專利名稱：石英玻璃管硅片托架部件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種無(wú)網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，尤其涉及無(wú)網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐中 硅片傳輸裝置。
技術(shù)背景目前，國(guó)內(nèi)外的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)制造廠家主要使用歐美企業(yè)所生產(chǎn)的燒結(jié)爐，這 類燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)都是網(wǎng)帶式隧道燒結(jié)爐，在燒結(jié)爐的縱向上依次設(shè)有預(yù)熱排膠區(qū)、升溫區(qū)、燒 結(jié)區(qū)和降溫區(qū)，在不同區(qū)域布置不同密度的加熱燈管，以此來(lái)控制各區(qū)域的溫度，印刷電極 的硅片通過(guò)網(wǎng)帶傳輸，依次經(jīng)過(guò)燒結(jié)爐的不同爐溫區(qū)，完成預(yù)熱排膠、升溫、燒結(jié)和降溫的 電極燒結(jié)過(guò)程，雖然這種網(wǎng)帶式隧道燒結(jié)技術(shù)比較成熟，但整個(gè)燒結(jié)爐的縱向占地面積大， 需要設(shè)計(jì)很長(zhǎng)的爐體才能保證硅片在隧道傳輸過(guò)程中的預(yù)熱排膠、升溫、燒結(jié)、降溫過(guò)程， 由于高溫?zé)Y(jié)區(qū)的工藝溫度需要在850-950°C之間，因此需要設(shè)計(jì)2-3米的隧道長(zhǎng)度才能 達(dá)到如此高的溫度，這使得網(wǎng)帶式燒結(jié)爐的體積龐大。若縮小則無(wú)法滿足燒結(jié)工藝要求。另 外，耐高溫網(wǎng)帶在運(yùn)轉(zhuǎn)的過(guò)程中，需要繞爐體內(nèi)外循環(huán)運(yùn)轉(zhuǎn)，網(wǎng)帶部分伴隨硅片接受升溫和 降溫的過(guò)程，因此，在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，網(wǎng)帶會(huì)從爐內(nèi)攜帶出大量的熱量，而這部分熱量將全部 作為損耗，不僅造成了大量能量的浪費(fèi)，而且也升高了工作環(huán)境溫度，為此，申請(qǐng)人研制了 一種無(wú)網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，它能很好地克服現(xiàn)有網(wǎng)帶式隧道燒結(jié)爐存在的不足，這種設(shè) 備占地面積小，熱效率高，耗電量少，節(jié)能效果顯著。所述無(wú)網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，包括進(jìn)料臺(tái)1、隧道式燒結(jié)箱2、出料臺(tái)3、硅片輸送 裝置4和爐體架5，如圖1所示，硅片輸送裝置4設(shè)置在進(jìn)料臺(tái)1和出料臺(tái)3之間，且位于隧 道式燒結(jié)箱2中，硅片輸送裝置4包括固定托架41和移動(dòng)托架42，固定托架41的兩端分 別固定在進(jìn)料臺(tái)1和出料臺(tái)3中的固定架上，移動(dòng)托架42的兩端分別固定在由復(fù)升降機(jī)構(gòu) 和往復(fù)平移機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)的滑動(dòng)板上，移動(dòng)托架42在往復(fù)升降機(jī)構(gòu)和往復(fù)平移機(jī)構(gòu)的雙重作 用下，使移動(dòng)托架42周期性地完成上升、前移、下降和后退動(dòng)作，從而將放置在固定托架41 上的硅片逐步向前搬移。在這種無(wú)網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐中，無(wú)論固定托架41還是移動(dòng)托架 42都必須能長(zhǎng)時(shí)間在850-950°C的高溫環(huán)境下穩(wěn)定不變形，采用什么樣的硅片托架部件是 無(wú)網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐的關(guān)鍵技術(shù)之一
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是為無(wú)網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐提供一種石英玻璃管硅片托架部 件。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是所述石英玻璃管硅片托架部件，其特征是包括石英玻璃管、金屬套、托腳和限位 螺釘，托腳固定在金屬套上，在金屬套上設(shè)有螺紋孔，金屬套通過(guò)限位螺釘?shù)乳g距地固定在 石英玻璃管上。進(jìn)一步，在石英玻璃管上沿軸向方向等距離地開有限位孔；在金屬套上還設(shè)有開□。進(jìn)一步，所述托腳由鋼絲制成，在鋼絲表面涂有陶瓷涂層。由于石英玻璃管具有強(qiáng)度高、耐高溫、膨脹系數(shù)低、耐熱震性、耐酸性、化學(xué)穩(wěn)定 性、電絕緣性能良好的優(yōu)點(diǎn)，它很適合作為硅片托架的杠桿，空心管結(jié)構(gòu)吸熱量少，托腳用 鋼絲制成，并在其外表面設(shè)有陶瓷涂層，這樣既滿足了托腳應(yīng)具備的強(qiáng)度、耐高溫、耐磨損 要求，又降低了硅片在燒結(jié)過(guò)程中由于硅片與金屬接觸而引起的金屬離子污染。在金屬套 上開設(shè)開口，便于金屬套在石英玻璃管的套裝；在金屬套上開設(shè)螺紋孔，在石英玻璃管上開 設(shè)定位孔，都是為了便于用限位螺釘將金屬套固定在石英玻璃管上。

圖1為無(wú)網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2、圖3為硅片輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2的俯視圖，圖2為圖3中的C-C剖視圖；圖4為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為托腳、金屬套的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1-進(jìn)料臺(tái)；2-隧道式燒結(jié)箱；3-出料臺(tái)；4-硅片輸送裝置；5-爐體架； 41-固定托架；42-移動(dòng)托架；411-石英玻璃管；412-金屬套；413-托腳；414-限位螺釘； 415-限位孔；416-螺紋孔；417-開口 ；418-陶瓷涂層。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合說(shuō)明書附圖說(shuō)明本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
所述石英玻璃管硅片托架部件，如圖2 圖5所示，它由石英玻璃管411、金屬套 412、托腳413和限位螺釘414組成，托腳413固定在金屬套412上，在金屬套412上設(shè)有螺 紋孔416和開口 417，兩者的中心線位于同一軸線上，在石英玻璃管411上沿軸向方向等距 離地開有限位孔415，金屬套412套裝在石英玻璃管411上，限位螺釘414旋入金屬套412 上的螺紋孔416中，并伸入石英玻璃管411上的限位孔415中，使金屬套412等間距地安裝 在石英玻璃管411上，所述托腳413由鋼絲制成，在鋼絲表面涂有陶瓷涂層418。
權(quán)利要求1.一種石英玻璃管硅片托架部件，其特征是包括石英玻璃管011)、金屬套012)、托 腳G13)和限位螺釘014)，托腳013)固定在金屬套012)上，在金屬套012)上設(shè)有螺 紋孔G16)，金屬套012)通過(guò)限位螺釘014)等間距地固定在石英玻璃管Gll)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述石英玻璃管硅片托架部件，其特征是在石英玻璃管Gll)上 沿軸向方向等距離地開有限位孔G15)；在金屬套G12)上還設(shè)有開口 017)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述石英玻璃管硅片托架部件，其特征是所述托腳G13)由鋼絲 制成，在鋼絲表面涂有陶瓷涂層G18)。
專利摘要本實(shí)用新型為無(wú)網(wǎng)帶硅片燒結(jié)爐提供一種石英玻璃管硅片托架部件，包括石英玻璃管、金屬套、托腳和限位螺釘，托腳固定在金屬套上，在金屬套上設(shè)有螺紋孔，金屬套通過(guò)限位螺釘?shù)乳g距地固定在石英玻璃管上，所述托腳由鋼絲制成，在鋼絲表面涂有陶瓷涂層。由于石英玻璃管具有強(qiáng)度高、耐高溫、膨脹系數(shù)低、耐熱震性、耐酸性、化學(xué)穩(wěn)定性、電絕緣性能良好、吸熱量少等優(yōu)點(diǎn)，很適合作為硅片托架，托腳用鋼絲制成，并在其外表面上設(shè)有陶瓷涂層，既滿足了托腳應(yīng)具備的強(qiáng)度、耐高溫、耐磨損要求，降低硅片在燒結(jié)過(guò)程中由于金屬接觸而引起的金屬離子污染。在金屬套上開設(shè)開口和螺紋孔，便于金屬套固定在石英玻璃管上。
文檔編號(hào)H01L31/18GK201858876SQ20102058156
公開日2011年6月8日 申請(qǐng)日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月29日
發(fā)明者劉志剛, 姚偉忠, 孫鐵囤, 潘盛, 荀建華, 陳瓊, 高玉山 申請(qǐng)人:常州億晶光電科技有限公司