專利名稱：防位置偏移裝置、具有它的基板保持器、基板輸送裝置及基板輸送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種防位置偏移裝置、具有該防位置偏移裝置的基板保持器、基板輸 送裝置及基板輸送方法。
背景技術(shù)：
在作為液晶顯示器(LCD)的代表的FPD (flat paneldisplay，平板顯示器)的制 造過程中，在真空條件下對玻璃基板等基板實(shí)施蝕刻、成膜等各種處理。使用具有多個基板 處理室的所謂多室型基板處理系統(tǒng)來制造FPD。上述基板處理系統(tǒng)包括配置有用于輸送基 板的基板輸送裝置的輸送室、和設(shè)在該輸送室周圍的多個工藝室。利用輸送室內(nèi)的基板輸 送裝置將基板搬入到各工藝室內(nèi)、或者自各工藝室搬出處理完畢的基板。通常使用被稱作 叉(folk)的基板保持器來輸送基板。叉具有如下構(gòu)造，即，在安裝于能夠進(jìn)行進(jìn)出、退避、 旋轉(zhuǎn)等動作的輸送臂上的共用的基部上呈梳齒狀地形成有多個支承抓取構(gòu)件(Pick)。在大氣壓狀態(tài)下，通常利用設(shè)在叉上的真空吸盤(vacuumchuck)固定基板而輸送 基板。另一方面，在真空狀態(tài)下不能使用真空吸盤。因此，想出了如下方法，即，在叉上安裝 與基板之間的摩擦系數(shù)較大的由橡膠等材質(zhì)構(gòu)成的小片的彈性構(gòu)件而使該彈性構(gòu)件與基 板抵接，從而能夠防止基板因側(cè)滑等而發(fā)生位置偏移。但是，在真空狀態(tài)下輸送基板時，存 在下述問題。如上所述，真空狀態(tài)下的基板的保持操作依賴于彈性構(gòu)件與基板之間的摩擦力， 因此存在不能增大基板的輸送動作的速度的這一問題。安裝在基板輸送裝置的輸送臂上 的叉在保持基板的狀態(tài)下進(jìn)行進(jìn)出、退避、旋轉(zhuǎn)等伴有加減速的輸送動作，所以利用摩擦力 進(jìn)行的保持操作的穩(wěn)定程度存在極限。因而，為了能夠安全地輸送基板，只能降低輸送動作 的速度，但這是導(dǎo)致基板處理系統(tǒng)中的基板處理的生產(chǎn)率降低的主要原因。另外，擔(dān)心在使彈性構(gòu)件與基板上的用于形成電子零件的區(qū)域(器件形成區(qū)域) 的背面?zhèn)鹊纸訒r因靜電破壞導(dǎo)致電子零件的合格率下降，所以必須使彈性構(gòu)件與器件形成 區(qū)域之外的區(qū)域的背面抵接。因此，只能使用相比基板的面積非常小的彈性構(gòu)件，而且彈性 構(gòu)件的配置數(shù)量、配置位置等也有限制，從而彈性構(gòu)件與基板的接觸面積有限，不能獲得充 分的摩擦力。結(jié)果，不能獲得充分的保持力，即使降低輸送動作的速度，仍會發(fā)生基板在叉 上移動而自叉脫落、或基板的保持位置偏移較大而影響基板的處理、交接的情況。最近幾年，為了提高生產(chǎn)率，想要FPD等基板實(shí)現(xiàn)大型化，從而在依賴于安裝在叉 上的彈性構(gòu)件與基板之間的摩擦力的保持方法中，越來越難以獲得充分的保持力和生產(chǎn) 率。因此，本發(fā)明人想要通過在叉上設(shè)置用于限制基板在水平方向上移動的突起而使該突 起與基板的端部抵接來防止基板發(fā)生側(cè)滑、位置偏移。但是，由于在交接基板時基板的保 持位置經(jīng)常變化，因此在進(jìn)行交接時基板可能越到上述突起上。結(jié)果，擔(dān)心反倒不能穩(wěn)定地 保持基板而發(fā)生基板的脫落等情況。另外，為了避免發(fā)生上述情況，必須留出充分的余量 (margin)地配置突起，因此無法避免基板發(fā)生該余量尺寸的位置偏移。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況而做成的，目的在于提供一種即使f在真空狀態(tài)下也能抑 制被保持在基板保持器上的基板發(fā)生位置偏移的防位置偏移裝置。本發(fā)明的防位置偏移裝置包括主體，其固定在用于保持基板的基板保持器上；可動構(gòu)件，其為多個且彼此獨(dú)立地設(shè)置，該可動構(gòu)件具有以第1高度自上述主體 的上表面突出的部分，在基板的載重施加在該突出的部分上的狀態(tài)下，該突出的部分的高 度低于上述第1高度；施力構(gòu)件，其對上述多個可動構(gòu)件分別沿上述突出的部分的突出方向施力；其中，通過使以上述第1高度突出的1個以上的可動構(gòu)件的側(cè)部與被保持在上述基板保 持器上的基板的端部抵接，從而限制基板的移動，防止基板發(fā)生位置偏移。另外，本發(fā)明的基板保持器包括用于支承基板的基板支承構(gòu)件、和固定在上述基 板支承構(gòu)件上的上述防位置偏移裝置。另外，本發(fā)明的基板輸送裝置具有上述基板保持器。另外，本發(fā)明的基板輸送方法使用上述基板輸送裝置將基板保持在上述基板保持 器上而進(jìn)行輸送。采用本發(fā)明，無論是在真空狀態(tài)下輸送基板還是在大氣壓狀態(tài)下輸送基板都能防 止因基板發(fā)生側(cè)滑等而使基板的保持位置偏移，能夠可靠地將基板保持在基板保持器上。 因此，能夠提高基板輸送操作的可靠性。另外，能夠提高基板處理系統(tǒng)中的基板處理操作的
生產(chǎn)率。




圖1是大概地表示真空處理系統(tǒng)的立體圖。 圖2是圖1的真空處理系統(tǒng)的俯視圖。 圖3是說明輸送裝置的大概結(jié)構(gòu)的立體圖。 圖4是表示叉的大概結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖5是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的防位置偏移裝置的外觀結(jié)構(gòu)的立體圖。 圖6是防位置偏移裝置的主要部分剖視圖。 圖7是防位置偏移裝置的另一狀態(tài)的主要部分剖視圖。 圖8是說明在安裝了防位置偏移裝置的叉上載置有基板的狀態(tài)的圖。 圖9是說明在安裝了防位置偏移裝置的叉上載置有基板的另一狀態(tài)的圖。 圖10是說明在安裝了防位置偏移裝置的叉上載置有基板的另一狀態(tài)的圖。 圖11是說明防位置偏移裝置的配置例的圖。 圖12是說明防位置偏移裝置的另一配置例的圖。 圖13是說明可動銷的結(jié)構(gòu)例的立體圖。 圖14是說明利用防位置偏移裝置補(bǔ)正基板的姿勢的狀態(tài)的圖。 圖15是表示變形例的防位置偏移裝置的外觀結(jié)構(gòu)的立體圖。 圖16是說明將防位置偏移裝置應(yīng)用在圓形基板的狀態(tài)的圖。
圖17是放大表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的防位置偏移裝置的外觀結(jié)構(gòu)的立體圖。圖18是圖17中的防位置偏移裝置301的主要部分剖視圖。圖19是表示將防位置偏移裝置安裝在支承抓取構(gòu)件的前端的狀態(tài)的圖。圖20是說明在安裝了防位置偏移裝置的支承抓取構(gòu)件上支承有基板的狀態(tài)的 圖。圖21是說明可動銷的限動作用的圖。圖22是表示將防位置偏移裝置安裝在支承抓取構(gòu)件的前端的狀態(tài)的俯視圖。
具體實(shí)施例方式第1實(shí)施方式下面，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。這里，以本發(fā)明的一個實(shí)施方式中的 基板輸送裝置以及具有該基板輸送裝置的基板處理系統(tǒng)為例進(jìn)行說明。圖1是大概地表示 作為基板處理系統(tǒng)的真空處理系統(tǒng)100的立體圖，圖2是大概地表示各室內(nèi)部的俯視圖。 該真空處理系統(tǒng)100形成為具有多個工藝室la、lb、Ic的多室構(gòu)造。真空處理系統(tǒng)100形 成為用于對例如FPD用玻璃基板(以下簡稱為“基板”)S實(shí)施等離子處理的處理系統(tǒng)。另 外，可以使用液晶顯示器(IXD)、電致發(fā)光(ElectroLuminescence ；EL)顯示器、等離子顯示 面板(PDP)等為FPD。在真空處理系統(tǒng)100中，多個大型室俯視呈十字狀地相連結(jié)。在中央部配置有輸 送室3，與該輸送室3的3個側(cè)面相鄰地配置有用于對基板S進(jìn)行等離子處理的3個工藝 室la、lb、lc。另外，與輸送室3的剩余1個側(cè)面相鄰地配置有加載互鎖真空(load lock) 室5。上述3個工藝室la、lb、lc、輸送室3以及加載互鎖真空室5都為真空室。在輸送室 3與各3個工藝室la、lb、lc之間設(shè)有未圖示的開口部，在該開口部上分別配置有具有開閉 功能的閘閥(gate valve) 7a0另外，在輸送室3與加載互鎖真空室5之間配置有閘閥7b。 閘閥7a、7b在關(guān)閉狀態(tài)下將各室之間氣密地密封起來，在打開狀態(tài)下將室之間連通起來而 能夠輸送基板S。另外，在加載互鎖真空室5與外部的大氣氣氛之間也配置有閘閥7c，閘閥 7c在關(guān)閉狀態(tài)下維持加載互鎖真空室5的氣密性，在打開狀態(tài)下能在加載互鎖真空室5內(nèi) 與外部之間輸送基板S。在加載互鎖真空室5的外側(cè)設(shè)有2個盒式分度器(caSSetteindexer)9a、9b。在各 盒式分度器9a、9b上分別載置有用于收容基板S的盒l(wèi)la、llb。在各盒IlaUlb的內(nèi)部上 下空出間隔地配置有許多層基板S。另外，利用升降機(jī)構(gòu)部13a、13b分別升降自如地構(gòu)成各 盒11a、lib。在本實(shí)施方式中，例如可以在盒Ila中收容未處理的基板，在另一方的盒l(wèi)ib 中收容處理完畢的基板。在上述2個盒IlaUlb之間設(shè)有用于輸送基板S的輸送裝置15。該輸送裝置15 包括上下呈2層地設(shè)置的作為基板保持器的叉17a以及叉17b、用于能使上述叉17a、叉17b 進(jìn)出、退避以及旋轉(zhuǎn)地支承該叉17a、叉17b的驅(qū)動部19、和用于支承該驅(qū)動部19的支承臺 21。工藝室la、lb、lc能將各自的內(nèi)部空間維持成規(guī)定的減壓氣氛(真空狀態(tài))。 如圖2所示，在各工藝室la、lb、lc內(nèi)配置有用于載置基板S的作為載置臺的基座 (susc印tor) 2。于是，在各工藝室la、lb、Ic中，能夠在將基板S載置在基座2上的狀態(tài)下，
6對基板S進(jìn)行例如真空條件下的蝕刻處理、灰化處理、成膜處理等等離子處理。在本實(shí)施方式中，可以在3個工藝室la、lb、Ic中進(jìn)行同一種處理，也可以在各工 藝室內(nèi)進(jìn)行不同種類的處理。另外，工藝室的數(shù)量并不限定于3個，也可以是4個以上。與作為真空處理室的工藝室la、lb、lc相同，輸送室3也能將內(nèi)部氣氛保持成規(guī)定 的減壓氣氛。如圖2所示，在輸送室3中配置有輸送裝置23。于是，能夠利用輸送裝置23 在3個工藝室la、lb、Ic以及加載互鎖真空室5之間輸送基板S。輸送裝置23具有上下呈2層地設(shè)置的輸送裝置，能夠分別獨(dú)立地進(jìn)行基板S的搬 入搬出操作。圖3表示具有作為基板保持器的叉101的上層的輸送裝置23a的大概結(jié)構(gòu)。 輸送裝置23a的主要結(jié)構(gòu)是，包括底座部113、能相對于底座部113滑動的滑動臂(slide arm) 115、能滑動地設(shè)在該滑動臂115上且用于保持基板S的叉101。叉101包括作為基部 的抓取基座(Pick base) 117、和與該抓取基座117相連結(jié)的多個(例如4根)支承抓取構(gòu) 件119。在配置于最外側(cè)的2根支承抓取構(gòu)件119上分別安裝有4個用于防止被保持在叉 101上的基板S發(fā)生位置偏移的防位置偏移裝置201。該防位置偏移裝置201的詳細(xì)結(jié)構(gòu) 見后述。在滑動臂115的側(cè)部設(shè)有用于使滑動臂115相對于底座部113滑動的引導(dǎo)構(gòu)件 121。并且，在底座部113上設(shè)有用于能滑動地支承引導(dǎo)構(gòu)件121的滑動支承部123。另外，在滑動臂115的側(cè)部與上述引導(dǎo)構(gòu)件121平行地設(shè)有用于使叉101相對于 滑動臂115滑動的引導(dǎo)構(gòu)件125。并且，還設(shè)有沿引導(dǎo)構(gòu)件125滑動的滑動件(slider) 127， 在該滑動件127上安裝有叉101。在圖3中說明了上層的輸送裝置23a，下層的輸送裝置(省略圖示)也具有與上層 的輸送裝置23a相同的結(jié)構(gòu)。并且，利用未圖示的連結(jié)機(jī)構(gòu)連結(jié)上下的輸送裝置而使它們 形成為一體而能沿水平方向旋轉(zhuǎn)。另外，形成為上下2層的輸送裝置與用于進(jìn)行滑動臂115 的滑動動作和叉101的滑動動作、底座部113的旋轉(zhuǎn)動作和升降動作的未圖示的驅(qū)動單元 相連結(jié)。 與工藝室la、Ib、Ic以及輸送室3相同，加載互鎖真空室5也能將內(nèi)部氣氛保持成 規(guī)定的減壓氣氛。加載互鎖真空室5用于在處于大氣氣氛的盒IlaUlb與處于減壓氣氛 的輸送室3之間來回輸送基板S。從加載互鎖真空室5將內(nèi)部氣氛反復(fù)切換成大氣氣氛和 加壓氣氛的角度考慮，極小地形成加載互鎖真空室5的內(nèi)部容積。在加載互鎖真空室5中 呈上下2層地設(shè)有基板收容部27 (在圖2中只表示上層)，在各基板收容部27上設(shè)有多個 用于支承基板S的緩沖構(gòu)件28。另外，在加載互鎖真空室5內(nèi)設(shè)有與矩形的基板S的彼此 相對的角部抵接而對位該基板S的定位構(gòu)件(positioner) 29。 如圖2所示，真空處理系統(tǒng)100的各結(jié)構(gòu)部分與具有作為計算機(jī)的功能的控制部 30相連接而被該控制部30控制(在圖1中省略表示該控制部30)?？刂撇?0包括用戶接 口(userinterface) 32、存儲部 33 和具有 CPU (Central ProcessingUnit，中央處理器)的控 制器(controller) 310控制器31綜合控制真空處理系統(tǒng)100中的例如工藝室IaUbUc, 輸送裝置15、輸送裝置23等各結(jié)構(gòu)部分。用戶接口 32由供工序管理人員為了管理真空處 理系統(tǒng)100而進(jìn)行輸入命令的操作等的鍵盤、能可視化地顯示真空處理系統(tǒng)100的運(yùn)轉(zhuǎn)狀 況的顯示器等構(gòu)成。在存儲部33中保存有制程程序，該制程程序存儲有用于利用控制器31 的控制而實(shí)現(xiàn)在真空處理系統(tǒng)100中執(zhí)行的各種處理的控制程序(軟件)、處理條件數(shù)據(jù)等。用戶接口 32以及存儲部33與控制器31相連接。于是，依據(jù)需要根據(jù)來自用戶接口 32的指示等自存儲部33調(diào)出任意的制程程序 而讓控制器31執(zhí)行該制程程序，從而利用控制器31的控制在真空處理系統(tǒng)100中進(jìn)行期
望的處理。作為上述控制程序、處理條件數(shù)據(jù)等制程程序，可以使用存儲在計算機(jī)能夠讀取 的存儲介質(zhì)例如CD-ROM、硬盤、軟盤、閃存器等中的狀態(tài)的制程程序?；蛘咭部梢岳缃柚?專用電線隨時自其它裝置傳輸制程程序而在線使用。接下來，說明上述那樣構(gòu)成的真空處理系統(tǒng)100的動作。首先，驅(qū)動輸送裝置15的2個叉17a、17b而自收容有未處理的基板的盒1 Ia接收 基板S，然后將該基板S分別載置在加載互鎖真空室5中的上下2層的基板收容部27的緩 沖構(gòu)件28上。在使叉17a、17b退避后，關(guān)閉加載互鎖真空室5的大氣側(cè)的閘閥7c。之后，對加載 互鎖真空室5的內(nèi)部進(jìn)行排氣而將加載互鎖真空室5的內(nèi)部減壓到規(guī)定的真空度。然后， 打開輸送室3與加載互鎖真空室5之間的閘閥7b而利用輸送裝置23的叉101接收被收容 在加載互鎖真空室5中的基板收容部27上的基板S。之后，在利用輸送裝置23的叉101保持著基板S的狀態(tài)下進(jìn)行滑動臂115的滑動 動作和叉101的滑動動作、底座部113的旋轉(zhuǎn)動作和升降動作來輸送基板S。由于利用防位 置偏移裝置201限制基板S在叉101上移動，因此能夠以將基板S可靠地保持在叉101上 的狀態(tài)進(jìn)行上述輸送動作。然后，將基板S搬入工藝室la、lb、lc的任意一個中并交付到基 座2上。在工藝室la、lb、lc的內(nèi)部，對基板S實(shí)施蝕刻等規(guī)定處理。之后，自基座2將處 理完畢的基板S交付到輸送裝置23的叉101上而自工藝室la、lb、Ic搬出該基板S。然后，利用輸送裝置15以與上述路徑相反的路徑經(jīng)過加載互鎖真空室5而將基板 S收容在盒l(wèi)ib中。另外，也可以將處理完畢的基板S送回到原來的盒Ila中。接下來，參照圖4 圖12進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明的第1實(shí)施方式的防位置偏移裝 置201以及具有該防位置偏移裝置201的叉101。首先，說明安裝有防位置偏移裝置201的 叉101的結(jié)構(gòu)。圖4是表示叉101的外觀的立體圖。如上所述，叉101包括被固定在滑動 件127上的抓取基座117、和與該抓取基座117相連結(jié)的作為基板支承構(gòu)件的多個(例如4 根)支承抓取構(gòu)件119。抓取基座117只要是能夠可靠地固定形成為梳齒狀的多個支承抓取構(gòu)件119 (在 本實(shí)施方式中為4根)上且能與滑動臂115 (滑動件127)相連結(jié)的構(gòu)件，則可以是任意結(jié) 構(gòu)。另外，抓取基座117與支承抓取構(gòu)件119的連結(jié)構(gòu)造也是任意的。例如，作為抓取基座 117，可以是使用能夾持支承抓取構(gòu)件119的基端部的2張板材形成的固定構(gòu)造，也可以是 使用能支承多個支承抓取構(gòu)件119的1張板材形成的固定構(gòu)造。此外，還可以一體地形成 抓取基座117和支承抓取構(gòu)件119。在本實(shí)施方式中，例如利用剖視呈U字形地彎折而成的 板材構(gòu)成抓取基座117。在彎折而成的板材的間隙中插入多個支承抓取構(gòu)件119的各個基 端部，且利用未圖示的固定部件例如螺釘?shù)冗M(jìn)行固定。叉101的支承抓取構(gòu)件119例如形成為細(xì)長的板狀或空心的方筒狀。為了能夠輕 量化且在載置有大型的基板S的狀態(tài)下盡量不使該支承抓取構(gòu)件119因承受該基板S的 載重而發(fā)生撓曲，使用具有較高的剛性的材質(zhì)為支承抓取構(gòu)件119的材質(zhì)，例如可以使用CFRP (碳纖維鋼化塑料)等。在叉101的各支承抓取構(gòu)件119的上表面上能裝卸地設(shè)有多處(圖4中在1個支 承抓取構(gòu)件119上設(shè)有2處)用于自基板S的背面?zhèn)戎С谢錝的支承突起200。支承突 起200例如使用橡膠、PEEK(聚醚醚酮)樹脂、PTFE(聚四氟乙烯)樹脂等彈性材料構(gòu)成。 支承突起200的形狀沒有限定，例如可以是半球狀、0型密封圈那樣的環(huán)狀。另外，支承突 起200與基板S的背面抵接而利用摩擦力提高叉101上的對基板S的保持力，但通過在叉 101上安裝防位置偏移裝置201而能夠在叉101上可靠地保持基板S,因此也可以不設(shè)置支 承突起200。在叉101上的任意位置安裝有任意個數(shù)的防位置偏移裝置201。圖4表示在4根 支承抓取構(gòu)件119中的位于兩端的2根支承抓取構(gòu)件119的基部附近分別安裝有左右一對 的防位置偏移裝置201的狀態(tài)。另外，圖4也表示安裝前的另外一對防位置偏移裝置201。 這樣，能夠?qū)⒎牢恢闷蒲b置201能裝卸地安裝在用于構(gòu)成叉101的支承抓取構(gòu)件119上。接下來，說明防位置偏移裝置201的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。圖5是放大表示防位置偏移裝置 201的外觀結(jié)構(gòu)的立體圖。圖6以及圖7是用于說明防位置偏移裝置201的機(jī)構(gòu)的主要部分 剖視圖。防位置偏移裝置201的主要結(jié)構(gòu)是，包括主體203、突出設(shè)在該主體203的上表面 203a上的作為可動構(gòu)件的多個可動銷205、和分別獨(dú)立地對上述可動銷205施加向上(突 出的方向)的力的作為施力部件的螺旋彈簧207。在本實(shí)施方式的防位置偏移裝置201中，如圖5所示，主體203是例如由鋁、合成 樹脂等材質(zhì)構(gòu)成的框體。優(yōu)選在將防位置偏移裝置201安裝在支承抓取構(gòu)件119上的狀態(tài) 下主體203的上表面203a與支承抓取構(gòu)件119的上表面是相同高度。另外，圖5中在主體 203上設(shè)有7根可動銷205，但可動銷205的數(shù)量沒有限定。如圖6以及圖7所示，主體203的內(nèi)部被隔壁211分隔成彼此獨(dú)立的室213。各室 213包括底壁213a和頂部213b。在各室213中分別收容有1組可動銷205以及螺旋彈簧 207?？蓜愉N205包括自主體203的上表面203a “突出的部分”即柱狀部分205a、和比柱狀 部分205a大徑地形成在該柱狀部分205a中途的凸緣205b。該凸緣205b作為彈簧支承部 發(fā)揮功能?？蓜愉N205的上部貫穿在分別設(shè)于各室213的頂部213b上的開口部213c中?？梢允褂孟嗤馁|(zhì)一體地形成可動銷205的柱狀部分205a和凸緣205b，也可以 將該柱狀部分205a和凸緣205b形成為彼此獨(dú)立的構(gòu)件。可動銷205的材質(zhì)沒有特別限定， 但由于至少可動銷205的柱狀部分205a的上部是與基板S的背面、端部接觸的，因此優(yōu)選 使用例如合成樹脂、橡膠等材料形成該可動銷205。當(dāng)然，也可以使用同一種材料(合成樹 脂、橡膠等)形成整個可動銷205。另外，優(yōu)選可動銷205的柱狀部分205a的上部具有能抵 住基板S的端部的程度的剛性和韌性。從上述這些方面考慮，優(yōu)選使用例如PEEK(聚醚醚 酮)樹脂、PTFE (聚四氟乙烯)樹脂等合成樹脂為可動銷205的材料。另外，在本發(fā)明中，可動構(gòu)件的形狀完全不限定于是圖6以及圖7中例示的可動銷 205的形狀。例如，可動構(gòu)件的“突出的部分”即柱狀部分205a并不限定于是圖示那樣的圓 柱狀，也可以是橫截面為三角形、四邊形、五邊形、六邊形、八邊形等多邊形狀的方柱狀。另 外，可動構(gòu)件的整體形狀或突出的部分的形狀也可以是空心的圓筒狀、橫截面為三角形、四 邊形、五邊形、六邊形、八邊形等多邊形狀的空心方筒狀。此外，可動構(gòu)件的整體形狀或突出 的部分的形狀也可以是板狀(例如方板狀、圓板狀等)。另外，從減小與基板S的背面的接
9觸面積的觀點(diǎn)出發(fā)，也可以預(yù)先對可動構(gòu)件(可動銷205)的頂端實(shí)施磨圓加工，該加工未 圖示。螺旋彈簧207是對可動銷205施加向上的力而使柱狀部分205a的上部成為自主 體203的上表面203a突出的狀態(tài)的施力部件?？蓜愉N205的柱狀部分205a的下部插入在 該螺旋彈簧207中。采用任意方法例如使用定位配件等將螺旋彈簧207的下端固定在室 213的底壁213a上。螺旋彈簧207的上端與可動銷205的凸緣205b抵接，依據(jù)需要也可以 采用任意方法將該螺旋彈簧207固定在凸緣205b上。在防位置偏移裝置201中，多個可動銷205承受基板S的載重而能夠分別獨(dú)立地 在上下方向上進(jìn)行位移。也就是說，可動銷205獨(dú)立地沿與基板S的表面方向正交的方向 突出或退避。在未施加有基板S的載重的狀態(tài)下，利用與凸緣205b卡合的螺旋彈簧207對 可動銷205施加向上的力。因此，插入在設(shè)于頂部213b上的開口部213c中的可動銷205 的柱狀部分205a的上部自主體203的上表面203a向上突出。此時，以主體203的上表面 203a為基準(zhǔn)，將相對于上表面203a的可動銷205的頂端的突出量設(shè)為第1高度氏。另外， 在未施加有基板S的載重的狀態(tài)下，被螺旋彈簧207施力了的可動銷205的凸緣205b被推 壓到室213的頂部213b上。能夠?qū)⑼咕?05b用為規(guī)定第1高度H1的限動構(gòu)件。通過將 可動銷205形成為能夠可改變地調(diào)整可動銷205的柱狀部分205a上的凸緣205b的位置的 構(gòu)造，能夠易于任意設(shè)定第1高度氏。作為能夠可改變地調(diào)整凸緣205b的位置的構(gòu)造，例 如可以采用通過將柱狀部分205a形成為內(nèi)螺紋構(gòu)造且將凸緣205b形成為外螺紋構(gòu)造而形 成的構(gòu)造等，該構(gòu)造未圖示。叉101接住基板S，從而在基板S的載重施加在任意的可動銷205上的狀態(tài)下該載 重使螺旋彈簧207收縮，整個可動銷205被壓下。在發(fā)生了該位移的狀態(tài)下，以主體203的 上表面203a為基準(zhǔn)將可動銷205的頂端相對于上表面203a的突出量設(shè)為第2高度H2。如圖6以及圖7所示，只有在上表面載置有基板S的可動銷205下沉而形成第2 高度H2,而并未載置有基板S的可動銷205能夠保持原始的第1高度Hp于是，能夠利用處 于以第1高度H1突出的狀態(tài)的可動銷205的側(cè)部限制基板S在橫向上的移動。例如，在圖 6中，朝向紙張看時的左側(cè)和中央的2根可動銷205因基板S的重力作用下沉而形成第2高 度吐，而朝向紙張看時的右側(cè)的1根可動銷205以第1高度H1突出。以該第1高度H1突 出的右側(cè)的可動銷205構(gòu)成限定構(gòu)件而限制基板S的移動。另外，在圖7中，朝向紙張看時 的左側(cè)的1根可動銷205因基板S的重力作用下沉而形成第2高度H2，而朝向紙張看時的 右側(cè)和中央的2根可動銷205以第1高度H1突出。在該情況下，中央的突出的可動銷205 構(gòu)成限定構(gòu)件而限制基板S的移動。另外，圖6以及圖7表示基板S還未與擔(dān)負(fù)作為限動 構(gòu)件的作用的以第1高度H1突出的可動銷205接觸的狀態(tài)。當(dāng)在利用叉101輸送基板S時 產(chǎn)生的加速度欲使基板S發(fā)生側(cè)滑時，由于基板S的端部與作為限動構(gòu)件的該可動銷205 抵接而能夠限制基板S的移動，因此基板S在叉101上的移動量是極其微小的。這樣，通過使基板S的端部(邊緣)與以第1高度H1突出的可動銷205的側(cè)部抵 接，能夠最小限度地限制基板S在叉101上的橫向移動，從而能夠在輸送基板S時防止基板 S在叉101上沿水平方向產(chǎn)生位置偏移，此外還能防止基板S自叉101落下。第2高度H2設(shè)定得比第1高度H1低。第2高度H2為零(即可動銷205的頂端與 主體203的上表面203a是相同高度)以上且小于第1高度&。尤其優(yōu)選將第2高度H2設(shè)定為大于零、且使達(dá)到第2高度H2時的可動銷205的頂端位于第1高度H1與主體203的上 表面203a的高度間的中間位置上。這樣，能夠利用因承受基板S的載重而下沉并進(jìn)行位移 而突出到第2高度H2的狀態(tài)的可動銷205的頂端支承基板S,因此能夠極力避免對形成在 基板S的表面上的電子零件產(chǎn)生不良影響。另外，優(yōu)選將第1高度H1與第2高度H2的差量 (H1-H2)設(shè)定為基板S的厚度以上。這樣，能夠充分地獲得作為限制基板S的移動的限動構(gòu) 件的可動銷205的高度，從而能夠利用以第2高度H2突出的狀態(tài)的可動銷205的頂端支承 基板S，并能利用以第1高度H1突出的狀態(tài)的可動銷205可靠地限制基板S在水平方向上 的移動。能夠利用可動銷205的柱狀部分205a的長度、克服基板S的載重的螺旋彈簧207 的反彈力的大小來調(diào)整第2高度H2。另外，作為用于對可動銷205施力的施力部件，并不限定于使用螺旋彈簧207，例 如也可以使用板簧等。有時因為在交接基板S時基板S產(chǎn)生位置偏移等而使每個基板S在叉101上的保 持位置稍有不同。例如如圖8所示，有時基板S的邊緣位置位于叉101 (支承抓取構(gòu)件119) 的前端附近地被保持。另外如圖9所示，基板S的邊緣位置有時也會比圖8中的位置更靠 叉101的基部側(cè)(如箭頭所示)地被保持。此外如圖10所示，還會出現(xiàn)使基板S相對于叉 101 (支承抓取構(gòu)件119)的長度方向具有傾斜角度(如箭頭所示在水平方向上稍有旋轉(zhuǎn)的 狀態(tài))地被保持的情況。由于防位置偏移裝置201具有多個因承受基板S的載重而獨(dú)立進(jìn) 退的可動銷205，因此能夠靈活地應(yīng)對圖8 圖10中例示的任意一種保持位置，可靠地限制 基板S的移動。也就是說，即使每個基板S的保持位置稍微不同，防位置偏移裝置201也能 夠使擔(dān)負(fù)作為限動構(gòu)件的作用的以第1高度H1突出的可動銷205進(jìn)行替換而應(yīng)對該不同。 因此，無論是哪種保持位置都能限制基板S的移動，從而能夠最小限度地抑制基板S的位置 偏移。由此容易理解在增加防位置偏移裝置201的配置位置時、或在通過增加1個防位置 偏移裝置201中的可動銷205的數(shù)量而密集地配置可動銷205時，能夠更精密地限制基板 S的移動而防止保持位置發(fā)生偏移。如上所述，將防位置偏移裝置201裝卸自如地安裝在叉101的支承抓取構(gòu)件119 上。防位置偏移裝置201的固定方法沒有特別限定。例如可以采用螺栓和螺母的連接、嵌 入等能裝卸的固定方法將防位置偏移裝置201的主體203固定在支承抓取構(gòu)件119上。此 時，依據(jù)需要還可以使用定位配件等輔助固定工具。另外，例如也可以采用粘接等方法將防 位置偏移裝置201固定在支承抓取構(gòu)件119上而非裝卸自如地將防位置偏移裝置201固定 在支承抓取構(gòu)件119上。在1個叉101上安裝的防位置偏移裝置201的個數(shù)能夠根據(jù)基板S、叉101的尺 寸以及在輸送動作中會施加較大的加速度的方向等來適當(dāng)設(shè)定。例如可以在叉101上安裝 2 12處、優(yōu)選4 8處的防位置偏移裝置201。例如也可以只在叉101的支承抓取構(gòu)件119的前端側(cè)或基端側(cè)配置防位置偏移裝 置201。但是，從能夠可靠地限制基板S的移動的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選能夠使作為限動構(gòu)件的可 動銷20與基板S的至少相對的2邊抵接，以將被保持在叉101上的基板S夾在中間。另 外，優(yōu)選相對于基板S的中心彼此對稱地配置防位置偏移裝置201，更優(yōu)選在基板S的4個 角的附近配置防位置偏移裝置201。
圖11以及圖12表示防位置偏移裝置201的優(yōu)選配置例。在圖11中，自下方與基 板S的2個短邊SS重疊地安裝防位置偏移裝置201。由此，能夠主要限制基板S在支承抓 取構(gòu)件119的長度方向上的移動。優(yōu)選叉101上的要安裝防位置偏移裝置201的位置避開用于形成被保持在該位置 上的基板S上的電子零件的部分(器件形成區(qū)域)的正下方、且相比器件形成區(qū)域靠外側(cè)。 在圖11中，用虛線描畫基板S上的器件形成區(qū)域R。使防位置偏移裝置201位于器件形成 區(qū)域R的外側(cè)地在叉101上安裝有8處該防位置偏移裝置201。這樣，通過將防位置偏移裝 置201配置在器件形成區(qū)域R的外側(cè)，能夠防止可動銷205接觸/離開基板S的背面?zhèn)葧r 產(chǎn)生的靜電破壞對形成于表面?zhèn)鹊碾娮恿慵a(chǎn)生不良影響。另外，如圖12所示，更優(yōu)選與基板S的4個角重疊地配置防位置偏移裝置201。在 這樣配置時，能夠從4個方向限制基板S,因此不僅能夠限制基板S在支承抓取構(gòu)件119的 長度方向上的移動，同時還能限制基板S在橫截支承抓取構(gòu)件119的方向上的移動、基板S 欲在水平方向上旋轉(zhuǎn)的動作等，從而能夠更可靠地防止基板S發(fā)生位置偏移。另外在圖12 的例子中，配置在與基板S的4個角重疊的位置上的4個防位置偏移裝置201相比配置在 其他位置上的4個防位置偏移裝置201，增加了可動銷205的數(shù)量。具體而言，配置在與基 板S的4個角重疊的位置上的4個防位置偏移裝置201分別具有11根可動銷205。而在與 配置在基板S的4個角上的防位置偏移裝置201成對地分別配置在支承抓取構(gòu)件119的相 反側(cè)(內(nèi)側(cè))的防位置偏移裝置201上分別具有7根可動銷205。這樣，能夠依據(jù)要配置防 位置偏移裝置201的位置、配置數(shù)量等改變可動銷205的數(shù)量。另外，比較圖11和圖12可知，即使基板S的尺寸發(fā)生變化，也能夠依據(jù)基板S的 尺寸改變支承抓取構(gòu)件119上的防位置偏移裝置201的安裝位置。因而，無論基板S的尺 寸是大是小都能可靠地防止基板S在叉101上發(fā)生位置偏移。即使在將防位置偏移裝置201安裝于1個叉101上的情況下，也能夠依據(jù)防位置 偏移裝置201的安裝部位改變可動銷205的數(shù)量、配置間隔、第1高度H1、第2高度H2等。另外如圖13所示，也能夠使可動銷205的柱狀部分205a以其長度方向(鉛垂方 向)為旋轉(zhuǎn)軸線水平轉(zhuǎn)動。通過使與基板S的邊緣抵接的柱狀部分205a轉(zhuǎn)動，該柱狀部分 205a與基板S的抵接部位總在變化。結(jié)果，能夠減輕因與基板S的邊緣接觸而產(chǎn)生的磨損、 損傷使可動銷205劣化的程度，從而能夠延長到更換前的可動銷205的使用壽命，并且還能 抑制因柱狀部分205a被磨損、損傷而導(dǎo)致保持位置的精度下降。利用將已知的機(jī)構(gòu)例如柱 狀部分205a的上部形成為雙重構(gòu)造等方法能夠易于轉(zhuǎn)動自如地構(gòu)成可動銷205的柱狀部 分 205a。如上所述，通過配置防位置偏移裝置201能夠可靠地防止在叉101進(jìn)行進(jìn)出、退 避、旋轉(zhuǎn)等各動作時產(chǎn)生的加速度使基板S發(fā)生側(cè)滑而使保持位置偏移、或使基板S自叉 101落下。因而，能夠提高在真空處理系統(tǒng)100中輸送裝置23的基板輸送操作的可靠性。 另外，通過配置防位置偏移裝置201，即使增加了輸送動作的速度也能在叉101上可靠地保 持基板S，因此能夠提高基板輸送操作的生產(chǎn)率。接下來，說明利用本實(shí)施方式的防位置偏移裝置201而實(shí)現(xiàn)的基板S的保持姿勢 的補(bǔ)正功能。用于構(gòu)成叉101的支承抓取構(gòu)件119因為自重、基板S的重量而在該支承抓取 構(gòu)件119的長度方向上發(fā)生撓曲，從而前端部的高度位置容易低于基部側(cè)的高度位置。被保持在叉101上的基板S的姿勢也容易隨著該撓曲動作而發(fā)生傾斜。由于防位置偏移裝置 201還具有能使可動銷205與基板S的背面接觸從而自基板S的下方支承該基板S的功能， 因此能夠利用防位置偏移裝置201趨近于水平地保持基板S。圖14示意地表示利用安裝在叉101的支承抓取構(gòu)件119 (這里省略圖示)的前端 側(cè)的防位置偏移裝置201A、和安裝在基部側(cè)的防位置偏移裝置201B支承基板S的狀態(tài)。這 里，用附圖標(biāo)記205A表示前端側(cè)的防位置偏移裝置201A的可動銷，用附圖標(biāo)記205B表示 基部側(cè)的防位置偏移裝置201B的可動銷。并且，比基部側(cè)的防位置偏移裝置201B的可動 銷205B下沉?xí)r的第2高度H2b大地設(shè)定前端側(cè)的防位置偏移裝置201A的可動銷205A下沉 時的第2高度H2A。例如，使對防位置偏移裝置201A的可動銷205A施力的螺旋彈簧207的 作用力大于對防位置偏移裝置201B的可動銷205B施力的螺旋彈簧207的作用力、或比可 動銷205B長地形成可動銷205A，從而能夠易于使第2高度H2a比第2高度H2b大。這樣，能夠利用可動銷205A的第2高度H2a與可動銷205B的第2高度H2b的高度 差抵消支承抓取構(gòu)件119的撓曲幅度，緩和基板S的撓曲程度。因而，即使在基板S的重 量、支承抓取構(gòu)件119的自重使支承抓取構(gòu)件119發(fā)生撓曲而使前端側(cè)的防位置偏移裝置 201A的位置相對于基部側(cè)的防位置偏移裝置201B的位置變低的情況下，也能夠極力以趨 于水平的姿勢穩(wěn)定地保持叉101上的基板S地進(jìn)行輸送動作。此外在圖14中，比基部側(cè)的防位置偏移裝置201B的第1高度Hib大地設(shè)定前端側(cè) 的防位置偏移裝置201A的可動銷205A的第1高度H1A。由此，能夠在前端側(cè)的防位置偏移 裝置201A上充分地確保第1高度Hia與第2高度H2a的差量(Hia-H2a)。這樣，即使支承抓取 構(gòu)件119的撓曲使基板S的載重集中到叉101的前端側(cè)，也能夠可靠地使以第1高度Hia突 出的可動銷205A作為限動構(gòu)件發(fā)揮功能。另外，為了獲得利用上述那樣的防位置偏移裝置 201實(shí)現(xiàn)的基板S的保持姿勢的補(bǔ)正效果，防位置偏移裝置201并不限定于配置在支承抓取 構(gòu)件119的基部側(cè)和前端側(cè)，也可以配置在支承抓取構(gòu)件119的長度方向上的中間附近。另外在圖14中，說明了在1根支承抓取構(gòu)件119的左右兩側(cè)分別安裝有防位置偏 移裝置201的例子，但也可以只在1根支承抓取構(gòu)件119的單側(cè)安裝防位置偏移裝置201。另外，作為防位置偏移裝置201的變形例，也可以采用將分別設(shè)有多個可動銷205 的一對主體203連結(jié)起來的結(jié)構(gòu)。例如，圖15所示的防位置偏移裝置201C具有2個主體 203，且利用連結(jié)部分209連結(jié)上述主體203，從而能夠在1根支承抓取構(gòu)件119的左右兩側(cè) 配置可動銷205。在該情況下，在左右的主體203之間形成有能供支承抓取構(gòu)件119插入的 凹部203b。以與支承抓取構(gòu)件119的厚度和寬度對應(yīng)的深度和寬度形成凹部203b。未必 一定要設(shè)置上述連結(jié)部分209和凹部203b，但通過設(shè)置該連結(jié)部分209和凹部203b，能夠 易于在將防位置偏移裝置201C安裝在支承抓取構(gòu)件119時進(jìn)行固定操作、定位操作。也就 是說，在將防位置偏移裝置201C安裝在支承抓取構(gòu)件119上時，連結(jié)部分209作為固定部 發(fā)揮功能，凹部203b作為定位部發(fā)揮功能。另外，例如能夠使用與主體相同的材質(zhì)的板材 來形成連結(jié)部分209，但只要能夠連結(jié)2個主體203，該連結(jié)部分209的形態(tài)沒有限定。另外，主體203未必一定是框體，例如也可以使用2張板材形成該主體203。另外，防位置偏移裝置201并不限定于防止矩形的基板發(fā)生位置偏移，例如如圖 16所示也可以安裝在用于保持半導(dǎo)體晶圓等圓形基板S的叉IOlA上。另外在圖16中，對 于與上述說明內(nèi)容相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記而省略說明。
第2實(shí)施方式接下來，參照圖17 圖22說明本發(fā)明的第2實(shí)施方式的防位置偏移裝置301。首 先，圖17是放大表示防位置偏移裝置301的外觀結(jié)構(gòu)的立體圖。圖18是用于說明防位置偏 移裝置301的機(jī)構(gòu)的主要部分剖視圖。防位置偏移裝置301的主要結(jié)構(gòu)是，包括主體303、 突出地設(shè)在該主體303的上表面303a上的作為可動構(gòu)件的多個塊狀的可動銷305、和分別 單獨(dú)對上述可動銷305施加向上(突出的方向)的力的作為施力部件的螺旋彈簧307。另 外，本實(shí)施方式的防位置偏移裝置301與可動銷305相鄰地設(shè)有用于輔助可動銷305的限 動功能的塊309。另外在圖17中，防位置偏移裝置301形成為在主體303的3處各具有4 個可動銷305的結(jié)構(gòu)，但可動銷305的配置位置、配置數(shù)量沒有限定。在本實(shí)施方式的防位置偏移裝置301中，主體303如圖18所示是例如由合成樹脂 等材質(zhì)構(gòu)成的板材。主體303具有供可動銷305安裝的貫穿開口 311。主體303的一部分 伸出到貫穿開口 311內(nèi)側(cè)而使各貫穿開口 311的上部形成卡合部303b。利用該卡合部303b 能夠縮小貫穿開口 311的開口面積。另外，附圖標(biāo)記303c表示用于將主體303安裝在支承 抓取構(gòu)件119上的螺釘孔。在各貫穿開口 311的內(nèi)部分別配置有4組可動銷305以及4組螺旋彈簧307?？?動銷305形成為U字形(把碟子扣起來那樣的截面形狀)，包括作為與基板S的下表面或端 部抵接的部分的基板支承部305a、和向外側(cè)彎折該基板支承部305a的兩端而形成的彎折 部305b?？蓜愉N305的基板支承部305a插入在各貫穿開口 311中的相對的卡合部303b之 間。在可動銷305的基板支承部305a的下表面的大致中央處設(shè)有彈簧支承用的凹部305c。 另外，在各貫穿開口 311的下端架設(shè)有底座部313。利用未圖示的嵌合機(jī)構(gòu)將底座部313能 裝卸地固定在主體303上。在該底座部313上設(shè)有彈簧支承用的凹部313a?？蓜愉N305的基板支承部305a和彎折部305b可以利用彼此獨(dú)立的構(gòu)件形成，但 優(yōu)選使用相同材質(zhì)一體地形成它們。可動銷305的材質(zhì)沒有特別限定，但由于至少可動銷 305的基板支承部305a是與基板S的背面、端部接觸的，因此優(yōu)選使用例如合成樹脂、橡膠 等材料形成該可動銷305。另外，優(yōu)選可動銷305的基板支承部305a具有能抵住基板S的 端部的程度的剛性和韌性。從上述這些方面考慮，優(yōu)選使用例如PEEK(聚醚醚酮)樹脂、 PTFE(聚四氟乙烯)樹脂等合成樹脂為可動銷305的材料。另外，可動銷305的形狀完全不限定于圖17、圖18等中例示的形狀。螺旋彈簧307是對可動銷305施加向上的力而形成使可動銷305的基板支承部 305a的上部自主體303的上表面303a突出的狀態(tài)的施力部件。螺旋彈簧307的上端與可 動銷305的基板支承部305a的下表面的彈簧支承用的凹部305c抵接，螺旋彈簧307的下 端與底座部313的彈簧支承用的凹部313a抵接。可以依據(jù)需要采用任意方法固定螺旋彈 簧307。另外，作為用于對可動銷305施力的施力部件，并不限定于使用螺旋彈簧307，例如 也可以使用板簧等。在防位置偏移裝置301上，多個可動銷305承受基板S的載重而能夠分別獨(dú)立地 進(jìn)行上下位移。也就是說，可動銷305獨(dú)立地沿與基板S的表面方向正交的方向突出、或者 退避。圖18中的向紙張看時的左側(cè)的可動銷305表示承受載重而下沉的狀態(tài)，右側(cè)的可動 銷305表示被施加了向上的力的非承受載重狀態(tài)(省略圖示基板S)。也就是說，在未作用 有基板S的載重的狀態(tài)下，可動銷305被螺旋彈簧307施加向上的力，從而使插入在貫穿開口 311中的可動銷305的基板支承部305a的上部自主體303的上表面303a向上突出。此 時，以主體303的上表面303a為基準(zhǔn)將可動銷305的頂端的突出量設(shè)為第1高度&。另外， 在未作用有基板S的載重的狀態(tài)下，被螺旋彈簧307施力了的可動銷305的彎折部305b被 推壓到貫穿開口 311的卡合部303b上。彎折部305b作為用于規(guī)定第1高度H1的限動構(gòu) 件。叉101接住基板S，從而在基板S的載重作用在任意的可動銷205上的狀態(tài)下該 載重使螺旋彈簧307收縮，整個可動銷305被壓下。在發(fā)生了該位移的狀態(tài)下，以主體303 的上表面303a為基準(zhǔn)將可動銷305的頂端的突出量設(shè)為第2高度H2。與第1實(shí)施方式相 同地設(shè)定第1高度H1以及第2高度H2。在本實(shí)施方式的防位置偏移裝置301中，將可動銷305的基板支承部305a形成為 U字形，且在該基板支承部305a的內(nèi)側(cè)收容螺旋彈簧307，從而相比第1實(shí)施方式的防位置 偏移裝置201，能夠?qū)⒎牢恢闷蒲b置301的整體高度(主體303的厚度與第1高度H1的 和)抑制成較小的尺寸。因此，能夠?qū)⒎牢恢闷蒲b置301安裝在例如支承抓取構(gòu)件119的 上表面上。另外，采用上述結(jié)構(gòu)，能夠在可動銷305的寬度方向(可動銷305的排列方向) 上稍微傾倒地設(shè)置各可動銷305。塊309是用于輔助可動銷305的限動功能的輔助支承部。在基板S的邊緣與可動 銷305抵接而施加有橫向的力的情況下，塊309輔助地支承可動銷305。也就是說，塊309 作為與上述可動銷305互相協(xié)作地間接限制基板的移動的輔助限動構(gòu)件發(fā)揮作用。因此， 與從基板S側(cè)觀察位于最遠(yuǎn)的位置上的可動銷305相鄰地設(shè)置塊309。可以與防位置偏移 裝置301的主體303 —體地成形塊309，也可以將塊309形成為與主體303彼此獨(dú)立的構(gòu) 件。在本實(shí)施方式中，塊309是固定式構(gòu)件而非可動式構(gòu)件。另外，塊309是任意結(jié)構(gòu)，且 還可以不用設(shè)置。接下來，參照圖19 圖21說明本實(shí)施方式的防位置偏移裝置301的作用。圖19 圖21表示將防位置偏移裝置301安裝在支承抓取構(gòu)件119的前端的狀態(tài)。例如利用螺釘 等固定部件將防位置偏移裝置301固定在支承抓取構(gòu)件119上。在本實(shí)施方式的防位置偏 移裝置301中，彼此接近地設(shè)置4個可動銷305。這里，為了方便說明，將4個可動銷自支承 抓取構(gòu)件119的基部側(cè)向前端側(cè)依次記作可動銷305A、305B、305C、305D。如圖19所示，在 未支承基板S的狀態(tài)下，可動銷305A 305D均為第1高度氏。圖20表示在叉101的支承抓取構(gòu)件119上支承有基板S的狀態(tài)。基板S落在可動 銷305A以及305B上，從而上述可動銷305A以及305B承受基板S的載重而下沉到第2高 度H2。未載置基板S的可動銷305C、305D保持原始的第1高度Hp在該狀態(tài)下，在利用叉 101輸送基板S的過程中，當(dāng)基板S因慣性力、離心力的作用欲向叉101的前端側(cè)發(fā)生位置 偏移時，如圖21中放大表示的那樣，基板S的前端側(cè)的邊緣與可動銷305C的側(cè)部抵接從而 能夠防止發(fā)生位置偏移。此時，由于可動銷305C與可動銷305D之間的間隔很小，所以能夠 利用與能傾倒地沿寬度方向設(shè)置的可動銷305C相鄰的可動銷305D輔助支承。也就是說， 在基板S所施加的力較大的情況下，可動銷305C以及305D協(xié)作地發(fā)揮作為限動構(gòu)件的作 用而非只有可動銷305C單獨(dú)發(fā)揮該作用。另外，本實(shí)施方式的防位置偏移裝置301由于與可動銷305D相接近地設(shè)有塊309， 因此在基板S所施加的力較大的情況下，塊309也與可動銷305C以及305D —齊協(xié)作而作為限動構(gòu)件發(fā)揮作用，從而能夠更可靠地防止基板S發(fā)生位置偏移。如上所述，為了能使可動銷305A、305B、305C以及305D互相協(xié)作而作為限動構(gòu)件 發(fā)揮功能，優(yōu)選相鄰的可動銷305的間隔是能使該相鄰的可動銷305接觸、或接近到能夠 易于借助橫向的力而接觸的狀態(tài)。因此，優(yōu)選在防位置偏移裝置301中，4個可動銷305A、 305B、305C、305D在貫穿開口 311內(nèi)彼此間沒有間隔地相鄰配置。這樣，通過集合地配置多 個可動銷305，不僅能使與基板S直接抵接的可動銷305作為限動構(gòu)件發(fā)揮功能，而且還能 使其他可動銷305也間接地作為限動構(gòu)件發(fā)揮功能。另外，從同一觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選塊309與配置在最靠支承抓取構(gòu)件119的前端側(cè)的可 動銷305D的間隔也是能使該塊309與該可動銷305D接觸、或接近到能夠易于借助橫向的 力而接觸的狀態(tài)。接下來，說明本實(shí)施方式的防位置偏移裝置301上的可動銷305的配置方式。圖 22是表示將防位置偏移裝置301安裝在支承抓取構(gòu)件119的前端的狀態(tài)的俯視圖。在主 體303上設(shè)有3處貫穿開口 311，且在各貫穿開口 311內(nèi)分別配置有4個可動銷305。這 里，為了方便說明，自支承抓取構(gòu)件119的基部側(cè)、將圖22的向紙面看時的左側(cè)的多個可動
銷305記作可動銷305A1、305B1......、同樣將中央的多個可動銷305記作可動銷305A2、
305B2......、同樣將右側(cè)的多個可動銷305記作可動銷305A3、305B3。沿支承抓取構(gòu)件119的長度方向分別錯開一點(diǎn)距離地設(shè)置各貫穿開口 311的位 置。3個塊309也不是相同的尺寸，而是使塊309與可動銷305的邊界位置在支承抓取構(gòu) 件119的長度方向上一點(diǎn)一點(diǎn)錯開地形成為不同尺寸。具體而言，例如可動銷305C1與可 動銷305D1的邊界位于可動銷305D2的基板支承部305a的寬度方向(與支承抓取構(gòu)件119 的長度方向是同一方向)上的中間處。另外，例如可動銷305D2與可動銷305C2的邊界位 于可動銷305D3的基板支承部305a的寬度方向上的中間處。這樣，通過沿支承抓取構(gòu)件119的長度方向依次錯開一點(diǎn)(例如每次錯開1/2間 距)距離的配置可動銷305，能夠抑制基板S的偏離初始支承位置的位置偏移量。S卩，假如 在基板S的邊緣落在可動銷305A3上且只有可動銷305A3達(dá)到第2高度H2的情況下，即使 在輸送過程中基板S發(fā)生了位置偏移，但因基板S的邊緣與以第1高度H1突出的可動銷 305A2的側(cè)面抵接所以能夠限制基板S進(jìn)一步移動。設(shè)有可動銷305A3的位置與設(shè)有可動 銷305A2的位置的差為基板支承部305a的寬度的1/2，因此基板S的位置偏移量再大也能 被控制在基板支承部305a的寬度的1/2以內(nèi)。同樣，在基板S的邊緣落在可動銷305A2上 而利用可動銷305A1限制基板S的移動的情況下，基板S的位置偏移量再大也能被控制在 基板支承部305a的寬度的1/2以內(nèi)。這樣，相比將可動銷305整齊地配置成橫向一列，優(yōu) 選沿支承抓取構(gòu)件119的長度方向依次錯開一點(diǎn)距離地配置可動銷305。如上所述，在本實(shí)施方式的防位置偏移裝置301中，利用1個 多個可動銷305、此 外依據(jù)需要還加設(shè)塊309地限制基板S的移動，因此能夠可靠地防止基板S在叉101上發(fā) 生位置偏移，并且能夠?qū)⒒錝的位置偏移量控制成微小的量。另外，通過沿支承抓取構(gòu)件 119的長度方向依次錯開一點(diǎn)距離地配置可動銷305，能夠?qū)⒒錝的位置偏移量控制成極 小的量。本實(shí)施方式的其他結(jié)構(gòu)以及效果與第1實(shí)施方式相同。另外，防位置偏移裝置301 并不限定于設(shè)在支承抓取構(gòu)件119的前端，也可以安裝在支承抓取構(gòu)件119的側(cè)部(例如支承抓取構(gòu)件119的前端側(cè)的側(cè)部或基部側(cè)的側(cè)部)。以上說明了本發(fā)明的實(shí)施方式，但本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，可以進(jìn)行各 種變形。例如，在上述實(shí)施方式中，說明了在真空狀態(tài)下輸送基板S的輸送裝置23的例子， 但防位置偏移裝置201、301也可以應(yīng)用于在大氣狀態(tài)下輸送基板的輸送裝置15中。在應(yīng) 用于像輸送裝置15那樣的在大氣狀態(tài)下輸送基板的構(gòu)件中的情況下，作為用于對防位置 偏移裝置201、301的可動銷205、305施力的施力部件，例如也可以使用借助被調(diào)整了壓力 的空氣、高粘性的油等流體進(jìn)行施力的機(jī)構(gòu)。另外，能夠使用本發(fā)明的基板保持器的基板輸送裝置的結(jié)構(gòu)并不限定于上下配置 2層的滑動臂式結(jié)構(gòu)，也可以采用1層結(jié)構(gòu)或3層結(jié)構(gòu)，并且不限定于是滑動式結(jié)構(gòu)，例如也 可以使用關(guān)節(jié)臂式的基板輸送裝置。另外，防位置偏移裝置201、301并不限定于設(shè)在以FPD制造用的基板為輸送對象 的基板保持器上，例如也可以應(yīng)用在以太陽能電池用的基板等各種用途的基板為輸送對象 的基板保持器上。
權(quán)利要求
一種防位置偏移裝置，其包括主體，其固定在用于保持基板的基板保持器上；可動構(gòu)件，其為多個且彼此獨(dú)立地設(shè)置，該可動構(gòu)件具有以第1高度自上述主體的上表面突出的部分，在基板的載重施加在該突出的部分上的狀態(tài)下，該突出的部分的高度低于上述第1高度；施力構(gòu)件，其對上述多個可動構(gòu)件分別沿上述突出的部分的突出方向施力；其中，通過使以上述第1高度突出的1個以上的可動構(gòu)件的側(cè)部與被保持在上述基板保持器上的基板的端部抵接，從而限制基板的移動，防止基板發(fā)生位置偏移。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防位置偏移裝置，其中，上述可動構(gòu)件沿與上述基板的表面正交的方向突出或退避。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的防位置偏移裝置，其中，上述可動構(gòu)件的至少與上述基板接觸的部分由合成樹脂或橡膠形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的防位置偏移裝置，其中，在基板的載重施加到上述突出的部分上的狀態(tài)下，上述可動構(gòu)件以上述主體的上表面 為基準(zhǔn)位移到低于上述第1高度的第2高度上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的防位置偏移裝置，其中，上述多個可動構(gòu)件彼此相接近地設(shè)置，該多個可動構(gòu)件相互協(xié)作來限制基板的移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的防位置偏移裝置，其中，該防位置偏移裝置還包括與上述可動構(gòu)件一起間接地限制基板的移動的輔助支承部。
7.一種基板保持器，其中， 該基板保持器包括基板支承構(gòu)件，其用于支承基板；防位置偏移裝置，其為權(quán)利要求1或2所述的防位置偏移裝置，其固定在上述基板支承 構(gòu)件上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板保持器，其中，以如下方式配置上述防位置偏移裝置，即，使在施加有上述基板的載重的狀態(tài)下突出 的部分的高度變得低于上述第1高度的可動構(gòu)件與比在上述基板上形成電子零件的器件 形成區(qū)域靠外側(cè)的區(qū)域的背面抵接。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板保持器，其中，配置2個以上的上述防位置偏移裝置，使得以上述第1高度突出的可動構(gòu)件與被保持 在上述基板保持器上的基板的至少相對的兩個邊抵接。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板保持器，其中，在上述基板支承構(gòu)件的基部側(cè)和前端側(cè)上分別配置有上述防位置偏移裝置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板保持器，其中，配置在上述前端側(cè)的防位置偏移裝置的可動構(gòu)件的自上述主體的上表面突出的突出 量大于配置在上述基部側(cè)的防位置偏移裝置的可動構(gòu)件的自上述主體的上表面突出的突出量。
12.—種基板輸送裝置，其中，該基板輸送裝置具有權(quán)利要求7所述的基板保持器。
13. —種基板輸送方法，其中，該方法使用權(quán)利要求12所述的基板輸送裝置將基板保持在上述基板保持器上而進(jìn)行 輸送。
全文摘要
本發(fā)明提供一種防位置偏移裝置、具有它的基板保持器、基板輸送裝置及基板輸送方法，該防位置偏移裝置即使在真空狀態(tài)下也能抑制被保持在基板保持器上的基板發(fā)生位置偏移。能裝卸自如地安裝在叉(101)上的防位置偏移裝置(201)包括主體(203)、突出地設(shè)在該主體(203)的上表面(203a)上的多個可動銷(205)、和分別單獨(dú)對上述可動銷(205)施加向上(突出的方向)的力的螺旋彈簧(207)。
文檔編號H01L21/68GK101944497SQ201010222939
公開日2011年1月12日 申請日期2010年7月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月3日
發(fā)明者駒田秀樹 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社