專(zhuān)利名稱(chēng)：一種擴(kuò)散片pn面判定儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種擴(kuò)散片，特別涉及一種擴(kuò)散片PN面判定儀。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散片是半導(dǎo)體元器件制造過(guò)程中產(chǎn)生的半成品。其在生產(chǎn)過(guò)程中需要進(jìn)行PN 面的判定，傳統(tǒng)的檢測(cè)方法是將擴(kuò)散片取出部分，置于混合酸測(cè)試溶液中，根據(jù)擴(kuò)散面PN 面的不同腐蝕速率來(lái)判斷PN面，測(cè)試具有破壞性。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單測(cè)試方便的擴(kuò)散片PN面判定 儀。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為一種擴(kuò)散片PN面判定儀，包括 放大器，該放大器具有兩個(gè)輸入端和一個(gè)輸出端，其創(chuàng)新點(diǎn)在于所述放大器的兩輸入端分 別連接有兩根鋼針，輸出端連接有電流表，在其中一根鋼針的中部綁有電烙鐵。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于使用時(shí)，電烙鐵對(duì)于其接觸的鋼針加熱，將一冷鋼針和加 熱的熱鋼針同時(shí)抵住擴(kuò)散片的同一面，利用同一面的鋼針溫差激發(fā)電子流，該電子流經(jīng)放 大器放大后，由電流表讀出，根據(jù)擴(kuò)散片PN面電子流不同的流向和電流表指針的方向來(lái)判 定PN面。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，判斷快速方便，不具有破壞性。

附圖為本實(shí)用新型擴(kuò)散片PN面判定儀結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如附圖所示，本實(shí)用新型包括放大器1、第一鋼針2、第二鋼針3、電烙鐵4、電流表 5。上述放大器1具有兩個(gè)輸入端和一個(gè)輸出端，兩根輸入端上分別連接有第一鋼針 2和第二鋼針3，輸出端連接有電流表5。在第一鋼針2的中部綁有電烙鐵4。使用時(shí)，將電烙鐵4通電，對(duì)第一鋼針2進(jìn)行加熱，將冷的第二鋼針3和熱的第一 鋼針2同時(shí)抵住擴(kuò)散片的同一面，利用同一面的鋼針溫差激發(fā)電子流，該電子流經(jīng)放大器1 放大后，由電流表5讀出，根據(jù)擴(kuò)散片PN面電子流不同的流向和電流表指針的方向來(lái)判定 PN面，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，判斷快速方便，不具有破壞性。
權(quán)利要求一種擴(kuò)散片PN面判定儀，包括放大器，該放大器具有兩個(gè)輸入端和一個(gè)輸出端，其特征在于所述放大器的兩輸入端分別連接有兩根鋼針，輸出端連接有電流表，在其中一根鋼針的中部綁有電烙鐵。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種擴(kuò)散片PN面判定儀，包括放大器，該放大器具有兩個(gè)輸入端和一個(gè)輸出端，其創(chuàng)新點(diǎn)在于所述放大器的兩輸入端分別連接有兩根鋼針，輸出端連接有電流表，在其中一根鋼針的中部綁有電烙鐵。使用本實(shí)用新型時(shí)，電烙鐵對(duì)于其接觸的鋼針加熱，將一冷鋼針和加熱的熱鋼針同時(shí)抵住擴(kuò)散片的同一面，利用同一面的鋼針溫差激發(fā)電子流，該電子流經(jīng)放大器放大后，由電流表讀出，根據(jù)擴(kuò)散片PN面電子流不同的流向和電流表指針的方向來(lái)判定PN面。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，判斷快速方便，不具有破壞性。
文檔編號(hào)H01L21/66GK201717247SQ20102017870
公開(kāi)日2011年1月19日 申請(qǐng)日期2010年5月5日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月5日
發(fā)明者張練佳, 梅余鋒, 賁海蛟, 陳建華, 黃建山 申請(qǐng)人:如皋市易達(dá)電子有限責(zé)任公司