專(zhuān)利名稱(chēng)：真空傳輸制程設(shè)備及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空制程領(lǐng)域，特別是涉及一種真空傳輸制程設(shè)備及方法。
背景技術(shù)：
在各種較為精密的制造業(yè)中，對(duì)工件的許多加工制程都需要在真空環(huán)境下進(jìn)行， 因此如何提高真空制程的生產(chǎn)效率便成為了一個(gè)至關(guān)重要的研究課題。現(xiàn)有技術(shù)中已經(jīng)有了非常多樣的真空制程方法，其中不乏一些具有高生產(chǎn)效率的制程方法。例如，美國(guó)專(zhuān)利20080038908中便公開(kāi)了一種較為高效的真空制程方法，但是基于其設(shè)計(jì)原理，該方法的生產(chǎn)效率仍然會(huì)受到一些天然的限制，諸如，當(dāng)不同批次的工件進(jìn)出真空環(huán)境時(shí)，或是在真空環(huán)境中從已加工工件切換至下批次待加工工件時(shí)，其加工裝置對(duì)工件的加工制程都不得不發(fā)生中斷，在該中斷時(shí)間段內(nèi)，該加工裝置完全處于無(wú)效運(yùn)行狀態(tài)，即浪費(fèi)了加工資源，又浪費(fèi)了加工時(shí)間。由此可以看出，在該專(zhuān)利中，該加工裝置的利用率顯然是不夠高的，因此該專(zhuān)利所公開(kāi)的該生產(chǎn)設(shè)備自然不可能實(shí)現(xiàn)最佳的生產(chǎn)效率。 而除了該專(zhuān)利所公開(kāi)的該設(shè)備及方法以外，在現(xiàn)有的各種其它真空制程方法中也未見(jiàn)能夠獲得最佳生產(chǎn)效率的模式。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的真空制程方法生產(chǎn)效率較低的缺陷，提供一種生產(chǎn)效率極高、且成本較低的真空傳輸制程設(shè)備及方法。本發(fā)明是通過(guò)下述技術(shù)方案來(lái)解決上述技術(shù)問(wèn)題的一種真空傳輸制程設(shè)備，其包括一真空制程腔，該真空制程腔中設(shè)有一具有一加工區(qū)域、并用于對(duì)經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域的工件進(jìn)行加工的加工裝置，其特點(diǎn)在于，該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)通過(guò)可開(kāi)閉密封件與該真空制程腔的一端相連的進(jìn)件腔，該些進(jìn)件腔可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換，且該加工區(qū)域設(shè)于該真空制程腔的臨近該些進(jìn)件腔的該端處；與各進(jìn)件腔一一對(duì)應(yīng)的至少兩個(gè)傳輸平臺(tái)，各傳輸平臺(tái)用于相繼地將工件從各進(jìn)件腔傳輸至該真空制程腔、再?gòu)脑撜婵罩瞥糖粋鬏敾馗鬟M(jìn)件腔，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面各不相同，且每個(gè)傳輸平臺(tái)上承載的工件均沿該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向分兩側(cè)排列；一移位裝置，用于在每個(gè)傳輸平臺(tái)即將從該真空制程腔移回進(jìn)件腔時(shí)，使該傳輸平臺(tái)與該加工區(qū)域垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向相對(duì)移位；其中，每個(gè)傳輸平臺(tái)在從進(jìn)件腔移向該真空制程腔時(shí)，該傳輸平臺(tái)一側(cè)的工件將經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工，在該傳輸平臺(tái)從該真空制程腔移回該進(jìn)件腔時(shí)，該傳輸平臺(tái)另一側(cè)的工件將經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工。較佳地，每個(gè)進(jìn)件腔完成充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的耗時(shí)，小于或等于其余所有進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件相繼地由各傳輸平臺(tái)傳輸經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工的總耗時(shí)。較佳地，該加工區(qū)域位于該加工裝置的下方，各傳輸平臺(tái)相互平行、但設(shè)置高度各不相同。
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較佳地，該移位裝置用于使該加工裝置在每個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的平行平面內(nèi)垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。較佳地，該移位裝置用于使每個(gè)傳輸平臺(tái)在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面內(nèi)垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。較佳地，該移位裝置用于調(diào)節(jié)該加工裝置的參數(shù)，以使得該加工區(qū)域垂直于每個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。本發(fā)明的另一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，針對(duì)各進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件的各輪加工過(guò)程相繼進(jìn)行，在每輪加工過(guò)程中，僅一個(gè)已經(jīng)完成了充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件將由傳輸平臺(tái)進(jìn)行傳輸，其中在該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該真空制程腔時(shí)，該傳輸平臺(tái)一側(cè)的工件將依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工，此后該移位裝置使該傳輸平臺(tái)與該加工區(qū)域垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向相對(duì)移位，而后在該傳輸平臺(tái)從該真空制程腔移回該進(jìn)件腔時(shí)，該傳輸平臺(tái)另一側(cè)的工件將依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工；與此同時(shí)，其余所有進(jìn)件腔均處于充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或是過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)。較佳地，每個(gè)進(jìn)件腔完成充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的耗時(shí)，小于或等于其余所有進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件相繼地由各傳輸平臺(tái)傳輸經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工的總耗時(shí)。較佳地，該加工區(qū)域位于該加工裝置的下方，各傳輸平臺(tái)相互平行、但設(shè)置高度各不相同。較佳地，該移位裝置使該加工裝置在每個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的平行平面內(nèi)垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。較佳地，該移位裝置使每個(gè)傳輸平臺(tái)在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面內(nèi)垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。較佳地，該移位裝置調(diào)節(jié)該加工裝置的參數(shù)，以使得該加工區(qū)域垂直于每個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種真空傳輸制程設(shè)備，其包括一真空制程腔，該真空制程腔中設(shè)有一具有一加工區(qū)域、并用于對(duì)經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域的工件進(jìn)行加工的加工裝置， 其特點(diǎn)在于，該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)通過(guò)可開(kāi)閉密封件與該真空制程腔的一端相連的進(jìn)件腔，該些進(jìn)件腔可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換，且該加工區(qū)域設(shè)于該真空制程腔的臨近該些進(jìn)件腔的該端處；與各進(jìn)件腔一一對(duì)應(yīng)的至少兩個(gè)傳輸平臺(tái)，各傳輸平臺(tái)用于相繼地將工件從各進(jìn)件腔傳輸至該真空制程腔、再?gòu)脑撜婵罩瞥糖粋鬏敾馗鬟M(jìn)件腔，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面各不相同；其中，在每個(gè)傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向該真空制程腔以及從該真空制程腔移回該進(jìn)件腔的過(guò)程中，該傳輸平臺(tái)上的工件將兩次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工。較佳地，每個(gè)進(jìn)件腔完成充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的耗時(shí)，小于或等于其余所有進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件相繼地由各傳輸平臺(tái)傳輸經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工的總耗時(shí)。較佳地，該加工區(qū)域位于該加工裝置的下方，各傳輸平臺(tái)相互平行、但設(shè)置高度各不相同。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，針對(duì)各進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件的各輪加工過(guò)程相繼進(jìn)行，在每輪加工過(guò)程中，僅一個(gè)已經(jīng)完成了充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件將由傳輸平臺(tái)進(jìn)行傳輸，其中在該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該真空制程腔以及從該真空制程腔移回該進(jìn)件腔的過(guò)程中，該傳輸平臺(tái)上的工件將兩次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工；與此同時(shí)，其余所有進(jìn)件腔均處于充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或是過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)。較佳地，每個(gè)進(jìn)件腔完成充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的耗時(shí)，小于或等于其余所有進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件相繼地由各傳輸平臺(tái)傳輸經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工的總耗時(shí)。較佳地，該加工區(qū)域位于該加工裝置的下方，各傳輸平臺(tái)相互平行、但設(shè)置高度各不相同。本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于本發(fā)明不但能夠在傳輸平臺(tái)進(jìn)出真空制程腔的過(guò)程中保證加工的連續(xù)有效進(jìn)行，還能夠較佳地在進(jìn)件腔及相應(yīng)的傳輸平臺(tái)發(fā)生切換的過(guò)程中同樣地保證加工的連續(xù)有效進(jìn)行，從而使得加工裝置的利用率實(shí)現(xiàn)了最大化，保證了各批次工件能夠高速地在大氣環(huán)境與真空環(huán)境之間傳輸、并且連續(xù)不間斷地在真空環(huán)境下獲得加工，由此便實(shí)現(xiàn)了最理想的極高的生產(chǎn)效率，另外，本發(fā)明設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單可靠，這又降低了生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)難度以及制造成本，從而最終降低了工件的加工成本。


圖1為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的一實(shí)施例的側(cè)視圖。圖2為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的側(cè)視圖。圖3為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的俯視透視圖。圖4為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的側(cè)視圖。圖5為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的俯視透視圖。圖6為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的側(cè)視圖。圖7為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的俯視透視圖。圖8為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的側(cè)視圖。圖9為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的俯視透視圖。圖10為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的側(cè)視圖。圖11為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的俯視透視圖。圖12為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的側(cè)視圖。圖13為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的俯視透視圖。圖14為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的側(cè)視圖。圖15為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的該實(shí)施例在運(yùn)行狀態(tài)下的俯視透視圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖給出本發(fā)明較佳實(shí)施例，以詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案。實(shí)施例1圖1所示為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的一實(shí)施例的側(cè)視圖。為了在真空環(huán)境下對(duì)待加工工件進(jìn)行加工處理，該真空傳輸制程設(shè)備首先包括一真空制程腔1，該真空制程腔1中設(shè)有一加工裝置2，該加工裝置2在運(yùn)行時(shí)具有一有效加工范圍，本文中將該有效加工范圍稱(chēng)為加工區(qū)域(如圖1中的虛線框所示)，只有傳輸經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域的工件才能夠受到該加工裝置2的有效加工。該加工裝置2可以為各種類(lèi)型的工件加工裝置，但較佳地為非接觸式的工件加工裝置，例如利用離子束或等離子體對(duì)工件進(jìn)行加工的裝置、對(duì)工件進(jìn)行熱處理的裝置或是對(duì)工件進(jìn)行退火處理的裝置等等。此外，該真空傳輸制程設(shè)備還包括有至少兩個(gè)進(jìn)件腔3、至少兩個(gè)傳輸平臺(tái)4以及一移位裝置(圖中未示)。如圖1所示，各進(jìn)件腔3均與該真空制程腔1的一端相連。該些進(jìn)件腔3可以選用體積相較于該真空制程腔1而言較小的真空盒，它們可以快速地由大氣狀態(tài)抽氣至真空狀態(tài)，或是由真空狀態(tài)充氣至大氣狀態(tài)。利用該些進(jìn)件腔3，工件便可以在大氣環(huán)境與該真空制程腔1之間實(shí)現(xiàn)快速傳遞。而為了不對(duì)該真空制程腔的真空環(huán)境產(chǎn)生影響，各進(jìn)件腔3 均通過(guò)可開(kāi)閉的密封件與該真空制程腔1相連，該可開(kāi)閉的密封件可以為例如密封閥門(mén)等等。在需要將待加工工件放入進(jìn)件腔，或是需要將已加工工件從進(jìn)件腔中取出時(shí)，便首先關(guān)閉例如上述的密封閥門(mén)，然后將進(jìn)件腔充氣至大氣狀態(tài)；在需要將待加工工件從進(jìn)件腔傳輸至該真空制程腔1，或是需要將已加工工件從該真空制程腔1中傳輸回進(jìn)件腔時(shí)，便首先將進(jìn)件腔抽氣至真空狀態(tài)，然后打開(kāi)例如上述的密封閥門(mén)。各傳輸平臺(tái)4與各進(jìn)件腔3 —一對(duì)應(yīng)，即每個(gè)進(jìn)件腔3均配有一相應(yīng)的傳輸平臺(tái) 4。每個(gè)傳輸平臺(tái)4均具有一定的寬度，該寬度可以根據(jù)待加工工件的實(shí)際尺寸進(jìn)行合適的設(shè)計(jì)，以使得每個(gè)傳輸平臺(tái)4上所承載的工件均可以沿著該傳輸平臺(tái)的長(zhǎng)度方向(即其移動(dòng)方向)分兩側(cè)排列，每側(cè)排列的工件可以不止一排，根據(jù)該加工區(qū)域的大小，每側(cè)甚至可以排列多排工件，以提高加工效率。每個(gè)傳輸平臺(tái)4均可以將待加工工件從相應(yīng)的進(jìn)件腔3 傳輸至該真空制程腔1中進(jìn)行加工，然后再將已加工工件從該真空制程腔1傳輸回該進(jìn)件腔3，其中，用于驅(qū)動(dòng)各傳輸平臺(tái)4移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)既可以設(shè)于各相應(yīng)的進(jìn)件腔3中，也可以設(shè)于該真空制程腔1中。該實(shí)施例中對(duì)各傳輸平臺(tái)4的移動(dòng)路徑與該加工區(qū)域的位置關(guān)系進(jìn)行了特別的設(shè)計(jì)，使得每個(gè)傳輸平臺(tái)4在從進(jìn)件腔移向該真空制程腔1的過(guò)程中，僅承載于其一側(cè)上的工件將隨著該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域，從而受到該加工裝置的處理而完成加工。 此后，當(dāng)該傳輸平臺(tái)已經(jīng)完全進(jìn)入該真空制程腔1中、并即將從該真空制程腔1移回該進(jìn)件腔時(shí)，啟動(dòng)該移位裝置，使該傳輸平臺(tái)與該加工區(qū)域發(fā)生一相對(duì)移位，該相對(duì)移位將使得在該傳輸平臺(tái)4從該真空制程腔1移回該進(jìn)件腔的過(guò)程中，承載于其另一側(cè)上的工件將隨著該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域，從而受到該加工裝置的處理而完成加工，其中，該相對(duì)移位較佳地垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向進(jìn)行，并且在本文中所謂的垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向的該相對(duì)移位均包括以下兩種情況即，嚴(yán)格地垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向的相對(duì)移位，以及基本上垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向的相對(duì)移位。通過(guò)對(duì)各傳輸平臺(tái)4的往返移動(dòng)過(guò)程的充分利用，便實(shí)現(xiàn)了對(duì)每個(gè)傳輸平臺(tái)上所承載的全部工件的連續(xù)不間斷加工，由此保證了在傳輸平臺(tái)移進(jìn)及移出該真空制程腔的過(guò)程中該加工裝置2能夠始終連續(xù)有效運(yùn)行，從而極大地提高了加工效率。為了使承載于每個(gè)傳輸平臺(tái)4上的成排待加工工件從一進(jìn)入該真空制程腔1的時(shí)刻起便可以開(kāi)始接受該加工裝置2的加工處理，以省去該傳輸平臺(tái)4因無(wú)效移動(dòng)而浪費(fèi)的加工時(shí)間，在本發(fā)明中將該加工裝置2的該加工區(qū)域設(shè)計(jì)在了該真空制程腔1的臨近該些進(jìn)件腔3的該端處。由于該加工裝置2每次只能夠?qū)σ粚庸ぜM(jìn)行連續(xù)加工，因此各傳輸平臺(tái)4在進(jìn)件腔與該真空制程腔之間的移動(dòng)過(guò)程是相繼進(jìn)行的，即，當(dāng)有一個(gè)傳輸平臺(tái)4正處于承載著工件接受加工的移動(dòng)過(guò)程中時(shí)，其余的各傳輸平臺(tái)則均等待于相應(yīng)的進(jìn)件腔中。為了在當(dāng)上一個(gè)傳輸平臺(tái)移回進(jìn)件腔后，下一個(gè)傳輸平臺(tái)能夠盡可能迅速地開(kāi)始承載著工件移動(dòng)以接受加工，本發(fā)明中特別地將各傳輸平臺(tái)之間的相對(duì)位置設(shè)計(jì)為它們均移動(dòng)于互不相同的平面內(nèi)，但同時(shí)又保證每個(gè)傳輸平臺(tái)均能夠如上所述地在移進(jìn)及移出該真空制程腔的過(guò)程中分別使其兩側(cè)經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域。這樣一來(lái)，一旦上一個(gè)進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)已經(jīng)完全回到該進(jìn)件腔內(nèi)，而下一個(gè)進(jìn)件腔又已經(jīng)做好了加工準(zhǔn)備，則該下一個(gè)進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)便可以立即承載著工件開(kāi)始移出進(jìn)件腔，再加之該加工區(qū)域正位于該真空制程腔的臨近各進(jìn)件腔的該端處，因此該下一個(gè)傳輸平臺(tái)上的工件從一進(jìn)入該真空制程腔的時(shí)刻起便已經(jīng)開(kāi)始進(jìn)入該加工區(qū)域接受該加工裝置2的加工處理了。這樣的設(shè)計(jì)方式能夠盡可能地縮短在傳輸平臺(tái)發(fā)生切換時(shí)該加工裝置2的無(wú)效運(yùn)行時(shí)間，甚至能夠較佳地實(shí)現(xiàn)在傳輸平臺(tái)發(fā)生切換時(shí)該加工裝置2的連續(xù)有效運(yùn)行(將在下文中進(jìn)行說(shuō)明)，從而進(jìn)一步地極大地提高了加工效率。圖1所示的即為該設(shè)計(jì)的一個(gè)實(shí)施例，在該實(shí)施例中，該加工區(qū)域位于該加工裝置2的下方，各傳輸平臺(tái)4相互平行、但設(shè)置高度則各不相同，進(jìn)一步地，還可以將各傳輸平臺(tái)均水平地設(shè)置于不同高度處。該移位裝置可以采用各種方式實(shí)現(xiàn)傳輸平臺(tái)與該加工區(qū)域之間的相對(duì)移位，例如使該加工裝置在傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的平行平面內(nèi)垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位，在圖1所示的實(shí)施例中即為該加工裝置2在垂直紙面的方向上移位；使各傳輸平臺(tái)在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面內(nèi)垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位，在圖1所示的實(shí)施例中即為各傳輸平臺(tái)在垂直紙面的方向上移位；調(diào)節(jié)該加工裝置2的參數(shù)，以使得該加工區(qū)域垂直于每個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位，在圖1所示的實(shí)施例中即為由虛線框表示的該加工區(qū)域在垂直紙面的方向上移位。在利用上述的真空傳輸制程設(shè)備對(duì)工件進(jìn)行加工制程時(shí)，每個(gè)進(jìn)件腔以及相應(yīng)的傳輸平臺(tái)的運(yùn)行均為一循環(huán)過(guò)程當(dāng)該進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次工件已經(jīng)全部加工完成后，其傳輸平臺(tái)應(yīng)當(dāng)已經(jīng)移回該進(jìn)件腔內(nèi)，此時(shí)，關(guān)閉例如上述的密封閥門(mén)，將該進(jìn)件腔充氣至大氣狀態(tài)，然后取出其中的已加工工件，接著放入下批次的待加工工件，將該進(jìn)件腔重新抽氣至真空狀態(tài)，然后打開(kāi)例如上述的密封閥門(mén)進(jìn)入等待狀態(tài)，當(dāng)輪到對(duì)該進(jìn)件腔中的工件進(jìn)行加工時(shí)，該傳輸平臺(tái)便可以承載著當(dāng)前批次的待加工工件向該真空制程腔移動(dòng)，在此移動(dòng)過(guò)程中，承載于該傳輸平臺(tái)一側(cè)上的待加工工件將依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工，此后該移位裝置將使該傳輸平臺(tái)與該加工區(qū)域進(jìn)行相對(duì)移位，然后該傳輸平臺(tái)再?gòu)脑撜婵罩瞥糖灰苹卦撨M(jìn)件腔，在該移回過(guò)程中，承載于該傳輸平臺(tái)另一側(cè)上的工件將依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工。
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對(duì)各進(jìn)件腔中的工件的加工過(guò)程是相繼進(jìn)行的，S卩，在某一個(gè)進(jìn)件腔所對(duì)應(yīng)的傳輸平臺(tái)正承載著工件移動(dòng)于該進(jìn)件腔與該真空制程腔之間，以對(duì)工件進(jìn)行加工的同時(shí)，其余的所有進(jìn)件腔則均應(yīng)當(dāng)處于充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、 抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中的某一步驟下，或是已經(jīng)完成了該過(guò)程而處于一等待狀態(tài)下。當(dāng)然，最佳的情況將為每當(dāng)即將完成對(duì)上一個(gè)進(jìn)件腔中的工件的加工處理時(shí)，便已經(jīng)有另一個(gè)進(jìn)件腔完成了充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的該過(guò)程而處于一等待狀態(tài)下，也就是說(shuō)，每個(gè)進(jìn)件腔完成充氣至大氣狀態(tài)、 取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的耗時(shí)，應(yīng)當(dāng)小于或等于其余所有進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件相繼地由各傳輸平臺(tái)傳輸經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工的總耗時(shí)。從而一旦該上一個(gè)進(jìn)件腔中的工件的加工過(guò)程徹底結(jié)束，則該另一個(gè)進(jìn)件腔中的工件的加工過(guò)程便可以立即銜接開(kāi)始，這便可以保證即使在傳輸平臺(tái)發(fā)生切換時(shí)該加工裝置也能夠連續(xù)有效運(yùn)行，從而也就實(shí)現(xiàn)了對(duì)各批次待加工工件的連續(xù)不間斷加工，這樣一來(lái)該加工裝置的利用率便實(shí)現(xiàn)了最大化，由此極大地節(jié)省了加工時(shí)間，實(shí)現(xiàn)了最理想的極高的加工效率。以下將在圖1所示的該真空傳輸制程設(shè)備的基礎(chǔ)上，參考圖2-圖15，對(duì)該實(shí)施例中的該真空傳輸制程方法進(jìn)行詳細(xì)的舉例描述，其中將兩個(gè)進(jìn)件腔分別標(biāo)記為進(jìn)件腔31、 32，并將兩個(gè)傳輸平臺(tái)分別標(biāo)記為傳輸平臺(tái)41、42。步驟100，如圖2和圖3所示，向進(jìn)件腔31、32中分別放入一批次待加工工件，然后將該兩個(gè)進(jìn)件腔均抽氣至真空狀態(tài)，接著打開(kāi)該兩個(gè)進(jìn)件腔與該真空制程腔之間的密封閥門(mén)，此時(shí)該兩個(gè)進(jìn)件腔的相應(yīng)傳輸平臺(tái)41、42均承載著該批次待加工工件等待于進(jìn)件腔內(nèi)；與此同時(shí)，該真空制程腔1中的該加工裝置2也調(diào)試到預(yù)備加工的待機(jī)狀態(tài)。要加以說(shuō)明的是，在圖3中雖然同時(shí)繪出了該兩個(gè)傳輸平臺(tái)41、42以及它們的移動(dòng)路徑，但這僅是為了便于解釋本發(fā)明，實(shí)質(zhì)上該兩個(gè)傳輸平臺(tái)以及它們的移動(dòng)路徑分別位于不同的高度處，在下文中將要提到的圖5、7、9、11、13、15中也存在著同樣的情況。另外，在該具體實(shí)施例中，將該兩個(gè)傳輸平臺(tái)與該加工裝置的相對(duì)位置設(shè)置為在初始狀態(tài)下，該加工裝置2的該加工區(qū)域所對(duì)準(zhǔn)的為該兩個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)路徑的位于圖3中上方的一側(cè)。步驟101，如圖4和圖5所示，該進(jìn)件腔31中的該批次待加工工件由該傳輸平臺(tái) 41以一恒定的速度傳輸出該進(jìn)件腔31并進(jìn)入該真空制程腔1，其中該恒定的速度應(yīng)當(dāng)被設(shè)置為保證經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域的工件能夠獲得高質(zhì)量的加工處理，在此過(guò)程中，承載于該傳輸平臺(tái)41的位于圖5中上方的一側(cè)上的兩排工件將會(huì)依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域，從而完成加工。步驟102，如圖6和圖7所示，該傳輸平臺(tái)41已經(jīng)從該進(jìn)件腔31完全地進(jìn)入了該真空制程腔1，并即將重新移回該進(jìn)件腔31，在該狀態(tài)下，承載于該傳輸平臺(tái)41的位于圖7 中上方的一側(cè)上的全部?jī)膳殴ぜ呀?jīng)完成了加工處理過(guò)程，此時(shí)，利用該移位裝置使該傳輸平臺(tái)41與該加工區(qū)域發(fā)生一相對(duì)移位，以使得該加工區(qū)域在此后所對(duì)準(zhǔn)的將為該兩個(gè)傳輸平臺(tái)的傳輸路徑的位于圖7中下方的一側(cè)。步驟103，如圖8和圖9所示，該傳輸平臺(tái)41開(kāi)始以上述恒定的速度從該真空制程腔1移回該進(jìn)件腔31，在此過(guò)程中，承載于該傳輸平臺(tái)41的位于圖9中下方的一側(cè)上的兩排工件將會(huì)依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域，從而完成加工。步驟104，如圖10和圖11所示，該傳輸平臺(tái)41已經(jīng)完全地從該真空制程腔1移回了該進(jìn)件腔31，在該狀態(tài)下，承載于該傳輸平臺(tái)41的位于圖11中下方的一側(cè)上的全部?jī)膳殴ぜ惨呀?jīng)完成了加工處理過(guò)程，這即意味著該傳輸平臺(tái)41上承載著的該批次工件已經(jīng)全部完成了加工并被送回了該進(jìn)件腔31，此后，關(guān)閉該進(jìn)件腔31與該真空制程腔1之間的密封閥門(mén)，并將該進(jìn)件腔31充氣至大氣狀態(tài)，然后取出其中的已加工工件，接著放入下批次待加工工件，然后開(kāi)始對(duì)該進(jìn)件腔31抽氣；與此同時(shí)，該進(jìn)件腔32中的該批次待加工工件開(kāi)始由該傳輸平臺(tái)42以上述恒定的速度傳輸出該進(jìn)件腔32并進(jìn)入該真空制程腔1，在此過(guò)程中，承載于該傳輸平臺(tái)42的位于圖5中下方的一側(cè)上的兩排工件將會(huì)依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域，從而完成加工。步驟105，如圖12和圖13所示，該傳輸平臺(tái)42已經(jīng)從該進(jìn)件腔32完全地進(jìn)入了該真空制程腔1，并即將重新移回該進(jìn)件腔32，在該狀態(tài)下，承載于該傳輸平臺(tái)42的位于圖 13中下方的一側(cè)上的全部?jī)膳殴ぜ呀?jīng)完成了加工處理過(guò)程，此時(shí)，利用該移位裝置使該傳輸平臺(tái)42與該加工區(qū)域發(fā)生一相對(duì)移位，以使得該加工區(qū)域在此后所對(duì)準(zhǔn)的將為該兩個(gè)傳輸平臺(tái)的傳輸路徑的位于圖13中上方的一側(cè)。步驟106，如圖14和圖15所示，該傳輸平臺(tái)42開(kāi)始以上述恒定的速度從該真空制程腔1移回該進(jìn)件腔32，在此過(guò)程中，承載于該傳輸平臺(tái)42的位于圖15中上方的一側(cè)上的兩排工件將會(huì)依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域，從而完成加工；與此同時(shí)，該進(jìn)件腔31完成抽氣至真空狀態(tài)的步驟，并打開(kāi)該進(jìn)件腔31與該真空制程腔1之間的密封閥門(mén)。步驟107，如圖4和圖5所示，該傳輸平臺(tái)42已經(jīng)完全地從該真空制程腔1移回了該進(jìn)件腔32，在該狀態(tài)下，承載于該傳輸平臺(tái)42的位于圖5中上方的一側(cè)上的全部?jī)膳殴ぜ惨呀?jīng)完成了加工處理過(guò)程，這即意味著該傳輸平臺(tái)42上承載著的該批次工件已經(jīng)全部完成了加工并被送回了該進(jìn)件腔32，此后，關(guān)閉該進(jìn)件腔32與該真空制程腔1之間的密封閥門(mén)，并將該進(jìn)件腔32充氣至大氣狀態(tài)，然后取出其中的已加工工件，接著放入下批次待加工工件，然后再次開(kāi)始對(duì)該進(jìn)件腔32抽氣；與此同時(shí)，該進(jìn)件腔31中的下批次待加工工件開(kāi)始由該傳輸平臺(tái)41以上述恒定的速度傳輸出該進(jìn)件腔31并進(jìn)入該真空制程腔1，在此過(guò)程中，承載于該傳輸平臺(tái)41的位于圖5中上方的一側(cè)上的兩排工件將會(huì)依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域，從而完成加工。步驟108，如圖6和圖7所示，該傳輸平臺(tái)41已經(jīng)從該進(jìn)件腔31完全地進(jìn)入了該真空制程腔1，并即將重新移回該進(jìn)件腔31，在該狀態(tài)下，承載于該傳輸平臺(tái)41的位于圖7 中上方的一側(cè)上的全部?jī)膳殴ぜ呀?jīng)完成了加工處理過(guò)程，此時(shí)，利用該移位裝置使該傳輸平臺(tái)41與該加工區(qū)域發(fā)生一相對(duì)移位，以使得該加工區(qū)域在此后所對(duì)準(zhǔn)的將為該兩個(gè)傳輸平臺(tái)的傳輸路徑的位于圖7中下方的一側(cè)。步驟109，如圖8和圖9所示，該傳輸平臺(tái)41開(kāi)始以上述恒定的速度從該真空制程腔1移回該進(jìn)件腔31，在此過(guò)程中，承載于該傳輸平臺(tái)41的位于圖9中下方的一側(cè)上的兩排工件將會(huì)依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域，從而完成加工；與此同時(shí)，該進(jìn)件腔32完成抽氣至真空狀態(tài)的步驟，并打開(kāi)該進(jìn)件腔32與該真空制程腔1之間的密封閥門(mén)。此后，重復(fù)執(zhí)行步驟104至步驟109，直至對(duì)所有批次的待加工工件完成加工處理。以下，以將該真空傳輸制程設(shè)備及方法用于對(duì)太陽(yáng)能晶片進(jìn)行離子注入摻雜的情況為例，對(duì)該實(shí)施例的加工效率進(jìn)行演示性計(jì)算。
仍以圖1-15所示的實(shí)施例為基礎(chǔ)，假設(shè)每個(gè)進(jìn)件腔可以放入48片晶片，并且相應(yīng)地每個(gè)傳輸平臺(tái)均可以承載48片晶片，該48片晶片將在傳輸平臺(tái)上按照4排每排12片的方式排列，其中每片晶片的長(zhǎng)寬均為150mm ；理想的晶片注入劑量為1. 5E15每平方厘米； 用于離子注入的束流流強(qiáng)為30mA，并將束流調(diào)整至其橫截面寬度可以均勻地覆蓋兩片晶片，即將該加工區(qū)域調(diào)整為兩片晶片的尺寸。根據(jù)上述數(shù)據(jù)可以計(jì)算得出對(duì)每片晶片的離子注入加工的耗時(shí)平均約為1. 79 秒，因此每批次48片晶片的加工總耗時(shí)約為86秒。根據(jù)實(shí)際的生產(chǎn)條件，86秒已經(jīng)足以讓另一個(gè)進(jìn)件腔完成充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的整個(gè)過(guò)程、并進(jìn)入等待狀態(tài)了，由此便確保了各批次工件的加工過(guò)程能夠連續(xù)不間斷地進(jìn)行。在這種情況下，該真空傳輸制程設(shè)備的每小時(shí)理論連續(xù)加工效率可以高達(dá)2010 片晶片，即使考慮到實(shí)際生產(chǎn)中可能會(huì)因加工時(shí)在各進(jìn)片腔之間切換而浪費(fèi)些許加工時(shí)間，以及可能會(huì)因排放晶片的間隙而浪費(fèi)些許束流，對(duì)于每批次48片晶片而言，加工總耗時(shí)也僅會(huì)延長(zhǎng)100秒左右，因此該真空傳輸制程設(shè)備的實(shí)際連續(xù)加工效率仍將超過(guò)1700片每小時(shí)，這一加工效率已經(jīng)明顯超過(guò)了現(xiàn)在國(guó)際市場(chǎng)上任一一款同類(lèi)設(shè)備的生產(chǎn)效率，而且該真空傳輸制程設(shè)備設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單可靠，并且制造成本也較低，這便能夠進(jìn)一步地降低每片晶片的生產(chǎn)成本。當(dāng)進(jìn)件腔以及相應(yīng)的傳輸平臺(tái)的數(shù)量多于兩個(gè)時(shí)，本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)方式與上述具體實(shí)施例的實(shí)現(xiàn)方式完全類(lèi)似，例如當(dāng)設(shè)有三個(gè)進(jìn)件腔時(shí)，將相繼地并循環(huán)地對(duì)該三個(gè)進(jìn)件腔中的工件進(jìn)行連續(xù)的加工處理，而當(dāng)設(shè)有四個(gè)進(jìn)件腔時(shí)，將相繼地并循環(huán)地對(duì)該四個(gè)進(jìn)件腔中的工件進(jìn)行連續(xù)的加工處理，依此類(lèi)推。故在此對(duì)這些實(shí)施方式均不做贅述。實(shí)施例2實(shí)施例1中的該真空傳輸制程設(shè)備針對(duì)的是工件只需一次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域便可以高質(zhì)量地完成加工的情況，而當(dāng)每個(gè)工件需要的加工時(shí)間較長(zhǎng)時(shí)，還可以采用實(shí)施例2 中的方式來(lái)完成工件的加工。該實(shí)施例中的該真空傳輸制程設(shè)備與實(shí)施例1中的該真空傳輸制程設(shè)備的不同之處僅在于，其省去了實(shí)施例1中的該移位裝置，各個(gè)傳輸平臺(tái)雖然仍然移動(dòng)于互不相同的平面內(nèi)，但每個(gè)傳輸平臺(tái)均能夠保證在移進(jìn)及移出該真空制程腔的過(guò)程中使其上承載的全部工件均經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域，而其余的各個(gè)組件的結(jié)構(gòu)和運(yùn)行方式則與實(shí)施例1完全相同。在該實(shí)施例中，相應(yīng)地，承載于每個(gè)傳輸平臺(tái)上的工件也無(wú)需再分兩側(cè)排列。在該實(shí)施例中，在一個(gè)傳輸平臺(tái)承載著待加工工件從相應(yīng)的進(jìn)件腔中移出、并開(kāi)始進(jìn)入該真空制程腔的過(guò)程中，該傳輸平臺(tái)上承載的全部工件均將依次地第一次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域獲得初步加工，例如獲得部分劑量的離子注入處理，然后當(dāng)該傳輸平臺(tái)承載著半加工狀態(tài)的工件完全進(jìn)入該真空制程腔時(shí)，并不使該傳輸平臺(tái)與該加工區(qū)域進(jìn)行相對(duì)移位， 而是直接控制該傳輸平臺(tái)立即開(kāi)始從該真空制程腔移回該進(jìn)件腔，在該返回過(guò)程中，該傳輸平臺(tái)上承載的全部工件又將依次地第二次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域徹底完成加工，例如獲得最終劑量的離子注入處理，由此通過(guò)對(duì)各傳輸平臺(tái)的往返移動(dòng)過(guò)程的充分利用，便實(shí)現(xiàn)了對(duì)每個(gè)傳輸平臺(tái)上所承載的全部工件的連續(xù)不間斷加工，由此保證了在傳輸平臺(tái)移進(jìn)及移出該真空制程腔的過(guò)程中該加工裝置能夠始終連續(xù)有效運(yùn)行，從而極大地提高了加工效率。而與實(shí)施例1同樣地，各個(gè)傳輸平臺(tái)的運(yùn)行仍然是相繼進(jìn)行的，當(dāng)一個(gè)已經(jīng)完成了充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件正在由相應(yīng)的傳輸平臺(tái)兩次傳輸經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域獲得加工時(shí)，其余所有進(jìn)件腔則均較佳地處于充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或是過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)下。這便可以保證即使在傳輸平臺(tái)發(fā)生切換時(shí)該加工裝置也能夠連續(xù)有效運(yùn)行，從而也就實(shí)現(xiàn)了對(duì)各批次待加工工件的連續(xù)不間斷加工，這樣一來(lái)該加工裝置的利用率便實(shí)現(xiàn)了最大化，由此極大地節(jié)省了加工時(shí)間，實(shí)現(xiàn)了最理想的極高的加工效率。綜上所述，本發(fā)明不但能夠在傳輸平臺(tái)進(jìn)出真空制程腔的過(guò)程中保證加工的連續(xù)有效進(jìn)行，還能夠較佳地在進(jìn)件腔及傳輸平臺(tái)發(fā)生切換的過(guò)程中同樣地保證加工的連續(xù)有效進(jìn)行，從而使得加工裝置的利用率實(shí)現(xiàn)了最大化，保證了各批次工件能夠高速地在大氣環(huán)境與真空環(huán)境之間傳輸、并且連續(xù)不間斷地在真空環(huán)境下獲得加工，由此便實(shí)現(xiàn)了最理想的極高的生產(chǎn)效率，另外，本發(fā)明設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單可靠，這又降低了生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)難度以及制造成本，從而最終降低了工件的加工成本。雖然以上描述了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，這些僅是舉例說(shuō)明，本發(fā)明的保護(hù)范圍是由所附權(quán)利要求書(shū)限定的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不背離本發(fā)明的原理和實(shí)質(zhì)的前提下，可以對(duì)這些實(shí)施方式做出多種變更或修改，但這些變更和修改均落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。
1權(quán)利要求
1.一種真空傳輸制程設(shè)備，其包括一真空制程腔，該真空制程腔中設(shè)有一具有一加工區(qū)域、并用于對(duì)經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域的工件進(jìn)行加工的加工裝置，其特征在于，該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)通過(guò)可開(kāi)閉密封件與該真空制程腔的一端相連的進(jìn)件腔，該些進(jìn)件腔可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換，且該加工區(qū)域設(shè)于該真空制程腔的臨近該些進(jìn)件腔的該端處；與各進(jìn)件腔一一對(duì)應(yīng)的至少兩個(gè)傳輸平臺(tái)，各傳輸平臺(tái)用于相繼地將工件從各進(jìn)件腔傳輸至該真空制程腔、再?gòu)脑撜婵罩瞥糖粋鬏敾馗鬟M(jìn)件腔，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面各不相同，且每個(gè)傳輸平臺(tái)上承載的工件均沿該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向分兩側(cè)排列；一移位裝置，用于在每個(gè)傳輸平臺(tái)即將從該真空制程腔移回進(jìn)件腔時(shí)，使該傳輸平臺(tái)與該加工區(qū)域垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向相對(duì)移位；其中，每個(gè)傳輸平臺(tái)在從進(jìn)件腔移向該真空制程腔時(shí)，該傳輸平臺(tái)一側(cè)的工件將經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工，在該傳輸平臺(tái)從該真空制程腔移回該進(jìn)件腔時(shí)，該傳輸平臺(tái)另一側(cè)的工件將經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工。
2.如權(quán)利要求1所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，每個(gè)進(jìn)件腔完成充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的耗時(shí)，小于或等于其余所有進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件相繼地由各傳輸平臺(tái)傳輸經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工的總耗時(shí)。
3.如權(quán)利要求1所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，該加工區(qū)域位于該加工裝置的下方，各傳輸平臺(tái)相互平行、但設(shè)置高度各不相同。
4.如權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，該移位裝置用于使該加工裝置在每個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的平行平面內(nèi)垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。
5.如權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，該移位裝置用于使每個(gè)傳輸平臺(tái)在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面內(nèi)垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。
6.如權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，該移位裝置用于調(diào)節(jié)該加工裝置的參數(shù)，以使得該加工區(qū)域垂直于每個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。
7.一種利用權(quán)利要求1所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，針對(duì)各進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件的各輪加工過(guò)程相繼進(jìn)行，在每輪加工過(guò)程中， 僅一個(gè)已經(jīng)完成了充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件將由傳輸平臺(tái)進(jìn)行傳輸，其中在該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該真空制程腔時(shí)，該傳輸平臺(tái)一側(cè)的工件將依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工，此后該移位裝置使該傳輸平臺(tái)與該加工區(qū)域垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向相對(duì)移位，而后在該傳輸平臺(tái)從該真空制程腔移回該進(jìn)件腔時(shí)，該傳輸平臺(tái)另一側(cè)的工件將依次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工；與此同時(shí)，其余所有進(jìn)件腔均處于充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或是過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)。
8.如權(quán)利要求7所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，每個(gè)進(jìn)件腔完成充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的耗時(shí)，小于或等于其余所有進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件相繼地由各傳輸平臺(tái)傳輸經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工的總耗時(shí)。
9.如權(quán)利要求7所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，該加工區(qū)域位于該加工裝置的下方，各傳輸平臺(tái)相互平行、但設(shè)置高度各不相同。
10.如權(quán)利要求7-9中任意一項(xiàng)所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，該移位裝置使該加工裝置在每個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的平行平面內(nèi)垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。
11.如權(quán)利要求7-9中任意一項(xiàng)所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，該移位裝置使每個(gè)傳輸平臺(tái)在該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面內(nèi)垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。
12.如權(quán)利要求7-9中任意一項(xiàng)所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，該移位裝置調(diào)節(jié)該加工裝置的參數(shù)，以使得該加工區(qū)域垂直于每個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向移位。
13.一種真空傳輸制程設(shè)備，其包括一真空制程腔，該真空制程腔中設(shè)有一具有一加工區(qū)域、并用于對(duì)經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域的工件進(jìn)行加工的加工裝置，其特征在于，該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)通過(guò)可開(kāi)閉密封件與該真空制程腔的一端相連的進(jìn)件腔，該些進(jìn)件腔可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換，且該加工區(qū)域設(shè)于該真空制程腔的臨近該些進(jìn)件腔的該端處；與各進(jìn)件腔一一對(duì)應(yīng)的至少兩個(gè)傳輸平臺(tái)，各傳輸平臺(tái)用于相繼地將工件從各進(jìn)件腔傳輸至該真空制程腔、再?gòu)脑撜婵罩瞥糖粋鬏敾馗鬟M(jìn)件腔，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面各不相同；其中，在每個(gè)傳輸平臺(tái)從進(jìn)件腔移向該真空制程腔以及從該真空制程腔移回該進(jìn)件腔的過(guò)程中，該傳輸平臺(tái)上的工件將兩次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工。
14.如權(quán)利要求13所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，每個(gè)進(jìn)件腔完成充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的耗時(shí)，小于或等于其余所有進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件相繼地由各傳輸平臺(tái)傳輸經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工的總耗時(shí)。
15.如權(quán)利要求13或14所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，該加工區(qū)域位于該加工裝置的下方，各傳輸平臺(tái)相互平行、但設(shè)置高度各不相同。
16.一種利用權(quán)利要求13所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，針對(duì)各進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件的各輪加工過(guò)程相繼進(jìn)行，在每輪加工過(guò)程中，僅一個(gè)已經(jīng)完成了充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件將由傳輸平臺(tái)進(jìn)行傳輸，其中在該傳輸平臺(tái)從該進(jìn)件腔移向該真空制程腔以及從該真空制程腔移回該進(jìn)件腔的過(guò)程中，該傳輸平臺(tái)上的工件將兩次經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工；與此同時(shí)，其余所有進(jìn)件腔均處于充氣至大氣狀態(tài)、 取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或是過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)。
17.如權(quán)利要求16所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，每個(gè)進(jìn)件腔完成充氣至大氣狀態(tài)、取出已加工工件、放入下批次待加工工件、抽氣至真空狀態(tài)的耗時(shí)，小于或等于其余所有進(jìn)件腔中的當(dāng)前批次待加工工件相繼地由各傳輸平臺(tái)傳輸經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工的總耗時(shí)。
18.如權(quán)利要求16或17所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，該加工區(qū)域位于該加工裝置的下方，各傳輸平臺(tái)相互平行、但設(shè)置高度各不相同。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種真空傳輸制程設(shè)備，其包括至少兩個(gè)與真空制程腔的一端相連的進(jìn)件腔；與各進(jìn)件腔一一對(duì)應(yīng)的至少兩個(gè)傳輸平臺(tái)，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面各不相同；一移位裝置，用于使該傳輸平臺(tái)與該加工區(qū)域垂直于該傳輸平臺(tái)的移動(dòng)方向相對(duì)移位；其中，每個(gè)傳輸平臺(tái)在從進(jìn)件腔移向該真空制程腔時(shí)，該傳輸平臺(tái)一側(cè)的工件將經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工，在該傳輸平臺(tái)從該真空制程腔移回該進(jìn)件腔時(shí)，該傳輸平臺(tái)另一側(cè)的工件將經(jīng)過(guò)該加工區(qū)域完成加工。本發(fā)明還公開(kāi)了一種利用上述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，以及另一種真空傳輸制程設(shè)備及方法。本發(fā)明能夠使得各批次工件連續(xù)不間斷地獲得加工，從而實(shí)現(xiàn)最理想的極高的生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H01L31/18GK102310999SQ20101022310
公開(kāi)日2012年1月11日 申請(qǐng)日期2010年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月9日
發(fā)明者洪俊華, 錢(qián)鋒, 陳炯 申請(qǐng)人:上海凱世通半導(dǎo)體有限公司