專利名稱：光學檢測裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及機械技術領域，尤其涉及一種用于半導體芯片制造業(yè)的光學檢測裝置。
背景技術：
隨著半導體芯片技術的高速發(fā)展以及市場競爭的逐漸加劇，芯片產品的質量穩(wěn)定 性及生產效率對制造商來說顯得尤為重要。以往，對芯片產品的質量檢測主要采用人工方式。人工檢測的缺點很明顯檢測效 率低，檢測結果的準確性差，人員的成本高以及長時間的檢測對員工的視力還有一定傷害。后期，也有一些半自動化的檢測設備，但檢測項目少，檢測手段單一，檢測效率低； 并且為未設置故障報警環(huán)節(jié)，在實際使用中，遇到彈夾變形、產品變形等特殊情況會對產品 構成破壞。因此，本領域的技術人員一直致力于開發(fā)一種自動化程度高、檢測手段多的芯片 類產品的檢測裝置。
發(fā)明內容
有鑒于現(xiàn)有技術的上述缺陷，本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種自動化程度 高、檢測手段多的光學檢測裝置。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種光學檢測裝置，設置在床體上一軌道的一端， 與設置在所述軌道另一端的容置待檢產品的彈夾相對設置；所述檢測裝置至少包括一與 所述軌道相向設置的視覺機構；一用于抓夾所述待檢產品的產品夾持機構，可移動地設置 在所述軌道上；一第一傳感器，設置在所述彈夾末端相對位置；一第二傳感器，設置在所述 軌道的相對位置；還包括一控制機構。較佳地，所述產品夾持機構包括可開合的夾爪結構及與所述軌道滑移配合的夾持 支架。較佳地，還包括一驅動機構，與所述產品夾持機構連接。以驅使所述產品夾持機構 位移。所述驅動機構為絲杠螺母機構。所述絲杠螺母機構的絲杠與電機動力連接，所述絲 杠螺母機構的螺母與所述產品夾持機構可拆卸固定連接。較佳地，所述控制機構具有輸入工作模式的控制面板。較佳地，所述控制機構還包括報警裝置。所述控制機構接受到所述第一傳感器和 /或所述第二傳感器的報警信號后觸發(fā)所述報警裝置工作。較佳地，所述控制機構還包括一搖柄控制按鈕機構。較佳地，所述視覺機構為顯微鏡機構。本發(fā)明主要應用于半導體的芯片制造行業(yè)，用于完成半導體封裝生產中的一道工 序——第三光學檢測(3rd Optical Inspection)工序，該道工序是在焊線后(Wire Bond) 進行。在半導體行業(yè)的芯片產品的檢測過程中，產品會不時發(fā)生脫軌而損壞，也隨之報廢的情況。本發(fā)明通過對在軌卡料狀況的檢測可以有效防止檢測產品在檢測過程中被毀壞，進 而提高了設備在運行過程中的穩(wěn)定性。本發(fā)明是一款自動化程度高、檢測手段多的芯片類產品的檢測裝置。該檢測裝置 針對體積小、功能多的高集成度芯片，在極大規(guī)模集成電路生產中對提高生產效率和產品 良品率作用突出。本發(fā)明由于采用上述結構設計，可以設置多種檢測手段，改善了檢測裝置的自動 化程度，提高了檢測精度；還設置了報警機構，有效防止了檢測操作對產品的破壞；還具有 裝置尺寸小巧，結構緊湊，大大縮小了設備的占地空間。以下將結合附圖對本發(fā)明的構思、具體結構及產生的技術效果作進一步說明，以 充分地了解本發(fā)明的目的、特征和效果。
圖1是本發(fā)明一具體實施例的立體結構示意圖；圖2是圖1所示實施例的主視結構示意圖；圖3是圖1中A部局部放大圖；圖4是圖1所示實施例的俯視結構示意圖。附圖標號產品B，床體1，軌道2，彈夾3，顯微鏡機構4，顯微鏡安裝支架41，產品夾持機構5， 第一傳感器6，第二傳感器7，控制機構8，控制面板81，報警裝置82，搖柄控制按鈕機構83， 一驅動機構9。
具體實施例方式如圖1至圖4所示為本發(fā)明一具體實施例，該光學檢測裝置設置在床體1上一軌 道2的一端，與設置在軌道2另一端的、用于容置產品B的彈夾3相對設置。彈夾3放置在 Z向舉升機構31的平臺上。該檢測裝置包括一用作視覺機構的顯微鏡機構4通過顯微鏡安裝支架41固定在床體1上，其視線 落在軌道2上可覆蓋產品B。一用于抓夾產品B的產品夾持機構5，可移動地設置在軌道2上。產品夾持機構5 包括可開合的夾爪結構及與軌道2滑移配合的夾持支架(未做圖示)?？砷_合的夾爪結構 實現(xiàn)對產品B的抓夾作業(yè)。一驅動機構9，與產品夾持機構5連接，以驅使產品夾持機構5位移。本實施例中， 驅動機構9為一 XY向移動平臺，具體為絲杠螺母機構，絲杠螺母機構的絲杠與設置在床體 1內的電機動力連接，絲杠螺母機構的螺母與產品夾持機構5的夾持支架可拆卸固定連接。一第一傳感器6，設置在彈夾3末端相對位置。該“相對位置”的含義是，本領域普 通技術人員可以采用現(xiàn)有的技術手段，通過位置調整使第一傳感器6可以檢測到在彈夾3 的出口處被卡住的產品B。一第二傳感器7，設置在軌道2的相對位置。該“相對位置”的含義是，本領域普通 技術人員可以采用現(xiàn)有的技術手段，通過位置調整使第二傳感器7可檢測到因各種意外原 因滯留在軌道2上的產品B。
該檢測裝置還包括一控制機構8?？刂茩C構8具有輸入多種工作模式的控制面板 81，通過機臺上的控制面板81，點選檢測裝置的檢查模式?？刂茩C構8還包括報警裝置82，控制機構8接受到第一傳感6器和/或第二傳感 器7的報警信號后觸發(fā)報警裝置82工作?？刂茩C構8還包括一搖柄控制按鈕機構83。以下說明本發(fā)明的檢測模式，本發(fā)明的檢測裝置具有三種檢測模式1、手動抽檢模式操作人員通過控制面板82輸入所想檢測的科目，直接按動搖柄控制按鈕機構83， 發(fā)出信號給電機，控制驅動機構9中的X向電機91開始動作，通過絲杠帶動夾持支架沿X 向移動。夾持機構5運行至夾持產品B的位置前，夾爪處于開合狀態(tài)。當抵達產品夾持位 置后，夾持機構5的汽缸開始工作，夾爪在汽缸的作用下閉合，將產品B夾住后，通過程序控 制，給X向電機91 一個信號，帶動絲杠反向旋轉，就可以將產品B從彈夾3中拉至顯微鏡機 構4下進行檢測。2、自動抽檢模式操作人員只要直接按動搖柄控制按鈕機構83，就可將放在Z向舉升平臺31上的彈 夾3中的待檢產品B，逐條按照從下至上的順序拉至顯微鏡機構4下進行檢測。3、隨即抽檢模式此模式下，檢測的產品B隨機地從彈夾3中被拉至顯微鏡機構4下進行檢測。以下結合本發(fā)明的檢測裝置的工作原理說明本發(fā)明的檢測裝置的操作方法
本發(fā)明的檢測裝置對產品在軌卡料檢測的原理是通過兩傳感器檢測橫向與縱向 兩方向卡料，產品在軌橫向輸送產品時，當產品、彈夾變形等原因造成卡料現(xiàn)象，系統(tǒng)能通 過傳感器即時偵測到卡料信號，并停機報警處理，待操作人員清理完料后即可恢復正常工 作。當氣夾將產品送入彈夾后退時，產品變形造成將產品帶出彈夾，當升降機往下運行時會 將產品折壞，這時可通過另一傳感器檢測軌道中是否有產品后再方可進行升降動作，當有 產品在軌時系統(tǒng)報警并停機處理。具體地，正常作業(yè)時，操作人員按動搖柄控制按鈕機構83上的開關按鈕，產品B的 夾持機構5將把產品B從彈夾3中拉出，沿著軌道2至顯微鏡機構4下做檢測。當產品B被檢測完畢后，被送回彈夾3的過程中，產品B沒有被完全推出軌道2時， 判斷軌道2中有無產品B的第二傳感器7開始工作，提醒操作人員產品B未完全脫離軌道 2，需手動將產品B移出軌道2。此狀態(tài)時，Z向舉升機構31將停止上下運動。只有將產品 B完全清除出軌道2后，Z向舉升機構31才開始再次正常運行，避免了毀壞產品B的現(xiàn)象發(fā) 生。當產品B被檢測完畢后，順利通過軌道2被送回彈夾3的過程中，因彈夾3變形等 原因造成產品B沒有被送進彈夾3時，用作卡料報警的第一傳感器6開始工作，產品夾持機 構5停止運行，機臺上的報警裝置82提示操作人員出錯，避免毀壞檢測的產品B。綜上所述，本說明書中所述的只是本發(fā)明的幾種較佳具體實施例，以上實施例僅 用以說明本發(fā)明的技術方案而非限制。凡本技術領域中技術人員依本發(fā)明的構思在現(xiàn)有技 術的基礎上通過邏輯分析、推理或者有限的實驗可以得到的技術方案，皆應在本發(fā)明的權 利要求保護范圍之內。
權利要求
1.一種光學檢測裝置，設置在床體上一軌道的一端，與設置在所述軌道另一端的容置 待檢產品的彈夾相對設置；其特征在于所述檢測裝置至少包括一與所述軌道相向設置 的視覺機構；一用于抓夾所述待檢產品的產品夾持機構，可移動地設置在所述軌道上；一 第一傳感器，設置在所述彈夾末端相對位置；一第二傳感器，設置在所述軌道的相對位置； 還包括一控制機構。
2.如權利要求1所述的光學檢測裝置，其特征在于所述產品夾持機構包括可開合的 夾爪結構及與所述軌道滑移配合的夾持支架。
3.如權利要求1所述的光學檢測裝置，其特征在于還包括一驅動機構，與所述產品夾 持機構連接。
4.如權利要求3所述的光學檢測裝置，其特征在于所述驅動機構為絲杠螺母機構。
5.如權利要求4所述的光學檢測裝置，其特征在于所述絲杠螺母機構的絲杠與電機 動力連接，所述絲杠螺母機構的螺母與所述產品夾持機構可拆卸固定連接。
6.如權利要求1所述的光學檢測裝置，其特征在于所述控制機構具有輸入工作模式 的控制面板。
7.如權利要求1所述的光學檢測裝置，其特征在于所述控制機構還包括報警裝置。
8.如權利要求1所述的光學檢測裝置，其特征在于所述控制機構還包括一搖柄控制 按鈕機構。
9.如權利要求1所述的光學檢測裝置，其特征在于所述視覺機構為顯微鏡機構。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光學檢測裝置，該檢測裝置設置在床體上一軌道的一端，與設置在軌道另一端的容置待檢產品的彈夾相對設置；檢測裝置至少包括一與軌道相向設置的視覺機構；一用于抓夾待檢產品的產品夾持機構，可移動地設置在軌道上；一第一傳感器，設置在彈夾末端相對位置；一第二傳感器，設置在軌道的相對位置；還包括一控制機構。本發(fā)明由于通過對在軌卡料狀況的檢測，可以有效防止檢測產品在檢測過程中被毀壞，進而提高設備在運行過程中的穩(wěn)定性；可以設置多種檢測的手段，改善檢測裝置的自動化程度，提高檢測的精度；同時裝置尺寸小巧，結構緊湊的特點，大大縮小了設備的占地空間。
文檔編號H01L21/66GK102148132SQ201010550699
公開日2011年8月10日 申請日期2010年11月19日 優(yōu)先權日2010年11月19日
發(fā)明者呂克振, 崔學峰 申請人:上海微曦自動控制技術有限公司