專利名稱：調(diào)節(jié)傳送構(gòu)件的速度的方法、使用該方法傳送基板的方法以及基板處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
這里公開的本發(fā)明涉及制造半導(dǎo)體基板的設(shè)備，并且更特別地，涉及調(diào)節(jié)處理半 導(dǎo)體基板的傳送構(gòu)件的速度的方法、使用所述調(diào)節(jié)方法的基板傳送方法以及基板處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
在基板制造過程中，多次重復(fù)對(duì)介電材料和金屬材料的沉積與蝕刻、光致抗蝕劑 的涂覆與顯影、灰化處理(asher process)等，以實(shí)現(xiàn)構(gòu)圖的精致布局。但是，盡管進(jìn)行了 包括蝕刻或者灰化處理的處理，仍會(huì)在基板中殘留異物。移除這些異物的處理包括使用去 離子水或者化學(xué)制劑的清潔處理。進(jìn)行清潔處理的基板清潔設(shè)備劃分為批次基板清潔設(shè)備和單基板清潔設(shè)備。批次 基板清潔設(shè)備包括具有能夠一次處理25塊基板或50塊基板的尺寸的化學(xué)槽、洗滌槽和烘 干槽。批次基板清潔設(shè)備通過將基板浸漬在各個(gè)槽中預(yù)定的時(shí)間而移除異物。這樣的批次 基板清潔設(shè)備同時(shí)清潔基板的上部和下部并且同時(shí)處理大量的基板。但是，隨著基板直徑 的增大，槽的尺寸也增大，從而增大了設(shè)備的尺寸和化學(xué)制劑的量。另外，從相鄰基板脫離 的異物附著到化學(xué)槽中正被清潔的基板。最近，隨著基板直徑的增大，廣泛地使用單基板清潔設(shè)備。在單基板清潔設(shè)備中， 基板被固定到腔室(chamber)中的基板夾具，所述腔室具有用于處理單個(gè)基板的小的尺 寸；然后，基板被馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)；接著，通過布置在基板上方的噴嘴向所述基板提供化學(xué)制劑或 者去離子水?；宓淖孕够瘜W(xué)制劑或者去離子水在基板的上部展開，以從基板去除異物。 單基板清潔設(shè)備的尺寸比批次基板清潔設(shè)備的尺寸更小，并且實(shí)現(xiàn)了均一的清潔性能?？傮w上，單基板清潔設(shè)備從其一個(gè)側(cè)部開始包括加載/卸載單元、索引機(jī)械手、 緩沖單元、處理腔室和主傳送機(jī)械手。索引機(jī)械手在緩沖單元和加載/卸載單元之間傳送 基板，主傳送機(jī)械手在緩沖單元和處理腔室之間傳送基板。在緩沖單元處，將要清潔的基板 等待插入到處理腔室中，或者已經(jīng)清潔的基板等待傳送到加載/卸載單元。比如索引機(jī)械手和主傳送機(jī)械手的傳送機(jī)械手包括多個(gè)臂，基板被加載到各個(gè) 臂。所述各個(gè)臂水平移動(dòng)，以便從收納構(gòu)件或緩沖單元中取出基板或?qū)⒒寮虞d到收納 構(gòu)件或緩沖單元，所述收納構(gòu)件比如前端統(tǒng)一開口的容器(front open unified pods, FOUPs)。由于當(dāng)傳送機(jī)械手上下移動(dòng)以將基板放置在臂的上表面時(shí)或者當(dāng)傳送機(jī)械手在 基板放置在臂上的狀態(tài)下上下移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的噪聲和振動(dòng)，需要傳送機(jī)械手以低的速度移 動(dòng)。由此，增加了傳送機(jī)械手的基板傳送時(shí)間，降低了傳送效率。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題
本發(fā)明提供了調(diào)節(jié)傳送構(gòu)件的移動(dòng)速度的方法，改進(jìn)了傳送基板的效率。本發(fā)明還提供了使用所述調(diào)節(jié)傳送構(gòu)件的移動(dòng)速度的方法來(lái)傳送基板的方法。本發(fā)明還提供了使用所述傳送基板的方法來(lái)處理基板的基板處理設(shè)備。技術(shù)方案本發(fā)明的實(shí)施方式提供了調(diào)節(jié)傳送構(gòu)件的移動(dòng)速度的方法，所述傳送構(gòu)件具有多 個(gè)加載有基板的傳送臂，各個(gè)傳送臂朝向地面(facing a ground)，所述方法包括使所述 傳送臂從所述傳送臂開始上下移動(dòng)的起點(diǎn)向所述移動(dòng)速度達(dá)到預(yù)設(shè)基準(zhǔn)速度的第一點(diǎn)加 速；使以所述基準(zhǔn)速度移動(dòng)的傳送臂從第二點(diǎn)向目標(biāo)點(diǎn)逐漸減速；以及，將從所述第一點(diǎn) 至所述第二點(diǎn)的段劃分為N個(gè)移動(dòng)段(這里N是至少為2的自然數(shù))，以使所述傳送臂根據(jù) 各個(gè)移動(dòng)段而以減速運(yùn)動(dòng)、加速運(yùn)動(dòng)和勻速運(yùn)動(dòng)中的任一種運(yùn)動(dòng)移動(dòng)，其中，所述傳送臂在 當(dāng)前移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)不同于緊接當(dāng)前移動(dòng)段之前的移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式中，提供了使用傳送構(gòu)件的基板傳送方法，所述傳送 構(gòu)件具有多個(gè)加載有基板的傳送臂，所述各個(gè)傳送臂朝向地面，所述方法包括使所述傳送 構(gòu)件向收納構(gòu)件移動(dòng)以加載或拾取所述收納構(gòu)件中的基板；使所述傳送臂上下移動(dòng)以位于 所述收納構(gòu)件中的目標(biāo)點(diǎn)；以及，將設(shè)置在所述傳送臂的上表面上的所述基板加載到所述 目標(biāo)點(diǎn)上，或者拾取加載到所述目標(biāo)點(diǎn)上的基板。傳送臂的移動(dòng)包括使所述傳送臂從所述傳送臂開始上下移動(dòng)的起點(diǎn)向移動(dòng)速度 達(dá)到預(yù)設(shè)基準(zhǔn)速度的第一點(diǎn)加速；將從所述第一點(diǎn)至所述第二點(diǎn)的段劃分為N個(gè)移動(dòng)段 (這里N是至少為2的自然數(shù))，以使所述傳送臂根據(jù)各個(gè)移動(dòng)段而以減速運(yùn)動(dòng)、加速運(yùn)動(dòng) 和勻速運(yùn)動(dòng)中的任一種運(yùn)動(dòng)移動(dòng)；以及，使以所述基準(zhǔn)速度移動(dòng)的傳送臂從所述第二點(diǎn)向 所述目標(biāo)點(diǎn)減速，且所述傳送臂在當(dāng)前移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)不同于緊接當(dāng)前移動(dòng)段之前的移動(dòng) 段中的運(yùn)動(dòng)。在本發(fā)明的又一個(gè)實(shí)施方式中，基板處理設(shè)備包括收納構(gòu)件、傳送構(gòu)件和控制單元。所述收納構(gòu)件沿上下方向配置多個(gè)基板以收納所述基板。所述傳送構(gòu)件包括多 個(gè)傳送臂，所述多個(gè)傳送臂在上下方向上朝向彼此；臂驅(qū)動(dòng)部件，所述臂驅(qū)動(dòng)部件水平地移 動(dòng)所述各個(gè)傳送臂；上下移動(dòng)部件，所述上下移動(dòng)部件配置在所述臂驅(qū)動(dòng)部件下方以改變 所述傳送臂的上下位置，所述基板加載到各個(gè)傳送臂上，所述傳送構(gòu)件從所述收納構(gòu)件取 出至少一個(gè)基板以及向所述收納構(gòu)件加載至少一個(gè)基板。所述控制單元調(diào)節(jié)所述上下移動(dòng) 部件的移動(dòng)速度直到所述傳送臂上下移動(dòng)而到達(dá)所述收納構(gòu)件中的目標(biāo)點(diǎn)。所述控制單元將所述上下移動(dòng)部件加速至預(yù)設(shè)基準(zhǔn)速度，直至所述傳送臂從起點(diǎn) 到達(dá)第一點(diǎn)；并且所述控制單元使以所述基準(zhǔn)速度移動(dòng)的所述上下移動(dòng)部件減速，直至所 述傳送臂從第二點(diǎn)到達(dá)所述目標(biāo)點(diǎn)；并且當(dāng)所述傳送臂在所述第一點(diǎn)和所述第二點(diǎn)之間的 段內(nèi)移動(dòng)時(shí)，所述段被劃分為N個(gè)移動(dòng)段(這里，N是至少為2的自然數(shù))，所述控制單元根 據(jù)所述各個(gè)移動(dòng)段使所述上下移動(dòng)部件以減速運(yùn)動(dòng)、加速運(yùn)動(dòng)和勻速運(yùn)動(dòng)中的任一種運(yùn)動(dòng) 沿上下方向移動(dòng)。所述控制單元控制所述上下移動(dòng)部件，以使所述上下移動(dòng)部件在當(dāng)前移動(dòng)段中的 運(yùn)動(dòng)不同于在緊接所述當(dāng)前移動(dòng)段之前的移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)。有益效果
根據(jù)本發(fā)明，在所述傳送構(gòu)件達(dá)到基準(zhǔn)速度時(shí)，根據(jù)各個(gè)移動(dòng)段所述傳送構(gòu)件的 運(yùn)動(dòng)不同于先前段中的運(yùn)動(dòng)。由此，施加與先前移動(dòng)段中的脈沖不同的脈沖到加載的基板。 因此，脈沖響應(yīng)疊加消除了基板的殘余振動(dòng)，從而改進(jìn)了傳送構(gòu)件的傳送效率。


所包括的附圖提供了對(duì)于本發(fā)明的進(jìn)一步的理解，并且被整合在說(shuō)明書中并構(gòu)成 說(shuō)明書的一部分。附圖示出了本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，并且與說(shuō)明書一起用以說(shuō)明本發(fā) 明的原則。在附圖中圖1是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)的示意圖；圖2是說(shuō)明圖1中的索引機(jī)械手的立體圖；圖3是圖1中說(shuō)明的緩沖單元的立體圖；圖4是圖1中說(shuō)明的主傳送機(jī)械手的立體圖；圖5是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的通過脈沖響應(yīng)疊加而被消除了殘留振動(dòng)的 曲線；圖6是說(shuō)明圖1中示出的第一控制單元根據(jù)索引機(jī)械手的上下位置使用根據(jù)本發(fā) 明的實(shí)施方式的脈沖響應(yīng)方法控制上下移動(dòng)速度的過程的示意圖；圖7是說(shuō)明根據(jù)圖6中所示的各個(gè)段的、索引機(jī)械手的上下移動(dòng)速度的曲線；圖8至圖15是說(shuō)明由圖1中所示的第一控制單元控制的索引機(jī)械手的上下移動(dòng) 速度的變化的圖。
具體實(shí)施例方式下面將參考附圖更為詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。但是，本發(fā)明可以以不 同的形式實(shí)現(xiàn)，并且不應(yīng)認(rèn)為局限于這里提出的實(shí)施方式。而是，提供這些實(shí)施方式以使本 公開透徹和完整，并且全面地向本領(lǐng)域技術(shù)人員傳達(dá)本發(fā)明的范圍。下文中，將結(jié)合

本發(fā)明的示例性實(shí)施方式。圖1是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)1000的示意圖。圖2是說(shuō)明 圖1中所示的索引機(jī)械手200的立體圖。參考圖1和圖2，所述基板處理系統(tǒng)1000可以包括加載/卸載單元110、索引機(jī) 械手200、緩沖單元300、主傳送機(jī)械手500、多個(gè)處理腔室600、和第一控制單元710與第二 控制單元720。加載/卸載單元110包括多個(gè)加載口 110a、110b、110c和110d。雖然本實(shí)施方式 中加載/卸載單元110包括四個(gè)加載口 110a、110b、1 IOc和110d，但根據(jù)基板處理系統(tǒng)1000 的處理效率和覆蓋區(qū)狀態(tài)(footprint conditions)，加載口 110a、110b、IlOc和IlOd的數(shù) 目可以增加或減少。前端統(tǒng)一開口的容器(FOUPs) 120a、120b、120c和120d被布置于加載口 110a、 IlObUlOc 和 IlOd 上。晶圓儲(chǔ)存在 FOUPs 120a、120b、120c 和 120d。各個(gè) FOUPs 120a、 120b、120c和120d設(shè)置有多個(gè)用于相對(duì)于地面水平地儲(chǔ)存晶圓的槽。FOUPs 120a、120b、 120c和120d儲(chǔ)存加載過和已經(jīng)在處理腔室600中處理過的晶圓，或者儲(chǔ)存將要在處理腔室 600中加載和處理的晶圓。下文中，為方便起見，已經(jīng)由基板處理系統(tǒng)1000處理的晶圓稱為處理晶圓(processed wafers)，而仍未處理的晶圓稱為原始晶圓(primitive wafers)。索引機(jī)械手200布置在加載/卸載單元110和緩沖單元300之間，第一傳送導(dǎo)軌 20布置在索引機(jī)械手200下方。索引機(jī)械手200沿第一傳送導(dǎo)軌20移動(dòng)并傳送晶圓。索 引機(jī)械手200可以包括臂驅(qū)動(dòng)部件210、索引臂部件220、多個(gè)連接部件230、轉(zhuǎn)動(dòng)部件M0、 上下移動(dòng)部件250和水平移動(dòng)部件沈0。特別地，臂驅(qū)動(dòng)部件210水平地移動(dòng)各個(gè)索引臂221、222、223和224。索引臂221、 222、223和224由臂驅(qū)動(dòng)部件210單獨(dú)驅(qū)動(dòng)。臂驅(qū)動(dòng)部件210的上部設(shè)置有索引臂部件220。索引臂221、222、223和2M在上 下方向上朝向彼此，并且每個(gè)索引臂221、222、223和2 上加載有晶圓。在本實(shí)施方式中， 索引機(jī)械手200設(shè)置有四個(gè)索引臂221、222、223和224，但索引臂221、222、223和2 的數(shù) 目可以根據(jù)基板處理系統(tǒng)1000的處理效率而增加。傳送原始晶圓的索引臂221和222可以稱為加載索引臂，傳送處理晶圓的索引臂 223和2 可以稱為卸載索引臂。在本示例中，加載索引臂221和222、和卸載索引臂223和 224單獨(dú)布置，并且不交替布置。例如，卸載索引臂223和2 可以布置在加載索引臂221 和222上方。因此，在傳送原始晶圓和處理晶圓時(shí)，索引機(jī)械手200防止處理晶圓被原始晶 圓污染，由此提高產(chǎn)品的產(chǎn)能(yield)。置于加載/卸載單元110上的加載索引臂221和222從等待的FOUPs 120a、120b、 120c和120d中的任一個(gè)中取出原始晶圓，然后將原始晶圓加載到緩沖單元300。索引機(jī)械 手200 —次從等待的F0UPsl20a、120b、120c和120d中取出至少一個(gè)原始晶圓。即，加載索 引臂221和222可以同時(shí)將原始晶圓插入到等待處理的FOUPs 120a、120b、120c和120d，然 后同時(shí)取出原始晶圓。由此，可以從等待處理的FOUPs 120a、120b、120c和120d中同時(shí)取 出兩個(gè)原始晶圓。另外，索引機(jī)械手200加載至少一個(gè)原始晶圓至緩沖單元300。即，加載索引臂221 和222可以同時(shí)插入緩沖單元300，然后同時(shí)將索引臂221和222上的原始晶圓加載到緩沖 單元300。由此，可以同時(shí)將兩個(gè)原始晶圓加載到緩沖單元300。例如，索引機(jī)械手200 —次從等待處理的FOUPs 120a、120b、120c和120d取出的 晶圓的最大數(shù)目及一次加載到緩沖單元300的晶圓的最大數(shù)目等于加載索引臂221和222 的數(shù)目。卸載索引臂223和2 從緩沖單元300卸載處理晶圓，并將處理晶圓加載到索引 機(jī)械手200。索引機(jī)械手200 —次從緩沖單元300卸載至少一個(gè)處理晶圓。即，卸載索引臂 223和2 可以同時(shí)插入緩沖單元300，然后同時(shí)從緩沖單元300卸載原始晶圓。由此，可 以從緩沖單元300同時(shí)取出兩個(gè)原始晶圓。另外，索引機(jī)械手200再次一次加載至少一個(gè)處理晶圓至等待處理的FOUPs 120a、120b、120c和120d。即，卸載索引臂223和224同時(shí)插入等待處理的FOUPs 120a、 120b、120c和120d，然后同時(shí)將置于卸載索引臂223和2M上的處理晶圓加載到等待處理 的FOUPsl20a、120b、120c和120d。由此，兩個(gè)處理晶圓被同時(shí)加載到等待處理的FOUPs 120a、120b、120c 和 120d。例如，索引機(jī)械手200 —次從緩沖單元300取出的晶圓的最大數(shù)目及一次加載到 FOUPs 120a、120b、120c和120d的晶圓的最大數(shù)目等于卸載索引臂223和224的數(shù)目。
這樣，索引機(jī)械手200從FOUPs 120a、120b、120c和120d和緩沖單元300 —次取 出多個(gè)晶圓，并且一次向FOUPs 120a、120b、120c和120d和緩沖單元300加載多個(gè)晶圓，由 此減少了傳送晶圓的時(shí)間，提高了生產(chǎn)率。索引機(jī)械手200連接到連接部件230。連接部件230聯(lián)接到臂驅(qū)動(dòng)部件210，以根 據(jù)臂驅(qū)動(dòng)部件210的驅(qū)動(dòng)而水平地移動(dòng)所連接的索引臂221、222、223和224。轉(zhuǎn)動(dòng)部件240布置于臂驅(qū)動(dòng)部件210下方。轉(zhuǎn)動(dòng)部件240聯(lián)接到臂驅(qū)動(dòng)部件210， 轉(zhuǎn)動(dòng)部件240轉(zhuǎn)動(dòng)以使臂驅(qū)動(dòng)部件210轉(zhuǎn)動(dòng)。由此，索引臂部件220也轉(zhuǎn)動(dòng)。上下移動(dòng)部件250布置在轉(zhuǎn)動(dòng)部件240下方，并且水平移動(dòng)部件260布置在上下 移動(dòng)部件250下方。上下移動(dòng)部件250聯(lián)接到轉(zhuǎn)動(dòng)部件MO以上下移動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)部件M0，由 此，調(diào)節(jié)臂驅(qū)動(dòng)部件210和索引臂部件220的上下方向的位置。水平移動(dòng)部件260聯(lián)接到 第一傳送導(dǎo)軌20并沿第一傳送導(dǎo)軌20水平地移動(dòng)。由此，索引機(jī)械手200沿加載口 110a、 IlObUlOc和IlOd的配置方向移動(dòng)。緩沖單元300布置在索引機(jī)械手200所布置的區(qū)域及處理腔室600和主傳送機(jī)械 手500所布置的區(qū)域之間。緩沖單元300接收索引機(jī)械手200所傳送的原始晶圓和處理腔 室600中處理的晶圓。圖3是圖1中所示的緩沖單元300的立體圖。參考圖1和圖3，緩沖單元300包括主體310、第一支撐部件320和第二支撐部件 330。特別地，主體310可以包括底面311、從底面311沿上下方向延伸的第一側(cè)壁312 和第二側(cè)壁313、以及聯(lián)接到第一側(cè)壁312和第二側(cè)壁313的上端的頂面314。為接觸晶圓，主體310具有朝向索引機(jī)械手200的開口前壁以及朝向主傳送機(jī)械 手500的開口后壁。由此，方便索引機(jī)械手200和主傳送機(jī)械手500將晶圓插入緩沖單元 300以及從緩沖單元300取出晶圓。第一側(cè)壁312和第二側(cè)壁313朝向彼此，頂面314被局部去除以具有開口 314a。第一支撐部件320和第二支撐部件330布置在主體310中。第一支撐部件320聯(lián) 接到第一側(cè)壁312，第二支撐部件330聯(lián)接到第二側(cè)壁313。各第一支撐部件320和第二支 撐部件330包括多個(gè)支撐部。第一支撐部件320的支撐部與第二支撐部件330的支撐部 一一對(duì)應(yīng)。緩沖單元300接收晶圓，其中晶圓的端部由第一支撐部件320的支撐部和第二 支撐部件330的支撐部支撐，其中，所述晶圓朝向底面311。第一支撐部件320和第二支撐部件330的支撐部在上下方向上根據(jù)加載索引臂 221和222的數(shù)目(見圖2)和卸載索引臂223和224的數(shù)目(見圖2)彼此間隔開第一間 隙。加載索引臂221和222與卸載索引臂223和2M也各自間隔開第一間隙。由此，索引機(jī) 械手200 —次從緩沖單元300中取出多個(gè)晶圓并且一次加載多個(gè)晶圓到緩沖單元300中。 這里，第一間隙等于 FOUPs 120a、120b、120c 和 120d 的槽隙(slot gap)。第一支撐部件320和第二支撐部件330的各個(gè)支撐部可以設(shè)置有引導(dǎo)晶圓位置的 引導(dǎo)部31。引導(dǎo)部31從支撐部的頂面突出并支撐晶圓的側(cè)面。如上所述，緩沖單元300的順次布置的支撐部之間的間隙與同時(shí)拾取或加載晶圓 的索引臂221、222、223和2M之間的間隙相同。由此，索引機(jī)械手200 —次從緩沖單元300 取出多個(gè)晶圓并且一次加載多個(gè)晶圓到緩沖單元300，由此提高了可使用性、生產(chǎn)率并減少了加工時(shí)間。 主傳送機(jī)械手500將布置在緩沖單元300中的原始晶圓傳送到各個(gè)處理腔室600。 主傳送機(jī)械手500布置于傳送通道400處，并沿布置于傳送通道400的第二傳送導(dǎo)軌30移 動(dòng)。傳送通道400連接到處理腔室600。主傳送機(jī)械手500從緩沖單元300拾取原始晶圓，然后沿第二傳送導(dǎo)軌30移動(dòng)并 將原始晶圓提供至相關(guān)的一個(gè)處理腔室600。另外，主傳送機(jī)械手500將處理腔室600中處 理的晶圓加載到緩沖單元300。圖4是圖1中所示的主傳送機(jī)械手500的立體圖。參考圖1和圖4，主傳送機(jī)械手500可以包括手驅(qū)動(dòng)部510、拾取手部520、多個(gè)連 接部530、轉(zhuǎn)動(dòng)部M0、上下移動(dòng)部550和水平移動(dòng)部560。特別地，手驅(qū)動(dòng)部510水平地移動(dòng)各個(gè)拾取手521、522、523和524。各個(gè)拾取手 521、522、523和524由手驅(qū)動(dòng)部510獨(dú)立驅(qū)動(dòng)。手驅(qū)動(dòng)部510的上部設(shè)置有拾取手部520。拾取手521、522、523和5 在上下方 向上朝向彼此，晶圓被加載到各拾取手521、522、523和5 上。在本實(shí)施方式中，主傳送機(jī) 械手500設(shè)置有四個(gè)拾取手521、522、523和524，但拾取手521、522、523和5 的數(shù)目可以 根據(jù)基板處理系統(tǒng)1000的處理效率而增加。傳送原始晶圓的拾取手521和522可以稱為加載拾取手，而傳送處理后的晶圓的 拾取手523和5M可以稱為卸載拾取手。在本示例中，加載拾取手521和522與卸載拾取 手523和5M獨(dú)立布置，不交替布置。例如，卸載拾取手523和5M可以布置在加載拾取手 521和522上方。由此，在傳送原始晶圓和處理晶圓時(shí)，主傳送機(jī)械手500防止處理晶圓被 原始晶圓污染，由此提高了產(chǎn)品的產(chǎn)能。各個(gè)加載拾取手521和522從緩沖單元300中取出原始晶圓并將處理晶圓提供到 處理腔室600中的未使用的一個(gè)處理腔室600。加載拾取手521和522間隔開緩沖單元300 的各個(gè)支撐部的第一間隙。由此，加載拾取手521和522能夠從緩沖單元300同時(shí)取出原 始晶圓。各個(gè)卸載拾取手523和5M從已經(jīng)完成處理的處理腔室600取出處理晶圓，然后 將處理晶圓加載到緩沖單元300。卸載拾取手523和5M間隔開第一間隙。由此，卸載拾取 手523和5M能夠同時(shí)將從處理腔室600取出的處理晶圓加載到緩沖單元300。在本實(shí)施 方式中，加載拾取手521和522的數(shù)目與卸載拾取手523和524的數(shù)目分別為兩個(gè)，但所述 數(shù)目可以根據(jù)基板處理系統(tǒng)1000的處理效率而增加。例如，如下數(shù)目是相同的緩沖單元300中的間隔第一間隙的并且順次地布置的 支撐部的數(shù)目、從緩沖單元300 —次取出晶圓或者一次將晶圓加載到緩沖單元300的索引 機(jī)械手200中的索引臂221、222、223和224的最大數(shù)目、從緩沖單元300 —次取出晶圓或 者將晶圓一次加載到緩沖單元300的主傳送機(jī)械手500中的拾取手521、522、523和524的
最大數(shù)目。這樣，主傳送機(jī)械手500從緩沖單元300 —次取出多個(gè)原始晶圓或者一個(gè)原始晶 圓。另外，主傳送機(jī)械手500 —次向緩沖單元300加載多個(gè)處理晶圓或一個(gè)處理晶圓。由 此，由于減少了晶圓的傳送時(shí)間，基板處理系統(tǒng)1000能夠減少處理時(shí)間，并提高生產(chǎn)率。拾取手521、522、523和5M連接到連接部530。聯(lián)接到手驅(qū)動(dòng)部510的連接部530根據(jù)手驅(qū)動(dòng)部510的驅(qū)動(dòng)而水平地移動(dòng)所連接的拾取手521、522、523和524。轉(zhuǎn)動(dòng)部540布置在手驅(qū)動(dòng)部510下方。轉(zhuǎn)動(dòng)部540聯(lián)接到手驅(qū)動(dòng)部510，并且轉(zhuǎn)動(dòng) 部540轉(zhuǎn)動(dòng)以使手驅(qū)動(dòng)部510轉(zhuǎn)動(dòng)。由此，拾取手521、522、523和5 —起轉(zhuǎn)動(dòng)。上下移動(dòng)部550布置在轉(zhuǎn)動(dòng)部540下方，水平移動(dòng)部560布置在上下移動(dòng)部550下 方。上下移動(dòng)部550聯(lián)接到轉(zhuǎn)動(dòng)部540并使轉(zhuǎn)動(dòng)部540上下移動(dòng)，以調(diào)節(jié)手驅(qū)動(dòng)部510和 拾取手部520的上下方向的位置。水平移動(dòng)部560聯(lián)接到第二傳送導(dǎo)軌30并且沿第二傳 送導(dǎo)軌30移動(dòng)。由此，主傳送機(jī)械手500在緩沖單元300和處理腔室600之間移動(dòng)。布置有主傳送機(jī)械手500的傳送通道400的兩側(cè)設(shè)置有處理原始晶圓并形成處理 晶圓的各個(gè)處理腔室600。在處理腔室600中進(jìn)行的處理包括清潔處理，用于清潔原始晶 圓。每?jī)蓚€(gè)處理腔室600朝向彼此，并且傳送通道400布置在該兩個(gè)處理腔室600之間。傳 送通道400的兩側(cè)中的每側(cè)布置三個(gè)處理腔室600。盡管在本實(shí)施方式中，基板處理系統(tǒng)1000包括6個(gè)處理腔室600，但根據(jù)基板處理 系統(tǒng)1000的處理效率和覆蓋區(qū)狀態(tài)可以增加或者減少處理腔室600的數(shù)目。另外，盡管在 本實(shí)施方式中處理腔室600以單層結(jié)構(gòu)布置，但12個(gè)處理腔室可以劃分為采用多層結(jié)構(gòu)的 兩個(gè)六處理腔室組。索引機(jī)械手200連接到第一控制單元710，主傳送機(jī)械手500連接到第二控制單元 720。第一控制單元710控制索引機(jī)械手200的位置，第二控制單元720控制主傳送機(jī)械手 500的位置。特別地，第一控制單元710控制索引機(jī)械手200的水平移動(dòng)部件沈0以調(diào)節(jié)索引 機(jī)械手200在第一傳送導(dǎo)軌20上的位置，即，調(diào)節(jié)索引機(jī)械手200的水平移動(dòng)位置和索引 機(jī)械手200的水平移動(dòng)速度。第一控制單元710控制索引機(jī)械手200的轉(zhuǎn)動(dòng)部件MO以調(diào) 節(jié)索引臂部件220的轉(zhuǎn)動(dòng)位置和轉(zhuǎn)動(dòng)速度，并控制索引機(jī)械手200的上下移動(dòng)部件250以 調(diào)節(jié)索引臂部件220的上下移動(dòng)位置和上下移動(dòng)速度。尤其，當(dāng)調(diào)節(jié)上下移動(dòng)部件250的上下移動(dòng)速度時(shí)，使用脈沖響應(yīng)疊加法的第一 控制單元710減小了由于上下移動(dòng)而產(chǎn)生的晶圓的振動(dòng)和噪聲。這里，脈沖響應(yīng)疊加法的 脈沖響應(yīng)是在將脈沖輸入施加到任意目標(biāo)時(shí)的輸出。特別地，當(dāng)帶有加載的晶圓的索引臂221、222、223和224(參考圖2)上下移動(dòng)時(shí)， 第一控制單元710調(diào)節(jié)索引機(jī)械手200的移動(dòng)速度以施加新的脈沖至布置在索引臂221、 222、223和2 上的晶圓。由此，由于當(dāng)前脈沖而產(chǎn)生的脈沖響應(yīng)疊加到由于新的脈沖而產(chǎn) 生的脈沖響應(yīng)上，由此減小了施加到索引臂221、222、223和2M上的晶圓的振動(dòng)。圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的通過脈沖響應(yīng)疊加消除了的殘留振動(dòng)的曲 線。參考圖5，第一脈沖產(chǎn)生的脈沖響應(yīng)IRl疊加到第二脈沖產(chǎn)生的脈沖響應(yīng)頂2，脈 沖響應(yīng)IRl和脈沖響應(yīng)IR2疊加處的疊加響應(yīng)CR等于零。即，當(dāng)從不同的時(shí)間點(diǎn)處輸入的 脈沖響應(yīng)IRl和脈沖響應(yīng)IR2彼此疊加時(shí)，消除了脈沖響應(yīng)IRl和脈沖響應(yīng)頂2。圖6是說(shuō)明了如下處理其中，圖1中所示的第一控制單元710使用根據(jù)本發(fā)明的 實(shí)施方式的脈沖響應(yīng)法根據(jù)索引機(jī)械手200的上下位置控制上下移動(dòng)速度。圖7是示出索 引機(jī)械手200在圖6中所示的各段中的上下移動(dòng)速度。參考圖1、圖6和圖7，當(dāng)索引機(jī)械手200上下移動(dòng)時(shí)，第一控制單元710根據(jù)加載索引臂221的上下移動(dòng)位置控制加載索引臂221的速度。S卩，當(dāng)索引臂221從拾取晶圓的 拾取點(diǎn)OP向加載晶圓的放置點(diǎn)IP移動(dòng)時(shí)，或者當(dāng)索引臂221從放置點(diǎn)IP向拾取點(diǎn)OP移 動(dòng)時(shí)，第一控制單元710將拾取點(diǎn)OP和放置點(diǎn)IP之間的段識(shí)別為四個(gè)段。特別地，當(dāng)中間 點(diǎn)MP在拾取點(diǎn)OP和放置點(diǎn)IP之間的中間時(shí)，放置點(diǎn)IP與中間點(diǎn)MP之間的中間部被設(shè)定 為第一修改點(diǎn)M1，并且拾取點(diǎn)OP與中間點(diǎn)MP之間的中間部被設(shè)定為第二修改點(diǎn)M2。參考 圖6，第一修改點(diǎn)Ml與第二修改點(diǎn)M2之間的段稱為修改段MD。第一控制單元710基于各個(gè)點(diǎn)OP、IP、MP、M1、M2控制索引機(jī)械手200的上下移動(dòng) 速度。即，在相關(guān)技術(shù)中(in the related art)，當(dāng)索引機(jī)械手200被垂直加速而達(dá)到預(yù)設(shè) 最大速度時(shí)，索引機(jī)械手200以最大速度勻速運(yùn)動(dòng)，然后索引機(jī)械手200減速靠近目標(biāo)點(diǎn)。 但是，在相關(guān)技術(shù)中，第一控制單元710在索引機(jī)械手200以最大速度勻速運(yùn)動(dòng)的段中改變 速度，由此施加新的脈沖至晶圓。下文中，將詳細(xì)說(shuō)明當(dāng)索引機(jī)械手200從拾取點(diǎn)OP向放置點(diǎn)IP移動(dòng)時(shí)，索引機(jī)械 手200的移動(dòng)速度通過第一控制單元710而變化的情況。特別地，索引機(jī)械手200的上下移動(dòng)部件250(參考圖2、如下移動(dòng)使索引臂221 以預(yù)設(shè)加速度從拾取點(diǎn)OP向第二修改點(diǎn)M2移動(dòng)，并且當(dāng)索引臂221達(dá)到預(yù)設(shè)最大速度VM 時(shí)，索引臂221以該最大速度VM勻速運(yùn)動(dòng)。拾取點(diǎn)OP是索引機(jī)械手200開始上下移動(dòng)的 起點(diǎn)ST。當(dāng)索引臂221到達(dá)第二修改點(diǎn)M2時(shí)，第一控制單元710改變索引機(jī)械手200的上 下移動(dòng)速度以開始用于脈沖響應(yīng)疊加的修改運(yùn)動(dòng)。這里，第二修改點(diǎn)M2是修改運(yùn)動(dòng)的起點(diǎn) MTl0當(dāng)索引機(jī)械手200從放置點(diǎn)IP向拾取點(diǎn)OP移動(dòng)時(shí)，第二修改點(diǎn)M2是修改運(yùn)動(dòng)的終點(diǎn)。當(dāng)開始修改運(yùn)動(dòng)時(shí)，索引機(jī)械手200的上下移動(dòng)部件250從最大速度VM向預(yù)設(shè)最 小速度VS減速，然后以預(yù)設(shè)最小速度VS勻速運(yùn)動(dòng)預(yù)定的時(shí)間。然后，當(dāng)索引臂221通過中間點(diǎn)MP并到達(dá)第一修改點(diǎn)Ml時(shí)，上下移動(dòng)部件250被 再次加速到VM。這里，第一修改點(diǎn)Ml是修改運(yùn)動(dòng)的終點(diǎn)。當(dāng)索引機(jī)械手200從放置點(diǎn)IP 向拾取點(diǎn)OP移動(dòng)時(shí)，第一修改點(diǎn)Ml是修改運(yùn)動(dòng)的起點(diǎn)。接著，上下移動(dòng)部件250以最大速度VM勻速運(yùn)動(dòng)，直到索引臂221接近放置點(diǎn)IP。 圖7中的附圖標(biāo)記MM表示修改運(yùn)動(dòng)段。這樣，當(dāng)索引機(jī)械手200上下移動(dòng)時(shí)，在索引機(jī)械手200的索引臂221在第一修改 點(diǎn)Ml和第二修改點(diǎn)M2之間即在修改段MD中移動(dòng)時(shí)，第一控制單元710周期性地改變索引 機(jī)械手200的上下移動(dòng)速度。即，當(dāng)索引臂221在修改段MD中移動(dòng)時(shí)，索引臂221根據(jù)預(yù) 設(shè)的移動(dòng)段而處于加速運(yùn)動(dòng)、減速運(yùn)動(dòng)和勻速運(yùn)動(dòng)中的一種運(yùn)動(dòng)，當(dāng)前段中的運(yùn)動(dòng)不同于 先前段中的運(yùn)動(dòng)。例如，當(dāng)索引臂221在先前段中加速時(shí)，則索引臂221在當(dāng)前段中被減速 或處于勻速運(yùn)動(dòng)。這樣，當(dāng)索引臂221的運(yùn)動(dòng)類型根據(jù)所述段而變化時(shí)，施加到索引臂221上的晶圓 的脈沖也根據(jù)所述段而變化，由此消除了晶圓的振動(dòng)。因此，基板處理系統(tǒng)1000能夠使索 引機(jī)械手200以最大速度移動(dòng)，而不用考慮晶圓的振動(dòng)，由此減少了傳送基板的時(shí)間，并提
高了生產(chǎn)率。在本實(shí)施方式中，當(dāng)索引機(jī)械手200從放置點(diǎn)IP向拾取點(diǎn)OP移動(dòng)時(shí)，由于索引機(jī)械手200的移動(dòng)速度由于第一控制單元710而產(chǎn)生的變化，與索引機(jī)械手200從拾取點(diǎn)OP 向放置點(diǎn)IP移動(dòng)時(shí)的變化相同，將略去對(duì)它的詳細(xì)說(shuō)明。再參考圖1和圖4，第二控制單元720控制主傳送機(jī)械手500的水平移動(dòng)部560， 以調(diào)節(jié)主傳送機(jī)械手500在第二傳送導(dǎo)軌30上的位置，即，調(diào)節(jié)主傳送機(jī)械手500的水平 移動(dòng)位置和主傳送機(jī)械手500的水平移動(dòng)速度。第二控制單元720控制主傳送機(jī)械手500 的轉(zhuǎn)動(dòng)部討0，以調(diào)節(jié)拾取手521、522、523和524的轉(zhuǎn)動(dòng)位置和轉(zhuǎn)動(dòng)速度，并控制主傳送機(jī) 械手500的上下移動(dòng)部550，以調(diào)節(jié)拾取手521、522、523和5 的上下移動(dòng)位置和上下移動(dòng) 速度。尤其，當(dāng)調(diào)節(jié)主傳送機(jī)械手500的上下移動(dòng)部550的上下移動(dòng)速度時(shí)，使用脈沖響 應(yīng)疊加法的第二控制單元720減小由于上下移動(dòng)而產(chǎn)生的晶圓的振動(dòng)和噪聲。另外，由于本實(shí)施方式中，第二控制單元720調(diào)節(jié)主傳送機(jī)械手500的上下移動(dòng)速 度以消除放置在拾取手521、522、523和5M上的晶圓的振動(dòng)的處理，與第一控制單元710 消除放置在索引臂221上的晶圓的振動(dòng)的處理相同，將略去對(duì)它的詳細(xì)說(shuō)明。圖8至圖15是說(shuō)明由圖1中所示的第一控制單元710控制的索引機(jī)械手200的 上下移動(dòng)速度的變化的圖。參考圖6及圖8至圖15，在進(jìn)行修改運(yùn)動(dòng)的修改運(yùn)動(dòng)段匪中，第一控制單元 710(參考圖1)減小或增大索引機(jī)械手200的上下移動(dòng)速度，以周期性地改變索引機(jī)械手 200的上下移動(dòng)速度。即，在索引機(jī)械手200的索引臂221從放置點(diǎn)IP向拾取點(diǎn)OP移動(dòng)或 者從拾取點(diǎn)OP向放置點(diǎn)IP移動(dòng)的情況中，當(dāng)索引臂221到達(dá)修改段MD時(shí)，第一控制單元 710開始索引機(jī)械手200的修改運(yùn)動(dòng)。圖8至圖15中示出的修改運(yùn)動(dòng)段MM示出了當(dāng)索引 臂221在修改段MD中移動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的移動(dòng)速度變化。參考圖8至圖15，索引臂221在到達(dá)修改段MD之前達(dá)到預(yù)設(shè)基準(zhǔn)速度，并且被加 速直到達(dá)到基準(zhǔn)速度。之后，當(dāng)索引臂221到達(dá)修改段MD時(shí)，當(dāng)索引臂221在修改段MD中 移動(dòng)的同時(shí)，索引臂221根據(jù)預(yù)設(shè)段而處于加速運(yùn)動(dòng)、減速運(yùn)動(dòng)和勻速運(yùn)動(dòng)中的任一種運(yùn) 動(dòng)，其中，當(dāng)前段中的運(yùn)動(dòng)不同于先前段中的運(yùn)動(dòng)?；鶞?zhǔn)速度是圖8至圖15中的最大速度， 其中不包括圖10。這樣，由于索引臂221所處的運(yùn)動(dòng)不同于先前段中的運(yùn)動(dòng)，與先前段中不 同的脈沖被施加到加載在索引機(jī)械手200上的晶圓。因此，加載到索引機(jī)械手200上的晶 圓的振動(dòng)通過脈沖響應(yīng)疊加而被消除。上述的主題認(rèn)為是說(shuō)明性的，而不是限制性，并且所附權(quán)利要求書意圖覆蓋本發(fā) 明的精神和范圍內(nèi)的全部修改例、改進(jìn)例和其它實(shí)施方式。由此，根據(jù)法律的最大范圍的許 可，本發(fā)明的范圍由對(duì)于權(quán)利要求書及其等效文本的最為寬泛的可允許的闡釋來(lái)確定，并 且不受先前的詳細(xì)說(shuō)明的限制或者局限。
權(quán)利要求
1.一種調(diào)節(jié)傳送構(gòu)件的移動(dòng)速度的方法，所述傳送構(gòu)件具有多個(gè)加載有基板的傳送 臂，各個(gè)傳送臂朝向地面，所述方法包括使所述傳送臂從所述傳送臂開始上下移動(dòng)的起點(diǎn)向所述移動(dòng)速度達(dá)到預(yù)設(shè)基準(zhǔn)速度 的第一點(diǎn)加速；使以所述基準(zhǔn)速度移動(dòng)的傳送臂從第二點(diǎn)向目標(biāo)點(diǎn)逐漸減速；和將從所述第一點(diǎn)至所述第二點(diǎn)的段劃分為N個(gè)移動(dòng)段(這里N是至少為2的自然數(shù))， 以使所述傳送臂根據(jù)各個(gè)移動(dòng)段而以減速運(yùn)動(dòng)、加速運(yùn)動(dòng)和勻速運(yùn)動(dòng)中的任一種運(yùn)動(dòng)移 動(dòng)，其中，所述傳送臂在當(dāng)前移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)不同于緊接當(dāng)前移動(dòng)段之前的移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述傳送臂在至少一個(gè)移動(dòng)段中為加速 運(yùn)動(dòng)，并且在至少一個(gè)移動(dòng)段中為減速運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述傳送臂在順次設(shè)置的三個(gè)移動(dòng)段的 中間移動(dòng)段中為勻速運(yùn)動(dòng)，并且所述傳送臂在緊接所述中間移動(dòng)段之前的和緊接所述中間 移動(dòng)段之后的移動(dòng)段中為加速運(yùn)動(dòng)或減速運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述傳送臂在第一移動(dòng)段和最后移動(dòng)段 中以所述基準(zhǔn)速度勻速運(yùn)動(dòng)。
5.一種使用傳送構(gòu)件的基板傳送方法，所述傳送構(gòu)件具有多個(gè)加載有基板的傳送臂， 所述各個(gè)傳送臂朝向地面，所述方法包括使所述傳送構(gòu)件向收納構(gòu)件移動(dòng)以加載或拾取所述收納構(gòu)件中的基板；使所述傳送臂上下移動(dòng)以位于所述收納構(gòu)件中的目標(biāo)點(diǎn)；和將布置在所述傳送臂的上表面上的所述基板加載到所述目標(biāo)點(diǎn)上，或者拾取加載到所 述目標(biāo)點(diǎn)上的基板，其中，所述傳送臂的移動(dòng)包括使所述傳送臂從所述傳送臂開始上下移動(dòng)的起點(diǎn)向移動(dòng)速度達(dá)到預(yù)設(shè)基準(zhǔn)速度的第 一點(diǎn)加速；將從所述第一點(diǎn)至所述第二點(diǎn)的段劃分為N個(gè)移動(dòng)段(這里N是至少為2的自然數(shù))， 以使所述傳送臂根據(jù)各個(gè)移動(dòng)段而以減速運(yùn)動(dòng)、加速運(yùn)動(dòng)和勻速運(yùn)動(dòng)中的任一種運(yùn)動(dòng)移 動(dòng)；和使以所述基準(zhǔn)速度移動(dòng)的傳送臂從所述第二點(diǎn)向所述目標(biāo)點(diǎn)減速，和傳送臂在當(dāng)前移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)不同于緊接當(dāng)前移動(dòng)段之前的移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板傳送方法，其特征在于，所述傳送臂在至少一個(gè)移動(dòng)段 中為加速運(yùn)動(dòng)，并且在至少一個(gè)移動(dòng)段中為減速運(yùn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板傳送方法，其特征在于，所述傳送臂在順次設(shè)置的三個(gè) 移動(dòng)段的中間移動(dòng)段中為勻速運(yùn)動(dòng)，并且所述傳送臂在緊接所述中間移動(dòng)段之前的和緊接所述中間移動(dòng)段之后的移動(dòng)段中為 加速運(yùn)動(dòng)或減速運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板傳送方法，其特征在于，所述傳送臂在第一移動(dòng)段和最 后移動(dòng)段中以所述基準(zhǔn)速度勻速運(yùn)動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板傳送方法，其特征在于，當(dāng)所述起點(diǎn)和所述目標(biāo)點(diǎn)之間 的段被劃分為四個(gè)段時(shí)，所述第一點(diǎn)是所述四個(gè)段中的第一段和第二段之間的分界，并且 所述第二點(diǎn)是所述四個(gè)段中的第三段和第四段之間的分界。
10.一種基板處理設(shè)備，包括收納構(gòu)件，所述收納構(gòu)件沿上下方向配置多個(gè)基板以收納所述基板； 傳送構(gòu)件，所述傳送構(gòu)件包括多個(gè)傳送臂，所述多個(gè)傳送臂在上下方向上朝向彼此； 臂驅(qū)動(dòng)部件，所述臂驅(qū)動(dòng)部件水平地移動(dòng)所述各個(gè)傳送臂；上下移動(dòng)部件，所述上下移動(dòng)部 件配置在所述臂驅(qū)動(dòng)部件下方以改變所述傳送臂的上下位置，所述基板加載到各個(gè)傳送臂 上，所述傳送構(gòu)件從所述收納構(gòu)件取出至少一個(gè)基板以及向所述收納構(gòu)件加載至少一個(gè)基 板；和控制單元，所述控制單元調(diào)節(jié)所述上下移動(dòng)部件的移動(dòng)速度直到所述傳送臂上下移動(dòng) 而到達(dá)所述收納構(gòu)件中的目標(biāo)點(diǎn)，其中，所述控制單元將所述上下移動(dòng)部件加速至預(yù)設(shè)基準(zhǔn)速度，直至所述傳送臂從起 點(diǎn)到達(dá)第一點(diǎn)；并且所述控制單元使以所述基準(zhǔn)速度移動(dòng)的所述上下移動(dòng)部件減速，直至 所述傳送臂從第二點(diǎn)到達(dá)所述目標(biāo)點(diǎn)；并且當(dāng)所述傳送臂在所述第一點(diǎn)和所述第二點(diǎn)之間 的段內(nèi)移動(dòng)時(shí)，所述段被劃分為N個(gè)移動(dòng)段(這里，N是至少為二的自然數(shù))，所述控制單元 根據(jù)所述各個(gè)移動(dòng)段使所述上下移動(dòng)部件以減速運(yùn)動(dòng)、加速運(yùn)動(dòng)和勻速運(yùn)動(dòng)中的任一種運(yùn) 動(dòng)沿上下方向移動(dòng)，和所述控制單元控制所述上下移動(dòng)部件，使所述上下移動(dòng)部件在當(dāng)前移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)不 同于在緊接所述當(dāng)前移動(dòng)段之前的移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板處理設(shè)備，其中在調(diào)節(jié)所述上下移動(dòng)部件的移動(dòng)速 度時(shí)，所述控制單元在所述移動(dòng)段中的至少一個(gè)移動(dòng)段中控制所述上下移動(dòng)部件為加速運(yùn) 動(dòng)，并且在所述移動(dòng)段中的至少一個(gè)移動(dòng)段中控制所述上下移動(dòng)部件為減速運(yùn)動(dòng)。
12.—種基板處理設(shè)備，包括收納容器，所述收納容器沿上下方向隔開待處理或處理后的基板以收納所述基板； 緩沖單元，所述緩沖單元沿上下方向隔開待處理或處理后的基板以收納所述基板； 索引機(jī)械手，所述索引機(jī)械手包括多個(gè)索引臂，所述多個(gè)索引臂在上下方向上朝向彼 此；臂驅(qū)動(dòng)部件，所述臂驅(qū)動(dòng)部件水平地移動(dòng)所述各個(gè)索引臂；第一上下移動(dòng)部件，所述第 一上下移動(dòng)部件配置在所述臂驅(qū)動(dòng)部件下方以改變所述索引臂的上下位置，所述基板加載 到各個(gè)索引臂上，所述索引機(jī)械手從所述收納容器或所述緩沖單元取出至少一個(gè)基板以及 向所述收納容器或所述緩沖單元加載至少一個(gè)基板；和第一控制單元，所述第一控制單元調(diào)節(jié)所述第一上下移動(dòng)部件的移動(dòng)速度直到所述索 引臂上下移動(dòng)而到達(dá)所述收納容器或所述緩沖單元中的目標(biāo)點(diǎn)，其中，所述第一控制單元將所述第一上下移動(dòng)部件加速至預(yù)設(shè)第一基準(zhǔn)速度，直至所 述索引臂從起點(diǎn)到達(dá)第一點(diǎn)；并且所述第一控制單元使以所述第一基準(zhǔn)速度移動(dòng)的所述第 一上下移動(dòng)部件減速，直至所述索引臂從第二點(diǎn)到達(dá)所述目標(biāo)點(diǎn)；并且當(dāng)所述傳送臂在所 述第一點(diǎn)和所述第二點(diǎn)之間的段內(nèi)移動(dòng)時(shí)，所述段被劃分為N個(gè)臂移動(dòng)段(這里，N是至少 為2的自然數(shù))，所述第一控制單元根據(jù)所述各個(gè)臂移動(dòng)段使所述第一上下移動(dòng)部件以減 速運(yùn)動(dòng)、加速運(yùn)動(dòng)和勻速運(yùn)動(dòng)中的任一種運(yùn)動(dòng)沿上下方向移動(dòng)，和所述第一控制單元控制所述第一上下移動(dòng)部件，使所述第一上下移動(dòng)部件在當(dāng)前臂移 動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)不同于在緊接所述當(dāng)前臂移動(dòng)段之前的臂移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板處理設(shè)備，還包括 處理腔室，所述基板在所述處理腔室中被處理； 收納構(gòu)件，所述收納構(gòu)件沿上下方向配置多個(gè)基板以收納所述基板； 傳送構(gòu)件，所述傳送構(gòu)件包括多個(gè)拾取手，所述多個(gè)拾取手在上下方向上朝向彼此； 手驅(qū)動(dòng)部件，所述手驅(qū)動(dòng)部件水平地移動(dòng)所述各個(gè)拾取手；第二上下移動(dòng)部件，所述第二上 下移動(dòng)部件配置在所述手驅(qū)動(dòng)部件下方以改變所述拾取手的上下位置，所述基板加載到各 個(gè)拾取手上，所述傳送構(gòu)件從所述收納構(gòu)件取出至少一個(gè)基板以及向所述收納構(gòu)件加載至 少一個(gè)基板；和第二控制單元，所述第二控制單元調(diào)節(jié)所述第二上下移動(dòng)部件的移動(dòng)速度直到所述拾 取手上下移動(dòng)而到達(dá)所述緩沖單元中的目標(biāo)點(diǎn)，其中，所述第二控制單元將所述第二上下移動(dòng)部件加速至預(yù)設(shè)第二基準(zhǔn)速度，直至所 述拾取手從起點(diǎn)到達(dá)第三點(diǎn)；并且所述第二控制單元使以所述第二基準(zhǔn)速度移動(dòng)的所述第 二上下移動(dòng)部件減速，直至所述拾取手從第四點(diǎn)到達(dá)所述目標(biāo)點(diǎn)；并且當(dāng)所述拾取手在所 述第三點(diǎn)和所述第四點(diǎn)之間的段內(nèi)移動(dòng)時(shí)，所述段被劃分為M個(gè)手移動(dòng)段(這里，M是至少 為2的自然數(shù))，所述第二控制單元根據(jù)所述各個(gè)手移動(dòng)段使所述第二上下移動(dòng)部件以減 速運(yùn)動(dòng)、加速運(yùn)動(dòng)和勻速運(yùn)動(dòng)中的任一種運(yùn)動(dòng)沿上下方向移動(dòng)，和所述第二控制單元控制所述第二上下移動(dòng)部件，使所述第二上下移動(dòng)部件在當(dāng)前手移 動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)不同于在緊接所述當(dāng)前手移動(dòng)段之前的手移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)。
全文摘要
一種調(diào)節(jié)傳送構(gòu)件中的傳送臂的速度的方法。所述方法包括使傳送臂從起點(diǎn)向移動(dòng)速度達(dá)到預(yù)設(shè)基準(zhǔn)速度的第一點(diǎn)加速；將從第一點(diǎn)至第二點(diǎn)的段劃分為多個(gè)移動(dòng)段，使傳送臂根據(jù)各個(gè)移動(dòng)段而以減速運(yùn)動(dòng)、加速運(yùn)動(dòng)和勻速運(yùn)動(dòng)中的任一種運(yùn)動(dòng)移動(dòng)；以及，使傳送臂從第二點(diǎn)向目標(biāo)點(diǎn)減速。傳送臂在當(dāng)前移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)不同于緊接當(dāng)前移動(dòng)段之前的移動(dòng)段中的運(yùn)動(dòng)。由此，施加與先前移動(dòng)段中的脈沖不同的脈沖到加載在傳送臂上的基板。因此，脈沖響應(yīng)疊加消除了基板的殘留振動(dòng)，從而改進(jìn)了傳送構(gòu)件的傳送效率。
文檔編號(hào)H01L21/687GK102138209SQ200980133896
公開日2011年7月27日 申請(qǐng)日期2009年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月28日
發(fā)明者全相垠, 洪光珍 申請(qǐng)人:細(xì)美事有限公司