專利名稱：一種多步驟程式的一致性管理方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)時程式(recipe)的管理，特別涉及多步驟(multi-st印) 程式的一致性管理方法和裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體生產(chǎn)所用到的程式數(shù)量眾多、程式步驟復(fù)雜，并且有時會出現(xiàn)測機(jī)程式 (monitorrecipe)并非都是直接的生產(chǎn)程式(product recipe)，所以同一機(jī)臺上多步驟的 測機(jī)程式與生產(chǎn)程式的一致性、同一程式中各步驟的一致性是極為重要的。不然，可能會因 為程式中一些步驟的差異而造成產(chǎn)品的報廢。因此，需要一種多步驟程式的一致性管理方法來管理步驟之間的一致性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種多步驟程式的一致性管理方法，它能夠管理步驟之間的一致性。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案一種多步驟程式的一致性管理方法，包括Sl 找出晶片加工機(jī)臺程式中相同的步驟；S2 比較所找出的步驟之間的一致性，得到比較結(jié)果；S3 根據(jù)所述比較結(jié)果，管理所述步驟之間的一致性。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選方案，所述步驟S3包括當(dāng)所述比較結(jié)果表明所述步驟之間具有一致性時，結(jié)束所述步驟S3。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選方案，所述步驟S3包括當(dāng)所述比較結(jié)果表明所述步驟之間不具有一致性時，通知用戶修改所述步驟，使 其具有一致性；或者，直接修改所述步驟，使其具有一致性。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選方案，在所述步驟Sl之前，還包括SO 當(dāng)某一程式修改后或者每批產(chǎn)品生產(chǎn)之前，啟動所述步驟Si。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選方案，所述程式中相同的步驟是下列步驟中的一種同一程式中位于不同位置的相同的步驟，同一機(jī)臺不同程式中相同的步驟，以及 不同機(jī)臺間程式中相同的步驟。一種多步驟程式的一致性管理裝置，包括查找單元，用于找出晶片加工機(jī)臺程式中相同的步驟；比較單元，用于比較所找出的步驟之間的一致性，得到比較結(jié)果；管理單元，用于根據(jù)所述比較結(jié)果，管理所述步驟之間的一致性。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選方案，所述管理單元包括結(jié)束單元，用于當(dāng)所述比較結(jié)果表明所述步驟之間具有一致性時，結(jié)束該結(jié)束單 元的運(yùn)行。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選方案，所述管理單元包括通知單元或修改單元，其中，
所述通知單元用于通知用戶修改所述步驟之間的一致性；所述修改單元用于直接修改所述步驟使其具有一致性。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選方案，所述多步驟程式一致性管理裝置還包括啟動單元，用于當(dāng)某一程式修改后或者每批產(chǎn)品生產(chǎn)之前，啟動所述查找單元。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選方案，所述程式中相同的步驟是下列步驟中的一種同一程式中位于不同位置的相同的步驟，同一機(jī)臺不同程式中相同的步驟，以及 不同機(jī)臺間程式中相同的步驟。本發(fā)明首先找出晶片加工機(jī)臺程式中相同的步驟；然后，比較所找出的步驟之間 的一致性，得到比較結(jié)果；最后，根據(jù)比較結(jié)果，管理所述步驟之間的一致性。因此，本發(fā)明 能夠管理多步驟程式中步驟之間的一致性。


下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)介紹。圖1是本發(fā)明的多步驟程式的一致性管理方法的流程示意圖。圖2是本發(fā)明的多步驟程式的一致性管理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示，本發(fā)明的多步驟程式的一致性管理方法包括Sl 找出晶片加工機(jī)臺程式中相同的步驟；S2 比較所找出的步驟之間的一致性，得到比較結(jié)果；S3 根據(jù)所述比較結(jié)果，管理所述步驟之間的一致性。本發(fā)明的多步驟程式的一致性管理方法，首先，找出晶片加工機(jī)臺程式中相同的 步驟；然后，比較所找出的步驟之間的一致性，得到比較結(jié)果；最后，根據(jù)比較結(jié)果，管理所 述步驟之間的一致性。因此，本發(fā)明能夠管理多步驟程式中步驟之間的一致性。根據(jù)比較結(jié)果的不同，上述步驟S3可以包括當(dāng)所述比較結(jié)果表明所述步驟之間 具有一致性時，結(jié)束步驟S3。根據(jù)比較結(jié)果的不同，上述步驟S3還可以包括當(dāng)所述比較結(jié)果表明所述步驟之 間不具有一致性時，通知用戶修改所述步驟，使其具有一致性；或者，直接修改所述步驟，使 其具有一致性。具體應(yīng)用時，上述步驟Sl之前還可以包括SO 當(dāng)某一程式修改后或者每批產(chǎn)品生產(chǎn)之前，啟動所述步驟Si。本發(fā)明中，所述程式中相同的步驟可以是下列步驟中的一種同一程式中位于不同位置的相同的步驟，同一機(jī)臺不同程式中相同的步驟，以及 不同機(jī)臺間程式中相同的步驟。下面以具體的實(shí)施例詳細(xì)說明本發(fā)明的多步驟程式的一致性管理方法。第一實(shí)施例管理同一程式中位于不同位置的相同步驟之間的一致性如表1所示，程式Rl是一個多步驟程式，該程式Rl包括五個步驟1、2、3、4、5，該 五個步驟的內(nèi)容分別是A、B、C、B、D0可以看出，步驟2和步驟4是相同的步驟。表 1
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程式Rl步驟序號步驟內(nèi)容1A2B3C4B5D根據(jù)本發(fā)明的多步驟程式的一致性管理方法，管理程式Rl中步驟之間的一致性 時，包括以下步驟Sl 找出程式Rl中相同的步驟，此時，所找出的步驟為步驟2和步驟4;S2 比較步驟2和步驟4，得出比較結(jié)果；S3 根據(jù)比較結(jié)果，管理步驟2和步驟4進(jìn)行一致性。在步驟S3中，如果得出的比較結(jié)果表明步驟2和步驟4之間具有一致性，則說明 步驟之間的一致性不需要管理，此時可以直接結(jié)束步驟S3。如果得出的比較結(jié)果表明步驟 2和步驟4之間不具有一致性，則說明步驟之間的一致性需要管理，此時可以通知用戶修改 步驟2和/或步驟4，使其具有一致性；或者，直接修改步驟2和/或步驟4，使其具有一致 性。在該實(shí)施例中，步驟Sl之前優(yōu)選包括SO 當(dāng)某一程式修改后或者每批產(chǎn)品生產(chǎn)之前，啟動步驟Si。這樣，在每次程式修 改之后或是產(chǎn)品生產(chǎn)之前，都進(jìn)行相同步驟之間的一致性管理，使其始終保持一致性，從而 能夠確保生產(chǎn)中產(chǎn)品的良率。第二實(shí)施例管理不同程式中相同步驟之間的一致性如表2所示，程式Rl和R2是同一機(jī)臺上不同的兩個多步驟程式，其中程式Rl包 括五個步驟1、2、3、4、5，該五個步驟的內(nèi)容分別是A、B、C、B、D，程式R2包括四個步驟1、 2、3、4，該四個步驟的內(nèi)容分別是E、F、B、G0可以看出，程式Rl的步驟2、步驟4與程式R2 的步驟3是相同的步驟。表 2
程式Rl程式R2步驟序號步驟內(nèi)容步驟序號步驟內(nèi)容1A1E2B2F3C3B4B4G5D根據(jù)本發(fā)明的多步驟程式的一致性管理方法，管理程式Rl與R2中步驟之間的一 致性時，包括以下步驟Sl 找出程式Rl與R2中相同的步驟，此時，所找出的步驟為程式Rl中的步驟2和 程式R2中的步驟3，以及程式Rl中的步驟4和程式R2中的步驟R3 (為了簡便起見，下面僅 以程式Rl中的步驟2和程式R2中的步驟3為例來說明不同程式中相同步驟之間的一致性管理)；S2 比較程式Rl中的步驟2和程式R2中的步驟3，得出比較結(jié)果；S3 根據(jù)比較結(jié)果，管理程式Rl中的步驟2和程式R2中的步驟3進(jìn)行一致性。在步驟S3中，如果得出的比較結(jié)果表明程式Rl中的步驟2和程式R2中的步驟3 之間具有一致性，則說明步驟之間的一致性不需要管理，此時可以直接結(jié)束步驟S3。如果得 出的比較結(jié)果表明程式Rl中的步驟2和程式R2中的步驟3之間不具有一致性，則說明步 驟之間的一致性需要管理，此時可以通知用戶，修改程式Rl中的步驟2和/或程式R2中的 步驟3，使其具有一致性；或者，直接修改程式Rl中的步驟2和/或程式R2中的步驟3，使 其具有一致性。在該實(shí)施例中，步驟Sl之前優(yōu)選包括SO 當(dāng)某一程式修改后或者每批產(chǎn)品生產(chǎn)之前，啟動步驟Si。這樣，在每次程式修 改之后或是產(chǎn)品生產(chǎn)之前，都進(jìn)行相同步驟之間的一致性管理，使其始終保持一致性，從而 能夠確保生產(chǎn)中產(chǎn)品的良率。需要說明的是，上述第二實(shí)施例中，程式Rl中的步驟4和程式R2中的步驟3之間 的一致性管理，與程式Rl中的步驟2和程式R2中的步驟3之間的一致性管理方法相同 ’另 外，若上述程式Rl和R2是不同機(jī)臺間的兩個程式，也同樣適用于本發(fā)明的技術(shù)方案。與上述多步驟程式的一致性管理方法相對應(yīng)，本發(fā)明還提供一種多步驟程式的一 致性管理裝置，如圖2所示，它包括查找單元21，用于找出晶片加工機(jī)臺程式中相同的步驟；比較單元22，用于比較所找出的步驟之間的一致性，得到比較結(jié)果；管理單元23，用于根據(jù)所述比較結(jié)果，管理所述步驟之間的一致性。本發(fā)明的多步驟程式的一致性管理裝置，首先，查找單元21找出晶片加工機(jī)臺程 式中相同的步驟；然后，比較單元22比較所找出的步驟之間的一致性，得到比較結(jié)果；最 后，管理單元23根據(jù)比較結(jié)果，管理所述步驟之間的一致性。因此，本發(fā)明能夠管理多步驟 程式中步驟之間的一致性。根據(jù)比較結(jié)果的不同，所述管理單元23可以包括結(jié)束單元，用于當(dāng)所述比較結(jié) 果表明所述步驟之間具有一致性時，結(jié)束該結(jié)束單元的運(yùn)行。根據(jù)比較結(jié)果的不同，所述管理單元23還可以包括通知單元或修改單元，其中，所述通知單元用于通知用戶修改所述步驟之間的一致性；所述修改單元用于直接修改所述步驟使其具有一致性。具體應(yīng)用時，所述多步驟程式一致性管理裝置還可以包括啟動單元，用于當(dāng)某一程式修改后或者每批產(chǎn)品生產(chǎn)之前，啟動所述查找單元。本發(fā)明中，所述程式中相同的步驟可以是下列步驟中的一種同一程式中位于不同位置的相同的步驟，同一機(jī)臺不同程式中相同的步驟，以及 不同機(jī)臺間程式中相同的步驟。上述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，當(dāng)然，根據(jù)實(shí)際需要和進(jìn)一步的探索還可以有其 他實(shí)施方式。但是，應(yīng)該明確的是，基于類似上述的或者其他沒有表述出的具有相同構(gòu)思的 實(shí)施方式的變換，均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍之中。
權(quán)利要求
1.一種多步驟程式的一致性管理方法，其特征在于，包括51找出晶片加工機(jī)臺程式中相同的步驟；52比較所找出的步驟之間的一致性，得到比較結(jié)果；53根據(jù)所述比較結(jié)果，管理所述步驟之間的一致性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多步驟程式的一致性管理方法，其特征在于，所述步驟S3包括當(dāng)所述比較結(jié)果表明所述步驟之間具有一致性時，結(jié)束所述步驟S3。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多步驟程式的一致性管理方法，其特征在于，所述步驟S3包括當(dāng)所述比較結(jié)果表明所述步驟之間不具有一致性時，通知用戶修改所述步驟，使其具 有一致性；或者，直接修改所述步驟，使其具有一致性。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多步驟程式的一致性管理方法，其特征在于，在所述步驟Sl 之前，還包括SO 當(dāng)某一程式修改后或者每批產(chǎn)品生產(chǎn)之前，啟動所述步驟Si。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的多步驟程式的一致性管理方法，其特征 在于，所述程式中相同的步驟是下列步驟中的一種同一程式中位于不同位置的相同的步驟，同一機(jī)臺不同程式中相同的步驟，以及不同 機(jī)臺間程式中相同的步驟。
6.一種多步驟程式的一致性管理裝置，其特征在于，包括 查找單元，用于找出晶片加工機(jī)臺程式中相同的步驟；比較單元，用于比較所找出的步驟之間的一致性，得到比較結(jié)果； 管理單元，用于根據(jù)所述比較結(jié)果，管理所述步驟之間的一致性。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多步驟程式的一致性管理裝置，其特征在于，所述管理單元 包括結(jié)束單元，用于當(dāng)所述比較結(jié)果表明所述步驟之間具有一致性時，結(jié)束該結(jié)束單元的 運(yùn)行。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多步驟程式的一致性管理裝置，其特征在于，所述管理單元 包括通知單元或修改單元，其中，所述通知單元用于通知用戶修改所述步驟之間的一致性； 所述修改單元用于直接修改所述步驟使其具有一致性。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多步驟程式的一致性管理裝置，其特征在于，所述多步驟程 式一致性管理裝置還包括啟動單元，用于當(dāng)某一程式修改后或者每批產(chǎn)品生產(chǎn)之前，啟動所述查找單元。
10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任一權(quán)利要求所述的多步驟程式的一致性管理裝置，其特征 在于，所述程式中相同的步驟是下列步驟中的一種同一程式中位于不同位置的相同的步驟，同一機(jī)臺不同程式中相同的步驟，以及不同 機(jī)臺間程式中相同的步驟。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種多步驟程式的一致性管理方法和裝置，屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。所述方法包括S1找出晶片加工機(jī)臺程式中相同的步驟；S2比較所找出的步驟之間的一致性，得到比較結(jié)果；S3根據(jù)所述比較結(jié)果，管理所述步驟之間的一致性。本發(fā)明能夠管理多步驟程式中步驟之間的一致性，從而確保生產(chǎn)中產(chǎn)品的良率。
文檔編號H01L21/00GK102129953SQ20101000283
公開日2011年7月20日 申請日期2010年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月18日
發(fā)明者陸鳴曄 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司