專利名稱：一種感應線圈表面絕緣處理的方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明是關(guān)于一種感應線圈表面絕緣處理的方法，特別是一種適用于高溫下使用
的感應線圈表面絕緣處理的方法，尤其是適用于在碳化硅、氮化鋁晶體高溫下生長使用的感應線圈表面絕緣處理的方法。
背景技術(shù)：
目前常規(guī)的感應線圈表面絕緣處理方法，一般是在感應線圈外表面涂刷絕緣漆、用絕緣帶和/或玻璃絲布纏繞包扎。經(jīng)過這樣處理，感應線圈外表面絕緣性很好，也可以在真空狀態(tài)下正常使用，解決了感應線圈"打弧"問題。但是，其中起可靠絕緣作用的絕緣漆耐溫不高( 一般低于300°C )，對于更高溫度的使用環(huán)境，這種絕緣處理方法就不夠可靠。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對常規(guī)感應線圈表面絕緣處理方法存在的缺陷，提出了一種適合于高溫(大于300°C )下使用的中頻感應線圈(頻率1000-lOOOOHz)表面絕緣處理的方法。尤其是適用于在碳化硅、氮化鋁晶體高溫下生長使用的中頻感應線圈表面絕緣處理的方法。
本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的將繞制成形的感應線圈外表面先進行酸洗、鈍化，然后在感應線圈所有外表面均勻形成一層致密的耐高溫絕緣層。該絕緣層的材質(zhì)為釉質(zhì)，其體電阻率大于106歐姆*厘米；絕緣層的形成方法可以用浸蘸、噴涂、涂敷和/或燒結(jié)；絕緣層的厚度為0. Olmm 2mm，優(yōu)選0. 1 lmm ;利用釉層絕緣性其及耐高溫性來達到本發(fā)明的目的。另外，由于感應線圈與絕緣層的材質(zhì)性質(zhì)相似，使絕緣層能夠良好的附著在感應線圈上。
經(jīng)過這樣表面絕緣處理的感應線圈可以將其適用溫度上限提高到70(TC，使其適用于在碳化硅、氮化鋁晶體高溫下生長使用。在經(jīng)過該方法絕緣處理的感應線圈上通1000-10000Hz， l-100A交變電流，在10—5_106Pa氬氣、氦氣和/或氮氣環(huán)境內(nèi)，工作10000小時以上，未見絕緣層開裂及感應線圈放電、即"打弧"現(xiàn)象。


圖1為感應線圈表面絕緣涂層截面示意圖； 圖中標記1.線圈表面絕緣層；2.冷卻水；3.感應線圈。
具體實施方式
實施例一 將繞制成形的感應線圈外表面先進行酸洗、鈍化，酸洗步驟采用稀鹽酸(酸洗常用的化學用劑)，然后在感應線圈所有外表面均勻噴涂上一層0. Olmm厚的陶瓷釉，冷卻之后即可在感應線圈外表面形成致密的耐高溫絕緣層。經(jīng)處理后得到如圖l所示的結(jié)構(gòu)，在感應線圈上通1000Hz， 100安培交變電流，10—5Pa氬氣環(huán)境內(nèi)，工作10000小時，未見絕緣層開裂及感應線圈放電現(xiàn)象。
實施例二 將繞制成形的感應線圈外表面先進行酸洗、鈍化，然后將感應線圈浸入熔融的陶瓷釉熔體中、旋即提出，使感應線圈外表面浸蘸上一層lmm厚的陶瓷釉。冷卻之后即可在感應線圈外表面形成致密的耐高溫絕緣層。在感應線圈上通10000Hz， IO安培交變電流，106Pa氮氣環(huán)境內(nèi)，工作40000小時，未見絕緣層開裂及感應線圈放電現(xiàn)象。
實施例三 將繞制成形的感應線圈外表面先進行酸洗、鈍化，在感應線圈所有外表面均勻涂敷一層搪瓷釉粉，然后送入高溫爐內(nèi)燒結(jié)成搪瓷釉。將感應線圈倒轉(zhuǎn)，重復以上涂敷粉、燒結(jié)過程，2-4次之后即可在感應線圈外表面形成2mm厚的致密耐高溫絕緣層。在感應線圈上通5000Hz， 20安培交變電流，103Pa氦氣環(huán)境內(nèi)，工作30000小時，未見絕緣層開裂及感應線圈放電現(xiàn)象。
實施例四 將繞制成形的感應線圈外表面先進行酸洗、鈍化，然后在感應線圈所有外表面均勻噴涂上一層0. 3mm厚的陶瓷釉，冷卻之后即可在感應線圈外表面形成致密的耐高溫絕緣層。在感應線圈上通3000Hz， 30安培交變電流，104Pa氬氣環(huán)境內(nèi)，工作20000小時，未見絕緣層開裂及感應線圈放電現(xiàn)象。 應該指出，上述的具體實施方式
只是對本發(fā)明進行詳細說明，它不應是對本發(fā)明的限制。對于熟悉本領域技術(shù)的人員而言，在不偏離權(quán)利要求的宗旨和范圍時，可以有多種形式和細節(jié)的變化。
權(quán)利要求
一種感應線圈表面絕緣處理的方法，具體步驟為將繞制成形的感應線圈外表面先進行酸洗、鈍化，然后在感應線圈外表面設置絕緣層，絕緣層材質(zhì)為釉質(zhì)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述感應線圈表面絕緣處理的方法，其特征在于所述釉質(zhì)體電阻率大于io6歐姆*厘米。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述感應線圈表面絕緣處理的方法，其特征在于所述絕緣層的設置方法為浸蘸、噴涂、涂敷和/或燒結(jié)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述感應線圈表面絕緣處理的方法，其特征在于所述絕緣層的厚度為0. Olmm 2mm。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述感應線圈表面絕緣處理的方法，其特征在于所述絕緣層的厚度為0. lmm lmm。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述感應線圈表面絕緣處理的方法，其特征在于所述感應線圈的材質(zhì)為銅。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種感應線圈表面絕緣處理的方法，具體步驟為將繞制成形的感應線圈外表面先進行酸洗、鈍化，然后在感應線圈外表面設置絕緣層。通過在感應線圈所有外表面均勻形成一層致密的釉，利用釉層的絕緣性、耐高溫性及其與感應線圈外表面的良好附著性來達到本發(fā)明的目的。
文檔編號H01F41/12GK101752079SQ201010034508
公開日2010年6月23日 申請日期2010年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月20日
發(fā)明者倪代秦, 吳星, 崔建利, 彭同華, 李河清, 李龍遠, 陳小龍 申請人:中國科學院物理研究所;北京天科合達藍光半導體有限公司