專利名稱：用來輸送扁平的輸送物品的、具有至少一個傳送帶的傳送帶系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用來在傳送帶系統(tǒng)的至少一個傳送帶上輸送扁平的輸送物品的 方法，所述輸送物品尤其是基片、如硅晶片和太陽能電池，其中所述基片在輸送過程中至少 循環(huán)地吸附地保持在傳送帶的傳送表面上。本發(fā)明還涉及一種傳送帶系統(tǒng)，包括至少一個傳送帶，用來輸送扁平的輸送物 品，尤其是基片如硅晶片和太陽能電池；抽吸裝置，基片在輸送過程中至少循環(huán)地被所述抽 吸裝置吸附地保持在所述至少一個的傳送帶的傳送表面上。
背景技術(shù)：
為制造太陽能電池，通常借助夾具或在傳送帶上實施硅晶片的輸送，所述傳送帶 可以由多個皮帶構(gòu)成。基于在制造過程中使用的機器的工作方式，晶片的輸送是按節(jié)拍進 行的，這造成了傳送帶和夾具必須持續(xù)地加速和制動。位于傳送帶上的晶片在輸送時通常 只是由于重力和磨擦保持在它的位置上。對于借助夾具進行輸送的晶片來說，它的位置只 是借助吸力和磨擦而保持在支承表面上。但如果輸送帶的加速或制動進行得太快，超出了 皮帶和夾具支承表面的磨擦系數(shù)，則導(dǎo)致的結(jié)果是，晶片滑落并且相對于傳送帶或夾具離 開了它原來的位置。此外，還可能由于晶片和傳送帶之間的吸附力太小，晶片從傳送帶上掉 落。為了提高晶片在傳送帶上的附著力，使用具有不同表面的由不同材料制成的傳送 帶。為了進一步提高扁平的輸送物品、如晶片或太陽能電池在傳送帶上的附著力，在由DE 102004050463B3已知的傳送帶系統(tǒng)中，傳送帶構(gòu)成有朝它的表面敞開的缺口，這些缺口均 勻地分布在傳送帶表面上并與真空抽吸裝置相連。但不是每個皮帶都適用于這種應(yīng)用，除 此之外，只能選擇相對較小的吸力，所述吸力只能在每個缺口的鄰近的開口區(qū)域內(nèi)作用在 各個通過它位于傳送帶表面上的晶片上，因為在使用過大的吸力時，晶片在一定程度上可 能類似點狀地吸入缺口的開口中并且受到損壞。此外，由DE 102006033296A1已知的用來使太陽能模塊結(jié)構(gòu)化的設(shè)備包括帶氣 墊系統(tǒng)的輸送系統(tǒng)，用來在傳送平面中輸送太陽能模塊，其中至少在加工區(qū)域中設(shè)置有壓 力-真空臺，用來在太陽能模塊和平板之間同時產(chǎn)生真空和超壓，并且通過產(chǎn)生的氣墊與 平板保持恒定距離地固定太陽能模塊。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是，以一種經(jīng)濟的方式保證提高晶片在傳送帶上的吸附力，并因此 實現(xiàn)傳送帶的較高的速度和加速度，而不會影響晶片在各自的傳送表面上的定位。因此本 發(fā)明的目的是，這樣來構(gòu)造一種開頭所述類型的方法和傳送帶系統(tǒng)，使得在傳送帶的周圍 大面積地產(chǎn)生壓力比，該壓力比能以經(jīng)濟的方式保證基片在傳送帶上更好的防滑且經(jīng)濟的 輸送。
此目的按本發(fā)明通過以下技術(shù)措施得以實現(xiàn)，S卩沿著傳送帶的皮帶的兩個在輸 送方向上延伸的縱向邊緣中的至少一個，在多個相互間隔距離的位置上借助于由流體系統(tǒng) 對壓縮流體、例如壓縮空氣進行受控制的引導(dǎo)分別生成基于伯努利效應(yīng)的負壓，并且所述 基片通過在皮帶的縱向邊緣上的各個位置上構(gòu)成的、在大氣壓力和在各個位置上生成的負 壓之間的壓力差均勻地貼緊地保持在具有支承面的傳送帶的傳送表面上。優(yōu)選地，在基片的輸送過程中，在皮帶的縱向邊緣上的、基于伯努利效應(yīng)分別要形 成負壓的多個位置中，只有一定數(shù)量的位置持續(xù)地通過壓縮空氣供給來控制，用來分別生 成基于伯努利效應(yīng)的負壓，所述一定數(shù)量的位置在基片的輸送過程中在輸送方向上依次地 在任何時刻分別被一個基片遮蓋，其中在基片的輸送過程中，在遮蓋在輸送方向上緊接著 的位置的情況下在皮帶的縱向邊緣上通過每個基片的在輸送方向上的前方邊緣，通過壓縮 空氣的供給來自動地觸發(fā)緊接著的位置的控制，并且分別在相應(yīng)緊隨其后由相應(yīng)的基片的 沿輸送方向位于后面的邊緣在其輸送的過程中被暴露出來的縱向邊緣的位置上切斷壓縮 空氣的供給。如果在該方法中，基片在具有環(huán)繞的連續(xù)皮帶的傳送帶上傳送，則有利的是，既沿 著所述連續(xù)皮帶的上方支承面的縱向邊緣，也沿著傳送帶的連續(xù)皮帶的、反向運動的下方 支承面的縱向邊緣，在縱向邊緣上的多個彼此間隔距離的位置上分別生成基于伯努利效應(yīng) 的負壓，所述伯努利效應(yīng)由壓縮流體的流體引導(dǎo)而造成，其中所述基片沿相應(yīng)的輸送方向 在多個位置上分別借助于在大氣壓力和在相應(yīng)的位置上生成的負壓之間的壓力差以所述 基片的支承面均勻地貼緊地保持在連續(xù)皮帶的上方支承面以及下方支承面上。如果在該方法中，通過具有兩個相互平行的運動方向相同的傳送帶的傳送帶系統(tǒng) 輸送所述基片，其中兩個所述傳送帶的相對置的端部部段相互重疊并且相互間隔距離地設(shè) 置，則有利的是，通過分別在下方傳送帶以及上方傳送帶的皮帶的縱向邊緣上的相應(yīng)位置 上交互地產(chǎn)生負壓，使在下方傳送帶的傳送表面上輸送的基片轉(zhuǎn)移到上方傳送帶的相對置 的傳送表面上，緊貼并且吸附地保持在所述上方傳送帶的相對置的傳送表面上。也可沿著傳送帶的皮帶的兩個在輸送方向上延伸的縱向邊緣，分別在相互相應(yīng)的 位置上生成基于伯努利效應(yīng)的負壓。優(yōu)選地，在皮帶的每個縱向邊緣上生成基于伯努利效 應(yīng)的負壓的各位置之間的間隔選擇成相同大小的，并且在皮帶的每個縱向邊緣上的相應(yīng)位 置上形成的、基于伯努利效應(yīng)的負壓以相同的強度生成。合適的是，計算機控制地實現(xiàn)通過所述流體系統(tǒng)來調(diào)整壓縮流體的供給，用來在 傳送帶的皮帶的縱向邊緣上的多個位置的每一個上生成基于伯努利效應(yīng)的負壓。按本發(fā)明，基于本發(fā)明的目的也通過開頭已知的傳送帶系統(tǒng)得以實現(xiàn)，其特征在 于，-沿著傳送帶的皮帶的兩個在輸送方向上延伸的縱向邊緣中的每一個，在相互相 應(yīng)的位置上分別設(shè)置生成伯努利效應(yīng)的裝置的至少一個腔室的至少一個流出孔，-壓縮流體、如壓縮空氣通過至少一個流入孔輸送給腔室，所述流入孔的橫截面大 于腔室的流出口的橫截面，并且-所述基片借助于在大氣壓力和負壓之間的壓力差面接觸地、均勻地、貼緊地保持 在傳送帶的傳送表面上，所述負壓通過沿著傳送帶的皮帶的縱向邊緣由伯努利抽吸裝置產(chǎn) 生的伯努利效應(yīng)來引起。
優(yōu)選地，所述伯努利抽吸裝置具有多個腔室和一定數(shù)量的流出孔，所述流出孔的 數(shù)量對于傳送帶的皮帶的每個縱向邊緣來說是一樣的，其中所述流出孔以相互相同的間隔 設(shè)置在各自相應(yīng)的位置中。多個腔室和一定數(shù)量的流出孔沿著傳送帶的皮帶的兩個縱向邊 緣中每一個是一致的，并且每個腔室可以配設(shè)兩個流出孔，所述流出孔在傳送帶的皮帶的 兩個縱向邊緣上設(shè)置在各自相應(yīng)的位置上。
為了減少能量需求，優(yōu)選這樣地設(shè)計按本發(fā)明的傳送帶系統(tǒng)，即在基片的輸送過 程中，在伯努利抽吸裝置的多個腔室中，只有一定數(shù)量的腔室持續(xù)地通過伯努利抽吸裝置 來控制，所述一定數(shù)量的腔室的、在輸送方向上依次配設(shè)的流出孔沿著傳送帶的皮帶的每 個縱向邊緣在基片的輸送過程中在任何時刻分別被基片遮蓋，其中在基片的輸送過程中， 在遮蓋在輸送方向上緊接著的流出口的情況下，通過每個基片的在輸送方向上的前方邊緣 自動地控制與流出口相配的腔室，并且分別切斷與該流出口相配的腔室，該流出孔分別緊 接著從相應(yīng)的基片的在輸送方向上位于后面的邊緣在其輸送的過程中暴露出來。傳送帶可具有經(jīng)由滾筒結(jié)構(gòu)環(huán)繞的連續(xù)皮帶，在它的上方支承面和沿反向運動 的下方支承面上被伯努利抽吸裝置沿著傳送帶的連續(xù)皮帶的縱向邊緣分別產(chǎn)生伯努利效 應(yīng)，其中連續(xù)皮帶的上方支承面和下方支承面在各自的運動方向中分別構(gòu)成傳送帶的傳送 表面，基片借助在大氣壓力和負壓之間的壓力差面接觸地、均勻地、吸附地保持在傳送表面 上，所述負壓通過沿著傳送帶的連續(xù)皮帶的縱向邊緣由伯努利抽吸裝置產(chǎn)生的伯努利效應(yīng) 引起。優(yōu)選地，可設(shè)置兩個相互平行的、運動方向相同的傳送帶，所述傳送帶以其相對置 的端部部段相互重疊并且上下相互間隔距離地設(shè)置，其中通過交互地控制各個伯努利抽吸 裝置的配設(shè)的腔室的分別在下方傳送帶以及上方傳送帶的皮帶的縱向邊緣上的相應(yīng)的流 出口，使位于在下方傳送帶的傳送表面上的基片轉(zhuǎn)移到上方傳送帶的相對置的傳送表面 上，以及緊貼并且保持在所述上方傳送帶的相對置的傳送表面上。按本發(fā)明的傳送帶系統(tǒng)確保，在傳送帶的高的速度、加速度和制動過程中傳送物 品在傳送表面上大的及完好的附著。在各個傳送帶周圍由伯努利抽吸裝置引起的壓力比使 扁平的輸送物品能在傳送帶的下表面上輸送，因此晶片可以例如所謂的“顛倒”地或在所有 可能的方向上以高的速度和加速度在傳送帶上傳輸，而不會影響它在傳送帶的傳送表面上 的定位。此外，按本發(fā)明的傳送帶系統(tǒng)還可明顯節(jié)省生產(chǎn)成本和能量成本，因為壓縮空氣的 供應(yīng)能以合適的方式與皮帶的運動同步進行。除了基片、如硅晶片和太陽能電池之外，借助按本發(fā)明的方法和傳送帶系統(tǒng)還能 可靠防滑地輸送許多其它的扁平物體，所述扁平物質(zhì)由玻璃、陶瓷、金屬板材、木材或塑料 制成，例如是CD、印制電路板、顯示屏等等。此外還有利的是，在所有種類的分類設(shè)備和半導(dǎo) 體工業(yè)中使用按本發(fā)明的方法。


現(xiàn)在借助附圖描述了本發(fā)明。其中圖Ia以俯視圖示出了具有傳送帶的傳送帶系統(tǒng)的實施例的局部視圖；圖Ib示出了圖Ia的平面A-A的剖面圖；圖2示意示出了傳送帶系統(tǒng)的優(yōu)選實施方式的一部分的透視圖，所述傳送帶系統(tǒng)具有兩個彼此平行延伸的傳送帶，其中分別示出了每個傳送帶的一半，但沒有遮蓋伯努利抽吸裝置的腔室；圖3以與圖2相似的透視圖示出了在圖2示出的部分，其中伯努利抽吸裝置的腔 室被全部遮蓋，其中雙列地且上下重疊地在沿輸送方向上各晶片的相互錯位的位置上示出 了用來說明依次控制伯努利抽吸裝置的多個流出口的部段；圖4a示出了傳送帶系統(tǒng)的示意示出的另一實施方式的一部分的側(cè)視圖，其中兩 個彼此平行的傳送帶的相對置的端部部段相互重疊，晶片通過伯努利抽吸效應(yīng)從一個傳送 帶轉(zhuǎn)換到另一傳送帶上；圖4b示出了圖4a的平面A-A的剖面圖。
具體實施例方式如從在圖Ia示意示出的傳送帶系統(tǒng)1的實施例中可看出，所述傳送帶系統(tǒng)1具有 傳送帶2和伯努利抽吸裝置4，所述傳送帶2用來輸送基片、例如硅晶片和太陽能電池，所述 伯努利抽吸裝置4在圖Ib中以通過圖Ia的平面A-A的剖面圖示出。沿著傳送帶2的皮帶 8的每個在輸送方向6上延伸的縱向邊緣7，所述伯努利抽吸裝置4在相互相應(yīng)的位置上分 別具有腔室10的至少一個流出孔9，所述腔室由一個未示出的壓縮空氣源通過流入孔12供 給壓縮空氣11。流入孔12的橫截面大于腔室10的流出孔9的橫截面。基片3借助于在大
氣壓力和負壓之間的壓力差通過沿箭頭19的方向作用的力面接觸(auflageflSchig )
且均勻貼緊地保持在傳送帶2的傳送表面5上，所述負壓通過沿著傳送帶2的皮帶8的兩 個縱向邊緣7由伯努利抽吸裝置產(chǎn)生的伯努利抽吸效應(yīng)來決定。從圖2和3中得知傳送帶系統(tǒng)1的節(jié)省能量且降低成本的優(yōu)選實施方式，其中設(shè) 置有兩個彼此平行延伸的輸送帶2。伯努利抽吸裝置4在此具有多個(數(shù)量a)腔室10以 及多個(數(shù)量b)流出孔9，其中流出孔9在每個傳送帶2的皮帶8的每個縱向邊緣上的數(shù) 量a是相同的，流出孔9以彼此相同的間隔設(shè)置在各自相應(yīng)的位置中，并且腔室10的數(shù)量 a以及流出孔9的數(shù)量b沿著兩個傳送帶2的每一個的皮帶8的每個縱向邊緣是一致的。為了清晰地示出腔室10的結(jié)構(gòu)，在圖3中分別在傳送帶2的一半上省略了伯努利 抽吸裝置4的腔室10的遮蓋物。因此可看到，每個腔室10都分別配設(shè)了兩個流出孔9，它 們在每個傳送帶2的皮帶8的兩個縱向邊緣7上設(shè)置在彼此相應(yīng)的位置中。圖3示出了在伯努利抽吸裝置4的多個(數(shù)量a)腔室的傳送帶系統(tǒng)1的優(yōu)選實 施例中，只有一定數(shù)量(數(shù)量c)的腔室持續(xù)地通過伯努利抽吸裝置4來控制，所述一定數(shù) 量的腔室的、在輸送方向6上接連的、沿著每個傳送帶2的皮帶8的每個縱向邊緣7相互配 設(shè)的流出孔9在基片3的輸送過程中在任何時刻分別被基片3遮蓋。在基片3的輸送過程 中，當(dāng)遮蓋在輸送方向6上緊接著的流出口 9時，通過每個基片3在輸送方向6上的前方邊 緣13自動地控制與流出口 9相配的腔室10，并且分別關(guān)閉與該流出口 9相配的那個腔室， 該流出孔分別緊隨其后地從相應(yīng)的基片3的在輸送方向6上位于后面的邊緣14上暴露出 來。從圖4a和4b中得知傳送帶系統(tǒng)1的另一實施例，其中如圖4a所示，兩個彼此平 行的、運動方向6相同的傳送帶2以其反向的端部部段17或18彼此重疊，并彼此間隔距離 且上下重疊地設(shè)置。
如圖4b所示，它示出了通過兩個傳送帶2的相互重疊的端部部段17 ；18的、圖4a 的平面A-A的剖面圖，每個傳送帶2都這樣地配設(shè)一個伯努利抽吸裝置4，使得通過交互地 控制下方傳送帶2及上方傳送帶2的皮帶8的各個縱向邊緣7上的相互相應(yīng)的流出孔9，并 且通過在上方傳送帶2的傳送表面5上待生成的伯努利抽吸效應(yīng)，使位于下方傳送帶2的 傳送表面5上的基片3轉(zhuǎn)送到上方傳送帶2的相對置的傳送表面5上，并貼靠和保持在所 述上方傳送帶2的相對置的傳送表面5上。在此，力在箭頭19的方向上起作用附圖標記列表1 傳送帶系統(tǒng)2 傳送帶3 傳送物品、基片、硅晶片、太陽能電池4 抽吸裝置、流體系統(tǒng)5 傳送表面6 輸送方向7 縱向邊緣8 皮帶9 流出孔，位置10 腔室11壓縮液體、壓縮空氣12 流入孔13基片的前邊緣14基片的后邊緣15傳送帶的上支承面16傳送帶的下支承面17上方傳送帶的端部部段18下方傳送帶的端部部段19力作用的方向a 腔室的數(shù)量b 流出孔的數(shù)量c 流出孔的一定數(shù)量
權(quán)利要求
一種用來在傳送帶系統(tǒng)的至少一個傳送帶上輸送扁平的輸送物品方法，所述輸送物品尤其是基片、如硅晶片和太陽能電池，其中所述基片至少循環(huán)地在輸送過程中被吸附地保持在傳送帶的傳送表面上，其特征在于，沿著傳送帶的皮帶的兩個在輸送方向上延伸的縱向邊緣中的至少一個，在多個相互間隔距離的位置上借助于由流體系統(tǒng)對壓縮流體、例如壓縮空氣進行受控制的引導(dǎo)分別生成基于伯努利效應(yīng)的負壓，并且所述基片通過在皮帶的縱向邊緣上的各個位置上構(gòu)成的、在大氣壓力和在各個位置上生成的負壓之間的壓力差均勻地貼緊地保持在具有支承面的傳送帶的傳送表面上。
2.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在基片的輸送過程中，在皮帶的縱向邊緣 上的、基于伯努利效應(yīng)分別形成要負壓的多個位置中，只有一定數(shù)量的位置持續(xù)地通過壓 縮空氣供給來控制，用來分別生成基于伯努利效應(yīng)的負壓，所述一定數(shù)量的位置在基片的 輸送過程中在輸送方向上依次地在任何時刻分別被一個基片遮蓋，其中在基片的輸送過程 中，在遮蓋在輸送方向上緊接著的位置的情況下在皮帶的縱向邊緣上通過每個基片的在輸 送方向上的前方邊緣，通過壓縮空氣的供給來自動地觸發(fā)緊隨其后的位置的控制，并且分 別在相應(yīng)緊接著由相應(yīng)的基片的沿輸送方向位于后面的邊緣在其輸送的過程中被暴露出 來的縱向邊緣的位置上切斷壓縮空氣的供給。
3.按權(quán)利要求1和2之任一項所述的方法，其中基片在具有環(huán)繞的連續(xù)皮帶的傳送帶 上傳送，其特征在于，既沿著所述連續(xù)皮帶的上方支承面的縱向邊緣，也沿著傳送帶的連續(xù) 皮帶的、反向運動的下方支承面的縱向邊緣，在縱向邊緣上的多個彼此間隔距離的位置上 分別生成基于伯努利效應(yīng)的負壓，所述伯努利效應(yīng)由壓縮流體的流體引導(dǎo)而造成，并且所 述基片沿相應(yīng)的輸送方向在多個位置上分別借助于在大氣壓力和在相應(yīng)的位置上生成的 負壓之間的壓力差以所述基片的支承面均勻地貼緊地保持在連續(xù)皮帶的上方支承面以及 下方支承面上。
4.按權(quán)利要求1至3之任一項所述的方法，其中通過具有兩個相互平行的運動方向相 同的傳送帶的傳送帶系統(tǒng)輸送所述基片，其中兩個所述傳送帶的相對置的端部部段相互重 疊并且相互間隔距離地設(shè)置，其特征在于，通過分別在下方傳送帶以及上方傳送帶的皮帶 的縱向邊緣上的相應(yīng)位置上交互地產(chǎn)生負壓，使在下方傳送帶的傳送表面上輸送的基片轉(zhuǎn) 移到上方傳送帶的相對置的傳送表面上，緊貼并且吸附地保持在所述上方傳送帶的相對置 的傳送表面上。
5.按權(quán)利要求1至4之任一項所述的方法，其特征在于，沿著傳送帶的皮帶的兩個在輸 送方向上延伸的縱向邊緣，分別在相互相應(yīng)的位置上生成基于伯努利效應(yīng)的負壓。
6.按權(quán)利要求1至5之任一項所述的方法，其特征在于，在皮帶的每個縱向邊緣上生成 基于伯努利效應(yīng)的負壓的各位置之間的間隔選擇成相同大小的。
7.按權(quán)利要求1至6之任一項所述的方法，其特征在于，在皮帶的每個縱向邊緣上的相 應(yīng)位置上形成的、基于伯努利效應(yīng)的負壓以相同的強度生成。
8.按權(quán)利要求1至7之任一項所述的方法，其特征在于，計算機控制地實現(xiàn)借助于所述 流體系統(tǒng)來調(diào)整壓縮空氣的供給，用來在傳送帶的皮帶的縱向邊緣上的多個位置的每一個 上生成基于伯努利效應(yīng)的負壓。
9.一種傳送帶系統(tǒng)(1)，包括至少一個傳送帶(2)，用來輸送扁平的輸送物品，尤其是基片(3)、如硅晶片和太陽能電池抽吸裝置(4)，所述基片(3)至少循環(huán)地在輸送過程中被所述抽吸裝置(4)吸附地保持 在所述至少一個的傳送帶(2)的傳送表面(5)上，其特征在于，沿著傳送帶(2)的皮帶(8)的兩個在輸送方向(6)上延伸的縱向邊緣(7)中的每一個， 在相互相應(yīng)的位置上分別設(shè)置生成伯努利效應(yīng)的裝置(4)的至少一個腔室(10)的至少一 個流出孔(9)，壓縮流體(11)、如壓縮空氣通過至少一個流入孔(12)輸送給腔室(10)，所述流入孔的 橫截面大于腔室(10)的流出口(9)的橫截面，并且所述基片(3)借助于在大氣壓力和負壓之間的壓力差面接觸地、均勻地、貼緊地保持 在傳送帶(2)的傳送表面(5)上，所述負壓通過沿著傳送帶(2)的皮帶(8)的縱向邊緣(7) 由伯努利抽吸裝置(4)產(chǎn)生的伯努利效應(yīng)來引起。
10.按權(quán)利要求9所述的傳送帶系統(tǒng)，其特征在于，所述伯努利抽吸裝置(4)具有多個 (a)腔室和一定數(shù)量(b)的流出孔(9)，所述流出孔的數(shù)量對于傳送帶(2)的皮帶(8)的每 個縱向邊緣(7)來說是一樣的，其中所述流出孔(9)以相互相同的間隔設(shè)置在各自相應(yīng)的 位置中。
11.按權(quán)利要求10所述的傳送帶系統(tǒng)，其特征在于，多個(a)腔室(10)和一定數(shù)量(b)的流出孔(9)沿著傳送帶(2)的皮帶(8)的兩個 縱向邊緣(7)中每一個是一致的，并且每個腔室(10)配設(shè)兩個流出孔(9)，所述流出孔在傳送帶(2)的皮帶(8)的兩個縱向 邊緣(7)上設(shè)置在各自相應(yīng)的位置(9)上。
12.按權(quán)利要求9至11之任一項所述的傳送帶系統(tǒng)，其特征在于，在基片(3)的輸送過 程中，在伯努利抽吸裝置(4)的多個(a)腔室(10)中，只有一定數(shù)量(c)的腔室(10)持續(xù) 地通過伯努利抽吸裝置(4)來控制，所述一定數(shù)量的腔室的、在輸送方向(6)上依次配設(shè)的 流出孔(9)沿著傳送帶(2)的皮帶(8)的每個縱向邊緣(7)在基片(3)的輸送過程中在任 何時刻分別被基片(3)遮蓋，其中在基片(3)的輸送過程中，在遮蓋在輸送方向(6)上緊接 著的流出口(9)的情況下，通過每個基片(3)的在輸送方向(6)上的前方邊緣(13)自動地 控制與流出口(9)相配的腔室(10)，并且分別切斷與該流出口(9)相配的腔室(10)，該流 出孔分別緊接著從相應(yīng)的基片(3)的在輸送方向(6)上位于后面的邊緣(14)在其輸送的 過程中暴露出來。
13.按權(quán)利要求9至12之任一項所述的傳送帶系統(tǒng)，其特征在于，傳送帶(2)具有環(huán) 繞的連續(xù)皮帶(8)，在它的上方支承面(15)以及反向運動的下方支承面(16)上被伯努利 抽吸裝置(4)沿著傳送帶(2)的連續(xù)皮帶(8)的縱向邊緣(7)分別產(chǎn)生伯努利效應(yīng)，并且 連續(xù)皮帶(8)的上方支承面(15)以及下方支承面(16)在各自的運動方向中分別構(gòu)成傳送 帶(2)的傳送表面(5)，在所述傳送帶的傳送表面上借助大氣壓力和負壓之間的壓力差均 勻地、貼緊地保持基片(3)，所述負壓通過沿著傳送帶(2)的連續(xù)皮帶(8)的縱向邊緣(7) 由伯努利抽吸裝置(4)產(chǎn)生的伯努利效應(yīng)引起。
14.按權(quán)利要求9至12之任一項所述的傳送帶系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置兩個相互平行 的、運動方向(6)相同的傳送帶(2)，所述傳送帶以其相對置的端部部段(17 ； 18)相互重疊并且上下相互間隔距離地設(shè)置，其中通過交互地控制各個伯努利抽吸裝置(4)的配設(shè)的腔 室(10)的分別在下方傳送帶以及上方傳送帶(2)的皮帶(8)的縱向邊緣(7)上的相應(yīng)的 流出口(9)，并且因此通過其中待生成的伯努利效應(yīng)，使位于在下方傳送帶(2)的傳送表面 (5)上的基片(3)轉(zhuǎn)移到上方傳送帶(2)的相對置的傳送表面(5)上，以及緊貼并且保持在 所述上方傳送帶的相對置的傳送表面上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用來在傳送帶系統(tǒng)(1)的至少一個傳送帶(2)上輸送扁平的輸送物品方法，所述輸送物品尤其是基片(3)，如硅晶片和太陽能電池，其中所述基片(3)至少循環(huán)地在輸送過程中被吸附地保持在傳送帶(2)的傳送表面(5)上。為了保證在傳送帶(2)的基片(3)更好地、防滑且經(jīng)濟地輸送，按本發(fā)明地沿著傳送帶(2)的皮帶(8)的兩個在輸送方向上延伸的縱向邊緣(7)中的至少一個，在多個相互間隔距離的位置(9)上，借助由流體系統(tǒng)(4)控制的壓縮流體(11)、例如壓縮空氣的引導(dǎo)，分別生成基于伯努利效應(yīng)的負壓，所述基片(3)通過在皮帶的縱向邊緣上的各個位置(9)上構(gòu)成的、在大氣壓力和在相應(yīng)的位置(9)上生成的負壓之間的壓力差均勻地、貼緊地保持在具有支承面的傳送帶(2)的傳送表面(5)上。
文檔編號H01L21/683GK101971320SQ200980109116
公開日2011年2月9日 申請日期2009年1月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月16日
發(fā)明者J·格熱拉克 申請人:約納斯雷德曼自動化技術(shù)有限公司