国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>

      一種吸片臺裝置的制作方法

      文檔序號:6951702閱讀:184來源:國知局
      專利名稱:一種吸片臺裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及晶圓清洗技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種吸片臺裝置。
      背景技術(shù)
      晶圓在被砂輪劃切后,在晶圓的表面和溝槽中不可避免會殘留一些切削微粒。這些殘留的微粒將使制造出來的器件性能低劣,穩(wěn)定性和可靠性很差,因此必須對劃切完的晶圓進行清洗。劃切完的晶圓的清洗方式一般采用將劃切完的晶圓放置在吸片臺上,晶圓隨著吸片臺同步高速旋轉(zhuǎn),在晶圓上方噴液體(高純?nèi)ルx子水或其它清洗液)而達到清除殘留的微粒的目的。在此過程中,晶圓連同粘接晶圓的藍膜和繃架一起被固定在吸片臺上。為了可靠的固定晶圓,吸片臺的固定晶圓方式顯得尤為重要。而現(xiàn)有技術(shù)中卻缺少結(jié)構(gòu)簡單的、能可靠固定要清洗的晶圓的吸片臺裝置。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明實施例提供了一種吸片臺裝置,用以提供一種結(jié)構(gòu)簡單的、能可靠固定要清洗的晶圓的吸片臺裝置。本發(fā)明實施例提供一種吸片臺裝置,用于清洗晶圓,包括真空吸盤,盤身內(nèi)部設(shè)置有第一真空倉,上表面設(shè)置有多個與所述第一真空倉連通的第一通孔;旋轉(zhuǎn)主軸,用于驅(qū)動所述真空吸盤作水平旋轉(zhuǎn),軸內(nèi)開有軸向孔和徑向孔,所述軸向孔的長度小于所述旋轉(zhuǎn)主軸的長度,且分別與所述第一真空倉和所述徑向孔連通。所述的吸片臺裝置,還包括角接觸球軸承,套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上,用于支撐所述真空吸盤旋轉(zhuǎn);和/或深溝球軸承,套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上,用于支撐所述真空吸盤旋轉(zhuǎn)。所述的吸片臺裝置,還包括支撐座,設(shè)置于所述真空吸盤下方,套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上,用于穩(wěn)固所述真空吸盤和旋轉(zhuǎn)主軸。所述的吸片臺裝置,還包括電機,通過聯(lián)軸器與所述旋轉(zhuǎn)主軸連接,用于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)主軸轉(zhuǎn)動;其中,所述電機的法蘭通過安裝板和支柱與所述支撐座固定連接。所述支撐座內(nèi)設(shè)置有第二真空倉,與所述徑向孔連通;所述支撐座側(cè)面設(shè)置有第二通孔,與所述第二真空倉連通。所述第二真空倉的上表面和下表面分別固定設(shè)置有油封。所述的吸片臺裝置,還包括繃架,設(shè)置于所述真空吸盤的上表面,用于固定放置于所述真空吸盤上表面上的晶圓。所述的吸片臺裝置,還包括離心夾,設(shè)置于所述真空吸盤的邊緣,用于在所述真空吸盤處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)時,固定所述繃架。所述離心夾的數(shù)目至少為4個。本發(fā)明實施例提供了一種吸片機裝置,僅通過在真空吸盤設(shè)置真空倉和連通該真空倉的通孔、在旋轉(zhuǎn)主軸內(nèi)設(shè)置連通該真空倉的通孔,就能夠利用真空吸力將要清洗的晶圓非??煽康毓潭ㄔ谡婵瘴P上,可見,該吸片機裝置不僅能可靠固定要清洗的晶圓,而且還具有結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。


      圖IA為本發(fā)明實施例吸片臺裝置的豎直剖面圖;圖IB為本發(fā)明實施例吸片臺裝置的俯視圖;圖2為本發(fā)明實施例另一種吸片臺裝置的豎直剖面圖;圖3A為本發(fā)明實施例其它種吸片臺裝置的立體示意圖;圖;3B為本發(fā)明實施例其它種吸片臺裝置的豎直剖面圖;圖4A為本發(fā)明實施例離心夾在靜止?fàn)顟B(tài)時的示意圖;圖4B為本發(fā)明實施例離心夾在工作狀態(tài)時的示意圖。
      具體實施例方式為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,本發(fā)明實施例提供了一種吸片臺裝置。如圖1A-1B所示,本發(fā)明實施例提供了一種吸片臺裝置,用于清洗晶圓,該吸片臺裝置包括真空吸盤11,盤身內(nèi)部設(shè)置有第一真空倉111,上表面設(shè)置有多個與第一真空倉 111連通的第一通孔112 ;旋轉(zhuǎn)主軸12,用于驅(qū)動真空吸盤11作水平旋轉(zhuǎn),軸內(nèi)開有軸向孔121和徑向孔 122,其中,軸向孔121分別與第一真空倉111和徑向孔122連通,且長度小于旋轉(zhuǎn)主軸12 的長度。下面說明圖1A-1B所示吸片機裝置的工作原理真空通過旋轉(zhuǎn)主軸12上的徑向孔122進入旋轉(zhuǎn)主軸12,與徑向孔122相交的旋轉(zhuǎn)主軸12的軸向孔121將真空導(dǎo)入真空吸盤11下部的第一真空倉111,真空吸盤11上的多孔部分將第一真空倉111內(nèi)的真空均勻分布在真空吸盤11的上表面,吸附要清洗的晶圓, 在真空吸力作用下,要清洗的晶圓能夠被非??煽康毓潭ㄔ谡婵瘴P上??梢?,圖1A-1B所示吸片機裝置,僅通過在真空吸盤11盤身內(nèi)設(shè)置真空倉和在上表面設(shè)置連通該真空倉的通孔、在旋轉(zhuǎn)主軸12內(nèi)設(shè)置連通該真空倉的通孔,就能夠利用真空吸力將要清洗的晶圓非??煽康毓潭ㄔ谡婵瘴P上,可見,該吸片機裝置不僅能可靠固定要清洗的晶圓,而且還具有結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。如圖2所示,為了使真空吸盤11能在水平面內(nèi)平穩(wěn)地旋轉(zhuǎn),避免真空吸盤11擺動,上述吸片臺裝置還可以包括
      角接觸球軸承13 (可設(shè)置一對或多對,圖2中為一對),套于旋轉(zhuǎn)主軸12上,用于支撐真空吸盤11旋轉(zhuǎn);和/或深溝球軸承14 (可設(shè)置一個或多個,圖2中為一個),套于旋轉(zhuǎn)主軸12上,用于支撐真空吸盤11旋轉(zhuǎn)。如圖3A-;3B所示,為了使真空吸盤11和旋轉(zhuǎn)主軸12結(jié)構(gòu)穩(wěn)固,避免兩者在工作狀態(tài)時出現(xiàn)分離,圖1A-1B(或圖2)所示的吸片臺裝置還可以包括支撐座15,設(shè)置于真空吸盤11下方,套于旋轉(zhuǎn)主軸12上,用于穩(wěn)固真空吸盤11和旋轉(zhuǎn)主軸12。上述吸片臺裝置還可以包括電機16,通過聯(lián)軸器17與旋轉(zhuǎn)主軸12連接,用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)主軸12轉(zhuǎn)動;其中,電機16的法蘭通過安裝板18和支柱19與支撐座15固定連接。另外,支撐座15內(nèi)還可以設(shè)置有第二真空倉151,與徑向孔122連通;支撐座15側(cè)面還可以設(shè)置有第二通孔152,與第二真空倉151連通。其中,第二真空倉151上表面和下表面還分別固定設(shè)置有油封1512、1511。第二真空倉151設(shè)置于旋轉(zhuǎn)主軸12與支撐座15的接合處,此時,分別在第二真空倉151的下表面安裝油封1511、上表面安裝油封1512對其進行密封,兩油封1511、1512被固定于支撐座15 上。為了避免晶圓在真空吸盤11高速旋轉(zhuǎn)時在離心力的作用下脫離真空吸盤11,上述吸片臺裝置還包括繃架20,設(shè)置于真空吸盤11的上表面,用于固定放置于真空吸盤11上表面上的晶圓。為了避免繃架20在真空吸盤11高速旋轉(zhuǎn)時在離心力的作用下脫離真空吸盤11, 上述吸片臺裝置還可以包括離心夾21,設(shè)置于真空吸盤11的邊緣,用于在真空吸盤11處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)時,固定繃架20。其中,離心夾21的數(shù)目至少為4個,這樣可以更穩(wěn)固地固定繃架20。下面說明圖3所示吸片機裝置的工作原理真空從支撐座15的側(cè)面的第二通孔152進入第二真空倉151,第二真空倉151內(nèi)的真空通過旋轉(zhuǎn)主軸12上的徑向孔122進入旋轉(zhuǎn)主軸12,與徑向孔122相交的旋轉(zhuǎn)主軸 12的軸向孔121將真空導(dǎo)入真空吸盤11下部的第一真空倉111,最后真空吸盤11上的多孔部分將第一真空倉111內(nèi)的真空均勻分布在真空吸盤11的上表面,吸附要清洗的晶圓。如圖4A示出離心夾21處于靜止?fàn)顟B(tài)時,離心夾21向外張開,使離心夾21所包圍的真空吸盤11區(qū)域足夠大,使繃架20能夠可靠的被放置在真空吸盤11的上方。如圖4B示出離心夾21處于工作時狀態(tài),由于離心力的作用,離心夾21繞軸211 旋轉(zhuǎn),離心夾21對繃架20的四周施加壓力,防止繃架20在高速旋轉(zhuǎn)時脫離。需要說明的是,本發(fā)明實施例中的真空吸盤11可以由陶瓷材料制成,也可以由其它適合在清洗晶圓時使用的材料制成。以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下,還可以作出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。
      權(quán)利要求
      1.一種吸片臺裝置,用于清洗晶圓,其特征在于,包括真空吸盤,盤身內(nèi)部設(shè)置有第一真空倉,上表面設(shè)置有多個與所述第一真空倉連通的第一通孔;旋轉(zhuǎn)主軸,用于驅(qū)動所述真空吸盤作水平旋轉(zhuǎn),軸內(nèi)開有軸向孔和徑向孔,所述軸向孔的長度小于所述旋轉(zhuǎn)主軸的長度,且分別與所述第一真空倉和所述徑向孔連通。
      2.如權(quán)利要求1所述的吸片臺裝置,其特征在于,還包括 角接觸球軸承,套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上,用于支撐所述真空吸盤旋轉(zhuǎn); 和/或深溝球軸承,套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上,用于支撐所述真空吸盤旋轉(zhuǎn)。
      3.如權(quán)利要求1或2所述的吸片臺裝置,其特征在于,還包括支撐座,設(shè)置于所述真空吸盤下方,套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上,用于穩(wěn)固所述真空吸盤和旋轉(zhuǎn)主軸。
      4.如權(quán)利要求3所述的吸片臺裝置,其特征在于,還包括電機,通過聯(lián)軸器與所述旋轉(zhuǎn)主軸連接,用于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)主軸轉(zhuǎn)動; 其中,所述電機的法蘭通過安裝板和支柱與所述支撐座固定連接。
      5.如權(quán)利要求3所述的吸片臺裝置,其特征在于, 所述支撐座內(nèi)設(shè)置有第二真空倉,與所述徑向孔連通; 所述支撐座側(cè)面設(shè)置有第二通孔,與所述第二真空倉連通。
      6.如權(quán)利要求5所述的吸片臺裝置,其特征在于,所述第二真空倉的上表面和下表面分別固定設(shè)置有油封。
      7.如權(quán)利要求1所述的吸片臺裝置,其特征在于,還包括繃架,設(shè)置于所述真空吸盤的上表面,用于固定放置于所述真空吸盤上表面上的晶圓。
      8.如權(quán)利要求7所述的吸片臺裝置,其特征在于,還包括離心夾,設(shè)置于所述真空吸盤的邊緣,用于在所述真空吸盤處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)時,固定所述繃架。
      9.如權(quán)利要求8所述的吸片臺裝置,其特征在于, 所述離心夾的數(shù)目至少為4個。
      全文摘要
      本發(fā)明提供一種吸片臺裝置,用以提供一種結(jié)構(gòu)簡單的、能可靠固定要清洗的晶圓的吸片臺裝置。該吸片臺裝置,用于清洗晶圓,包括真空吸盤,盤身內(nèi)部設(shè)置有第一真空倉,上表面設(shè)置有多個與所述第一真空倉連通的第一通孔;旋轉(zhuǎn)主軸,用于驅(qū)動所述真空吸盤作水平旋轉(zhuǎn),軸內(nèi)開有軸向孔和徑向孔,所述軸向孔的長度小于所述旋轉(zhuǎn)主軸的長度,且分別與所述第一真空倉和所述徑向孔連通。該吸片機裝置不僅能可靠固定要清洗的晶圓,而且還具有結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
      文檔編號H01L21/00GK102386051SQ20101027184
      公開日2012年3月21日 申請日期2010年9月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月2日
      發(fā)明者劉洋, 張偉, 郎小虎, 閆啟亮 申請人:北京中電科電子裝備有限公司
      網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
      • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
      1