專利名稱：具有導(dǎo)電減反射膜的太陽電池的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽電池，尤其涉及一種具有導(dǎo)電減反射膜的太陽電池。
背景技術(shù)：
太陽電池一般由上電極(包括主電極和柵電極)、減反射膜、光電轉(zhuǎn)換材料和背電 極組成，其中上電極起到收集電流的作用?，F(xiàn)有技術(shù)的一種太陽電池的上電極如圖1所示， 包括兩條主電極11和連接在兩條主電極11之間的柵電極12。這種由兩條主電極和連接在 兩條主電極11之間的柵電極構(gòu)成的上電極約占太陽電池表面面積的4%，對于聚光太陽電 池，甚至有10%以上的太陽光由于上電極的遮擋無法進(jìn)入太陽電池。為了提高太陽電池的 轉(zhuǎn)換效率，必須減少上電極面積，但是，更小的上電極面積會導(dǎo)致電流收集困難、串聯(lián)電阻 增加、太陽電池轉(zhuǎn)換效率降低。為了解決上述問題，出現(xiàn)了一種背接觸式硅太陽電池，將兩個電極都放在背面，能 使太陽電池的轉(zhuǎn)換效率顯著提高。但是這種背接觸式硅太陽電池工藝過程十分復(fù)雜，制造 成本高，而且，這種結(jié)構(gòu)難以在多結(jié)太陽電池中使用。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的，就是為了解決上述問題，提供一種具有導(dǎo)電減反射膜的太陽 電池。為了達(dá)到上述目的，本實用新型采用了以下技術(shù)方案一種具有導(dǎo)電減反射膜的 太陽電池，包括太陽電池本體，在太陽電池本體的上表面設(shè)有鈍化層，在太陽電池本體的下 表面設(shè)有背電極，在所述鈍化層的表面蒸鍍有一條主電極，在所述主電極周圍的所述鈍化 層表面蒸鍍有導(dǎo)電減反射膜，所述主電極的厚度大于導(dǎo)電減反射膜的厚度。所述導(dǎo)電減反射膜由底層TiA和表層SiA構(gòu)成。所述導(dǎo)電減反射膜由底層TiA和表層Al2O3構(gòu)成。所述的一條主電極位于鈍化層表面的中間。本實用新型中的導(dǎo)電減反射膜既可起到減反射膜的作用，又可以起到收集電流的 作用，由于只有一條主電極，沒有柵電極，大大減少了上電極的面積，提高了太陽電池的轉(zhuǎn) 換效率，而且制造過程簡單，制造成本低。本實用新型中的導(dǎo)電減反射膜可以用于硅太陽電池、砷化鎵太陽電池，以及聚光 太陽電池。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)太陽電池的上電極結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型具有導(dǎo)電減反射膜的太陽電池的結(jié)構(gòu)原理圖；圖3是本實用新型的上電極結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
參見圖2、圖3，本實用新型具有導(dǎo)電減反射膜的太陽電池，包括太陽電池本體21， 在太陽電池本體21的上表面設(shè)有鈍化層22，在太陽電池本體21的下表面設(shè)有背電極23， 在鈍化層22的表面蒸鍍有一條主電極M，在主電極M周圍的鈍化層表面蒸鍍有導(dǎo)電減反 射膜25，主電極M的厚度大于導(dǎo)電減反射膜25的厚度。本實用新型中的導(dǎo)電減反射膜25可以由底層TW2和表層SW2構(gòu)成，也可以由底 層TiA和表層Ai2O3構(gòu)成。本實用新型中的一條主電極M位于鈍化層22表面的中間。本實用新型中的導(dǎo)電減反射膜的制作方法是，采用真空鍍膜機蒸鍍二氧化鈦和二 氧化硅。(1)在相應(yīng)的坩堝內(nèi)分別裝滿二氧化鈦和二氧化硅，然后關(guān)上真空室門和放氣閥； (2)開始抽低真空，再抽高真空；(3)選擇盛二氧化鈦的坩堝，依次打開掃描、槍燈絲、高壓 和束流，調(diào)節(jié)電子束流，同時調(diào)整光斑位置，使坩堝內(nèi)的二氧化鈦充分熔融；(4)然后調(diào)整 光斑位置使光斑落在坩堝中心，調(diào)節(jié)電子束流使二氧化鈦穩(wěn)定地蒸發(fā)，打開充氧閥，然后打 開擋板進(jìn)行蒸發(fā)二氧化鈦；(5) 二氧化鈦蒸發(fā)完畢后繼續(xù)充氧:3min IOmin ； (6)選擇盛二 氧化硅的坩堝，打開擋板進(jìn)行蒸發(fā)；(7) 二氧化硅蒸發(fā)完畢后繼續(xù)充氧:3min IOmin ； (8) 然后關(guān)閉充氧閥，開放氣閥對真空室充氣，打開真空室門，取出太陽電池。采用真空鍍膜機蒸鍍二氧化鈦和三氧化二鋁的過程與上述相同。這種結(jié)構(gòu)的太陽電池將減反射膜作為電流收集層使用，簡化了制造過程，而且這 種方法蒸鍍的減反射膜導(dǎo)電性能優(yōu)良，不僅能夠獲得質(zhì)量較好的減反射膜，還能夠代替太 陽電池上表面的柵電極起到收集電流的作用，克服了電池上表面柵電極對入射光的遮擋。 這種導(dǎo)電的太陽電池減反射膜，可以用于硅太陽電池、砷化鎵太陽電池，以及聚光太陽電池 等，可以大大提高太陽電池的轉(zhuǎn)換效率。
權(quán)利要求1.一種具有導(dǎo)電減反射膜的太陽電池，包括太陽電池本體，在太陽電池本體的上表面 設(shè)有鈍化層，在太陽電池本體的下表面設(shè)有背電極，其特征在于在所述鈍化層的表面蒸鍍 有一條主電極，在所述主電極周圍的所述鈍化層表面蒸鍍有導(dǎo)電減反射膜，所述主電極的 厚度大于導(dǎo)電減反射膜的厚度。
2.如權(quán)利要求1所述的具有導(dǎo)電減反射膜的太陽電池，其特征在于所述導(dǎo)電減反射 膜由底層TiA和表層SiA構(gòu)成。
3.如權(quán)利要求1所述的具有導(dǎo)電減反射膜的太陽電池，其特征在于所述導(dǎo)電減反射 膜由底層TiA和表層Al2O3構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求1所述的具有導(dǎo)電減反射膜的太陽電池，其特征在于所述的一條主電 極位于鈍化層表面的中間。
專利摘要本實用新型提供了一種具有導(dǎo)電減反射膜的太陽電池，它包括太陽電池本體，在太陽電池本體的上表面設(shè)有鈍化層，在太陽電池本體的下表面設(shè)有背電極，在鈍化層的表面蒸鍍有一條主電極，在主電極周圍的鈍化層表面蒸鍍有導(dǎo)電減反射膜，主電極的厚度大于導(dǎo)電減反射膜的厚度。本實用新型中的導(dǎo)電減反射膜既可起到減反射膜的作用，又可以起到收集電流的作用，由于只有一條主電極，沒有柵電極，大大減少了上電極的面積，提高了太陽電池的轉(zhuǎn)換效率，而且制造過程簡單，制造成本低。本實用新型中的導(dǎo)電減反射膜可以用于硅太陽電池、砷化鎵太陽電池，以及聚光太陽電池。
文檔編號H01L31/0216GK201859880SQ20102058845
公開日2011年6月8日 申請日期2010年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月2日
發(fā)明者李紅波, 王亮興 申請人:上海太陽能工程技術(shù)研究中心有限公司