專利名稱：一種石墨舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種太陽能電池片加工設(shè)備，尤其是一種石墨舟，具體地說是降低石墨舟插取硅片碎片率的設(shè)備，屬于太陽能電池片加工的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
隨著太陽能電池片的需求不斷增長，各電池片生產(chǎn)商都想在不增加設(shè)備、動力和氣體的情況下提高產(chǎn)品質(zhì)量，同時也降低成本。石墨舟通常由石墨舟片、石墨塊等零部件組合形成。目前市場上作業(yè)員在插、取硅片時有產(chǎn)生碎片現(xiàn)象，影響了硅片鍍膜生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種石墨舟，其結(jié)構(gòu)簡單緊湊， 安裝使用方便，降低硅片的破碎率，提高了硅片鍍膜的效率，降低加工成本，適應(yīng)性好，安全可靠。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述石墨舟，包括若干依次交錯分布的第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間通過石墨棒及石墨螺母串接后緊固連接；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間均通過陶瓷管相隔離，所述陶瓷管套在石墨棒上；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間端部的石墨棒上套有石墨塊；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片對應(yīng)的端部均通過相應(yīng)的石墨塊相隔離；所述陶瓷管的長度為10. 98mnTll.02mm，陶瓷管的外徑為 9. 95mnTlO. 05mm,陶瓷管的內(nèi)徑為6.廣6. 3mm ；所述石墨棒的直徑為5. 9mnT6mm ；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上均設(shè)置有石墨棒安裝孔，所述石墨棒安裝孔的孔徑為6. lmnT6. 5mm。所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間對應(yīng)相鄰的表面均安裝若干硅片；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上對應(yīng)安裝硅片的外圈設(shè)置第一固定工藝點、第二固定工藝點及第三固定工藝點；硅片通過第一固定工藝點、第二固定工藝點及第三固定工藝點安裝固定于相應(yīng)的石墨舟片上。本發(fā)明的優(yōu)點第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片依次交錯分布；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片通過石墨棒及石墨螺母串接后緊固連接；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間通過陶瓷管及石墨塊相隔離；通過石墨棒與對應(yīng)的石墨舟片間隙配合，陶瓷管與石墨棒的間隙配合，并通過調(diào)整陶瓷管的尺寸及陶瓷管與石墨棒安裝孔的對應(yīng)配合，能夠增加石墨舟片插取的空間，降低插取過程中的碎片率，結(jié)構(gòu)簡單緊湊，安裝使用方便，降低硅片的破碎率， 提高了硅片鍍膜的效率，降低加工成本，適應(yīng)性好，安全可靠。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明第一石墨舟片的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合具體附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明。

如圖廣圖2所示本發(fā)明包括石墨螺母1、石墨棒2、第一固定工藝點3、第二固定工藝點4、第三固定工藝點5、第一石墨舟片6、石墨塊7、第二石墨舟片8、陶瓷管9、第一石墨棒安裝孔10、固定片11、第一固定片安裝孔12、第二固定片安裝孔13、硅片14、舟片體 15、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17。如圖1和圖2所示所述石墨舟包括若干依次交錯分布的第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17，即第二石墨舟片8位于第一石墨舟片6與第三石墨舟片16間，第三石墨舟片16位于第二石墨舟片8與第四石墨舟片17間，第四石墨舟片17位于第三石墨舟片16及對應(yīng)相鄰的第一石墨舟片6間；依照上述若干交錯分布的第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17通過石墨棒2串接成一體，且石墨棒2的端部設(shè)置石墨螺母1，通過石墨棒2與石墨螺母1的對應(yīng)配合，使得第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17與石墨棒2緊固連接。第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17間均通過陶瓷管 9相隔離，陶瓷管9套在相應(yīng)的石墨棒2上，且陶瓷管8與石墨棒2間隙配合。陶瓷管9長度為10. 98mnTll. 02mm,陶瓷管9的外徑為9. 95mnTlO. 05mm,陶瓷管9的內(nèi)徑為6. Γ6. 3mm。 石墨棒2的直徑為5. 9mnT6mm。第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17的端部均設(shè)置對稱分布的舟片固定片，所述對應(yīng)的舟片固定片通過石墨棒2及石墨螺母2緊固連接，且對應(yīng)的舟片固定片間通過石墨塊7相隔離。第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17對應(yīng)相鄰的表面安裝硅片14，即對應(yīng)最外側(cè)石墨舟片的表面上不安裝硅片14。第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17對應(yīng)于安裝硅片14的外圈設(shè)置第一固定工藝點3、第二固定工藝點4及第三固定工藝點5，通過在第一固定工藝點3、第二固定工藝點4及第三固定工藝點5安裝相應(yīng)的固定機構(gòu)能夠?qū)⒐杵?4安裝于相應(yīng)的石墨舟片上。 其中，第二固定工藝點4與第三固定工藝點5位于硅片14的同一側(cè)，第一固定工藝點3位于硅片14的下方，通過三個固定工藝點5能夠?qū)⒐杵?4安裝于對應(yīng)的石墨舟片上。所述第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17的結(jié)構(gòu)相對應(yīng)，下面以第一石墨舟片6為例來進行說明。所述第一石墨舟片6包括舟片體15，所述舟片體15 —側(cè)的兩端設(shè)置對稱分布的固定片11，所述固定片11從舟片體15的端部向外延伸。固定片11上設(shè)置第一固定片安裝孔12及第二固定片安裝孔13 ；所述第一固定片安裝孔12及第二固定片安裝孔13與舟片體15上相應(yīng)的第一石墨棒安裝孔10的孔徑相一致，從而能夠與石墨棒2對應(yīng)間隙配合。石墨棒2穿過相應(yīng)的第一固定片安裝孔12、第二固定片安裝孔13，從而能夠?qū)⑾鄳?yīng)的石墨舟片串接在一起。第一石墨棒安裝孔10、第二固定片安裝孔12及第二固定片安裝孔13的孔徑為6. ImnTe. 5mm ；同時將第一石墨舟片6上對應(yīng)于設(shè)置固定片11另一側(cè)的第一石墨棒安裝孔10偏移，以避免安裝硅片14時產(chǎn)生的碰撞。為了方便第一石墨棒安裝孔10均勻分布于舟片體15上。第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17的中間部分與舟片體15的結(jié)構(gòu)相同，第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17上相應(yīng)的固定片11位置與第一石墨舟片6上的固定片11位置不同；石墨舟片對應(yīng)端部的固定片11間通過石墨棒2串接后再通過石墨塊7相隔離。

如圖1和圖2所示使用時，在第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16 及第四石墨舟片17間相對應(yīng)的表面上安裝硅片14，硅片14通過第一固定工藝點3、第二固定工藝點4及第三固定工藝點5安裝固定。插取舟片時，將相應(yīng)的石墨舟片安裝在石墨棒2 上，端部的石墨棒2安裝石墨螺母1。在安裝下一個對應(yīng)的石墨舟片時，先在石墨棒2上套陶瓷管9及石墨塊7，并依次安裝其余相應(yīng)的石墨舟片，達到第一石墨舟片6、第二石墨舟片 8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17交錯分布的設(shè)置。安裝固定后，可以對石墨舟片上的硅片 14 進行 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor D印osition)等操作。通過對石墨棒2、陶瓷管9及石墨舟片上相應(yīng)的孔徑設(shè)置，能夠降低舟片在插取過程中的破碎率。本發(fā)明第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17依次交錯分布；第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17通過石墨棒2及石墨螺母1串接后緊固連接；第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16 及第四石墨舟片17間通過陶瓷管9及石墨塊7相隔離；通過石墨棒2與對應(yīng)的石墨舟片間隙配合，陶瓷管9與石墨棒2的間隙配合，并通過調(diào)整陶瓷管9的尺寸及陶瓷管9與石墨棒安裝孔的對應(yīng)配合，能夠增加石墨舟片插取的空間，降低插取過程中的碎片率，結(jié)構(gòu)簡單緊湊，安裝使用方便，降低硅片的破碎率，提高了硅片鍍膜的效率，降低加工成本，適應(yīng)性好， 安全可靠。
權(quán)利要求
1.一種石墨舟，包括若干依次交錯分布的第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)；所述第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)間通過石墨棒(2)及石墨螺母(1)串接后緊固連接；所述第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)間均通過陶瓷管(9)相隔離，所述陶瓷管(9)套在石墨棒(2)上；第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、 第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)間端部的石墨棒(2)上套有石墨塊(7)；第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)對應(yīng)的端部均通過相應(yīng)的石墨塊(7)相隔離；其特征是所述陶瓷管(9)的長度為10. 98mnTll. 02mm,陶瓷管 (9)的外徑為9. 95mnTlO. 05mm，陶瓷管(9)的內(nèi)徑為6.廣6. 3mm ；所述石墨棒(2)的直徑為 5. 9mnT6mm ；所述第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片 (17)上均設(shè)置有石墨棒安裝孔，所述石墨棒安裝孔的孔徑為6. ImnTe. 5mm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟，其特征是所述第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片 (8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)間對應(yīng)相鄰的表面均安裝若干硅片(14);所述第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)上對應(yīng)安裝硅片(14)的外圈設(shè)置第一固定工藝點(3)、第二固定工藝點(4)及第三固定工藝點(5)； 硅片(14)通過第一固定工藝點(3)、第二固定工藝點(4)及第三固定工藝點(5)安裝固定于相應(yīng)的石墨舟片上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種石墨舟，其包括交錯分布的第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間通過石墨棒及石墨螺母串接后緊固連接；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間均通過陶瓷管相隔離；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間端部的石墨棒上套有石墨塊；陶瓷管的長度為10.98mm~11.02mm，外徑為9.95mm~10.05mm，內(nèi)徑為6.1~6.3mm；石墨棒的直徑為5.9mm~6mm；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上均設(shè)置有石墨棒安裝孔，石墨棒安裝孔的孔徑為6.1mm~6.5mm。本發(fā)明降低硅片的破碎率，提高了硅片鍍膜的效率，降低加工成本，適應(yīng)性好，安全可靠。
文檔編號H01L21/673GK102354676SQ20111032888
公開日2012年2月15日 申請日期2011年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月25日
發(fā)明者代寧, 尤耀明, 李文虎 申請人:無錫綠波新能源設(shè)備有限公司