽底板；4、噴管；5、噴頭；6、旋轉(zhuǎn)真空密 封器；601、軸芯；602、卡簧；603、軸承；604、墊片；605、 O型圈；606、 外密封架；607、石密封圏；608、橡膠密封圈；609、密封支架；610、彈簧； 611、彈簧支架；7、噴管口； 8、吸盤；9、傳動(dòng)軸；10、后板；11、連接器； 12、密封壓板；13、軸套上固定座；14、軸套；15、皮帶輪；16、密封罩；17、 電機(jī)；18、前板；19、軸承；20、擺動(dòng)裝置。
如圖l所示，本實(shí)用新型所述的單片清洗機(jī)，包括架體l、噴管4、旋轉(zhuǎn)真 空密封器6、吸盤8、密封罩16和電機(jī)17，所述架體1左側(cè)設(shè)有前板18,架體 1右側(cè)設(shè)有后板10，前板18和后板10頂部夾有隔板2,隔板2上密封蓋有密 封罩16,隔板2下側(cè)設(shè)有固定在架體1上的清洗槽底板3,所述清洗槽底板3 右部通過密封壓板12套接倒L形噴管4，噴管4底部通過連接器11套接在擺 動(dòng)裝置20頂端，擺動(dòng)裝置20固定在架體1中部的隔板2右側(cè)，噴管4下部水 平設(shè)有噴管口 7，噴管4上部的水平結(jié)構(gòu)一端套接噴頭5;清洗槽底板3中部通 過螺釘固定軸套上固定座13，軸套上固定座13底部套接軸套14頂端，軸套14 底端固定在架體1中部的隔板2中部，軸套14內(nèi)部通過軸承19固定傳動(dòng)軸9， 傳動(dòng)軸9頂端套接清洗槽底板3上側(cè)的吸盤8,吸盤8上方與噴管4上部的噴 頭5相對(duì)，傳動(dòng)軸9底端軸接旋轉(zhuǎn)真空密封器6,旋轉(zhuǎn)真空密封器6可使得吸 盤8上的產(chǎn)品時(shí)刻緊密的附著在其上，傳動(dòng)軸9下部同步固定的皮帶輪15通過 角帶與電機(jī)17輸出軸上固定的皮帶輪15連接，所述電機(jī)17通過螺絲固定在架 體1中部的隔才反2左側(cè)。
如圖2所示，本實(shí)用新型所述的單片清洗機(jī)，所述的旋轉(zhuǎn)真空密封器6由 軸芯601、卡簧602、軸承603、墊片604、 0型圈605、外密封架606、石密封 圏607、橡膠密封圈608、密封支架609、彈簧610和彈簧支架611,旋轉(zhuǎn)真空 密封器6中部的軸芯601底部套有彈簧610,彈簧610頂端套在密封支架609 底端，所述密封支架609內(nèi)套有橡膠密封圈608,橡膠密封圈608上側(cè)設(shè)有石 密封圈607，橡膠密封圏608與石密封圈607均套在軸芯601上，石密封圈607 上側(cè)設(shè)有外密封架606;所述外密封架606套在軸芯601外圓中部，外密封架 606外圓中部嵌套0型圈605，外密封架606頂端設(shè)有墊片604,所述墊片604 上側(cè)設(shè)有兩個(gè)軸承603，軸承603套在軸芯601外圓上部，兩個(gè)軸承603之間 設(shè)有墊片604,上側(cè)的軸承603與旋轉(zhuǎn)真空密封器6頂部內(nèi)側(cè)之間設(shè)有卡簧602。
所述的單片清洗機(jī)，是通過電機(jī)17帶動(dòng)傳動(dòng)軸9高速旋轉(zhuǎn)，傳動(dòng)軸9帶動(dòng) 其頂端的吸盤8轉(zhuǎn)動(dòng)；同時(shí)，擺動(dòng)裝置20通過連接器11帶動(dòng)噴管4轉(zhuǎn)動(dòng)，使
得噴管4上部連接的噴頭5開始擺動(dòng)，向噴管4下部的噴管口 7注入清洗液(去 離子水)對(duì)硅片進(jìn)行高壓擺動(dòng)噴洗，清洗結(jié)束后，停止注入清洗液(去離子水)， 打開氮?dú)廨斎胪ǖ?，氮?dú)馔ㄟ^內(nèi)置加熱裝置進(jìn)行加熱后由噴管4進(jìn)入密封罩16 內(nèi)，對(duì)硅片進(jìn)行烘干。
本實(shí)用新型所述的單片清洗機(jī)，可以適應(yīng)(包括方形和其他特殊形狀)材 料的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干。可用于半導(dǎo)體硅圓片、砷化鎵材料、掩模版、太陽能電池 基片、藍(lán)寶石、鈮酸鋰、光學(xué)鏡片、磁盤、光盤、醫(yī)用玻璃基片等類似相關(guān)材 料的高潔凈度沖洗甩干。
本實(shí)用新型所述的單片清洗機(jī)，是在高速旋轉(zhuǎn)下，由水、氣、電各功能模 塊、功能單元相互有序協(xié)調(diào)作用而完成清洗烘干的。它對(duì)設(shè)備的可靠性、安全 性以及操作者的防護(hù)有嚴(yán)格的要求，從而很好的保障了其清洗效率和洗潔凈度。
權(quán)利要求1、一種單片清洗機(jī)，包括架體(1)、噴管(4)、旋轉(zhuǎn)真空密封器(6)、吸盤(8)、密封罩(16)和電機(jī)(17)，所述架體(1)左側(cè)設(shè)有前板18，架體(1)右側(cè)設(shè)有后板(10)，前板(18)和后板(10)頂部夾有隔板(2)，隔板(2)上密封蓋有密封罩(16)，隔板(2)下側(cè)設(shè)有固定在架體(1)上的清洗槽底板(3)，其特征在于清洗槽底板(3)右部通過密封壓板(12)套接倒L形噴管(4)，噴管(4)底部通過連接器(11)套接在擺動(dòng)裝置(20)頂端，所述擺動(dòng)裝置(20)固定在架體(1)中部的隔板(2)右側(cè)，噴管(4)下部水平設(shè)有噴管口(7)，噴管(4)上部的水平結(jié)構(gòu)一端套接噴頭(5)；所述清洗槽底板(3)中部通過螺釘固定軸套上固定座(13)，軸套上固定座13底部套接軸套(14)頂端，軸套(14)底端固定在架體(1)中部的隔板(2)中部，軸套(14)內(nèi)部通過軸承(19)固定傳動(dòng)軸(9)，傳動(dòng)軸(9)頂端套接清洗槽底板(3)上側(cè)的吸盤(8)，傳動(dòng)軸(9)底端軸接旋轉(zhuǎn)真空密封器(6)，所述旋轉(zhuǎn)真空密封器(6)中部的軸芯(601)底部套有彈簧(610)，彈簧(610)頂端套在密封支架(609)底端，所述密封支架(609)內(nèi)套有橡膠密封圈(608)，橡膠密封圈(608)上側(cè)設(shè)有石密封圈(607)，橡膠密封圈(608)與石密封圈(607)均套在軸芯(601)上，石密封圈(607)上側(cè)設(shè)有外密封架(606)；所述外密封架(606)套在軸芯(601)外圓中部，外密封架(606)外圓中部嵌套O型圈(605)，外密封架(606)頂端設(shè)有墊片(604)，所述墊片(604)上側(cè)設(shè)有兩個(gè)軸承(603)，軸承(603)套在軸芯(601)外圓上部，兩個(gè)軸承(603)之間設(shè)有墊片(604)，上側(cè)的軸承(603)與旋轉(zhuǎn)真空密封器(6)頂部內(nèi)側(cè)之間設(shè)有卡簧(602)；所述傳動(dòng)軸(9)下部同步固定的皮帶輪(15)通過角帶與電機(jī)(17)輸出軸上固定的皮帶輪(15)連接，所述電機(jī)(17)通過螺絲固定在架體(1)中部的隔板(2)左側(cè)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種單片清洗機(jī)，包括架體、噴管、旋轉(zhuǎn)真空密封器、吸盤、密封罩和電機(jī)，所述架體頂部的隔板上蓋有密封罩，架體上部的清洗槽底板右部通過密封壓板套接倒L形噴管，噴管底部套接在擺動(dòng)裝置頂端，噴管下部水平設(shè)有噴管口，噴管上部的水平結(jié)構(gòu)一端套接噴頭；清洗槽底板中部固定軸套上固定座，軸套上固定座底部套接軸套頂端，軸套底端固定在架體中部的隔板中部，軸套內(nèi)部固定傳動(dòng)軸，傳動(dòng)軸頂端套接吸盤，吸盤上方與噴管上部的噴頭相對(duì)，傳動(dòng)軸底端軸接旋轉(zhuǎn)真空密封器，傳動(dòng)軸下部的皮帶輪與電機(jī)輸出軸上的皮帶輪連接。本實(shí)用新型的有益效果結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便靈活，清洗效率高，清洗潔凈度好，可一次性達(dá)到技術(shù)要求。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201178092SQ20082010724
公開日2009年1月7日 申請(qǐng)日期2008年4月8日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月8日
發(fā)明者徐竹林 申請(qǐng)人:徐竹林